EP1023538A1 - Spiral vacuum pump - Google Patents

Spiral vacuum pump

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Publication number
EP1023538A1
EP1023538A1 EP97938731A EP97938731A EP1023538A1 EP 1023538 A1 EP1023538 A1 EP 1023538A1 EP 97938731 A EP97938731 A EP 97938731A EP 97938731 A EP97938731 A EP 97938731A EP 1023538 A1 EP1023538 A1 EP 1023538A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
spiral
wall
vacuum pump
disc
pump according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP97938731A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
René GIGON
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ateliers Busch SA
Original Assignee
Ateliers Busch SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ateliers Busch SA filed Critical Ateliers Busch SA
Publication of EP1023538A1 publication Critical patent/EP1023538A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01CROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C21/00Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
    • F01C21/10Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings
    • F01C21/102Adjustment of the interstices between moving and fixed parts of the machine by means other than fluid pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/0207Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
    • F04C18/0215Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
    • F04C18/0223Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving with symmetrical double wraps

Definitions

  • the present invention relates to a spiral vacuum pump, in particular the means for ensuring a certain seal between the movable part and the fixed part of the pump.
  • Spiral vacuum pumps are generally known in the art. They consist in particular of a fixed envelope portion supporting at least a first wall in the form of a spiral, and a movable portion, supporting at least a second wall in the form of a spiral, moving in an orbital motion at the inside said envelope portion.
  • the two spirals being nested one inside the other, the orbital movement of the spiral mounted on the movable portion relative to the spiral mounted on the fixed envelope portion creates a change of shape and a displacement, along said spirals, a plurality of transfer chambers, each limited by a wall portion of the fixed casing portion, the movable portion and two spirals.
  • An important problem of known pumps consists in ensuring the tightness of the transfer chamber, between the edge of the fixed spiral and the wall portion of the movable portion which faces it as well as between the edge of the movable spiral and the wall portion of the fixed envelope portion which faces it, respectively between the transfer chambers.
  • One known way of solving this problem consists in allowing a slight axial movement of the movable portion on its axis, and in ensuring the sealing of the transfer chamber by placing a seal disposed in a groove running along the edges of the spirals, said seals coming into sliding contact against the walls which face them, thus causing the movable portion according to an orbital movement to center itself inside the fixed envelope portion.
  • the seal must be a wear seal, that is to say relatively rigid, respectively having only little elasticity.
  • a first method consists in interposing a flexible seal between the bottom of the groove and the wear seal; the dimensional adaptation being produced by the flexible joint.
  • a major drawback of this solution comes from its high cost.
  • a second method consists in providing an air circulation channel between the bottom of the groove and the sliding joint, this air circulation channel having an intake orifice at a place in the spiral where the air is relatively high pressure.
  • One of the drawbacks of this method comes from the irregularities of effect between various operating modes of the pump.
  • these systems where the seals are in sliding contact with a wall lead to wear of said seals, or to fouling of the transfer chamber and the need for frequent change of seals, as well as 'to a heating of the walls on which the joints slide.
  • sealing is not guaranteed in the same way between new seals and worn seals, leading to a deterioration in the performance of the pump during use.
  • a first object of the invention is therefore to propose a spiral vacuum pump which does not meet the mentioned drawbacks of known pumps.
  • the proposed pump avoids using seals in sliding contact on a wall; on the contrary, a very slight clearance is left during the mounting of the pump between the seal and the wall which faces it.
  • This first provision avoids having to install an elastic means under the joint.
  • the movable portion is mounted on its axis so as to have no possible axial movement.
  • FIG. 1 represents a view in longitudinal section of a preferred embodiment of a spiral vacuum pump according to the invention
  • FIG. 2 represents a cross-sectional view along the line II-II of the previous figure
  • FIG. 3A represents an enlarged sectional section of a spiral joint
  • FIG. 3B represents the same portion of the device in the embodiment without joint
  • FIG. 4 represents an enlarged sectional view along line IV-IV of FIG. 2.
  • Figure 1 shows a preferred embodiment of a scroll vacuum pump 1 seen in section along its longitudinal axis.
