EP1395857A2 - Method for controlled modification of the reflective qualities of a multi-layer - Google Patents

Method for controlled modification of the reflective qualities of a multi-layer

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EP1395857A2
EP1395857A2 EP02743341A EP02743341A EP1395857A2 EP 1395857 A2 EP1395857 A2 EP 1395857A2 EP 02743341 A EP02743341 A EP 02743341A EP 02743341 A EP02743341 A EP 02743341A EP 1395857 A2 EP1395857 A2 EP 1395857A2
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radiation
mask
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reflective
regions
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Definitions

  • the present invention relates generally to the operations of controlled modification of the optical properties of a structure capable of reflecting radiation.
  • the invention finds a particularly advantageous application in the production of reflective masks such as those which are used in lithography devices at very short wavelengths.
  • the invention relates generally to a method of altering the reflective properties of desired regions of a structure intended to be exposed to radiation of a given wavelength and to modify said radiation by desired manner, said method alteration implementing the exposure of the structure to an energy beam.
  • the invention also relates to a structure obtained by such a method.
  • a structure can in particular be a reflective lithography mask for very short wavelengths.
  • the applications of the invention thus relate to permanent modifications of certain optical properties of a reflective structure.
  • the lithography devices generally comprise a source which emits radiation of given wavelength, this radiation being modified by a mask interposed between the light source and a target.
  • the specific properties of the mask make it possible to modify the radiation of the source in a controlled manner, the modified radiation which leaves the mask then coming to illuminate the target according to a desired spatial pattern.
  • the properties of the regions of the target subjected to such illumination are then modified, as a function of the characteristics of the radiation received.
  • the controlled modification of the radiation which is carried out by the mask consists in absorbing the radiation from the source in certain parts of the space, so as to direct towards the target only radiation distributed spatially according to a desired pattern, which corresponds the pattern with which we want to illuminate the target.
  • the wafer is for this purpose coated with a photosensitive coating which reacts under the effect of exposure to radiation from the mask, according to the pattern defined by the mask.
  • Masks are therefore an essential element of lithography devices. It is in particular important that these masks make it possible to reliably modify the radiation coming from sources of wavelength as short as possible.
  • the invention will be implemented advantageously with sources whose radiation has an extremely reduced wavelength, of the extreme ultra violet type
  • EUV ultraviolet
  • a first type of mask which has been used in lithography devices is the transmission mask.
  • Such a mask modifies the radiation of the source when the mask passes through this radiation.
  • the modified radiation transmitted by the mask is then directed towards the target.
  • a second type of mask better suited to the controlled modification of short wavelength radiation is the reflective mask.
  • This type of mask works like a multilayer mirror which reflects the radiation from the source to the target, modifying this radiation in a controlled manner.
  • a first embodiment of this process involves selective deposition on the multilayer, of a pattern made of an absorbent material such as gold.
  • This first embodiment includes the disadvantage of leading to an expensive process.
  • phase shift characteristic is understood to mean the property which consists of more or less phase shifting the radiation reflected by a region of a mask when the latter is exposed to radiation from a source.
  • This property is important insofar as it makes it possible to define between the regions the contrast of the reflected radiation, and thus constitutes an important element of the quality of this reflected radiation.
  • the reflected radiation being mainly characterized by its amplitude and the phase of its associated wavefront, it would be advantageous not only to be able to finely adjust the spatial distribution on the mask of the amplitude of said reflected radiation (by making it selectively absorb radiation from the light source through desired regions of the mask), but also to finely control the phase characteristics of the wavefront of this reflected radiation.
  • An object of the invention is to make it possible to produce multi-layer reflective structures having the advantage stated above.
  • another object of the invention is to enable the reflective characteristics of a multilayer structure to be altered so as to modify with great finesse the characteristics of reflectivity and of phase shift of different desired regions of the structure.
  • the invention proposes, according to a first aspect, a method of altering the reflective properties of desired regions of a multilayer structure intended to be exposed to radiation of given wavelength and to be modified in a desired manner.
  • said radiation said alteration method implementing the exposure of the structure to an energy beam, characterized in that the method comprises controlling the exposure of the desired regions of the multilayer structure to said beam of particles, so as to shift the value of the reflectivity peak of each region of the structure in the wavelength spectrum as desired.
  • Preferred, but non-limiting aspects of the process according to the invention are the following:
  • the radiation of given wavelength to which the structure is intended to be exposed is EUV radiation
  • Said exposure control is carried out by adapting the exposure time of each individual region of the structure to the beam,
  • said exposure control implements a temporary and controlled modification of the energy of the beam, • the alteration of the reflective properties of said region is done by modification of period of the region.
  • the invention also proposes, according to a second aspect, a reflective lithography mask produced by such a method.
  • the mask is an EUV mask
  • the mask is a mask of phase shift mask type.
  • the invention provides a mirror produced by a method according to the invention.
  • Preferred, but not limiting, aspects of the mirror according to the invention are the following:
  • the mirror comprises a network of regions extending in a general direction and defining a phase shift of their reflected radiation
  • the mirror has a curved region centered around a direction perpendicular to the general direction of elongation of said regions.
  • the invention proposes according to another aspect the use of the method according to one of the above aspects to rectify the optical properties of a multilayer structure.
  • a multilayer structure can be an EUV lithography mirror, the rectification comprising the neutralization of the phase properties of the mirror.
  • FIG. 1 is a schematic representation of the installation making it possible to implement the invention
  • FIG. 2 is a graph showing the evolution of the position of the reflectivity peak of a multilayer structure after having been subjected to an energy beam
  • Figure 3 is a graph showing the reflectivity characteristics of a multi-layer reflective structure, and the phase of the radiation reflected by such a structure
  • Figure 4 is a diagram illustrating an X-ray mirror treated according to the invention.
  • FIG. 1 there is shown schematically an installation for implementing the invention.
  • This installation comprises a source 10 which is capable of emitting an energy beam 20.
  • the energy beam 20 can be a particle beam.
  • the beam particles can be, for example, ions, but also electrons, molecules, etc.
  • the beam 20 can also be a beam of pure radiation, for example a beam of photons, X-rays, etc.
  • the source 10 can thus be of a type known per se, for example an electron source similar to those used for the etching of the photosensitive resin of masks for lithography.
  • the beam 20 is a beam capable of altering the structure of the multilayer 30 which is exposed to the beam 20 and of modifying the thickness of the layers of this multilayer by its supply of energy. It is specified that the energy supply from the beam to the multilayer can come directly from the energy of the beam, in the case of an energy beam.
  • Such a reaction can for example be a chemical reaction (case of a beam of oxygen particles which come to oxidize the multilayer), or a nuclear type reaction.
  • the multilayer 30 comprises a substrate 31, and a stack 32 of alternating layers.
  • the substrate 31 is preferably made of a material whose coefficient of thermal expansion is low, for example zerodur or ULE (registered trademarks - zerodur being a product of the company Schott, and ULE a product of the company Corning).
  • the stack 32 comprises an alternation of layers (for example of Mo and of Si) whose optical properties of reflectivity make it possible to reflect the radiation of a source of given wavelength (not shown in the figure).
  • the specific reflectivity properties of the stack of layers 32 determine a range of wavelengths for which the radiation will be effectively reflected.
  • a given multilayer structure can reflect radiation within a given range of wavelengths. More precisely, exposed to incident radiation of given amplitude and wavelength, a reflective multilayer structure reflects radiation whose amplitude varies as a function of the wavelength of the incident radiation.
  • This graph represents the evolution for a multilayer reflective structure, of the reflectivity coefficient R (which translates the proportion of light energy returned by the reflected radiation), as a function of the wavelength ⁇ of the incident radiation.
  • each reflective structure is associated with a reflectivity peak which is determined by a given wavelength: the structure better reflects radiation whose wavelength is equal to, or very close to, this wavelength ⁇ l (which is represented by a "period" parameter, ⁇ l being equal to, or closely related to, the period).
