EP1293041A1 - Recursive saw-filter with a low chip length - Google Patents

Recursive saw-filter with a low chip length

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Publication number
EP1293041A1
EP1293041A1 EP01942991A EP01942991A EP1293041A1 EP 1293041 A1 EP1293041 A1 EP 1293041A1 EP 01942991 A EP01942991 A EP 01942991A EP 01942991 A EP01942991 A EP 01942991A EP 1293041 A1 EP1293041 A1 EP 1293041A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
tracks
wave filter
different
filter according
track
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP01942991A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Andreas Bergmann
Joachim Gerster
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TDK Electronics AG
Original Assignee
Epcos AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Epcos AG filed Critical Epcos AG
Publication of EP1293041A1 publication Critical patent/EP1293041A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
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    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers

Definitions

  • SAW filters also called SAW filters for short, can be used, for example, as intermediate frequency filters in the receiving section of a mobile telephone. They have to meet various requirements, in particular a sufficiently wide pass band, a high slope and the best possible selection on the smallest possible chip area.
  • a maximum edge steepness can be achieved with a filter with an extended impulse response, since the edge steepness is directly dependent on the length of the impulse response.
  • the length of the impulse response is determined directly from the length of the interdigital transducers used for the electroacoustic conversion. Given the maximum chip length permitted by the specification, it is therefore not possible to meet the specifications required for mobile telephones with a transversal filter. For this reason, technologies in which the propagation path of the surface wave is folded have become established in mobile telephones. With the help of reflective structures, resonance spaces are created on the surface of the filter, which serve to achieve a greater edge steepness with the resulting longer impulse response.
  • a given length of the impulse response can be used to achieve the most favorable compromise between passband behavior, ie the shape of the passband or passband, the slope and the selection, ie the suppression of signals in the blocked area. If the first two requirements are to be met by a transducer with a minimal length, its selection is necessarily insufficient.
  • Another possibility is to implement a filter with the desired transmission behavior in several acoustic tracks, in which the same transducers are connected in parallel or antiparallel.
  • the frequency-dependent reflection at the acoustic transducer gates is used to additionally influence the transmission function.
  • Another possibility is to use an SAW filter with exactly two different acoustic tracks, in which two interdigital transducers are connected in parallel both at the filter input and at the filter output.
  • a larger number of degrees of freedom in the design of the Filters achieved. This improves the selection of the filter in particular, which is significantly larger for the overall filter than for a single track or for a partial filter.
  • improvements in the selection of the overall filter compared to the selection of the individual tracks are only achieved if the transfer functions of the two individual tracks in the blocking area are of the same amount and opposite phase, since only then can undesired signals in the blocking area be extinguished.
  • the object of the present invention is therefore to provide an SAW filter which can implement the required requirements for the transmission behavior on a reduced chip length.
  • the structure of the filter should be such that fault tolerances during production do not lead to a deterioration in the transmission behavior of the overall filter.
  • the invention achieves an improved transmission behavior of the filter with a chip length that is reduced compared to the prior art in that at least three acoustic tracks are electrically connected in series or in parallel.
  • Each track comprises at least two interdigital converters serving as input and output converters, which can be arranged in each track between two reflectors.
  • the at least three tracks are different from one another, so that the requirements for the filter transfer function can be divided among all different tracks.
  • the interconnection of these tracks has the advantage that up to six different converters can be arranged in the filter, with which even complex optimization problems can be solved.
  • Each acoustic track represents a sub-filter, with at least At least one sub-filter has a phase angle between the centers of excitation and reflection which is different from 90 °, or a multiple thereof.
  • At least one partial filter is therefore a filter with directional reflection, in particular a SPUDT filter.
  • Each of the at least three tracks can solve an optimization problem for the filter, whereby the parallel transmission or the series connection of the input and / or output converters of the individual tracks results in the desired transmission behavior only when the signals of all three acoustic tracks are superimposed.
  • the interconnection of three or more lanes according to the invention is advantageous because it can be optimized more easily for a desired behavior.
  • the transfer functions of the two individual tracks in the restricted area are of the same amount and opposite phase. Only then will the partial transfer functions in the blocked area be deleted and the selection is greater both in the parallel connection and in the series connection than in the individual tracks. Given a transmission behavior of a first track, this has the consequence in the known two-track arrangement that the second track can no longer be freely optimized, but must be designed in almost all functions depending on the properties of the first track.
  • a complex pointer is understood to be a vector which is determined by the magnitude and phase of the signal, it being possible for the complex pointer to be defined both in the time and in the frequency domain.
  • the third and possibly the further tracks mean that the first two tracks can be designed completely independently of one another. The third track and possibly the further tracks then ensure that the sum of the complex pointers within the entire stop band area approaches zero.
  • the variation of the sub-filter or the acoustic tracks can be done in different ways. It is possible, for example, to provide different interdigital converters in the three tracks, with up to six different converters being able to be present in three tracks. It is also possible to design the interdigital converters only partially differently.
  • Another possibility is to arrange an additional lattice structure within at least one track, which is not electrically connected to one of the interdigital transducers. If the lattice structure is arranged between the input and output converters of a track, it can be in this
  • the lattice structure is preferably connected to ground.
  • a metallized strip can alternatively also be arranged between the transducers.
  • a lattice structure is understood to mean a regular stripe structure which is arranged, for example, on a ⁇ / 2 grid.
  • the strips arranged vertically to the direction of wave propagation can be connected to one another, or alternatively also individual strips without a mutual connection.
  • the length of a lattice structure can be in the range of 5 to 20 wave trains, for example, but is not limited to this length.
  • the lattice structure is preferably reflection-free. This can be achieved with a split finger structure ( ⁇ / 8 or ⁇ / 6 fingers).
  • the grating structure between an interdigital transducer and a reflector in one or more tracks. With the help of this lattice structure additional reflection centers and thus also additional resonance spaces within the tracks are created. Since each resonance room can have its own resonance frequency, the pass band can be influenced with the help of these additional resonance rooms. It is also possible to arrange more than one lattice structure within a track, the position within the track being arbitrary. Reflective and reflection-free grating structures can also be provided together in one track.
  • the necessary fine-tuning for adjusting the overall signal in particular for destructively extinguishing the complex pointers in the restricted area, can be used by reducing (or enlarging) the aperture. Since the aperture is infinitely variable, the amount of the complex pointers of the third track can be changed infinitely, so that an easier comparison with the other two tracks is possible.
  • the aperture of a track is preferably varied when the other two tracks already show a close approximation to the desired transmission behavior, so that only the last fine adjustment has to be carried out with the aid of the third track. For this purpose, the aperture is usually reduced compared to the other two tracks.
  • a further possibility for varying the track according to the invention and thus the filter properties consists in setting the distance between the excitation and reflection centers between the input and output transducers of a track to a value which is one value apart from the distance in a further track differs, which is not a multiple of half the wavelength. In this way it is possible to design the in-phase and quadrature components of the impulse response independently of one another. Given the design of the interdigital transducers, the variation possibility then consists in changing the distance between the input and output transducers.
  • a smaller difference in the transducer spacing has the result that a track with less excitation or reflection does not necessarily result if the quadrature component is small.
  • the independent design of the in-phase and quadrature components of the impulse response also makes it possible to design asymmetrical transfer functions for the overall filter, while the transfer function of the individual tracks are each symmetrical to their center frequencies.
  • phase angle between the excitation and reflection center of a SPUDT cell is 45 °, this leads to an electroacoustic conversion, that is to say a transmission curve which is symmetrical with the center frequency.
  • An interdigital transducer contains at least one SPUDT cell, but preferably a plurality of SPUDT cells with an identical phase angle.
  • At least one sub-filter has SPUDT cells with a phase angle between the
  • phase angle in the filter according to the invention is now set in two tracks so that each one is different
  • Flanks of the pass band are designed steeper in the transmission behavior of the individual track, so by adding these two signals a pass band can be obtained that is steeper on both flanks than would be possible with a uniform phase angle of 45 °.
  • a phase angle deviating from 45 ° it is also possible to design an asymmetrical transfer function for the overall filter without the converter distances having to be varied. An asymmetrical transfer function of the overall filter is then made possible with a single track.
  • Another possible variation of a transducer according to the invention is to design the center frequency of the interdigital transducers differently in the individual tracks.
  • the offset of the center frequencies thus achieved results in a wider passband and thus a larger pass band.
  • connection of electrode fingers of mutually adjacent interdigital transducers in different tracks does not require identical finger arrangements, but only the same finger connection sequences. If the electrode fingers in the adjacent interdigital transducers lie on a grid of different sizes or shifted relative to one another, the electrode fingers of the adjacent interdigital transducers can nevertheless be connected to one another. The connection then takes place in a transition region in which the finger connecting pieces no longer have to run parallel to one another and not vertically to the direction of wave propagation.
  • interdigital transducers with different grids or different finger periods and accordingly different center frequencies
  • an interdigital transducer with an infinite number of tracks is obtained in this way, which, viewed in the transverse direction, has a continuous change in the finger spacing (raster) or the center frequency.
  • Such an interdigital converter also known as a FAN converter, has the advantage of an increased bandwidth of the passband.
  • one or more interdigital converters can be replaced by FAN converters.
  • interdigital converters of adjacent tracks in the form of a single interdigital converter which extends over several tracks and is common to all tracks and which can also be designed as a FAN converter.
  • Such a converter can replace some of the interdigital converters or possibly all interdigital converters of the input and output.