  • the pump shown is composed of a drive part 10, in this case an electric motor, of a coupling part 11 as well as of the pump body 12, these three elements being connected by an external carcass 13, it - even mounted on a chassis 14.
  • the pump body 12 essentially comprises a fixed portion 2 and a movable portion 3.
  • the fixed portion 2 is composed of two half-shells 20 and 21, fixed together by fixing means such as for example the screws 22, the half-shell 20 being fixed to the carcass 13, respectively to the frame 14, by other fixing means such as for example the screws 23.
  • a circular seal 24 seals between the two half-shells 20 and 21.
  • the bottom walls 25, respectively 26, of the two half-shells 20 and 21 are essentially plane along a plane perpendicular to the axis 15 of the pump and each comprise a spiral wall 27, respectively 28, projecting perpendicularly to said bottom walls 25 and 26, and extending from a region close to the large diameter part of the wall 25 or 26 towards a region close to the center of each of the same walls.
  • the movable portion 3 is composed of a central disc 30 supporting on each of its opposite faces 31 and 32 a spiral wall 33, respectively 34, projecting perpendicularly to said faces 31 and 32, and extending from a region close to the part of large diameter of the face 31 or 32 towards a region close to the center of each of the same faces.
  • Figure 2 which is a section along the line ll-ll of Figure 1, shows the half-shell 20 and the spiral 28 which is adjacent to the half-shell 21, as well as the central disc 30 and the spiral 34 which is attached. We see that the two spirals 28 and 34 have the same development and are nested.
  • the disc 30 is mounted in its center on a shaft portion 16 mounted eccentrically to the axis 15 of the drive shaft 17 of the pump (see Figure 1); on the other hand, the disc 30 is guided by eccentric guide means 4 (see Figure 2).
  • the disk 30, respectively the whole of the mobile portion 3 has an orbital movement during the rotation of the drive axis 17.
  • this orbital movement between the mobile spiral 34 and the fixed spiral 28 creates a change in shape, a displacement as well as a reduction in volume of a transfer chamber 50 disposed between the walls of the two said spirals, leading to an admission and compression of the gas or air that 'it contains.
  • the same arrangement of spirals 27 and 33 is provided on the other side of the disc 30, for the same effect.
  • the spiral 34 During its orbital movement, the upper edge 34A of the spiral 34 scans a portion of the surface 26.
  • the spiral 34 has a seal 5 on its upper edge 34A in order to separate two transfer chambers 50 and 51 arranged on each side of the spiral 34.
  • the seal 5 has the same spiral shape as the spiral wall which supports it, being fixed in a grooved housing 34B arranged in the edge 34A. Since this seal must be able to slide on the wall 26, it is generally fairly rigid and is not very compressible. In the pumps existing to date, in order to seal between the transfer chambers 50 and 51, pressure means were provided under the seal 5 in order to press the upper face 52 of said seal against the wall 26.
  • These pressure means consisted either of a second elastic seal disposed at the bottom of the housing 34B, or of a gas or air pressure chamber provided in the bottom of the housing 34B. As indicated previously, these means led to heating due to the friction of the seal against the wall, to wear of the seal and fouling of the transfer chambers.
  • the solution proposed here takes into account the fact that two opposite transfer chambers on a spiral, the two chambers 50 and 51 in the example shown, are at pressures that are relatively little different from each other on a given portion of surface 26, respectively for a determined angular position of the orbital movement (see figure 2).
  • the absolute pressure in a transfer chamber increases regularly during its passage from the start of the spiral towards the center thereof, the pressure difference between two contiguous chambers is relatively small.
  • the device therefore comprises, according to this embodiment, a joint 5, rigid or semi-rigid, non-deformable, mounted in a grooved housing 34B with an edge 34A of the spiral 34.
  • the entire device is mounted so as to leave a minimum clearance, of the order of 0 to 5 hundredths of a mm between the upper face 52 of the seal 5 and the wall 26.
  • This minimal clearance makes it possible to avoid the drawbacks mentioned above, namely heating of the seal against the wall , the wear of the seal and the fouling of the transfer chambers.