  • the structure 30 can be any type of multilayer structure having optical properties of reflectivity, for example any structure whose optical properties it is desired to alter in a desired pattern and in a controlled manner.
  • the structure 30 can thus be a reflective multilayer support on which it is desired to implement the invention to produce patterns of diffractive lines ("grating" in English), natural light or another type of radiation.
  • the structure can also be any type of multilayer mirror, flat or curved.
  • This structure can also be a structure which it is desired to treat exclusively locally, for example for the purpose of repairing or correcting faults. It is thus possible according to the invention repair or correct structures such as reflective masks or others.
  • the structure 30 is a white of a reflective mask for EUV lithography, suitable for reflecting a radiation whose main wavelength can for example be of the order of 13.5 nm (although other values of the EUV spectrum which, as we have said, cover the wavelengths of 10 to 14 nm - for example and without limitation 13.4 or 13.5 nm are obviously possible).
  • This means that the reflectivity peak of such a mask blank is at a corresponding wavelength (in this case a wavelength of the order of 13.5 nm).
  • Means 40 for controlled orientation of the beam make it possible to orient said beam towards desired regions of the structure 30, and to move the beam over the structure according to a predetermined pattern.
  • the exposure of the structure is controlled so that the region of the structure exposed to the beam 20 is not destroyed, but that the thickness of the layers of the stack is simply modified so to change the period of this stacking as desired.
  • the reflectivity peak of the region of the exposed structure is thus moved in a controlled manner in the wavelength spectrum.
  • regions are not made "absorbent" in absolute terms, they are made absorbent for a given wavelength range, the reflectivity properties of these regions remaining for other wavelengths.
  • the reflective properties of the regions of the structure 30 which are exposed in a controlled manner to the beam 20 are thus altered in a desired manner, so that these regions are, after exposure, still capable of reflecting radiation with a comparable intensity of the reflected radiation, but only insofar as the incident radiation has a wavelength which corresponds to the new reflectivity peak of the region treated.
  • This displacement of the reflectivity peak is also itself controlled, insofar as the exposure is adjusted so as to bring the reflectivity peak of the exposed region to a desired value, different from the value of the region reflectivity peak. of the structure which are not exposed to the beam 20.
  • the exposure control can be done by adapting the exposure time of each individual region of the structure to the beam 20.
  • the exposure control can also implement a temporary and controlled modification of the energy of the beam 20.
  • the reflectivity peak of which corresponds to the wavelength of an EUV source (for example 13.5 nm)
  • each region could be selectively reflective or non-reflective, for each of the sources.
  • each region of the structure is treated so as to reflect, or not, each radiation of an individual source in a selective manner.
  • the region then constitutes a sensitive pattern only for said source, its behavior being "transparent" for other sources whose radiation has different wavelengths.
  • the radiation reflected by the region of the structure can be described by the formula Ae i (K ⁇ + ⁇ ) .
  • the period ⁇ associated with a region of the multilayer structure does not only define a maximum of reflectivity, but also a region of change for the phase ⁇ of this reflected radiation. More precisely, there is a phase shift ⁇ of the order of 180 degrees on either side of the wavelength ⁇ corresponding to the period of the region in question.
  • the phase characteristics of the reflected radiation are therefore also modified.
  • Such control is in particular advantageous insofar as it makes it possible, from such a structure, to obtain an image with improved contrast.
  • Another application of the invention consists in correcting the optical properties of multilayer structures such as mirrors (in particular mirrors intended to reflect EUV radiation in EUV lithography devices).
  • the mirrors used in the EUV lithography devices must reflect the EUV radiation without inducing distortion of the phase of the radiation.
  • a mirror turns out to reflect a radiation (in particular EUV as we said) by inducing disturbances such as a distortion effect of the wavefront (the phase properties of the mirror not being not neutral when they should be).
  • the invention can be implemented to correct the optical properties of the structure (in this case, by neutralizing the phase shifts induced by a mirror operating outside specifications).
  • FIG. 4 Yet another application of the invention relating to curved mirrors for X-rays is illustrated in FIG. 4.
  • the multilayer structure 30 is a mirror intended to reflect X-rays.
  • the surface of this mirror is curved, the thickness of the multilayer being variable.
  • the surface of the mirror defines a cylindrical portion, the axis of the cylinder being parallel to a direction represented in the figure by the axis A1.
  • the mirror focuses the incident X-rays (denoted X1) in a direction perpendicular to the direction of the axis A1.
  • the mirror 30 has been treated according to the invention to constitute on its reflecting surface a network of regions R which remain reflective for the incident X-rays, but which induce a phase shift of their reflected radiation X2. These regions each have the shape of an elongated strip, all the regions extending parallel in a general direction A2 which is perpendicular to the direction A1.

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Abstract

One aspect of the invention relates to a multi-layered reflective optical system for the reflection of X rays at a low angle of incidence, producing a two-dimensional optical effect. The inventive optical system comprises: a component having a surface which is reflective in such a way that a first optical effect is produced according to a first direction in space; and means for producing a second optical effect according to a second direction in space which is different from the first direction, characterized in that said means for producing a second optical effect are borne by the reflective surface. A second aspect of the invention relates to a method for the production of said optical system.

Description

PROCEDE DE MODIFICATION CONTROLEE DE PROPRIETES REFLECTIVES D'UN METHOD FOR CONTROLLED MODIFICATION OF REFLECTIVE PROPERTIES OF A
MULTICOUCHEMULTI
La présente invention concerne de manière générale les opérations de modification contrôlée des propriétés optiques d'une structure apte à réfléchir un rayonnement.The present invention relates generally to the operations of controlled modification of the optical properties of a structure capable of reflecting radiation.
Plus précisément, l'invention trouve une application particulièrement avantageuse dans la réalisation de masques réflectifs tels que ceux qui sont mis en œuvre dans les dispositifs de lithographie à de très faibles longueurs d'onde.More specifically, the invention finds a particularly advantageous application in the production of reflective masks such as those which are used in lithography devices at very short wavelengths.
Toutefois, bien que l'application mentionnée ci-dessus constitue une application préférée, l'invention n'est pas limitée à cette seule application comme cela sera précisé dans la suite de ce texte.However, although the application mentioned above constitutes a preferred application, the invention is not limited to this single application as will be specified in the remainder of this text.
Ainsi, l'invention concerne de manière générale un procédé d'altération des propriétés réflectives de régions désirées d'une structure destinée à être exposée à un rayonnement de longueur d'onde donnée et à modifier de manière désirée ledit rayonnement par réflexion, ledit procédé d'altération mettant en œuvre l'exposition de la structure à un faisceau énergétique.Thus, the invention relates generally to a method of altering the reflective properties of desired regions of a structure intended to be exposed to radiation of a given wavelength and to modify said radiation by desired manner, said method alteration implementing the exposure of the structure to an energy beam.
Et l'invention concerne également une structure obtenue par un tel procédé. Comme on l'a dit, dans une application préférée de l'invention une telle structure peut en particulier être un masque réflectif de lithographie pour de très faibles longueurs d'onde.And the invention also relates to a structure obtained by such a method. As said, in a preferred application of the invention such a structure can in particular be a reflective lithography mask for very short wavelengths.
Toutefois, cette application de l'invention n'est pas limitative et l'invention peut également être mise en œuvre pour constituer ou modifier toute structure dont on désire modifier de manière contrôlée les propriétés réflectives. On précise que les modifications dont il est ici question sont des modifications permanentes.However, this application of the invention is not limiting and the invention can also be implemented to constitute or modify any structure whose reflective properties it is desired to modify in a controlled manner. It is specified that the modifications in question here are permanent modifications.
Les applications de l'invention concernent ainsi des modifications permanentes de certaines propriétés optiques d'une structure reflective.The applications of the invention thus relate to permanent modifications of certain optical properties of a reflective structure.