  • a common converter which represents the input or output converter of the filter according to the invention, with a number of smaller converters corresponding to the number of individual tracks or of converters with a smaller aperture as output or input converters.
  • Figure 1 shows a surface wave filter according to the invention with three tracks in a schematic representation
  • Figure 2 shows a single track with additional lattice structures
  • FIG. 3 shows a three-track surface wave filter in which different distances between input and output transducers are selected in the tracks
  • FIG. 4 shows sections of electrode fingers of two adjacent interdigital transducers connected to one another
  • FIG. 5 shows two interdigital converters with connected
  • Electrode fingers with different finger periods selected in both tracks
  • FIG. 6 shows an interdigital transducer with a continuously varying finger period
  • FIG. 7 shows the transmission behavior of individual tracks with different phase angles between excitation and reflection
  • FIG. 8 shows a pointer diagram as a simplified representation for the signal addition in the filter.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a filter according to the invention with three tracks A, B and C connected in parallel.
  • Each track comprises an input converter 1 and an output converter 2, which can be arranged between two reflectors 3 and 3 ', as in FIG Figure shown.
  • the electrode strips or the electrode fingers of the interdigital transducers 1, 2 and the reflectors 3 are indicated.
  • the special design of the interdigital transducers, in which the excitation centers and the reflection centers do not coincide and have a phase angle of, for example, 45 °, is not shown.
  • such interdigital converters are available as SPUDT
  • connection can also be arranged such that the connections between two tracks are of the same polarity, so that they can be connected to a common pad. This saves a second pad between two tracks and reduces the wiring effort.
  • a converter can then be arranged in parallel with a series connection of two other converters.
  • reflectors 3 can be connected to ground, but can also be designed as so-called floating reflectors.
  • interdigital converters it applies to the interdigital converters that they can be operated symmetrically or asymmetrically.
  • symmetrical mode of operation electrical signals with opposite phases are applied to the connections labeled plus and minus.
  • asymmetrical mode of operation the signal is only applied to one connection, while the other is at a fixed potential, usually at ground.
  • the input converters 1 are connected in parallel and connected to the input, and the output converters 2 are also connected in parallel and connected to the output.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of a single track, in which additional lattice structures 4 and 5 are arranged between the filter structures.
  • at least one lattice structure can be arranged in at least one track.
  • the grating structure 5 is preferably reflection-free and represents an additional electromagnetic shielding between the interdigital transducers 1 and 2. It is also possible to replace the grating structure 5 with a metallization strip, a so-called metallized running path.
  • a reflection-free lattice structure is obtained if a reflection-free combination of electrode strips is used, for example ⁇ / 8 wide strips at a distance of ⁇ / 8. Freedom of reflection arises from destructive interference from, for example, two partial reflections which are 180 ° out of phase, which corresponds to a distance between the strip centers of ⁇ / 4.
  • the grating structure 5 can also be connected to ground and additionally contribute to electromagnetic shielding.
  • the grating structures 4 are arranged between the input and output transducers and the respectively adjacent reflectors 3 and are used solely to generate additional resonance spaces.
  • the electrode strips of these grid structures can be connected to one another and connected to ground, but it is also possible, as shown in the figure, to select individual electrode strips which are not connected to one another as grid structures.
  • Figure 3 shows a schematic representation of three individual tracks interconnected in parallel, in which the individual tracks A, B and C differ in that the distance between input converter 1 and output converter 2 is different in the individual tracks. In addition, the total track length is varied in the three tracks.
  • FIG. 4 shows a section of an area of a filter according to the invention, in which the electrode fingers of two interdigital transducers arranged next to one another in adjacent tracks are individually connected to one another.
  • Track A and track B differ in their finger period, which increases from track A to track B.
  • the connecting pieces between the individual electrode fingers are no longer arranged vertically to the direction of propagation x of the surface wave, but at an angle to them in order to adapt to the different grid (finger period) of the different tracks.
  • the difference in the finger period is exaggerated in the figure.
  • the corresponding finger connection sequence which can for example alternate in this area of the interdigital converter, is not shown.
  • Figure 5 shows a section of an inventive
  • the electrode fingers of two interdigital converters are individually connected to each other.
  • the two tracks A and B have the same finger period here.
  • reflective fingers are arranged here, the arrangement being such that the structures shown have a directed reflection.
  • the electrode fingers shown in dark can be connected, for example, to an upper busbar, the lighter electrode fingers to a busbar located below. No separate busbars are therefore required between the two tracks for connecting the electrode fingers.
  • Figure 5 also shows that in the case of different finger connection sequences, individual electrode fingers of mutually adjacent interdigital transducers can nevertheless be connected to one another individually in different tracks, which is made possible by the transition region E in which the connecting pieces between the electrode fingers of different interdigital transducers can run obliquely against the direction of propagation of the surface wave.
  • FIG. 6 shows a so-called FAN converter, which in principle consists of an infinite number of adjacent tracks, in which the electrode fingers of adjacent tracks are connected to one another.
  • the finger period and thus the center frequency of the infinite number of tracks increases continuously from one side of the transducer to the other. Since the structure represents a parallel connection of the infinitesimally narrow partial tracks, an overall converter or an SAW filter is obtained which has an increased bandwidth compared to an SAW filter in which the tracks have uniform center frequencies.
  • FIG. 7 shows the curves for the transmission behavior of three acoustic tracks, in which different phase angles between the excitation and reflection centers of the interdigital transducers are set. If the phase angle deviates from 45 °, a transmission curve is obtained which has an asymmetrical pass band. As an essential The difference becomes steeper on the pass band, while the other falls flat.
  • the figure shows three transmission curves, phase angles of 25, 45 and 65 ° being set in the converters. By superimposing these three signals in the parallel connection, overall a transmission behavior is obtained, which in turn is symmetrical with respect to the center frequency. The steeper flanks of the arrangements with a phase angle deviating from 45 ° are also retained in the overlay.
  • FIG. 8 shows a two-dimensional pointer diagram, each arrow representing a complex pointer which is characterized by the amount and phase at a specific frequency.
  • the vectors assigned to the individual tracks A, B and C are selected such that they go towards zero in the addition. For this frequency, the three tracks would then result in an extinction of the signal, ie maximum attenuation. It is also clear from the figure that with the aid of three vectors or with the aid of three tracks, such an erasure can be achieved more easily than would be the case with two tracks.
  • the larger vectors A and B are chosen so that they almost compensate each other during the addition. The remaining amount is compensated in a simple manner with the aid of a suitably chosen third vector C.
  • the residual compensation is easier to set, especially since the value zero does not necessarily have to be obtained. It is sufficient to choose the third vector C such that the result, that is to say the addition of the three vectors, gives an amount which is below a predetermined limit value. This makes it possible, for example, to adjust the phase of the vector C only approximately and then to fine-tune the amount. The amount can then be set in the surface acoustic wave filter by varying the aperture.
  • the invention is shown here only on the basis of a few exemplary embodiments, but is of course not limited to this. Rather, it is possible to vary a number of parameters. It is also possible to combine the possible variations shown in the different figures, and thereby to create more complex surface acoustic wave filters.
  • the invention is also not limited to a surface wave filter with three tracks. Rather, the invention allows surface wave filters to be produced with a higher number of tracks.
  • a more complex transmission behavior of the surface acoustic wave filter can be represented in the manner according to the invention. If the track length is shortened, despite the deterioration of the properties of the individual track, a desired transmission behavior can be obtained which fulfills the requirements or specifications of the mobile radio system.

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Abstract

The invention relates to a recursive surface wave filter with directed reflexion, characterized in that the desired transmission behavior is formed by superimposing the signals of three electrically connected individual tracks.

Description

Beschreibungdescription
Rekursives OFW-Filter mit geringer ChiplängeRecursive SAW filter with a small chip length
Oberflächenwellenfilter, kurz auch OFW-Filter genannt, können beispielsweise als Zwischenfrequenzfilter im Empfangsteil eines Mobiltelefons Verwendung finden. Dabei müssen sie verschiedene Anforderungen erfüllen, insbesondere ein ausreichend breites Paßband, eine hohe Flankensteilheit und eine bestmögliche Selektion auf kleinstmöglicher Chipfläche aufweisen.Surface wave filters, also called SAW filters for short, can be used, for example, as intermediate frequency filters in the receiving section of a mobile telephone. They have to meet various requirements, in particular a sufficiently wide pass band, a high slope and the best possible selection on the smallest possible chip area.