  • the seal 5 has been shown here as having a flat upper surface 52; such an arrangement is not absolutely necessary, this surface could also be curved or have an edge line facing the wall which faces it, the important thing being the minimal clearance mentioned which must exist between the portion of the joint closest to the wall facing it and said wall.
  • the seal 5 has been removed and it is directly the upper edge 34A of the spiral 34 which is separated from the wall which faces it by a clearance between 0 and 5 hundredths of a mm. As before, it is not essential that this upper edge is planar.
  • the disc 30 carrying the spirals 33 and 34 can be exactly centered in the space situated between the walls 25 and 26 of the half-shells 20 and 21, leaving a determined clearance, of the order of a few hundredths of mm between the joints 5, respectively the upper edges of the spiral walls, and the walls 25 or 26 which face them.
  • a first balancing means consists in providing one or more counterweights 60 mounted in rotation with the axis of rotation 15 of the movable portion 3.
  • a first fixing disc 61 is fixed on the end of the portion of shaft 18A close to the drive shaft 17, and a second fixing disc 62 is fixed to a portion of shaft 18, aligned on the axis 15 and disposed on the other side of the eccentric portion 16, the counterweights 60 being fixed on said fixing discs 61 and 62.
  • the two discs attachment 61 and 62 are juxtaposed with wheels carrying the ventilation means 63 of the pump and the motor, without this being absolutely necessary for the operation of the pump according to the invention.
  • each of the counterweights 60 are determined in a known manner for static balancing in order to counterbalance the unbalance created by the eccentric movable portion 3 as well as other unbalances of the rotating parts.
  • a second balancing means consists in angularly shifting the spirals 27 and 33 by 180 ° relative to the spirals 28 and 34. Referring to FIG. 2, if we see that the intake openings of the spirals 28 and 34 are located approximately at 7 a.m. according to an hourly dial, the spirals 27 and 33 arranged on the other side of the disc 30 and not visible in the figure have their intake openings located approximately at 1 o'clock on the same hourly dial.
  • Such an arrangement slightly reduces the unbalance of the mobile portion 3.
  • Another advantage of such an arrangement being that by putting in parallel the gas and air inlets and outlets of the spirals on the intake orifices, respectively discharge of the pump, the amplitude of the gas or air pressure pulsations is halved while the frequency of said pulsations is doubled. There is therefore a suction, respectively a more regular expulsion of gas or air.
  • the two balancing means mentioned provide static balancing of the movable portion 3 of the pump; in order to guarantee that the play of a few hundredths of a mm on the seals mentioned above are maintained during the operation of the pump, a dynamic balancing of the entire rotating part of the device is also carried out according to a known dynamic balancing technique .
  • FIG. 1 shows small masses 64 and 65 respectively disposed on the ventilation means 63, which were fixed during this dynamic balancing operation.
  • each guide means 4 consists of a first portion of shaft 40, in rotation in a housing 41 provided in the half-shell 20.
  • a crank pin 42 is fixed to one end of the first shaft portion 40, said crank pin carrying a second shaft portion 43 mounted eccentrically relative to the first shaft portion 40.
  • the offset value between the shaft portions 43 and 40 corresponds at the offset value between the drive shaft 17 and the offset bearing 16.
  • the second shaft portion 43 is pivotally mounted in a housing 44 of the central disc 30, a needle bearing 45 ensuring this pivoting. Since the central disc 30 is guided during its orbital movement by the eccentric bearing 16 as well as by the shaft portions 43, that is to say in more than two points, one could have a blockage of the orbital movement or at least a strong wear bearings if the dimensional manufacturing tolerances do not compensate for each other. To overcome this, it is necessary to provide a possibility of adapting the positioning of the central disc 30 relative to the guide means 4.
  • the shaft bearing 43 includes at least one groove 46 in which an elastic O-ring O-Ring type is arranged.
  • FIG. 2 shows the intake chamber 53 and the expulsion chamber 54 of the set of spirals 28,34.