Revenant à l'application préférée de l'invention, les dispositifs de lithographie comprennent généralement une source qui émet un rayonnement de longueur d'onde donnée, ce rayonnement étant modifié par un masque interposé entre la source de lumière et une cible. Les propriétés spécifiques du masque permettent de modifier de manière contrôlée le rayonnement de la source, le rayonnement modifié qui quitte le masque venant ensuite illuminer la cible selon un motif spatial désiré. Les propriétés des régions de la cible soumises à une telle illumination se trouvent alors modifiées, en fonction des caractéristiques du rayonnement reçu.Returning to the preferred application of the invention, the lithography devices generally comprise a source which emits radiation of given wavelength, this radiation being modified by a mask interposed between the light source and a target. The specific properties of the mask make it possible to modify the radiation of the source in a controlled manner, the modified radiation which leaves the mask then coming to illuminate the target according to a desired spatial pattern. The properties of the regions of the target subjected to such illumination are then modified, as a function of the characteristics of the radiation received.
Typiquement, la modification contrôlée du rayonnement qui est effectuée par le masque consiste à absorber le rayonnement de la source dans certaines parties de l'espace, de manière à ne diriger vers la cible qu'un rayonnement réparti spatialement selon un motif désiré, qui correspond au motif avec lequel on veut illuminer la cible.Typically, the controlled modification of the radiation which is carried out by the mask consists in absorbing the radiation from the source in certain parts of the space, so as to direct towards the target only radiation distributed spatially according to a desired pattern, which corresponds the pattern with which we want to illuminate the target.
Il est ainsi possible de constituer à partir d'une cible tel qu'une tranche de matériau semiconducteur (ou « wafer » selon la terminologie anglo-saxonne répandue), des structures telles que des microcircuits électroniques ou électro optiques.It is thus possible to build from a target such as a wafer of semiconductor material (or "wafer" according to the English terminology used), structures such as electronic or electro-optical microcircuits.
Le wafer est à cet effet revêtu d'un revêtement photosensible qui réagit sous l'effet de l'exposition au rayonnement issu du masque, selon le motif défini par le masque. Les masques constituent ainsi un élément essentiel des dispositifs de lithographie. Il est en particulier important que ces masques permettent de modifier de manière fiable le rayonnement issu de sources de longueur d'onde aussi faible que possible.The wafer is for this purpose coated with a photosensitive coating which reacts under the effect of exposure to radiation from the mask, according to the pattern defined by the mask. Masks are therefore an essential element of lithography devices. It is in particular important that these masks make it possible to reliably modify the radiation coming from sources of wavelength as short as possible.
En effet, l'évolution actuelle des techniques dans ce domaine conduit à mettre en œuvre des sources dont le rayonnement émis a une longueur d'onde de plus en plus faible, dans la perspective de réaliser sur les cibles des structures dont la taille soit la plus petite possible.In fact, the current evolution of techniques in this field leads to the use of sources whose emitted radiation has a wavelength of smaller and smaller, with a view to achieving structures on targets the size of which is the as small as possible.
Il est ainsi aujourd'hui connu de travailler de manière opérationnelle avec des sources dont la longueur d'onde est de l'ordre de 248 nanomètres (nm).It is thus known today to work in an operational manner with sources whose wavelength is of the order of 248 nanometers (nm).
On souhaite toutefois abaisser ces valeurs de longueur d'onde (des développements étant par exemple en cours avec des sources de 193 nm), la perspective actuelle étant de permettre le développement de dispositif mettant en œuvre des sources dont la longueur d'onde est de l'ordre de 157 nm, voire moins.However, we wish to lower these wavelength values (developments being for example in progress with sources of 193 nm), the current perspective being to allow the development of a device using sources whose wavelength is of the order of 157 nm, or even less.
Et comme on va le préciser plus loin dans ce texte, l'invention sera mise en œuvre avantageusement avec des sources dont le rayonnement a une longueur d'onde extrêmement réduite, du type extrême ultra violetAnd as will be specified later in this text, the invention will be implemented advantageously with sources whose radiation has an extremely reduced wavelength, of the extreme ultra violet type
(EUV), ce qui correspond à un rayonnement dont la longueur d'onde est comprise entre 10 et 14 nm.(EUV), which corresponds to radiation with a wavelength between 10 and 14 nm.
Historiquement, un premier type de masque qui a été mis en œuvre dans les dispositifs de lithographie est le masque de transmission.Historically, a first type of mask which has been used in lithography devices is the transmission mask.
Un tel type de masque modifie le rayonnement de la source lors de la traversée du masque par ce rayonnement. Le rayonnement modifié transmis par le masque est ensuite dirigé vers la cible.Such a mask modifies the radiation of the source when the mask passes through this radiation. The modified radiation transmitted by the mask is then directed towards the target.
Or, le fait de travailler en transmission ne permet pas d'envisager une exploitation à des longueurs d'onde faibles, de l'ordre de celles mentionnées ci-dessus.However, the fact of working in transmission does not make it possible to envisage operation at short wavelengths, of the order of those mentioned above.
En effet, à de telles longueurs d'onde la partie du rayonnement absorbée par le masque devient trop importante, et il devient difficile de générer un rayonnement transmis possédant une amplitude suffisante. Un deuxième type de masque mieux adapté à la modification contrôlée de rayonnements de faible longueur d'onde est le masque réflectif.Indeed, at such wavelengths the part of the radiation absorbed by the mask becomes too large, and it becomes difficult to generate transmitted radiation having a sufficient amplitude. A second type of mask better suited to the controlled modification of short wavelength radiation is the reflective mask.
Ce type de masque fonctionne à la manière d'un miroir multicouche qui réfléchit le rayonnement issu de la source vers la cible, en modifiant de manière contrôlée ce rayonnement.This type of mask works like a multilayer mirror which reflects the radiation from the source to the target, modifying this radiation in a controlled manner.
Grâce aux masques réflectifs, il est devenu envisageable de traiter des rayonnements dont la longueur d'onde est susceptible de descendre bien en dessous des limites usuelles exposées ci-dessus, et en particulier de mettre en œuvre la lithographie EUV. On trouvera des exemples d'un procédé de fabrication d'un tel masque dans le document US 5 503 950. Un premier mode de réalisation de ce procédé fait intervenir un dépôt sélectif sur le multicouche, d'un motif en un matériau absorbant tel que l'or.Thanks to the reflective masks, it has become possible to treat radiation whose wavelength is likely to fall well below the usual limits set out above, and in particular to implement EUV lithography. Examples of a method of manufacturing such a mask can be found in document US Pat. No. 5,503,950. A first embodiment of this process involves selective deposition on the multilayer, of a pattern made of an absorbent material such as gold.
Ce premier mode de réalisation comprend l'inconvénient de conduire à un procédé coûteux.This first embodiment includes the disadvantage of leading to an expensive process.
Dans un deuxième mode de réalisation qui tend à s'affranchir de l'inconvénient de coût mentionné ci-dessus, on attaque sélectivement avec un faisceau d'ions des régions du multicouche réflectif afin de détruire la structure du multicouche, de manière à éliminer toute propriété reflective de ces régions.In a second embodiment which tends to overcome the disadvantage of cost mentioned above, we selectively attack with an ion beam regions of the reflective multilayer in order to destroy the structure of the multilayer, so as to eliminate any reflective property of these regions.
On passe ainsi selon le titulaire de ce brevet d'une réflectivité de 35% pour les régions non traitées par le faisceau d'ions, à une réflectivité de moins de 0.1% pour les régions traitées. Ces régions dessinent le motif du masque. Si ce deuxième mode de réalisation peut effectivement se révéler avantageux en termes de coût par rapport au premier mode de réalisation exposé dans le même document, on remarquera que le résultat de ce procédé se limite à l'obtention de régions réflectives d'une part, et de régions totalement absorbantes (les régions dont la structure a été détruite) d'autre part.According to the holder of this patent, there is therefore a reflectivity of 35% for the regions not treated with the ion beam, to a reflectivity of less than 0.1% for the regions treated. These regions draw the pattern of the mask. If this second embodiment can indeed prove to be advantageous in terms of cost compared to the first embodiment described in the same document, it will be noted that the result of this process is limited to obtaining reflective regions on the one hand, and totally absorbing regions (regions whose structure has been destroyed) on the other hand.