Eine maximale Flankensteilheit kann mit einem Filter mit verlängerter Impulsantwort erzielt werden, da die Flankensteil - heit direkt von der Länge der Impulsantwort abhängig ist. Bei einem Transversalfilter bestimmt sich die Länge der Impulsantwort direkt aus der Länge der zur elektroakustischen Wandlung eingesetzten Interdigitalwandler . Bei der spezifikationsbedingt zulässigen maximalen Chiplänge ist es daher nicht möglich, die für Mobiltelefone geforderten Spezifikationen mit einem Transversalfilter zu erfüllen. Aus diesem Grund haben sich bei Mobiltelefonen Techniken durchgesetzt, in denen der Ausbreitungsweg der Oberflächenwelle gefaltet ist. Mit Hilfe von reflektierenden Strukturen werden Resonanzräume auf der Oberfläche des Filters geschaffen, die dazu dienen, mit der dadurch verlängerten Impulsantwort eine größere Flankensteilheit zu erreichen. Eine gegebene Länge der Impulsantwort kann dazu genutzt werden, den günstigsten Kompromiß zwischen Paßbandverhalten, also der Form des Durchlaßbereichs oder Paßbands, der Flankensteilheit und der Selektion, also der Unterdrückung von Signalen im Sperrbereich zu erzielen. Sollen die beiden ersten Anforderungen von einem Wandler mit minimaler Länge erfüllt werden, so ist zwangsläufig dessen Selektion ungenügend.A maximum edge steepness can be achieved with a filter with an extended impulse response, since the edge steepness is directly dependent on the length of the impulse response. In the case of a transversal filter, the length of the impulse response is determined directly from the length of the interdigital transducers used for the electroacoustic conversion. Given the maximum chip length permitted by the specification, it is therefore not possible to meet the specifications required for mobile telephones with a transversal filter. For this reason, technologies in which the propagation path of the surface wave is folded have become established in mobile telephones. With the help of reflective structures, resonance spaces are created on the surface of the filter, which serve to achieve a greater edge steepness with the resulting longer impulse response. A given length of the impulse response can be used to achieve the most favorable compromise between passband behavior, ie the shape of the passband or passband, the slope and the selection, ie the suppression of signals in the blocked area. If the first two requirements are to be met by a transducer with a minimal length, its selection is necessarily insufficient.
Oberflächenwellenfilter, die das gewünschte Übertragungsverhalten zeigen, wurden bislang mit verschiedenen Methoden rea- lisiert. Die einfachste aber beim Mobilfunk nicht einsetzbare Lösung besteht darin, das Filter und damit den Chip, auf dem das Filter realisiert ist, so zu verlängern, bis das gewünschte Übertragungsverhalten erreicht ist. Mit einem länge- ren Filter kann ein komplexeres und damit verbessertes Übertragungsverhalten erzielt werden. Der angestrebten Miniaturisierung der Filter wird damit allerdings nicht Rechnung getragen.Surface wave filters that show the desired transmission behavior have so far been implemented using various methods. lisiert. The simplest solution that cannot be used in mobile radio is to extend the filter and thus the chip on which the filter is implemented until the desired transmission behavior is achieved. With a longer filter, a more complex and thus improved transmission behavior can be achieved. However, the miniaturization of the filters is not taken into account.
Möglich ist es auch, die Reflexionen in den Oberflächenwel- lenstrukturen der Wandler oder Reflektoren zu erhöhen. Damit werden stärkere Resonanzen erzeugt, mit denen die Dauer der Impulsantwort verlängert wird. Bei Quarzsubstraten ist die Reflexion allerdings stark von der relativen Schichtdicke der Metallisierung abhängig. Die notwendige starke Reflexion wird nur mit einer großen Metallisierungsschichtdicke erreicht, was aber zu einer erhöhten Empfindlichkeit gegenüber technologiebedingten Fertigungsstreuungen bei der Herstellung der Filter führt.It is also possible to increase the reflections in the surface wave structures of the transducers or reflectors. This creates stronger resonances, which extend the duration of the impulse response. In the case of quartz substrates, however, the reflection is strongly dependent on the relative layer thickness of the metallization. The necessary strong reflection is only achieved with a large metallization layer thickness, which, however, leads to an increased sensitivity to technology-related manufacturing variations in the manufacture of the filters.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, ein Filter mit gewünschtem Übertragungsverhalten in mehreren akustischen Spuren zu realisieren, in denen gleiche Wandler parallel oder antiparallel geschaltet sind. Hierbei wird die frequenzabhän- gige Reflexion an den akustischen Wandlertoren genutzt, um die Übertragungsfunktion zusätzlich zu beeinflussen. Mit einer solchen Konfiguration werden allerdings keine zusätzlichen Freiheitsgrade bei der Konstruktion dieser Filter erzielt. Bei gleichen Filtereigenschaften können lediglich die Anforderungen an die einzelne akustische Spur, beispielsweise bezüglich der Selektion verringert werden.Another possibility is to implement a filter with the desired transmission behavior in several acoustic tracks, in which the same transducers are connected in parallel or antiparallel. The frequency-dependent reflection at the acoustic transducer gates is used to additionally influence the transmission function. With such a configuration, however, no additional degrees of freedom are achieved in the construction of these filters. With the same filter properties, only the requirements for the individual acoustic track, for example with regard to the selection, can be reduced.
Eine andere Möglichkeit besteht darin, ein OFW-Filter mit genau zwei unterschiedlichen akustischen Spuren zu verwenden, in dem sowohl am Filtereingang als auch am Filterausgang je zwei Interdigitalwandler parallel verschaltet sind. Dabei wird eine größere Anzahl von Freiheitsgraden beim Design des Filters erzielt. Damit verbessert sich insbesondere die Selektion des Filters, die für das Gesamtfilter deutlich größer ist als für eine einzelne Spur beziehungsweise für einen Teilfilter. Verbesserungen der Selektion des Gesamtfilters gegenüber der Selektion der Einzelspuren werden jedoch nur dann erzielt, wenn die Übertragungsfunktionen der beiden Einzelspuren im Sperrbereich von gleichem Betrag und entgegengesetzter Phase sind, da nur dann eine Auslöschung unerwünschter Signale im Sperrbereich erzielt werden kann.Another possibility is to use an SAW filter with exactly two different acoustic tracks, in which two interdigital transducers are connected in parallel both at the filter input and at the filter output. A larger number of degrees of freedom in the design of the Filters achieved. This improves the selection of the filter in particular, which is significantly larger for the overall filter than for a single track or for a partial filter. However, improvements in the selection of the overall filter compared to the selection of the individual tracks are only achieved if the transfer functions of the two individual tracks in the blocking area are of the same amount and opposite phase, since only then can undesired signals in the blocking area be extinguished.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein OFW- Filter anzugeben, welches die geforderten Anforderungen an das Übertragungsverhalten auf einer reduzierten Chiplänge realisieren kann. Der Aufbau des Filters soll dabei so sein, daß Fehlertoleranzen bei der Herstellung nicht zu einer Verschlechterung des Übertragungsverhaltens des Gesamtfilters führen .The object of the present invention is therefore to provide an SAW filter which can implement the required requirements for the transmission behavior on a reduced chip length. The structure of the filter should be such that fault tolerances during production do not lead to a deterioration in the transmission behavior of the overall filter.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Oberflächenwel- lenfilter mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus weiteren Ansprüchen hervor.This object is achieved according to the invention by a surface wave filter with the features of claim 1. Advantageous embodiments of the invention emerge from further claims.
Die Erfindung erzielt ein verbessertes Übertragungsverhalten des Filters bei gegenüber dem Stand der Technik reduzierter Chiplänge dadurch, daß zumindest drei akustische Spuren elektrisch seriell oder parallel geschaltet werden. Jede Spur umfaßt dabei zumindest zwei als Ein- und Ausgangswandler dienende Interdigitalwandler, die in jeder Spur zwischen zwei Reflektoren angeordnet sein können. Die zumindest drei Spuren sind voneinander verschieden, so daß die Anforderungen an die Filterübertragungsfunktion auf alle unterschiedlichen Spuren aufgeteilt werden können. Bei der Verschaltung dieser Spuren ergibt sich der Vorteil, daß bis zu sechs unterschiedliche Wandler im Filter angeordnet werden können, mit denen auch komplexe Optimierungsprobleme gelöst werden können. Jede akustische Spur stellt dabei ein Teilfilter dar, wobei in zumin- dest einem Teilfilter zwischen den Zentren von Anregung und Reflexion ein Phasenwinkel eingestellt ist, der von 90°, beziehungsweise einem Vielfachen davon verschieden ist. Zumindest ein Teilfilter ist daher ein Filter mit gerichteter Re- flexion, insbesondere ein SPUDT-Filter. Jede der zumindest drei Spuren kann dabei ein Optimierungsproblem für das Filter lösen, wobei sich durch die Parallelschaltung oder durch die Serienverschaltung der Eingangs- und/oder der Ausgangswandler der einzelnen Spuren das gewünschte Übertragungsverhalten erst in der Überlagerung der Signale aller drei akustischen Spuren ergibt .The invention achieves an improved transmission behavior of the filter with a chip length that is reduced compared to the prior art in that at least three acoustic tracks are electrically connected in series or in parallel. Each track comprises at least two interdigital converters serving as input and output converters, which can be arranged in each track between two reflectors. The at least three tracks are different from one another, so that the requirements for the filter transfer function can be divided among all different tracks. The interconnection of these tracks has the advantage that up to six different converters can be arranged in the filter, with which even complex optimization problems can be solved. Each acoustic track represents a sub-filter, with at least At least one sub-filter has a phase angle between the centers of excitation and reflection which is different from 90 °, or a multiple thereof. At least one partial filter is therefore a filter with directional reflection, in particular a SPUDT filter. Each of the at least three tracks can solve an optimization problem for the filter, whereby the parallel transmission or the series connection of the input and / or output converters of the individual tracks results in the desired transmission behavior only when the signals of all three acoustic tracks are superimposed.