  • the means to connecting the chambers together and connecting them to their respective orifices are known in the art.

Abstract

The invention concerns a pump with spirals comprising means (29, 19, 19A) for preserving a minimum clearance between the joints (5) arranged on the ridges of each spiralling wall (27, 28, 33, 34) and the flat wall (25, 26, 31, 32) facing it. Such an arrangement, which is made possible by the low pressure difference prevailing between the two adjacent transfer chambers (50, 51), prevents the wear of the joints, the soiling of the transfer chambers as well as overheating caused by friction between the joints.

Description

Pompe à vide à spirales Spiral vacuum pump
La présente invention concerne une pompe à vide à spirales, notamment les moyens permettant d'assurer une certaine étanchéité entre la partie mobile et la partie fixe de la pompe.The present invention relates to a spiral vacuum pump, in particular the means for ensuring a certain seal between the movable part and the fixed part of the pump.
Les pompes à vide à spirales sont généralement connues de la technique. Elle sont constituées notamment d'une portion d'enveloppe fixe supportant au moins une première paroi en forme de spirale, et d'une portion mobile, supportant au moins une deuxième paroi en forme de spirale, en déplacement selon un mouvement orbital à l'intérieur de ladite portion d'enveloppe. Les deux spirales étant imbriquées l'une dans l'autre, le mouvement orbital de la spirale montée sur la portion mobile relativement à la spirale montée sur la portion d'enveloppe fixe crée un changement de forme et un déplacement, le long desdites spirales, d'une pluralité de chambres de transfert, chacune limitée par une portion de paroi de la portion d'enveloppe fixe, de la portion mobile ainsi que des deux spirales. Considérant une chambre de transfert, son déplacement amène ainsi une quantité de gaz ou d'air introduite dans ladite chambre lorsque celle-ci se trouve à une extrémité desdites spirales vers l'autre extrémité desdites spirales où ladite quantité de gaz ou d'air peut s'échapper. Dans le cas où le gaz ou l'air est introduit depuis l'extérieur des spirales pour être extrait vers l'intérieur des spirales, on a une diminution du volume de la chambre de transfert entre ces deux points, respectivement une augmentation de la pression du gaz ou de l'air.Spiral vacuum pumps are generally known in the art. They consist in particular of a fixed envelope portion supporting at least a first wall in the form of a spiral, and a movable portion, supporting at least a second wall in the form of a spiral, moving in an orbital motion at the inside said envelope portion. The two spirals being nested one inside the other, the orbital movement of the spiral mounted on the movable portion relative to the spiral mounted on the fixed envelope portion creates a change of shape and a displacement, along said spirals, a plurality of transfer chambers, each limited by a wall portion of the fixed casing portion, the movable portion and two spirals. Considering a transfer chamber, its movement thus brings a quantity of gas or air introduced into said chamber when the latter is at one end of said spirals towards the other end of said spirals where said quantity of gas or air can escape. In the case where gas or air is introduced from the outside of the spirals to be extracted towards the inside of the spirals, there is a decrease in the volume of the transfer chamber between these two points, respectively an increase in the pressure gas or air.
L'avantage de telles pompes est qu'elles peuvent travailler complètement à sec, c'est-à-dire qu'aucun lubrifiant n'entre en contact avec le gaz ou l'air pompé qui ne peut donc être contaminé, faisant qu'elles sont particulièrement adaptées pour des laboratoires, l'industrie chimique, l'industrie de l'alimentation, etc.The advantage of such pumps is that they can work completely dry, that is to say that no lubricant comes into contact with the gas or the pumped air which cannot therefore be contaminated, so that they are particularly suitable for laboratories, the chemical industry, the food industry, etc.
Un problème important des pompes connues consiste à assurer l'étanchéité de la chambre de transfert, entre l'arête de la spirale fixe et la portion de paroi de la portion mobile qui lui fait face ainsi qu'entre l'arête de la spirale mobile et la portion de paroi de la portion d'enveloppe fixe qui lui fait face, respectivement entre les chambres de transfert.An important problem of known pumps consists in ensuring the tightness of the transfer chamber, between the edge of the fixed spiral and the wall portion of the movable portion which faces it as well as between the edge of the movable spiral and the wall portion of the fixed envelope portion which faces it, respectively between the transfer chambers.