Ce procédé fonctionne ainsi en « tout ou rien », de manière binaire (il existe certes une région périphérique de la région rendue absorbante et dans laquelle la réflectivité est très légèrement dégradée puisqu'elle est ramenée à une valeur de 32%, mais cette dégradation est quasiment négligeable).This process thus works in “all or nothing”, in a binary way (there is certainly a peripheral region of the region made absorbent and in which the reflectivity is very slightly degraded since it is reduced to a value of 32%, but this degradation is almost negligible).
Or il serait avantageux d'améliorer un tel procédé pour permettre de réaliser des masques réflectifs (ou autres types de structures multicouches réflectives), dans lesquels la répartition des degrés de réflectivité est extrêmement bien maîtrisée. En outre, il serait avantageux de permettre d'augmenter le degré de contrôle que possèdent les fabricants de masques (ou de structures) sur les répartitions entre les régions du masque (ou de la structure) des caractéristiques de déphasage associées aux régions respectives.However, it would be advantageous to improve such a method to make it possible to produce reflective masks (or other types of reflective multilayer structures), in which the distribution of the degrees of reflectivity is extremely well controlled. In addition, it would be advantageous to allow increasing the degree of control that manufacturers of masks (or structures) have over the distributions between the regions of the mask (or of the structure) of the phase shift characteristics associated with the respective regions.
On entend par « caractéristique de déphasage » la propriété qui consiste à déphaser plus ou moins le rayonnement réfléchi par une région d'un masque lorsque celui-ci est exposé au rayonnement d'une source.The term “phase shift characteristic” is understood to mean the property which consists of more or less phase shifting the radiation reflected by a region of a mask when the latter is exposed to radiation from a source.
Cette propriété est importante dans la mesure où elle permet de définir entre les régions le contraste du rayonnement réfléchi, et constitue ainsi un élément important de la qualité de ce rayonnement réfléchi.This property is important insofar as it makes it possible to define between the regions the contrast of the reflected radiation, and thus constitutes an important element of the quality of this reflected radiation.
Plus précisément, le rayonnement réfléchi étant principalement caractérisé par son amplitude et la phase de son front d'onde associé, il serait avantageux non seulement de pouvoir ajuster finement la répartition spatiale sur le masque de l'amplitude dudit rayonnement réfléchi (en faisant absorber sélectivement le rayonnement issu de la source de lumière par des régions désirées du masque), mais également de contrôler finement les caractéristiques de phase du front d'onde de ce rayonnement réfléchi.More precisely, the reflected radiation being mainly characterized by its amplitude and the phase of its associated wavefront, it would be advantageous not only to be able to finely adjust the spatial distribution on the mask of the amplitude of said reflected radiation (by making it selectively absorb radiation from the light source through desired regions of the mask), but also to finely control the phase characteristics of the wavefront of this reflected radiation.
Un but de l'invention est de permettre de réaliser des structures réflectives multicouches présentant l'avantage énoncé ci-dessus.An object of the invention is to make it possible to produce multi-layer reflective structures having the advantage stated above.
Et de manière plus générale, un autre but de l'invention, non restreint aux masques réflectifs de lithographie, est de permettre d'altérer les caractéristiques réflectives d'une structure multicouche de manière à modifier avec une grande finesse les caractéristiques de réflectivité et de déphasage de différentes régions désirées de la structure.And more generally, another object of the invention, not limited to reflective lithography masks, is to enable the reflective characteristics of a multilayer structure to be altered so as to modify with great finesse the characteristics of reflectivity and of phase shift of different desired regions of the structure.
Afin d'atteindre ces buts, l'invention propose selon un premier aspect un procédé d'altération des propriétés réflectives de régions désirées d'une structure multicouche destinée à être exposée à un rayonnement de longueur d'onde donnée et à modifier de manière désirée ledit rayonnement, ledit procédé d'altération mettant en œuvre l'exposition de la structure à un faisceau énergétique, caractérisé en ce que le procédé comprend le contrôle de l'exposition des régions désirées de la structure multicouche audit faisceau de particules, de manière à déplacer de manière désirée dans le spectre de longueur d'onde la valeur du pic de réflectivité de chaque région de la structure. Des aspects préférés, mais non limitatifs du procédé selon l'invention sont les suivants :In order to achieve these aims, the invention proposes, according to a first aspect, a method of altering the reflective properties of desired regions of a multilayer structure intended to be exposed to radiation of given wavelength and to be modified in a desired manner. said radiation, said alteration method implementing the exposure of the structure to an energy beam, characterized in that the method comprises controlling the exposure of the desired regions of the multilayer structure to said beam of particles, so as to shift the value of the reflectivity peak of each region of the structure in the wavelength spectrum as desired. Preferred, but non-limiting aspects of the process according to the invention are the following:
• la structure est un masque réflectif de lithographie,• the structure is a reflective lithography mask,
• le rayonnement de longueur d'onde donnée auquel la structure est destinée à être exposée est un rayonnement EUV,• the radiation of given wavelength to which the structure is intended to be exposed is EUV radiation,
• ledit contrôle d'exposition est effectué en adaptant le temps d'exposition de chaque région individuelle de la structure au faisceau,Said exposure control is carried out by adapting the exposure time of each individual region of the structure to the beam,
• ledit contrôle d'exposition met en œuvre une modification temporaire et contrôlée de l'énergie du faisceau, • l'altération des propriétés réflectives de ladite région se fait par modification de période de la région.• said exposure control implements a temporary and controlled modification of the energy of the beam, • the alteration of the reflective properties of said region is done by modification of period of the region.
L'invention propose également selon un second aspect un masque réflectif de lithographie réalisé par un tel procédé.The invention also proposes, according to a second aspect, a reflective lithography mask produced by such a method.
Des aspects préférés, mais non limitatifs du masque selon l'invention sont les suivants :Preferred but non-limiting aspects of the mask according to the invention are the following:
• le masque est un masque EUV,• the mask is an EUV mask,
• le masque est un masque de type masque à décalage de phase.• the mask is a mask of phase shift mask type.
Et l'invention propose un miroir réalisé par un procédé selon l'invention. Des aspects préférés, mais non limitatifs du miroir selon l'invention sont les suivants :And the invention provides a mirror produced by a method according to the invention. Preferred, but not limiting, aspects of the mirror according to the invention are the following:
• le miroir est destiné à réfléchir des rayons X,• the mirror is intended to reflect X-rays,
• le miroir comporte un réseau de régions s'étendant selon une direction générale et définissant un décalage de phase de leur rayonnement réfléchi,The mirror comprises a network of regions extending in a general direction and defining a phase shift of their reflected radiation,
• le miroir présente une région courbe centrée autour d'une direction perpendiculaire à la direction générale d'allongement desdites régions.• the mirror has a curved region centered around a direction perpendicular to the general direction of elongation of said regions.
Enfin, l'invention propose selon un autre aspect l'utilisation du procédé selon l'un des aspects ci-dessus pour rectifier les propriétés optiques d'une structure multicouche. Et une telle structure multicouche peut être un miroir de lithographie EUV, la rectification comprenant la neutralisation des propriétés de phase du miroir.Finally, the invention proposes according to another aspect the use of the method according to one of the above aspects to rectify the optical properties of a multilayer structure. And such a multilayer structure can be an EUV lithography mirror, the rectification comprising the neutralization of the phase properties of the mirror.