Im Vergleich zu der bekannten Zweispurlösung ist die erfindungsgemäße Verschaltung von drei und mehr Spuren von Vor- teil, da sie einfacher auf ein gewünschtes Verhalten hin optimierbar ist. Bei der Zweispurlösung ist es notwendig, daß die Übertragungsfunktionen der beiden Einzelspuren im Sperrbereich von gleichem Betrag und entgegengesetzter Phase sind. Nur dann löschen sich die Teilübertragungsfunktionen im Sperrbereich aus und die Selektion ist sowohl bei der Parallelschaltung als auch bei der Serienverschaltung größer als in den Einzelspuren. Bei einem gegebenen Übertragungsverhalten einer ersten Spur hat dies in der bekannten Zwei- spuranordnung zur Folge, daß die zweite Spur nicht mehr frei optimierbar ist, sondern in nahezu allen Funktionen in Abhängigkeit von den Eigenschaften der ersten Spur ausgebildet werden muß. Im Bereich des Filterstoppbands, also im Sperrbereich bedeutet dies, daß bei einer gegebenen ersten Spur Betrag und Phase des Beitrags der zweiten Spur weitgehend fest- gelegt sind. Jede Abweichung von diesem durch die erste Spur vorgegebenen Verhalten führt dazu, daß die Summe dieser beiden komplexen Zeiger nicht verschwindet. Unter komplexem Zeiger versteht man in diesem Zusammenhang einen Vektor, der durch Betrag und Phase des Signals bestimmt ist, wobei der komplexe Zeiger sowohl in der Zeit- als auch in der Frequenzdomäne definiert sein kann. Bei der Erfindung dagegen führt die dritte und ggf. die weiteren Spuren dazu, daß die beiden ersten Spuren völlig unabhängig voneinander entworfen werden können. Die dritte Spur und ggf. die weiteren Spuren sorgen dann dafür, daß die Summe der komplexen Zeiger innerhalb des gesamten Stoppbandbereichs gegen Null geht.Compared to the known two-lane solution, the interconnection of three or more lanes according to the invention is advantageous because it can be optimized more easily for a desired behavior. In the case of the two-track solution, it is necessary that the transfer functions of the two individual tracks in the restricted area are of the same amount and opposite phase. Only then will the partial transfer functions in the blocked area be deleted and the selection is greater both in the parallel connection and in the series connection than in the individual tracks. Given a transmission behavior of a first track, this has the consequence in the known two-track arrangement that the second track can no longer be freely optimized, but must be designed in almost all functions depending on the properties of the first track. In the area of the filter stop band, ie in the stop band, this means that the amount and phase of the contribution of the second track are largely defined for a given first track. Any deviation from this behavior predetermined by the first track means that the sum of these two complex pointers does not disappear. In this context, a complex pointer is understood to be a vector which is determined by the magnitude and phase of the signal, it being possible for the complex pointer to be defined both in the time and in the frequency domain. In the case of the invention, however, the third and possibly the further tracks mean that the first two tracks can be designed completely independently of one another. The third track and possibly the further tracks then ensure that the sum of the complex pointers within the entire stop band area approaches zero.
Die Variation der Teilfilter beziehungsweise der akustischen Spuren kann auf verschiedene Weise vorgenommen werden. Mög- lieh ist es beispielsweise, in den drei Spuren unterschiedliche Interdigitalwandler vorzusehen, wobei bei drei Spuren bis zu sechs unterschiedliche Wandler vorhanden sein können. Möglich ist es auch, die Interdigitalwandler nur teilweise unterschiedlich auszubilden.The variation of the sub-filter or the acoustic tracks can be done in different ways. It is possible, for example, to provide different interdigital converters in the three tracks, with up to six different converters being able to be present in three tracks. It is also possible to design the interdigital converters only partially differently.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, innerhalb zumindest einer Spur eine zusätzliche Gitterstruktur anzuordnen, die elektrisch in keiner Verbindung zu einem der Interdigitalwandler steht. Wird die Gitterstruktur zwischen Ein- und Aus- gangswandler einer Spur angeordnet, so kann sie in dieserAnother possibility is to arrange an additional lattice structure within at least one track, which is not electrically connected to one of the interdigital transducers. If the lattice structure is arranged between the input and output converters of a track, it can be in this
Spur als zusätzliche Abschirmung dienen, die ein elektromagnetisches Übersprechen zwischen Ein- und Ausgangswandler verhindert und damit das Übertragungsverhalten weiter verbessert. Vorzugsweise wird die Gitterstruktur dazu mit Masse verbunden. Zur Abschirmung des elektromagnetischen Übersprechens kann alternativ auch ein metallisierter Streifen zwischen den Wandlern angeordnet sein.Track serve as additional shielding, which prevents electromagnetic crosstalk between input and output converter and thus further improves the transmission behavior. For this purpose, the lattice structure is preferably connected to ground. To shield electromagnetic crosstalk, a metallized strip can alternatively also be arranged between the transducers.
Unter Gitterstruktur wird dabei eine regelmäßige Streifen- Struktur verstanden, die beispielsweise auf einem λ/2 -Raster angeordnet ist. Die vertikal zur Wellenausbreitungsrichtung angeordneten Streifen können miteinander verbunden sein, oder alternativ auch Einzelstreifen ohne gegenseitige Verbindung sein. Die Länge einer Gitterstruktur kann beispielsweise im Bereich von 5 bis 20 Wellenzügen liegen, ist aber nicht auf diese Länge beschränkt. Bei alleiniger Verwendung als Abschirmung ist die Gitterstruktur vorzugsweise reflexionsfrei . Dies kann mit einer Splitfingerstruktur (λ/8 oder λ/6 Finger) erreicht werden.A lattice structure is understood to mean a regular stripe structure which is arranged, for example, on a λ / 2 grid. The strips arranged vertically to the direction of wave propagation can be connected to one another, or alternatively also individual strips without a mutual connection. The length of a lattice structure can be in the range of 5 to 20 wave trains, for example, but is not limited to this length. When used alone as a shield, the lattice structure is preferably reflection-free. This can be achieved with a split finger structure (λ / 8 or λ / 6 fingers).
Möglich ist es auch, die Gitterstruktur zwischen einem Inter- digitalwandler und einem Reflektor in einer oder mehreren Spuren anzuordnen. Mit Hilfe dieser Gitterstruktur werden dann zusätzliche Reflexionszentren und damit auch zusätzliche Resonanzräume innerhalb der Spuren geschaffen. Da jedem Resonanzraum eine eigene Resonanzfrequenz zu eigen sein kann, kann mit Hilfe dieser zusätzlichen Resonanzräume das Paßband beeinflußt werden. Möglich ist es auch, mehr als eine Gitterstruktur innerhalb einer Spur anzuordnen, wobei die Position innerhalb der Spur beliebig sein kann. Es können auch refle- tierende und reflexionsfreie Gitterstrukturen zusammen in ei- ner Spur vorgesehen sein.It is also possible to arrange the grating structure between an interdigital transducer and a reflector in one or more tracks. With the help of this lattice structure additional reflection centers and thus also additional resonance spaces within the tracks are created. Since each resonance room can have its own resonance frequency, the pass band can be influenced with the help of these additional resonance rooms. It is also possible to arrange more than one lattice structure within a track, the position within the track being arbitrary. Reflective and reflection-free grating structures can also be provided together in one track.
Eine weitere Variation der Einzelspuren zur Optimierung des Gesamtfilters besteht darin, die Apertur der Spuren unterschiedlich zu wählen. Insbesondere bei der dritten Spur kann durch eine Verkleinerung (oder Vergrößerung) der Apertur die notwendige Feinabstimmung zum Abgleich des Gesamtsignals, insbesondere zur destruktiven Auslöschung der komplexen Zeiger im Sperrbereich herangezogen werden. Da die Apertur stufenlos veränderbar ist, können auch die komplexen Zeiger der dritten Spur betragsmäßig entsprechend stufenlos verändert werden, so daß ein leichterer Abgleich mit den beiden anderen Spuren möglich ist. Vorzugsweise wird die Apertur einer Spur dann variiert, wenn die beiden anderen Spuren bereits eine weitgehende Annäherung an das gewünschte Übertragungsverhai- ten zeigen, so daß mit Hilfe der dritten Spur nur noch die letzte Feinabstimmung vorzunehmen ist. Dazu wird die Apertur in der Regel gegenüber den beiden anderen Spuren verkleinert. Prinzipiell ist es jedoch auch möglich, die Apertur in sämtlichen Spuren zu variieren, so daß alle Spuren unterschiedli- ehe Aperturen aufweisen können. Eine weitere Möglichkeit zur erfindungsgemäßen Variation der Spur und damit der Filtereigenschaften besteht darin, den Abstand der Anregungs- und Reflexionszentren zwischen dem Eingangs- und dem Ausgangswandler einer Spur auf einen Wert ein- zustellen, welcher sich von dem Abstand in einer weiteren Spur um einen Wert unterscheidet, der nicht ein Vielfaches der halben Wellenlänge ist. Auf diese Weise ist es möglich, die Inphase- und die Quadraturkomponente der Impulsantwort unabhängig voneinander zu entwerfen. Bei gegebenen Design der Interdigitalwandler besteht die Variationsmöglichkeit dann in einer Veränderung des Abstands von Ein- und Ausgangswandler zueinander. Ein beispielsweise kleinerer Unterschied der Wandlerabstände hat zur Folge, daß sich bei kleiner notwendiger Quadraturkomponente nicht notwendigerweise eine Spur mit geringerer Anregung oder Reflexion ergibt . Der unabhängige Entwurf der Inphase- und der Quadraturkomponente der Impulsantwort ermöglicht es außerdem, unsymmetrische Übertragungsfunktionen für das Gesamtfilter zu entwerfen, während die Übertragungsfunktion der Einzelspuren jeweils symmetrisch zu deren Mittenfrequenzen sind.Another variation of the individual tracks to optimize the overall filter is to choose the aperture of the tracks differently. In the case of the third track in particular, the necessary fine-tuning for adjusting the overall signal, in particular for destructively extinguishing the complex pointers in the restricted area, can be used by reducing (or enlarging) the aperture. Since the aperture is infinitely variable, the amount of the complex pointers of the third track can be changed infinitely, so that an easier comparison with the other two tracks is possible. The aperture of a track is preferably varied when the other two tracks already show a close approximation to the desired transmission behavior, so that only the last fine adjustment has to be carried out with the aid of the third track. For this purpose, the aperture is usually reduced compared to the other two tracks. In principle, however, it is also possible to vary the aperture in all tracks, so that all tracks can have different apertures. A further possibility for varying the track according to the invention and thus the filter properties consists in setting the distance between the excitation and reflection centers between the input and output transducers of a track to a value which is one value apart from the distance in a further track differs, which is not a multiple of half the wavelength. In this way it is possible to design the in-phase and quadrature components of the impulse response independently of one another. Given the design of the interdigital transducers, the variation possibility then consists in changing the distance between the input and output transducers. A smaller difference in the transducer spacing, for example, has the result that a track with less excitation or reflection does not necessarily result if the quadrature component is small. The independent design of the in-phase and quadrature components of the impulse response also makes it possible to design asymmetrical transfer functions for the overall filter, while the transfer function of the individual tracks are each symmetrical to their center frequencies.