Une manière connue de résoudre ce problème consiste à permettre un léger mouvement axial de la portion mobile sur son axe, et d'assurer l'étanchéité de la chambre de transfert en disposant un joint disposé dans une rainure courant le long des arêtes des spirales, lesdits joints venant en contact glissant contre les parois qui leur font face, amenant ainsi la portion mobile selon un déplacement orbital à se centrer elle-même à l'intérieur de la portion d'enveloppe fixe. Vu le contact glissant mentionné, le joint doit être un joint d'usure, c'est-à-dire relativement rigide, respectivement n'ayant que peu d'élasticité. Afin de permettre l'adaptation dimensionnelle des joints pour assurer l'étanchéité de la chambre de transfert, une première méthode consiste à intercaler un joint souple entre le fond de la rainure et le joint d'usure; l'adaptation dimensionnelle étant produite par le joint souple. Un inconvénient majeur de cette solution provient de son coût élevé. Une deuxième méthode consiste à prévoir un canal de circulation d'air entre le fond de la rainure et le joint glissant, ce canal de circulation d'air ayant un orifice d'admission en un endroit de la spirale où l'air est à relativement haute pression. Un des inconvénients de cette méthode provient des irrégularités d'effet entre divers régimes de fonctionnement de la pompe. D'autre part et de manière générale, ces systèmes où les joints sont en contact glissant avec une paroi amènent à une usure desdits joints, soit à un encrassement de la chambre de transfert et la nécessité d'un changement fréquent de joints, ainsi qu'à un échauffement des parois sur lesquelles glissent les joints. De plus, l'étanchéité n'est pas garantie de la même manière entre des joints neufs et des joints usés, amenant à une dégradation des performances de la pompe en cours d'usage.One known way of solving this problem consists in allowing a slight axial movement of the movable portion on its axis, and in ensuring the sealing of the transfer chamber by placing a seal disposed in a groove running along the edges of the spirals, said seals coming into sliding contact against the walls which face them, thus causing the movable portion according to an orbital movement to center itself inside the fixed envelope portion. Given the sliding contact mentioned, the seal must be a wear seal, that is to say relatively rigid, respectively having only little elasticity. In order to allow the dimensional adaptation of the seals to ensure the sealing of the transfer chamber, a first method consists in interposing a flexible seal between the bottom of the groove and the wear seal; the dimensional adaptation being produced by the flexible joint. A major drawback of this solution comes from its high cost. A second method consists in providing an air circulation channel between the bottom of the groove and the sliding joint, this air circulation channel having an intake orifice at a place in the spiral where the air is relatively high pressure. One of the drawbacks of this method comes from the irregularities of effect between various operating modes of the pump. On the other hand and generally, these systems where the seals are in sliding contact with a wall lead to wear of said seals, or to fouling of the transfer chamber and the need for frequent change of seals, as well as 'to a heating of the walls on which the joints slide. In addition, sealing is not guaranteed in the same way between new seals and worn seals, leading to a deterioration in the performance of the pump during use.
Un premier but de l'invention est donc de proposer une pompe à vide à spirales ne rencontrant pas les inconvénients mentionnés des pompes connues.A first object of the invention is therefore to propose a spiral vacuum pump which does not meet the mentioned drawbacks of known pumps.