D'autres aspects, buts et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description suivante d'une forme de réalisation de l'invention, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels :Other aspects, aims and advantages of the invention will appear better on reading the following description of an embodiment of the invention, made with reference to the appended drawings in which:
• la figure 1 est une représentation schématique de l'installation permettant de mettre en œuvre l'invention,FIG. 1 is a schematic representation of the installation making it possible to implement the invention,
• la figure 2 est un graphe montrant l'évolution de la position du pic de réflectivité d'une structure multicouche après avoir été soumise à un faisceau énergétique,FIG. 2 is a graph showing the evolution of the position of the reflectivity peak of a multilayer structure after having been subjected to an energy beam,
• la figure 3 est un graphe montrant les caractéristiques de réflectivité d'une structure reflective multicouche, et de phase du rayonnement réfléchi par une telle structure, • la figure 4 est un schéma illustrant un miroir pour rayons X traité selon l'invention.• Figure 3 is a graph showing the reflectivity characteristics of a multi-layer reflective structure, and the phase of the radiation reflected by such a structure, • Figure 4 is a diagram illustrating an X-ray mirror treated according to the invention.
En référence à la figure 1, on a représenté de manière schématique une installation permettant de mettre en oeuvre l'invention.Referring to Figure 1, there is shown schematically an installation for implementing the invention.
Cette installation comprend une source 10 qui est apte à émettre un faisceau énergétique 20.This installation comprises a source 10 which is capable of emitting an energy beam 20.
Le faisceau énergétique 20 peut être un faisceau de particules. Dans ce cas, les particules du faisceau peuvent être par exemple des ions, mais également des électrons, des molécules, etc..The energy beam 20 can be a particle beam. In this case, the beam particles can be, for example, ions, but also electrons, molecules, etc.
Le faisceau 20 peut également être un faisceau de rayonnement pur, par exemple un faisceau de photons, de rayons X, ...The beam 20 can also be a beam of pure radiation, for example a beam of photons, X-rays, etc.
La source 10 peut ainsi être de type connu en soi, par exemple une source d'électrons similaire à celles employées pour le gravage de la résine photosensible de masques pour lithographie.The source 10 can thus be of a type known per se, for example an electron source similar to those used for the etching of the photosensitive resin of masks for lithography.
Dans tous les cas, le faisceau 20 est un faisceau capable d'altérer la structure du multicouche 30 qui est exposé au faisceau 20 et de modifier l'épaisseur des couches de ce multicouche par son apport d'énergie. On précise que l'apport d'énergie du faisceau au multicouche peut provenir directement de l'énergie du faisceau, dans le cas d'un faisceau énergétique.In all cases, the beam 20 is a beam capable of altering the structure of the multilayer 30 which is exposed to the beam 20 and of modifying the thickness of the layers of this multilayer by its supply of energy. It is specified that the energy supply from the beam to the multilayer can come directly from the energy of the beam, in the case of an energy beam.
Et il est également possible que cette énergie apportée au multicouche provienne d'une réaction suscitée par la rencontre du faisceauAnd it is also possible that this energy brought to the multilayer comes from a reaction caused by the meeting of the beam
20 et du multicouche 30. Une telle réaction peut être par exemple une réaction chimique (cas d'un faisceau de particules d'oxygène qui viennent oxyder le multicouche), ou une réaction de type nucléaire.20 and multilayer 30. Such a reaction can for example be a chemical reaction (case of a beam of oxygen particles which come to oxidize the multilayer), or a nuclear type reaction.
Le multicouche 30 comprend un substrat 31, et un empilement 32 de couches alternées.The multilayer 30 comprises a substrate 31, and a stack 32 of alternating layers.
Le substrat 31 est de préférence réalisé dans un matériau dont le coefficient d'expansion thermique est bas, par exemple du zerodur ou du ULE (marques déposées - zerodur étant un produit de la société Schott, et ULE un produit de la société Corning). L'empilement 32 comporte une alternance de couches (par exemple de Mo et de Si) dont les propriétés optiques de réflectivité permettent de réfléchir le rayonnement d'une source de longueur d'onde donnée (non représentée sur la figure).The substrate 31 is preferably made of a material whose coefficient of thermal expansion is low, for example zerodur or ULE (registered trademarks - zerodur being a product of the company Schott, and ULE a product of the company Corning). The stack 32 comprises an alternation of layers (for example of Mo and of Si) whose optical properties of reflectivity make it possible to reflect the radiation of a source of given wavelength (not shown in the figure).
Et les propriétés spécifiques de réflectivité de l'empilement de couches 32 déterminent une plage de longueurs d'onde pour lesquelles le rayonnement sera effectivement réfléchi.And the specific reflectivity properties of the stack of layers 32 determine a range of wavelengths for which the radiation will be effectively reflected.
On comprend donc qu'une structure multicouche donnée peut réfléchir des rayonnements à l'intérieur d'une plage donnée de longueurs d'onde. Plus précisément, exposée à un rayonnement incident d'amplitude et de longueur d'onde données, une structure multicouche reflective réfléchit un rayonnement dont l'amplitude varie en fonction de la longueur d'onde du rayonnement incident.It is therefore understood that a given multilayer structure can reflect radiation within a given range of wavelengths. More precisely, exposed to incident radiation of given amplitude and wavelength, a reflective multilayer structure reflects radiation whose amplitude varies as a function of the wavelength of the incident radiation.
Ce principe, qui est exploité dans l'invention, est illustré sur le graphe de la figure 2.This principle, which is used in the invention, is illustrated in the graph in FIG. 2.
Ce graphe représente l'évolution pour une structure reflective multicouche, du coefficient de réflectivité R (qui traduit la proportion d'énergie lumineuse renvoyée par le rayonnement réfléchi), en fonction de la longueur d'onde λ du rayonnement incident.This graph represents the evolution for a multilayer reflective structure, of the reflectivity coefficient R (which translates the proportion of light energy returned by the reflected radiation), as a function of the wavelength λ of the incident radiation.
On constate qu'il existe une longueur d'onde Λl pour laquelle la réflectivité de la structure est maximale, et que cette longueur d'onde Λ correspond à un pic de réflectivité bien marqué.It is noted that there exists a wavelength Λl for which the reflectivity of the structure is maximum, and that this wavelength Λ corresponds to a well marked peak of reflectivity.
Ainsi, chaque structure reflective est associée à un pic de réflectivité qui est déterminé par une longueur d'onde donnée : la structure réfléchit mieux les rayonnements dont la longueur d'onde est égale à, ou très proche de, cette longueur d'onde Λl (qui est représentée par un paramètre de "période", Λl étant égal, ou étroitement lié, à la période).Thus, each reflective structure is associated with a reflectivity peak which is determined by a given wavelength: the structure better reflects radiation whose wavelength is equal to, or very close to, this wavelength Λl (which is represented by a "period" parameter, Λl being equal to, or closely related to, the period).
On précise que les propriétés de réflectivité de la structure 30 sont elles-mêmes déterminées d'une part par la nature des matériaux mis en œuvre dans l'empilement 32, et d'autre part par l'épaisseur des couches de cet empilement. La structure 30 peut être tout type de structure multicouche présentant des propriétés optiques de réflectivité, par exemple toute structure dont on désire altérer selon un motif désiré et de manière contrôlée les propriétés optiques.It is specified that the reflectivity properties of the structure 30 are themselves determined on the one hand by the nature of the materials used in the stack 32, and on the other hand by the thickness of the layers of this stack. The structure 30 can be any type of multilayer structure having optical properties of reflectivity, for example any structure whose optical properties it is desired to alter in a desired pattern and in a controlled manner.
On rappelle que l'altération dont il est ici question correspond à une modification permanente et irréversible des propriétés optiques de la structure.It is recalled that the alteration in question here corresponds to a permanent and irreversible modification of the optical properties of the structure.
La structure 30 peut ainsi être un support multicouche réflectif sur lequel on désire mettre en œuvre l'invention pour réaliser des motifs de raies diffractives (« grating » en anglais), de la lumière naturelle ou d'un autre type de rayonnement.The structure 30 can thus be a reflective multilayer support on which it is desired to implement the invention to produce patterns of diffractive lines ("grating" in English), natural light or another type of radiation.
La structure peut également être tout type de miroir multicouche, plan ou courbe.The structure can also be any type of multilayer mirror, flat or curved.