Beträgt der Phasenwinkel zwischen dem Anregungs- und dem Re- flektionszentrum einer SPUDT-Zelle 45°, so führt dies zu einer elektroakustischen Konversion, also einer Übertragungs- kurve, die symmetrisch zur Mittenfrequenz ist. Weicht derIf the phase angle between the excitation and reflection center of a SPUDT cell is 45 °, this leads to an electroacoustic conversion, that is to say a transmission curve which is symmetrical with the center frequency. Gives way to
Phasenwinkel von diesem Wert ab, so wird durch die entstehende Unsymmetrie eine Flanke des Paßbands steiler ausgebildet als die andere Flanke.Phase angle from this value, the resulting asymmetry makes one flank of the passband steeper than the other flank.
Ein erfindungsgemäßer Interdigitalwandler enthält zumindest eine SPUDT-Zelle, vorzugsweise aber mehrere SPUDT-Zellen mit identischem Phasenwinkel.An interdigital transducer according to the invention contains at least one SPUDT cell, but preferably a plurality of SPUDT cells with an identical phase angle.
In einer Ausführungsform der Erfindung weist zumindest ein Teilfilter SPUDT-Zellen mit einen Phasenwinkel zwischen demIn one embodiment of the invention, at least one sub-filter has SPUDT cells with a phase angle between the
Anregungs- und dem Reflektionszentrum von 45°+ z-90° auf, wo- bei z eine ganze Zahl ist. Hierbei handelt es sich um einen klassisches SPUDT (Teil- ) Filter.Excitation and reflection center from 45 ° + z-90 ° to where at z is an integer. This is a classic SPUDT (partial) filter.
Werden nun beim erfindungsgemäßen Filter in zwei Spuren die Phasenwinkel so eingestellt, daß jeweils unterschiedlicheIf the phase angle in the filter according to the invention is now set in two tracks so that each one is different
Flanken des Paßbands im Übertragungsverhalten der Einzelspur steiler gestaltet sind, so läßt sich durch Addition dieser beiden Signale ein Paßband erhalten, das an beiden Flanken steiler ist, als dies mit einem einheitlichen Phasenwinkel von 45° möglich wäre. Außerdem ist es mit einem von 45° abweichenden Phasenwinkel möglich, ebenfalls eine unsymmetrische Übertragungsfunktion für das Gesamtfilter zu entwerfen, ohne daß dazu die Wandlerabstände variiert werden müssen. Eine unsymmetrische Übertragungsfunktion des Gesamtfilters wird dann bereits mit einer einzigen Spur ermöglicht.Flanks of the pass band are designed steeper in the transmission behavior of the individual track, so by adding these two signals a pass band can be obtained that is steeper on both flanks than would be possible with a uniform phase angle of 45 °. In addition, with a phase angle deviating from 45 °, it is also possible to design an asymmetrical transfer function for the overall filter without the converter distances having to be varied. An asymmetrical transfer function of the overall filter is then made possible with a single track.
Eine weitere Variationsmöglichkeit eines erfindungsgemäßen Wandlers besteht darin, die Mittenfrequenz der Interdigitalwandler in den einzelnen Spuren unterschiedlich zu gestalten. Durch den damit erreichten Versatz der Mittenfrequenzen wird ein breiteres Paßband und damit ein größerer Durchlaßbereich erhalten.Another possible variation of a transducer according to the invention is to design the center frequency of the interdigital transducers differently in the individual tracks. The offset of the center frequencies thus achieved results in a wider passband and thus a larger pass band.
Wenn sämtliche Spuren parallel verschaltet sind, ist es nicht nötig, die einzelnen Spuren an separate Anschlußpads anzuschließen. Vielmehr ist es möglich, die Elektrodenfinger von Interdigitalwandlern zweier in transversaler Richtung benachbarter Spuren einzeln miteinander zu verbinden. Wenn in mehreren Spuren die Anschlußfolge der Elektrodenfinger überein- stimmend ist, ist es auch möglich, die Finger mehrerer benachbarter Spuren miteinander zu verbinden.If all tracks are connected in parallel, it is not necessary to connect the individual tracks to separate connection pads. Rather, it is possible to individually connect the electrode fingers of interdigital transducers of two tracks adjacent in the transverse direction. If the connection sequence of the electrode fingers is the same in several tracks, it is also possible to connect the fingers of several adjacent tracks with one another.
Trotz verbundener Elektrodenfinger ist es möglich, entsprechende Variationen der Einzelspuren vorzunehmen, die zu dem erfindungsgemäß optimierten Übertragungsverhalten des Gesamtfilters führen. Werden die Elektrodenfinger eines Inter- digitalwandlers mit den Elektrodenfingern des in transversa- ler Richtung direkt benachbarten Interdigitalwandlers der benachbarten Spur miteinander verbunden, so ist es möglich, die Elektrodenfinger der verbleibenden übrigen Wandler auf herkömmliche Weise anzuschließen. Auf diese Weise können zwei unterschiedliche Anschlußmöglichkeiten für die Interdigitalwandler in dem Filter beziehungsweise in einzelnen Spuren gegeben sein.Despite the connected electrode fingers, it is possible to make corresponding variations in the individual tracks, which lead to the transmission behavior of the overall filter optimized according to the invention. Are the electrode fingers of an interdigital transducer with the electrode fingers of the transversal If the direction of directly adjacent interdigital transducers of the adjacent track are interconnected, it is possible to connect the electrode fingers of the remaining remaining transducers in a conventional manner. In this way, two different connection options for the interdigital converters can be provided in the filter or in individual tracks.
Die Verbindung von Elektrodenfingern einander benachbarter Interdigitalwandler in unterschiedlichen Spuren erfordert nicht identische Fingeranordnungen, sondern nur gleiche Fingeranschlußfolgen. Liegen die Elektrodenfinger in den benachbarten Interdigitalwandlern auf unterschiedlichem großem oder geneinander verschobenem Raster, so können dennoch die Elek- trodenfinger der benachbarten Interdigitalwandler miteinander verbunden sein. Die Verbindung erfolgt dann in einem Übergangsbereich, in dem die Fingerverbindungsstücke nicht mehr parallel zueinander und nicht vertikal zur Wellenausbreitungsrichtung verlaufen müssen.The connection of electrode fingers of mutually adjacent interdigital transducers in different tracks does not require identical finger arrangements, but only the same finger connection sequences. If the electrode fingers in the adjacent interdigital transducers lie on a grid of different sizes or shifted relative to one another, the electrode fingers of the adjacent interdigital transducers can nevertheless be connected to one another. The connection then takes place in a transition region in which the finger connecting pieces no longer have to run parallel to one another and not vertically to the direction of wave propagation.
Bei Interdigitalwandlern mit unterschiedlichem Raster bzw. unterschiedlicher Fingerperiode und dementsprechend unterschiedlicher Mittenfrequenz ist es möglich, die Aperturen der Einzelspuren immer kleiner zu machen, die Anzahl der Spuren dagegen im gleichen Umfang zu erhöhen, so daß für das Gesamtfilter die Summe der Aperturen unverändert oder nahezu unverändert bleibt. Geht die Apertur der Einzelspur gegen Null, so wird auf diese Weise ein Interdigitalwandler mit unendlich vielen Spuren erhalten, der in transversaler Richtung gesehen eine kontinuierliche Veränderung des Fingerabstands (Raster) beziehungsweise der Mittenfrequenz aufweist. Ein solcher auch als FAN-Wandler bekannter Interdigitalwandler hat den Vorteil einer erhöhten Bandbreite des Paßbands. Erfindungsgemäß kann ein oder mehrere Interdigitalwandler durch FAN-Wandler ersetzt sein. Möglich ist es jedoch auch, mehrere Interdigitalwandler einander benachbarter Spuren in Form eines über mehrere Spuren reichenden einzigen Interdigitalwandlers auszuführen, der allen Spuren gemeinsam ist und der auch als FAN-Wandler ausge- bildet sein kann. Ein solcher Wandler kann einen Teil der Interdigitalwandler oder gegebenenfalls alle Interdigitalwandler von Ein- beziehungsweise Ausgang ersetzen. Möglich ist es jedoch auch, einen gemeinsamen Wandler, der den Ein- oder Ausgangswandler des erfindungsgemäßen Filters darstellt, mit einer der Anzahl der Einzelspuren entsprechenden Zahl von kleineren Wandlern beziehungsweise von Wandlern mit kleinerer Apertur als Aus- beziehungsweise Eingangswandler zu kombinieren.In the case of interdigital transducers with different grids or different finger periods and accordingly different center frequencies, it is possible to make the apertures of the individual tracks smaller and smaller, while increasing the number of tracks to the same extent, so that the sum of the apertures remains unchanged or almost unchanged for the overall filter remains. If the aperture of the single track approaches zero, an interdigital transducer with an infinite number of tracks is obtained in this way, which, viewed in the transverse direction, has a continuous change in the finger spacing (raster) or the center frequency. Such an interdigital converter, also known as a FAN converter, has the advantage of an increased bandwidth of the passband. According to the invention, one or more interdigital converters can be replaced by FAN converters. However, it is also possible to design several interdigital converters of adjacent tracks in the form of a single interdigital converter which extends over several tracks and is common to all tracks and which can also be designed as a FAN converter. Such a converter can replace some of the interdigital converters or possibly all interdigital converters of the input and output. However, it is also possible to combine a common converter, which represents the input or output converter of the filter according to the invention, with a number of smaller converters corresponding to the number of individual tracks or of converters with a smaller aperture as output or input converters.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausfuhrungsbei - spielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert .The invention is explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments and the associated figures.