Pour ceci, la pompe proposée évite d'utiliser des joints en contact glissant sur une paroi; au contraire un très léger jeu est laissé lors du montage de la pompe entre le joint et la paroi qui lui fait face. Cette première disposition permet d'éviter de devoir installer un moyen élastique sous le joint. De plus, afin d'éviter que contrairement à ce qui est désiré, le joint vienne intempestivement en contact glissant avec la paroi, la portion mobile est montée sur son axe de manière à n'avoir aucun mouvement axial possible. Ainsi, tous les problèmes de frottement, d'usure et d'echauffement entre les portions fixes et mobiles sont évités, tout en garantissant une étanchéité suffisante de la chambre de transfert. Une deuxième forme d'exécution permet de supprimer complètement les joints entre les portions fixes et mobiles.For this, the proposed pump avoids using seals in sliding contact on a wall; on the contrary, a very slight clearance is left during the mounting of the pump between the seal and the wall which faces it. This first provision avoids having to install an elastic means under the joint. In addition, in order to avoid that, contrary to what is desired, the seal inadvertently comes into sliding contact with the wall, the movable portion is mounted on its axis so as to have no possible axial movement. Thus, all the problems of friction, wear and overheating between the fixed and movable portions are avoided, while ensuring sufficient sealing of the transfer chamber. A second embodiment makes it possible to completely remove the joints between the fixed and mobile portions.
Un autre problème relatif aux pompes à vide à spirales est le balourd créé par la portion mobile montée de manière excentrée relativement à l'axe d'entraînement, provoquant ainsi des vibrations lorsque la pompe à vide est en fonctionnement. De manière connue, un ou plusieurs contrepoids attenants à l'arbre d'entraînement permettent de réaliser un équilibrage statique des masses en rotation. Dans le cas d'une pompe à vide dont la portion mobile comprend deux parois en spirale disposées chacune sur une face d'une paroi centrale, un décalage de 180° entre les deux spirales permet déjà de diminuer sensiblement le déséquilibre des masses en rotation. Cette disposition a en outre l'avantage de diminuer d'un facteur deux les pointes de dépression de gaz ou d'air à l'entrée de la pompe, respectivement les pointes de pression à la sortie de la pompe, tout en doublant leur fréquence. Néanmoins, en fonctionnement, des vibrations provenant d'un manque d'équilibrage dynamique peuvent agir sur la partie mobile et ne pas permettre le maintien du jeu décrit précédemment entre le joint et la paroi qui lui fait face. Afin d'éviter ceci, la portion mobile de la pompe à vide est aussi équilibrée dynamiquement.Another problem with spiral vacuum pumps is the unbalance created by the movable portion mounted eccentrically relative to the drive axis, thus causing vibrations when the vacuum pump is in operation. In known manner, one or more counterweights adjoining the drive shaft make it possible to achieve static balancing of the rotating masses. In the case of a vacuum pump, the movable portion of which comprises two spiral walls each disposed on one face of a central wall, a 180 ° offset between the two spirals already makes it possible to substantially reduce the imbalance of the rotating masses. This arrangement also has the advantage of reducing the gas or air vacuum peaks at the inlet of the pump by a factor of two, respectively the pressure peaks at the outlet of the pump, while doubling their frequency. . However, in operation, vibrations from a lack of dynamic balancing can act on the movable part and not allow the clearance described above to be maintained between the seal and the wall facing it. To avoid this, the mobile portion of the vacuum pump is also dynamically balanced.
Afin d'atteindre les buts fixés, il est proposé une pompe à vide à spirales possédant les caractéristiques de la revendication principale, des variantes ou formes d'exécution particulières étant décrites dans les revendications dépendantes.In order to achieve the set goals, there is provided a scroll vacuum pump having the features of the main claim, particular variants or embodiments being described in the dependent claims.
La description qui suit d'une forme d'exécution préférentielle d'une pompe à vide à spirales selon l'invention est à considérer en regard du dessin annexé comportant les figures où: la figure 1 représente une vue en coupe longitudinale d'une forme d'exécution préférentielle d'une pompe à vide à spirales selon l'invention,The following description of a preferred embodiment of a spiral vacuum pump according to the invention is to be considered with reference to the appended drawing comprising the figures where: FIG. 1 represents a view in longitudinal section of a preferred embodiment of a spiral vacuum pump according to the invention,
la figure 2 représente une vue en coupe transversale selon la ligne ll-ll de la figure précédente,FIG. 2 represents a cross-sectional view along the line II-II of the previous figure,
la figure 3A représente une portion en coupe agrandie d'un joint de spirale,FIG. 3A represents an enlarged sectional section of a spiral joint,
la figure 3B représente la même portion du dispositif dans la forme d'exécution sans joint, etFIG. 3B represents the same portion of the device in the embodiment without joint, and
la figure 4 représente une vue en coupe agrandie selon la ligne IV- IV de la figure 2.FIG. 4 represents an enlarged sectional view along line IV-IV of FIG. 2.