Cette structure peut également être une structure que l'on désire traiter de manière exclusivement locale, par exemple à des fins de réparation ou de correction de défauts. On peut ainsi selon l'invention réparer ou corriger des structures telles que des masques réflectifs ou autres.This structure can also be a structure which it is desired to treat exclusively locally, for example for the purpose of repairing or correcting faults. It is thus possible according to the invention repair or correct structures such as reflective masks or others.
Et comme on l'a dit, dans une application préférée de l'invention la structure 30 est un blanc de masque réflectif pour la lithographie EUV, adapté pour réfléchir un rayonnement dont la longueur d'onde principale peut être par exemple de l'ordre de 13,5 nm (bien que d'autres valeurs du spectre EUV qui comme on l'a dit couvre les longueurs d'onde de 10 à 14 nm - par exemple et de manière non limitative 13,4 ou 13,5 nm soient évidemment envisageables). Ceci signifie que le pic de réflectivité d'un tel blanc de masque se trouve à une longueur d'onde correspondante (en l'occurrence une longueur d'onde de l'ordre de 13,5 nm).And as we have said, in a preferred application of the invention, the structure 30 is a white of a reflective mask for EUV lithography, suitable for reflecting a radiation whose main wavelength can for example be of the order of 13.5 nm (although other values of the EUV spectrum which, as we have said, cover the wavelengths of 10 to 14 nm - for example and without limitation 13.4 or 13.5 nm are obviously possible). This means that the reflectivity peak of such a mask blank is at a corresponding wavelength (in this case a wavelength of the order of 13.5 nm).
Des moyens 40 d'orientation contrôlée du faisceau permettent d'orienter ledit faisceau vers des régions désirées de la structure 30, et de déplacer le faisceau sur la structure selon un motif prédéterminé.Means 40 for controlled orientation of the beam make it possible to orient said beam towards desired regions of the structure 30, and to move the beam over the structure according to a predetermined pattern.
De la sorte, on altère des régions désirées de la structure par suite de l'interaction du faisceau énergétique 20 et des couches de l'empilement 32.In this way, desired regions of the structure are altered as a result of the interaction of the energy beam 20 and the layers of the stack 32.
Mais contrairement au procédé du type de celui décrit dans le document US 5 503 950, on ne détruit pas dans le procédé selon l'invention la structure multicouche.However, unlike the process of the type described in document US Pat. No. 5,503,950, the multilayer structure is not destroyed in the process according to the invention.
Dans le cas présent au contraire, l'exposition de la structure est contrôlée de manière à ce que la région de la structure exposée au faisceau 20 ne soit pas détruite, mais que l'épaisseur des couches de l'empilement soit simplement modifiée de manière à changer de manière désirée la période de cet empilement.In the present case, on the contrary, the exposure of the structure is controlled so that the region of the structure exposed to the beam 20 is not destroyed, but that the thickness of the layers of the stack is simply modified so to change the period of this stacking as desired.
On déplace ainsi de manière contrôlée le pic de réflectivité de la région de la structure exposée, dans le spectre de longueurs d'onde.The reflectivity peak of the region of the exposed structure is thus moved in a controlled manner in the wavelength spectrum.
En effet, la Demanderesse a observé qu'une exposition limitée et contrôlée d'une structure multicouche telle que décrite ci-dessus aboutissait à un tel déplacement du pic de réflectivité de ladite région. En d'autres termes, on ne supprime pas la réflectivité, mais on la déplace dans le spectre de longueurs d'onde.Indeed, the Applicant has observed that a limited and controlled exposure of a multilayer structure as described above resulted in such a displacement of the reflectivity peak of said region. In other words, we do not remove the reflectivity, but we move it in the wavelength spectrum.
On ne rend ainsi pas des régions « absorbantes » dans l'absolu, on les rend absorbantes pour une gamme de longueurs d'onde donnée, les propriétés de réflectivité de ces régions demeurant pour d'autres longueurs d'onde.Thus, regions are not made "absorbent" in absolute terms, they are made absorbent for a given wavelength range, the reflectivity properties of these regions remaining for other wavelengths.
Ce principe est exposé sur le graphe de la figure 2, qui montre le pic de réflectivité situé en Λl d'une région de la structure avant son exposition au faisceau 20, et le pic de réflectivité situé en Λ2 et correspondant à la même région après son exposition audit faisceau.This principle is exposed on the graph of FIG. 2, which shows the reflectivity peak located in Λl of a region of the structure before its exposure to the beam 20, and the reflectivity peak located in Λ2 and corresponding to the same region after its exposure to said beam.
Et les propriétés réflectives des régions de la structure 30 qui sont exposées de manière contrôlée au faisceau 20 sont ainsi altérées de manière désirée, de sorte que ces régions sont après exposition encore capables de réfléchir un rayonnement avec une intensité comparable du rayonnement réfléchi, mais uniquement dans la mesure où le rayonnement incident a une longueur d'onde qui correspond au nouveau pic de réflectivité de la région traitée.And the reflective properties of the regions of the structure 30 which are exposed in a controlled manner to the beam 20 are thus altered in a desired manner, so that these regions are, after exposure, still capable of reflecting radiation with a comparable intensity of the reflected radiation, but only insofar as the incident radiation has a wavelength which corresponds to the new reflectivity peak of the region treated.
Ce déplacement du pic de réflectivité est en outre lui-même contrôlé, dans la mesure où on adapte l'exposition de manière à amener le pic de réflectivité de la région exposée à une valeur désirée, différente de la valeur du pic de réflectivité des régions de la structure qui ne sont pas exposées au faisceau 20.This displacement of the reflectivity peak is also itself controlled, insofar as the exposure is adjusted so as to bring the reflectivity peak of the exposed region to a desired value, different from the value of the region reflectivity peak. of the structure which are not exposed to the beam 20.
Le contrôle de l'exposition peut se faire en adaptant le temps d'exposition de chaque région individuelle de la structure au faisceau 20. Le contrôle d'exposition peut également mettre en œuvre une modification temporaire et contrôlée de l'énergie du faisceau 20.The exposure control can be done by adapting the exposure time of each individual region of the structure to the beam 20. The exposure control can also implement a temporary and controlled modification of the energy of the beam 20.
Il est ainsi possible de traiter toute région désirée de la structure 30, pour décaler de manière contrôlée le pic de réflectivité de la région.It is thus possible to process any desired region of the structure 30, in order to offset the reflectivity peak of the region in a controlled manner.
Partant d'une structure telle qu'un blanc de masque de lithographie EUV dont le pic de réflectivité correspond à la longueur d'onde d'une source EUV (par exemple 13,5 nm), il est ainsi possible selon l'invention de traiter certaines régions du masque pour déplacer leur pic de réflectivité de manière à ce que lesdites régions ne réfléchissent pas la lumière de la source EUV.Starting from a structure such as an EUV lithography mask blank, the reflectivity peak of which corresponds to the wavelength of an EUV source (for example 13.5 nm), it is thus possible according to the invention to process certain regions of the mask to shift their reflectivity peak from so that said regions do not reflect light from the EUV source.
On constitue de la sorte le masque EUV.This constitutes the EUV mask.
Et on comprend qu'il est possible de la sorte de traiter des régions désirées d'une structure réfléchissante, en fonction de la longueur d'onde de la source de rayonnement avec laquelle la structure est destinée à coopérer une fois traitée.And it is understood that it is possible in this way to treat the desired regions of a reflecting structure, as a function of the wavelength of the radiation source with which the structure is intended to cooperate once treated.
En effet, on traitera alors des régions spécifiques de cette structure pour les rendre non réfléchissantes vis à vis du rayonnement spécifique de cette source.In fact, specific regions of this structure will then be treated to make them non-reflective with respect to the specific radiation of this source.
Il est possible de traiter de la sorte une structure en « négatif », en traitant certaines régions de manière à déplacer leur pic de réflectivité en vue de les rendre non réfléchissantes pour une source de rayonnement de longueur d'onde donnée, alors que les régions non traitées de la structure ont intrinsèquement un pic de réflectivité correspondant à la longueur d'onde de cette source et seront donc réfléchissantes pour son rayonnement.It is possible to treat a “negative” structure in this way, by treating certain regions so as to shift their reflectivity peak in order to make them non-reflective for a radiation source of given wavelength, while the regions untreated structure intrinsically have a reflectivity peak corresponding to the wavelength of this source and will therefore be reflective for its radiation.