Figur 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Oberflächenwellenfilter mit drei Spuren in schematischer DarstellungFigure 1 shows a surface wave filter according to the invention with three tracks in a schematic representation
Figur 2 zeigt eine einzelne Spur mit zusätzlichen GitterstrukturenFigure 2 shows a single track with additional lattice structures
Figur 3 zeigt ein dreispuriges Oberflächenwellenfilter, bei dem in den Spuren unterschiedliche Abstände zwischen Ein- und Ausgangswandler gewählt sindFIG. 3 shows a three-track surface wave filter in which different distances between input and output transducers are selected in the tracks
Figur 4 zeigt ausschnittsweise miteinander verbundene Elektrodenfinger zweier benachbarter Interdigitalwand- 1erFIG. 4 shows sections of electrode fingers of two adjacent interdigital transducers connected to one another
Figur 5 zeigt zwei Interdigitalwandler mit verbundenenFigure 5 shows two interdigital converters with connected
Elektrodenfingern, wobei in beiden Spuren unterschiedliche Fingerperioden gewählt sindElectrode fingers, with different finger periods selected in both tracks
Figur 6 zeigt einen Interdigitalwandler mit kontinuierlich variierender Fingerperiode Figur 7 zeigt das Übertragungsverhalten von Einzelspuren mit unterschiedlichem Phasenwinkel zwischen Anregung und ReflektionFIG. 6 shows an interdigital transducer with a continuously varying finger period FIG. 7 shows the transmission behavior of individual tracks with different phase angles between excitation and reflection
Figur 8 zeigt ein Zeigerdiagramm als vereinfachte Darstellung für die Signaladdiion im Filter.FIG. 8 shows a pointer diagram as a simplified representation for the signal addition in the filter.
Figur 1 zeigt in schematischer Darstellung ein erfindungsge- mäßes Filter mit drei parallel verschalteten Spuren A, B und C. Jede Spur umfaßt einen Eingangswandler 1 und einen Aus- gangswandler 2, die zwischen zwei Reflektoren 3 und 3' angeordnet sein können, wie in der Figur dargestellt. Für die Spur A sind andeutungsweise die Elektrodenstreifen bezie- hungsweise die Elektrodenfinger der Interdigitalwandler 1, 2 und der Reflektoren 3 dargestellt. Nicht dargestellt ist die spezielle Ausgestaltung der Interdigitalwandler, bei denen die AnregungsZentren und die Reflexionszentren nicht zusammenfallen und einen Phasenwinkel von beispielsweise 45° auf- weisen. Solche Interdigitalwandler sind jedoch als SPUDT-FIG. 1 shows a schematic representation of a filter according to the invention with three tracks A, B and C connected in parallel. Each track comprises an input converter 1 and an output converter 2, which can be arranged between two reflectors 3 and 3 ', as in FIG Figure shown. For track A, the electrode strips or the electrode fingers of the interdigital transducers 1, 2 and the reflectors 3 are indicated. The special design of the interdigital transducers, in which the excitation centers and the reflection centers do not coincide and have a phase angle of, for example, 45 °, is not shown. However, such interdigital converters are available as SPUDT
Wandler oder Wandler mit gerichteter Reflexion bekannt . Bei von 45° abweichenden Phasenwinkeln zwischen 0 und 180° spricht man nicht von SPUDT-Wandlern, sondern von Wandlern mit gerichteter Reflektion.Known transducer or transducer with directional reflection. When the phase angle deviates from 45 ° between 0 and 180 °, one does not speak of SPUDT converters, but of converters with directed reflection.
Eine der möglichen Verschaltung der Interdigitalwandler ist durch Angabe des entsprechenden Vorzeichens an den Stromschienen der Interdigitalwandler veranschaulicht. Die Anschlüsse können aber auch so angeordnet sein, daß die An- Schlüsse zwischen zwei Spuren jeweils von gleicher Polarität sind, so daß sie mit einem gemeinsamen Pad verbunden werden können. Ein zweites Pad zwischen je zwei Spuren wird damit eingespart und der Verschaltungsaufwand reduziert. Möglich ist es jedoch auch, alle oder einen Teil der Eingangswandler seriell miteinander zu verschalten, ebenso die Ausgangswandler. Dabei kann dann ein Wandler parallel zu einer Serienverschaltung zweier anderer Wandler angeordnet sein. Die gegebe- nenfalls vorhandenen Reflektoren 3 können mit Masse verbunden sein, können aber auch als sogenannte floatende Reflektoren ausgebildet sein.One of the possible interconnections of the interdigital converters is illustrated by specifying the corresponding sign on the busbars of the interdigital converters. However, the connections can also be arranged such that the connections between two tracks are of the same polarity, so that they can be connected to a common pad. This saves a second pad between two tracks and reduces the wiring effort. However, it is also possible to connect all or part of the input converters in series with one another, as is the output converter. A converter can then be arranged in parallel with a series connection of two other converters. The given If necessary, reflectors 3 can be connected to ground, but can also be designed as so-called floating reflectors.
Für die Interdigitalwandler gilt, daß sie symmetrisch oder unsymmetrisch betrieben werden können. Bei symmetrischer Betriebsweise werden an die mit Plus und Minus bezeichneten Anschlüsse elektrische Signale mit entgegengesetzter Phase angelegt. Bei unsymmetrischer Betriebsweise wird das Signal nur an einem Anschluß angelegt, während der andere auf Festpotential, üblicherweise auf Masse liegt. Zum Parallelschalten der drei Spuren werden die Eingangswandler 1 parallel verschaltet und mit dem Eingang verbunden, ebenso werden die Ausgangs- wandler 2 parallel verschaltet und mit dem Ausgang verbunden.It applies to the interdigital converters that they can be operated symmetrically or asymmetrically. In symmetrical mode of operation, electrical signals with opposite phases are applied to the connections labeled plus and minus. In asymmetrical mode of operation, the signal is only applied to one connection, while the other is at a fixed potential, usually at ground. To connect the three tracks in parallel, the input converters 1 are connected in parallel and connected to the input, and the output converters 2 are also connected in parallel and connected to the output.
Figur 2 zeigt in schematischer Darstellung eine einzelne Spur, bei der zwischen den Filterstrukturen zusätzliche Gitterstrukturen 4 und 5 angeordnet sind. Erfindungsgemäß gilt, daß zumindest eine Gitterstruktur in zumindest einer Spur an- geordnet sein kann. Der Einfachheit halber sind hier mehrereFIG. 2 shows a schematic representation of a single track, in which additional lattice structures 4 and 5 are arranged between the filter structures. According to the invention, at least one lattice structure can be arranged in at least one track. For the sake of simplicity, there are several
Gitterstrukturen mit ihren möglichen Positionen gleichzeitig in der Spur angeordnet. Möglich ist es jedoch auch, weniger oder mehr Gitterstrukturen in der Spur anzuordnen. Die Gitterstruktur 5 ist vorzugsweise reflexionsfrei und stellt eine zusätzliche elektromagnetische Abschirmung zwischen den Interdigitalwandlern 1 und 2 dar. Möglich ist es auch, die Gitterstruktur 5 durch einen Metallisierungsstreifen, eine sogenannte metallisierte Laufstrecke zu ersetzen. Eine reflexionsfreie Gitterstruktur wird erhalten, wenn eine reflekti- onsfreie Kombination von Elektrodenstreifen verwendet wird, beispielsweise λ/8 breite Streifen im Abstand von λ/8. Reflexionsfreiheit entsteht durch destruktive Interferenz von z.B zwei um 180° phasenverschobenen Teilreflexionen, was einem Abstand der Streifenmitten von λ/4 entspricht. Möglich ist es jedoch auch, die Gitterstruktur 5 reflektierend auszubilden, wobei sich zwischen den einzelnen Filterstrukturen neue Resonanzräume ausbilden können. Zusätzlich zur Funktion als re- flektierendes Element kann die Gitterstruktur 5 auch mit Masse verbunden sein und zusätzlich zur elektromagnetischen Abschirmung beitragen. Die Gitterstrukturen 4 sind zwischen den Ein- und Ausgangswandlern und den jeweils benachbarten Re- flektoren 3 angeordnet und dienen allein zur Erzeugung zusätzlicher Resonanzräume . Die Elektrodenstreifen dieser Gitterstrukturen können miteinander verbunden und auf Masse gelegt sein, möglich ist es jedoch auch, wie es in der Figur dargestellt ist, einzelne nicht miteinander verbundene Elek- trodenstreifen als Gitterstrukturen auszuwählen.Lattice structures with their possible positions are simultaneously arranged in the track. However, it is also possible to arrange fewer or more lattice structures in the track. The grating structure 5 is preferably reflection-free and represents an additional electromagnetic shielding between the interdigital transducers 1 and 2. It is also possible to replace the grating structure 5 with a metallization strip, a so-called metallized running path. A reflection-free lattice structure is obtained if a reflection-free combination of electrode strips is used, for example λ / 8 wide strips at a distance of λ / 8. Freedom of reflection arises from destructive interference from, for example, two partial reflections which are 180 ° out of phase, which corresponds to a distance between the strip centers of λ / 4. However, it is also possible to make the grating structure 5 reflective, it being possible for new resonance spaces to form between the individual filter structures. In addition to functioning as a reflecting element, the lattice structure 5 can also be connected to ground and additionally contribute to electromagnetic shielding. The grating structures 4 are arranged between the input and output transducers and the respectively adjacent reflectors 3 and are used solely to generate additional resonance spaces. The electrode strips of these grid structures can be connected to one another and connected to ground, but it is also possible, as shown in the figure, to select individual electrode strips which are not connected to one another as grid structures.