La figure 1 montre une forme d'exécution préférentielle d'une pompe à vide à spirales 1 vue en coupe le long de son axe longitudinal. La pompe représentée est composée d'une partie d'entraînement 10, dans le cas présent un moteur électrique, d'une partie d'accouplement 11 ainsi que du corps de pompe 12, ces trois éléments étant reliés par une carcasse extérieure 13, elle- même montée sur un châssis 14. Le corps de pompe 12 comprend essentiellement une portion fixe 2 et une portion mobile 3.Figure 1 shows a preferred embodiment of a scroll vacuum pump 1 seen in section along its longitudinal axis. The pump shown is composed of a drive part 10, in this case an electric motor, of a coupling part 11 as well as of the pump body 12, these three elements being connected by an external carcass 13, it - even mounted on a chassis 14. The pump body 12 essentially comprises a fixed portion 2 and a movable portion 3.
Dans cette forme d'exécution, la portion fixe 2 est composée de deux demi-coquilles 20 et 21 , fixées entre elles par des moyens de fixation comme par exemple les vis 22, la demi-coquille 20 étant fixée à la carcasse 13, respectivement au châssis 14, par d'autres moyens de fixation comme par exemple les vis 23. Un joint d'étanchéité circulaire 24 assure l'étanchéité entre les deux demi-coquilles 20 et 21. Les parois de fond 25, respectivement 26, des deux demi-coquilles 20 et 21 sont essentiellement planes selon un plan perpendiculaire à l'axe 15 de la pompe et comprennent chacune une paroi en spirale 27, respectivement 28, en saillie perpendiculairement auxdites parois de fond 25 et 26, et s'étendant depuis une région proche de la partie de grand diamètre de la paroi 25 ou 26 vers une région proche du centre de chacune des mêmes parois. La portion mobile 3 est composée d'un disque central 30 supportant sur chacune de ses faces opposées 31 et 32 une paroi en spirale 33, respectivement 34, en saillie perpendiculairement auxdites faces 31 et 32, et s'étendant depuis une région proche de la partie de grand diamètre de la face 31 ou 32 vers une région proche du centre de chacune des mêmes faces.In this embodiment, the fixed portion 2 is composed of two half-shells 20 and 21, fixed together by fixing means such as for example the screws 22, the half-shell 20 being fixed to the carcass 13, respectively to the frame 14, by other fixing means such as for example the screws 23. A circular seal 24 seals between the two half-shells 20 and 21. The bottom walls 25, respectively 26, of the two half-shells 20 and 21 are essentially plane along a plane perpendicular to the axis 15 of the pump and each comprise a spiral wall 27, respectively 28, projecting perpendicularly to said bottom walls 25 and 26, and extending from a region close to the large diameter part of the wall 25 or 26 towards a region close to the center of each of the same walls. The movable portion 3 is composed of a central disc 30 supporting on each of its opposite faces 31 and 32 a spiral wall 33, respectively 34, projecting perpendicularly to said faces 31 and 32, and extending from a region close to the part of large diameter of the face 31 or 32 towards a region close to the center of each of the same faces.
La figure 2 qui est une coupe selon la ligne ll-ll de la figure 1 , montre la demi-coquille 20 et la spirale 28 qui est attenante à la demi-coquille 21 , ainsi que le disque central 30 et la spirale 34 qui lui est attenante. On voit que les deux spirales 28 et 34 ont le même développement et sont imbriquées.Figure 2 which is a section along the line ll-ll of Figure 1, shows the half-shell 20 and the spiral 28 which is adjacent to the half-shell 21, as well as the central disc 30 and the spiral 34 which is attached. We see that the two spirals 28 and 34 have the same development and are nested.