Il est également possible de traiter des régions de la structure enIt is also possible to treat regions of the structure by
« positif », en provoquant le déplacement de leur pic de réflectivité de manière à ce qu'il corresponde au contraire à la longueur d'onde d'une source de rayonnement et que les régions traitées soient donc rendues réflectives pour cette source, alors que la structure avait à l'origine une période qui ne correspondait pas à la longueur d'onde de la source de sorte qu'elle ne réfléchissait pas son rayonnement. Selon une variante avantageuse de l'invention, il est possible de définir sur la surface de la structure à traiter des régions que l'on souhaite traiter différemment, non seulement en les rendant sélectivement réflectives ou non réflectives pour une longueur d'onde donnée, mais en dégradant en outre de manière contrôlée les propriétés de réflectivité de ces régions vis à vis d'une longueur d'onde donnée."Positive", by causing their reflectivity peak to shift so that, on the contrary, it corresponds to the wavelength of a radiation source and the regions treated are therefore made reflective for this source, while the structure originally had a period which did not correspond to the wavelength of the source so that it did not reflect its radiation. According to an advantageous variant of the invention, it is possible to define on the surface of the structure to be treated regions which it is desired to treat differently, not only by making them selectively reflective or non-reflective for a given wavelength, but also by degrading in a controlled manner the reflectivity properties of these regions with respect to a given wavelength.
On peut ainsi constituer sur la structure des régions dont la réponse lumineuse réfléchie à un rayonnement de longueur d'onde donnée est plus ou moins importante, en définissant avec finesse le changement de période (et donc le décalage du pic de réflectivité) de chaque région.One can thus constitute on the structure of the regions whose reflected light response to a radiation of given wavelength is more or less important, by finely defining the change of period (and therefore the offset of the reflectivity peak) of each region.
Il est ainsi possible de constituer des structures dont la réponse en réflexion à un rayonnement de longueur d'onde donnée est de nature « analogique », les différentes régions ayant des pics de réflectivité décalés différemment de manière à rester réflectives pour le rayonnement de la source, mais avec des coefficients de réflectivité différents - on construit de la sorte une structure dont les différentes régions réfléchissent enIt is thus possible to constitute structures whose response in reflection to a radiation of given wavelength is of an "analog" nature, the different regions having reflectivity peaks shifted differently so as to remain reflective for the radiation of the source. , but with different reflectivity coefficients - we build in this way a structure whose different regions reflect in
« niveaux de gris » différents. Selon une autre variante de l'invention indépendante des dispositions décrites ci-dessus et pouvant être combinée avec elles, il est possible de traiter différentes régions d'une structure multicouche réfléchissante en vue de la coopération de la structure avec non pas une, mais plusieurs sources de rayonnement, le rayonnement de chaque source pouvant avoir une longueur d'onde différente de la longueur d'onde des autres sources.Different "grayscale". According to another variant of the invention independent of the arrangements described above and which can be combined with them, it is possible to treat different regions of a reflective multilayer structure with a view to the cooperation of the structure with not one, but several radiation sources, the radiation from each source may have a wavelength different from the wavelength of other sources.
Dans ce cas, chaque région pourra être sélectivement réfléchissante ou non réfléchissante, pour chacune des sources.In this case, each region could be selectively reflective or non-reflective, for each of the sources.
Et il est possible d'élaborer alors par exemple une structure reflective ayant des propriétés optiques différentes pour différentes longueurs d'onde, en exposant la structure à une séquence d'illuminations de différentes sources de longueurs d'onde respectives différentes.And it is then possible, for example, to develop a reflective structure having different optical properties for different wavelengths, by exposing the structure to a sequence of illuminations from different sources of different respective wavelengths.
Dans ce cas, chaque région de la structure est traitée de manière à réfléchir, ou non, chaque rayonnement d'une source individuelle de manière sélective. La région constitue alors un motif sensible uniquement pour ladite source, son comportement étant « transparent » pour les autres sources dont les rayonnements ont des longueurs d'onde différentes.In this case, each region of the structure is treated so as to reflect, or not, each radiation of an individual source in a selective manner. The region then constitutes a sensitive pattern only for said source, its behavior being "transparent" for other sources whose radiation has different wavelengths.
On peut ainsi exploiter plusieurs comportements différents de la structure selon la longueur d'onde à laquelle elle est exposée ; des motifs différents peuvent ainsi être définis en transmission et/ou en réflexion pour chaque longueur d'onde d'illumination de la structure. Bien entendu, ce principe n'est nullement limité à la réalisation d'une structure pouvant se comporter différemment sous plusieurs illuminations de longueurs d'onde différentes à des fins de gravage : on peut traiter de la sorte toute structure réfléchissante dont on souhaite exploiter des motifs de réflexion différents pour des longueurs d'onde différentes.We can thus exploit several different behaviors of the structure according to the wavelength to which it is exposed; different patterns can thus be defined in transmission and / or in reflection for each wavelength of illumination of the structure. Of course, this principle is by no means limited to the production of a structure which can behave differently under several illuminations of different wavelengths for engraving purposes: any reflective structure which one wishes to exploit can be treated in this way. different reflection patterns for different wavelengths.
Et il est également possible de contrôler selon l'invention la répartition spatiale de phase du rayonnement réfléchi par les différentes régions de la structure 30.And it is also possible according to the invention to control the spatial phase distribution of the radiation reflected by the different regions of the structure 30.
En effet, le rayonnement réfléchi par la région de la structure peut être décrit par la formule A.ei(Kλ+φ).Indeed, the radiation reflected by the region of the structure can be described by the formula Ae i (Kλ + φ) .
Et comme illustré sur la figure 3, la période Λ associée à une région de la structure multicouche ne définit pas seulement un maximum de réflectivité, mais également une région de changement pour la phase Φ de ce rayonnement réfléchi. Plus précisément, on observe un déphasage ΔΦ de l'ordre de 180 degrés de part et d'autre de la longueur d'onde Λ correspondant à la période de la région en question.And as illustrated in FIG. 3, the period Λ associated with a region of the multilayer structure does not only define a maximum of reflectivity, but also a region of change for the phase Φ of this reflected radiation. More precisely, there is a phase shift ΔΦ of the order of 180 degrees on either side of the wavelength Λ corresponding to the period of the region in question.
En modifiant de manière désirée la période de ladite région par exposition contrôlée au faisceau 20, on modifie donc également les caractéristiques de phase du rayonnement réfléchi.By modifying the period of said region in a desired manner by controlled exposure to the beam 20, the phase characteristics of the reflected radiation are therefore also modified.
Et on peut donc « dessiner » sur la structure 30 des régions dont le rayonnement réfléchi sous exposition à une source de longueur d'onde déterminée présente un déphasage désiré.And it is therefore possible to “draw” on the structure 30 regions whose radiation reflected under exposure to a source of determined wavelength has a desired phase shift.
Un tel contrôle est en particulier intéressant dans la mesure où il permet, à partir d'une telle structure, d'obtenir une image avec un contraste amélioré.Such control is in particular advantageous insofar as it makes it possible, from such a structure, to obtain an image with improved contrast.
On peut de la sorte constituer par exemple des masques de lithographie EUV présentant des caractéristiques de masque à décalage de phase (« Phase Shifting Mas s » - PSM - selon la terminologie anglo- saxonne répandue). Comme on l'a vu ci-dessus, une application avantageuse de l'invention est la réalisation de masques réflectifs de lithographie.In this way it is possible, for example, to form EUV lithography masks having phase shift mask characteristics ("Phase Shifting Mas s" - PSM - according to the widely used English terminology). As seen above, an advantageous application of the invention is the production of reflective lithography masks.