Figur 3 zeigt in schematischer Darstellung drei miteinander parallel verschaltete Einzelspuren, bei denen sich die Einzelspuren A, B und C dadurch unterscheiden, daß der Abstand zwischen Eingangswandler 1 und Ausgangswandler 2 in den einzelnen Spuren unterschiedlich ist. Zusätzlich ist in den drei Spuren die gesamte Spurlänge variiert.Figure 3 shows a schematic representation of three individual tracks interconnected in parallel, in which the individual tracks A, B and C differ in that the distance between input converter 1 and output converter 2 is different in the individual tracks. In addition, the total track length is varied in the three tracks.
Figur 4 zeigt ausschnittsweise einen Bereich eines erfin- dungsgemäßen Filters, bei dem die Elektrodenfinger zweier in benachbarten Spuren nebeneinander angeordneter Interdigitalwandler einzeln miteinander verbunden sind. Spur A und Spur B unterscheiden sich dabei in ihrer Fingerperiode, die von der Spur A nach der Spur B ansteigt . In einem Übergangsbereich E sind die Verbindungsstücke zwischen den einzelnen Elektrodenfingern nicht mehr vertikal zur Ausbreitungsrichtung x der Oberflächenwelle angeordnet, sondern schräg dazu, um sich den unterschiedlichen Raster (Fingerperiode) der unterschiedlichen Spuren anzupassen. Der Anschaulichkeit halber ist der Unterschied in der Fingerperiode in der Figur übertrieben dargestellt. Nicht dargestellt ist die entsprechende Fingeranschlussfolge, die in diesem Bereich des Interdigital- wandlers beispielsweise alternierend sein kann.FIG. 4 shows a section of an area of a filter according to the invention, in which the electrode fingers of two interdigital transducers arranged next to one another in adjacent tracks are individually connected to one another. Track A and track B differ in their finger period, which increases from track A to track B. In a transition region E, the connecting pieces between the individual electrode fingers are no longer arranged vertically to the direction of propagation x of the surface wave, but at an angle to them in order to adapt to the different grid (finger period) of the different tracks. For the sake of clarity, the difference in the finger period is exaggerated in the figure. The corresponding finger connection sequence, which can for example alternate in this area of the interdigital converter, is not shown.
Figur 5 zeigt einen Ausschnitt aus einem erfindungsgemäßenFigure 5 shows a section of an inventive
Oberflächenwellenfilter, bei dem die Elektrodenfinger zweier in benachbarten Spuren nebeneinanderliegender Interdigital- wandler einzeln miteinander verbunden sind. Im Unterschied zu der Anordnung gemäß Figur 4 weisen die beiden Spuren A und B hier gleiche Fingerperiode auf. Neben den anregenden Fingern sind hier reflektierende Finger angeordnet, wobei die Anord- nung so ist, daß die dargestellten Strukturen eine gerichtete Reflexion aufweisen. Die dunkel dargestellten Elektrodenfinger können beispielsweise mit einer oberen Stromschiene, die heller dargestellten Elektrodenfinger mit einer unten liegenden Stromschiene verbunden werden. Zwischen den beiden Spuren sind daher keine separaten Stromschienen zum Anschluß der Elektrodenfinger erforderlich. Figur 5 zeigt auch, daß bei unterschiedlicher Fingeranschlußfolge trotzdem einzelne Elektrodenfinger einander benachbarter Interdigitalwandler in unterschiedlichen Spuren einzeln miteinander verbunden werden können, was durch den Übergangsbereich E ermöglicht ist, in dem die Verbindungsstücke zwischen den Elektrodenfingern unterschiedlicher Interdigitalwandler schräg gegen die Ausbreitungsrichtung der Oberflächenwelle verlaufen können.Surface wave filter in which the electrode fingers of two interdigital converters are individually connected to each other. In contrast to the arrangement according to FIG. 4, the two tracks A and B have the same finger period here. In addition to the stimulating fingers, reflective fingers are arranged here, the arrangement being such that the structures shown have a directed reflection. The electrode fingers shown in dark can be connected, for example, to an upper busbar, the lighter electrode fingers to a busbar located below. No separate busbars are therefore required between the two tracks for connecting the electrode fingers. Figure 5 also shows that in the case of different finger connection sequences, individual electrode fingers of mutually adjacent interdigital transducers can nevertheless be connected to one another individually in different tracks, which is made possible by the transition region E in which the connecting pieces between the electrode fingers of different interdigital transducers can run obliquely against the direction of propagation of the surface wave.
Figur 6 zeigt einen sogenannten FAN-Wandler, der im Prinzip aus einer unendlichen Anzahl von nebeneinanderliegenden Spuren besteht, bei denen die Elektrodenfinger benachbarter Spuren miteinander verbunden sind. Die Fingerperiode und damit die Mittenfrequenz der unendlich vielen Spuren steigt von der einen Seite des Wandlers zur anderen kontinuierlich an. Da die Struktur eine Parallelschaltung der infinitesimal schmalen Teilspuren darstellt, wird ein Gesamtwandler beziehungsweise ein OFW-Filter erhalten, welches eine erhöhte Bandbreite gegenüber einem OFW-Filter besitzt, bei dem die Spuren einheitliche Mittenfrequenzen aufweisen.FIG. 6 shows a so-called FAN converter, which in principle consists of an infinite number of adjacent tracks, in which the electrode fingers of adjacent tracks are connected to one another. The finger period and thus the center frequency of the infinite number of tracks increases continuously from one side of the transducer to the other. Since the structure represents a parallel connection of the infinitesimally narrow partial tracks, an overall converter or an SAW filter is obtained which has an increased bandwidth compared to an SAW filter in which the tracks have uniform center frequencies.
In Figur 7 sind die Kurven für das Übertragungsverhalten von drei akustischen Spuren dargestellt, bei denen unterschiedliche Phasenwinkel zwischen den Anregungs- und Reflexionszen- tren der Interdigitalwandler eingestellt sind. Bei einem von 45° abweichenden Phasenwinkel wird eine Übertragungskurve erhalten, die ein unsymmetrisches Paßband aufweist. Als wesent- licher Unterschied wird am Paßband eine Flanke steiler, während die andere flacher abfällt. In der Figur sind drei Über- tragungskurven dargestellt, wobei in den Wandlern Phasenwinkel von 25, 45 und 65° eingestellt sind. Durch Überlagerung dieser drei Signale in der Parallelverschaltung wird insgesamt ein Übertragungsverhalten erhalten, welches wiederum bezüglich der Mittenfrequenz symmetrisch ist. Dabei bleiben die steiler eingestellten Flanken der Anordnungen mit von 45° abweichendem Phasenwinkel auch in der Überlagerung erhalten.FIG. 7 shows the curves for the transmission behavior of three acoustic tracks, in which different phase angles between the excitation and reflection centers of the interdigital transducers are set. If the phase angle deviates from 45 °, a transmission curve is obtained which has an asymmetrical pass band. As an essential The difference becomes steeper on the pass band, while the other falls flat. The figure shows three transmission curves, phase angles of 25, 45 and 65 ° being set in the converters. By superimposing these three signals in the parallel connection, overall a transmission behavior is obtained, which in turn is symmetrical with respect to the center frequency. The steeper flanks of the arrangements with a phase angle deviating from 45 ° are also retained in the overlay.