Une autre application de l'invention consiste à rectifier les propriétés optiques de structures multicouches telles que des miroirs (en particulier des miroirs destinés à réfléchir des rayonnements EUV dans des dispositifs de lithographie EUV).Another application of the invention consists in correcting the optical properties of multilayer structures such as mirrors (in particular mirrors intended to reflect EUV radiation in EUV lithography devices).
En effet, de telles structures doivent respecter des spécifications draconiennes en termes de réflectivité. En particulier, les miroirs mis en œuvre dans les dispositifs de lithographie EUV doivent réfléchir le rayonnement EUV sans induire de distorsion de la phase du rayonnement.Indeed, such structures must meet draconian specifications in terms of reflectivity. In particular, the mirrors used in the EUV lithography devices must reflect the EUV radiation without inducing distortion of the phase of the radiation.
Et il est possible qu'un miroir se révèle réfléchir un rayonnement (en particulier EUV comme on l'a dit) en induisant des perturbations telles qu'un effet de distorsion du front d'onde (les propriétés de phase du miroir n'étant pas neutres alors qu'elles devraient l'être). Dans ce cas, l'invention peut être mise en œuvre pour rectifier les propriétés optiques de la structure (en l'occurrence, en neutralisant les décalages de phase induits par un miroir fonctionnant hors spécifications).And it is possible that a mirror turns out to reflect a radiation (in particular EUV as we said) by inducing disturbances such as a distortion effect of the wavefront (the phase properties of the mirror not being not neutral when they should be). In this case, the invention can be implemented to correct the optical properties of the structure (in this case, by neutralizing the phase shifts induced by a mirror operating outside specifications).
Une autre application encore de l'invention concernant les miroirs courbes pour rayons X est illustrée sur la figure 4. Sur cette figure, la structure multicouche 30 est un miroir destiné à réfléchir des rayons X.Yet another application of the invention relating to curved mirrors for X-rays is illustrated in FIG. 4. In this figure, the multilayer structure 30 is a mirror intended to reflect X-rays.
La surface de ce miroir est courbe, l'épaisseur du multicouche étant variable.The surface of this mirror is curved, the thickness of the multilayer being variable.
Plus précisément, la surface du miroir définit une portion cylindrique, l'axe du cylindre étant parallèle à une direction représentée sur la figure par l'axe A1.More precisely, the surface of the mirror defines a cylindrical portion, the axis of the cylinder being parallel to a direction represented in the figure by the axis A1.
De la sorte, le miroir effectue une focalisation des rayons X incidents (notés X1) selon une direction perpendiculaire à la direction de l'axe A1.In this way, the mirror focuses the incident X-rays (denoted X1) in a direction perpendicular to the direction of the axis A1.
Le miroir 30 a été traité selon l'invention pour constituer sur sa surface réfléchissante un réseau de régions R qui demeurent réfléchissantes pour les rayons X incidents, mais qui induisent un décalage de phase de leur rayonnement réfléchi X2. Ces régions ont chacune la forme d'une bande allongée, toutes les régions s'étendant parallèlement selon une direction générale A2 qui est perpendiculaire à la direction A1.The mirror 30 has been treated according to the invention to constitute on its reflecting surface a network of regions R which remain reflective for the incident X-rays, but which induce a phase shift of their reflected radiation X2. These regions each have the shape of an elongated strip, all the regions extending parallel in a general direction A2 which is perpendicular to the direction A1.
De la sorte, on effectue une deuxième focalisation des rayons X1 , de sorte que les rayons X2 réfléchis sont focalisés selon deux directions perpendiculaires sur un point désiré. In this way, a second focusing of the X1 rays is carried out, so that the reflected X2 rays are focused in two perpendicular directions at a desired point.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé d'altération des propriétés réflectives de régions désirées d'une structure multicouche (30) destinée à être exposée à un rayonnement de longueur d'onde donnée et à modifier de manière désirée ledit rayonnement par réflexion, ledit procédé d'altération mettant en œuvre l'exposition de la structure à un faisceau (20) énergétique, caractérisé en ce que le procédé comprend le contrôle de l'exposition des régions désirées de la structure multicouche audit faisceau de particules, de manière à déplacer de manière désirée dans le spectre de longueur d'onde la valeur du pic de réflectivité (Λ1) de chaque région de la structure.1. Method for altering the reflective properties of desired regions of a multilayer structure (30) intended to be exposed to radiation of given wavelength and to modify said radiation by reflection in a desired manner, said alteration method implementing the exposure of the structure to an energy beam (20), characterized in that the method comprises controlling the exposure of the desired regions of the multilayer structure to said beam of particles, so as to move in the desired manner in the wavelength spectrum the value of the reflectivity peak (Λ1) of each region of the structure.
2. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la structure est un masque réflectif de lithographie.2. Method according to the preceding claim, characterized in that the structure is a reflective lithography mask.
3. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rayonnement de longueur d'onde donnée auquel la structure est destinée à être exposée est un rayonnement EUV.3. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the radiation of given wavelength to which the structure is intended to be exposed is EUV radiation.
4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la structure est une structure comprenant un réseau de raies diffractives.4. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the structure is a structure comprising a network of diffractive lines.
5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit contrôle d'exposition est effectué en adaptant le temps d'exposition de chaque région individuelle de la structure au faisceau.5. Method according to one of the preceding claims, characterized in that said exposure control is carried out by adapting the exposure time of each individual region of the structure to the beam.
6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit contrôle d'exposition met en œuvre une modification temporaire et contrôlée de l'énergie du faisceau 20. 6. Method according to one of the preceding claims, characterized in that said exposure control implements a temporary and controlled modification of the energy of the beam 20.
7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'altération des propriétés réflectives de ladite région se fait par modification de période de la région.7. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the alteration of the reflective properties of said region is done by period modification of the region.
8. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'altération des propriétés réflectives de ladite région constitue un traitement « en négatif » de la région.8. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the alteration of the reflective properties of said region constitutes a "negative" treatment of the region.
9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'altération des propriétés réflectives de ladite région constitue un traitement « en positif » de la région.9. Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that the alteration of the reflective properties of said region constitutes a "positive" treatment of the region.
10. Masque réflectif de lithographie réalisé par un procédé selon l'une des revendications précédentes.10. Reflective lithography mask produced by a method according to one of the preceding claims.
11. Masque selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le masque est un masque EUV.11. Mask according to the preceding claim, characterized in that the mask is an EUV mask.
12. Masque selon l'une des deux revendications précédentes, caractérisé en ce que le masque est un masque de type masque à décalage de phase.12. Mask according to one of the two preceding claims, characterized in that the mask is a mask of the phase shift mask type.
13. Miroir réalisé par un procédé selon l'une des revendications 1 à 9.13. Mirror produced by a method according to one of claims 1 to 9.
14. Miroir selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il est destiné à réfléchir des rayons X.14. Mirror according to the preceding claim, characterized in that it is intended to reflect X-rays.
15. Miroir selon l'une des deux revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un réseau de régions ( R ) s'étendant selon une direction générale (A2) et définissant un décalage de phase de leur rayonnement réfléchi. 15. Mirror according to one of the two preceding claims, characterized in that it comprises a network of regions (R) extending in a general direction (A2) and defining a phase shift of their reflected radiation.
16. Miroir selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il présente une région courbe centrée autour d'une direction (A1) perpendiculaire à la direction générale d'allongement desdites régions.16. Mirror according to the preceding claim, characterized in that it has a curved region centered around a direction (A1) perpendicular to the general direction of elongation of said regions.
17. Utilisation du procédé selon l'une des revendications 1 à 9 pour rectifier les propriétés optiques d'une structure multicouche.17. Use of the method according to one of claims 1 to 9 to correct the optical properties of a multilayer structure.
18. Utilisation selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la structure multicouche est un miroir de lithographie EUV et la rectification comprend la neutralisation des propriétés de phase du miroir. 18. Use according to the preceding claim, characterized in that the multilayer structure is an EUV lithography mirror and the rectification comprises neutralization of the phase properties of the mirror.
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