In Figur 8 ist ein zweidimensionales Zeigerdiagramm dargestellt, wobei jeder Pfeil für einen komplexen Zeiger steht, der durch Betrag und Phase bei einer bestimmten Frequenz gekennzeichnet ist. Die den einzelnen Spuren A, B und C zuge- ordneten Vektoren sind so gewählt, daß sie in der Addition gegen Null gehen. Für diese Frequenz würden die drei Spuren dann eine Auslöschung des Signals, also eine maximale Dämpfung ergeben. Aus der Figur wird auch klar, daß sich mit Hilfe von drei Vektoren beziehungsweise mit Hilfe von drei Spu- ren eine solche Auslöschung einfacher erreichen läßt, als dies mit zwei Spuren der Fall wäre. Die betragsmäßig größeren Vektoren A und B sind so gewählt, daß sie sich bei der Addition nahezu kompensieren. Der verbleibende Betrag wird mit Hilfe eines geeignet gewählten dritten Vektors C in einfacher Weise kompensiert. Aufgrund des geringeren zu kompensierenden Betrags ist die Restkompensation einfacher einzustellen, zumal nicht unbedingt der Wert Null erhalten werden muß. Es genügt, den dritten Vektor C so zu wählen, daß das Ergebnis, also die Addition der drei Vektoren einen Betrag ergibt, der unterhalb eines vorgegebenen Grenzwertes liegt. Dies erlaubt es beispielsweise, die Phase des Vektors C nur annähernd einzustellen und die Feinregulierung dann über den Betrag vorzunehmen. Im Oberflächenwellenfilter kann der Betrag dann über eine Variation der Apertur eingestellt werden.FIG. 8 shows a two-dimensional pointer diagram, each arrow representing a complex pointer which is characterized by the amount and phase at a specific frequency. The vectors assigned to the individual tracks A, B and C are selected such that they go towards zero in the addition. For this frequency, the three tracks would then result in an extinction of the signal, ie maximum attenuation. It is also clear from the figure that with the aid of three vectors or with the aid of three tracks, such an erasure can be achieved more easily than would be the case with two tracks. The larger vectors A and B are chosen so that they almost compensate each other during the addition. The remaining amount is compensated in a simple manner with the aid of a suitably chosen third vector C. Because of the smaller amount to be compensated, the residual compensation is easier to set, especially since the value zero does not necessarily have to be obtained. It is sufficient to choose the third vector C such that the result, that is to say the addition of the three vectors, gives an amount which is below a predetermined limit value. This makes it possible, for example, to adjust the phase of the vector C only approximately and then to fine-tune the amount. The amount can then be set in the surface acoustic wave filter by varying the aperture.
Die Erfindung wird hier nur anhand einiger exemplarischer Ausfuhrungsbeispiele dargestellt, ist natürlich aber nicht auf diese beschränkt. Vielmehr ist es möglich, eine Reihe von Parametern zu variieren. Möglich ist es auch, die in den unterschiedlichen Figuren dargestellten Variationsmöglichkeit zu kombinieren, und dadurch komplexere Oberflächenwellenfil- ter zu schaffen. Auch ist die Erfindung nicht auf einen Ober- flächenwellenfilter mit drei Spuren begrenzt. Vielmehr erlaubt es die Erfindung, auch Oberflächenwellenfilter mit einer höheren Anzahl an Spuren herzustellen. Durch die Parallel- oder Serienverschaltung von drei und mehr Spuren und die damit erhaltene Überlagerung der Signale aus den einzelnenThe invention is shown here only on the basis of a few exemplary embodiments, but is of course not limited to this. Rather, it is possible to vary a number of parameters. It is also possible to combine the possible variations shown in the different figures, and thereby to create more complex surface acoustic wave filters. The invention is also not limited to a surface wave filter with three tracks. Rather, the invention allows surface wave filters to be produced with a higher number of tracks. Through the parallel or series connection of three or more tracks and the resulting overlay of the signals from the individual
Spuren kann in erfindungsgemäßer Weise ein komplexeres Übertragungsverhalten des Oberflächenwellenfilters dargestellt werden. Bei einer Verkürzung der Spurlänge kann trotz verschlechterter Eigenschaften der Einzelspur in der Summe den- noch ein gewünschtes Übertragungsverhalten erhalten werden, welches die genannten Anforderungen beziehungsweise Spezifikationen des Mobilfunksystems erfüllt. A more complex transmission behavior of the surface acoustic wave filter can be represented in the manner according to the invention. If the track length is shortened, despite the deterioration of the properties of the individual track, a desired transmission behavior can be obtained which fulfills the requirements or specifications of the mobile radio system.

Claims

Patentansprüche claims
1. Oberflächenwellenfilter mit zumindest drei unterschiedlichen, elektrisch seriell, parallel, oder seriell und parallel geschalteten akustischen Spuren (A,B,C), bei dem jede Spur zumindest zwei als Ein- und Ausgangswandler dienende Interdigitalwandler (1, 2) aufweist, bei dem jede Spur ein Teilfilter ist, in dem zwischen den Zentren von Anregung und Reflexion ein Phasenwinkel eingestellt ist, der ungleich einem Vielfachen von 90° ist, bei dem die einzelnen Spuren so ausgebildet sind, daß sich ein gewünschtes und bezüglich Flankensteilheit, Passband und Einfügedämpfung vorgegebenes Übertragungs- verhalten erst aus der Überlagerung des Verhaltens der drei akustischen Spuren ergibt.1. Surface acoustic wave filter with at least three different, electrically serial, parallel, or serial and parallel acoustic tracks (A, B, C), in which each track has at least two interdigital transducers (1, 2) serving as input and output transducers, in which Each track is a sub-filter in which a phase angle is set between the centers of excitation and reflection, which is not equal to a multiple of 90 °, in which the individual tracks are designed so that a desired and given with respect to slope, pass band and insertion loss is specified Transmission behavior only results from the superimposition of the behavior of the three acoustic tracks.
2. Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, bei dem zumindest zwei Interdigitalwandler (1,2) in den unterschiedlichen Spuren (A,B,C) unterschiedlich ausgebildet sind.2. Surface wave filter according to claim 1, in which at least two interdigital transducers (1, 2) in the different tracks (A, B, C) are designed differently.
3. Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 oder 2, bei dem innerhalb zumindest einer Spur (A,B,C) eine zu- sätzliche Gitterstruktur (4,5) oder eine metallisierte Laufstrecke zwischen den beiden Interdigitalwandlern (1,2) oder zwischen einem Interdigitalwandler und dem Reflektor (3) angeordnet ist, die elektrisch nicht mit einem Ein- oder Ausgangswandler verbunden ist.3. Surface acoustic wave filter according to claim 1 or 2, in which within at least one track (A, B, C) an additional lattice structure (4,5) or a metallized path between the two interdigital transducers (1,2) or between an interdigital transducer and the reflector (3) is arranged, which is not electrically connected to an input or output converter.
4. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-3, bei dem die Gitterstruktur (4,5) oder die metallisierte Laufstrecke mit Masse verbunden ist, reflexionsfrei ausgebildet und zwischen Ein- und Ausgangswandler (1,2) an- geordnet ist. 4. Surface wave filter according to one of claims 1-3, in which the grating structure (4,5) or the metallized running path is connected to ground, is designed to be reflection-free and is arranged between the input and output transducers (1,2).
5. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-4, bei dem die Aperturen der akustischen Spuren (A,B,C) unterschiedlich sind.5. Surface acoustic wave filter according to one of claims 1-4, in which the apertures of the acoustic tracks (A, B, C) are different.
6. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-5, bei dem die Abstände der AnregungsZentren und der Reflexionszentren zwischen Ein- und Ausgangswandler (1,2) in den akustischen Spuren unterschiedlich sind.6. Surface acoustic wave filter according to one of claims 1-5, in which the distances between the excitation centers and the reflection centers between input and output transducers (1, 2) are different in the acoustic tracks.
7. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-6, bei dem mehr als drei akustische Spuren (A,B,C) seriell, parallel, oder teils seriell und teils parallel geschaltet sind.7. Surface acoustic wave filter according to one of claims 1-6, in which more than three acoustic tracks (A, B, C) are connected in series, in parallel, or in part in series and in part in parallel.
8. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-7, bei dem zumindest einige der akustischen Spuren (A,B,C) auf einem Chip parallel zueinander angeordnet sind, bei dem zumindest zwei Interdigitalwandler (1,2) aus einander benachbarten Spuren nebeneinander angeordnet sind und bei dem Elektrodenfinger aus beiden Interdigitalwandlern einzeln miteinander spurübergreifend verbunden sind.8. Surface acoustic wave filter according to one of claims 1-7, in which at least some of the acoustic tracks (A, B, C) are arranged parallel to one another on a chip, in which at least two interdigital transducers (1, 2) from adjacent tracks are arranged next to one another and are individually connected to one another across tracks in the electrode fingers from both interdigital transducers.
9. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-8, bei dem die Interdigitalwandler in den unterschiedlichen Spuren (A,B,C) eine unterschiedliche Verteilung von Anregung und Reflexion aufweisen.9. Surface acoustic wave filter according to one of claims 1-8, in which the interdigital transducers in the different tracks (A, B, C) have a different distribution of excitation and reflection.
10.Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 9, bei dem von 45° abweichende Phasenwinkel zwischen Anre- gung und Reflexion so eingestellt werden, daß in den Einzelspuren (A,B,C) jeweils unterschiedliche Flanken des Passbands steiler eingestellt werden als bei einheitlichem Phasenwinkel von 45° und entsprechendem symmetrischen Übertragungsverhalten.10. Surface wave filter according to claim 9, in which the phase angle deviating from 45 ° between excitation and reflection are set such that different flanks of the pass band are set steeper in the individual tracks (A, B, C) than with a uniform phase angle of 45 ° and corresponding symmetrical transmission behavior.
11. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1-11, bei dem die Mittenfrequenz in den unterschiedlichen Spu- ren unterschiedlich ist. 11. Surface wave filter according to one of claims 1-11, wherein the center frequency in the different Spu ren is different.
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