Le disque 30 est monté en son centre sur une portion d'arbre 16 montée excentriquement à l'axe 15 de l'arbre d'entraînement 17 de la pompe (voir figure 1 ); d'autre part, le disque 30 est guidé par des moyens de guidage à excentrique 4 (voir figure 2). Ainsi, le disque 30, respectivement l'ensemble de la portion mobile 3 a un mouvement orbital lors de la rotation de l'axe d'entraînement 17. Comme on le voit à la figure 2, ce mouvement orbital entre la spirale mobile 34 et la spirale fixe 28 crée un changement de forme, un déplacement ainsi qu'une diminution de volume d'une chambre de transfert 50 disposée entre les parois des deux dites spirales, amenant à une admission et une compression du gaz ou de l'air qu'elle contient. Comme indiqué précédemment, une même disposition de spirales 27 et 33 est prévue de l'autre côté du disque 30, pour le même effet.The disc 30 is mounted in its center on a shaft portion 16 mounted eccentrically to the axis 15 of the drive shaft 17 of the pump (see Figure 1); on the other hand, the disc 30 is guided by eccentric guide means 4 (see Figure 2). Thus, the disk 30, respectively the whole of the mobile portion 3 has an orbital movement during the rotation of the drive axis 17. As can be seen in FIG. 2, this orbital movement between the mobile spiral 34 and the fixed spiral 28 creates a change in shape, a displacement as well as a reduction in volume of a transfer chamber 50 disposed between the walls of the two said spirals, leading to an admission and compression of the gas or air that 'it contains. As indicated above, the same arrangement of spirals 27 and 33 is provided on the other side of the disc 30, for the same effect.
On comprend de ce qui précède qu'un point important du dispositif consiste à assurer une étanchéité de la chambre de transfert lors du mouvement orbital de la portion mobile 3. En se reportant à la figure 3A, on voit une portion agrandie d'une arête de la spirale mobile 34 en regard de la paroi de fond 26 de la demi coquille 21. Le problème et la figure seraient identiques dans le cas de l'autre spirale mobile 33 ou des spirales fixes 27 ou 28 en regard des parois qui leur font respectivement face.It will be understood from the foregoing that an important point of the device consists in sealing the transfer chamber during the orbital movement of the mobile portion 3. Referring to FIG. 3A, an enlarged portion of an edge is seen. of the mobile spiral 34 opposite the bottom wall 26 of the half-shell 21. The problem and the figure would be identical in the case of the other mobile spiral 33 or fixed spirals 27 or 28 facing the walls which make them respectively face.
Lors de son mouvement orbital, l'arête supérieure 34A de la spirale 34 balaye une portion de la surface 26. Selon cette forme d'exécution, la spirale 34 comporte un joint 5 sur son arête supérieure 34A afin de séparer deux chambres de transfert 50 et 51 disposées de chaque côté de la spirale 34. Le joint 5 possède la même forme en spirale que la paroi en spirale qui le supporte, étant fixé dans un logement en rainure 34B aménagé dans l'arête 34A. Vu que ce joint doit pouvoir glisser sur la paroi 26, il est généralement assez rigide et est peu compressible. Dans les pompes existantes à ce jour, afin d'assurer l'étanchéité entre les chambres de transfert 50 et 51 , des moyens de pression étaient prévus sous le joint 5 afin de faire appuyer la face supérieure 52 dudit joint contre la paroi 26. Ces moyens de pression étaient constitués soit d'un deuxième joint élastique disposé au fond du logement 34B, soit d'une chambre sous pression de gaz ou d'air aménagée dans le fond du logement 34B. Comme indiqué précédemment, ces moyens amenaient à un échauffement dû au frottement du joint contre la paroi, à une usure du joint et un encrassement des chambres de transfert.During its orbital movement, the upper edge 34A of the spiral 34 scans a portion of the surface 26. According to this embodiment, the spiral 34 has a seal 5 on its upper edge 34A in order to separate two transfer chambers 50 and 51 arranged on each side of the spiral 34. The seal 5 has the same spiral shape as the spiral wall which supports it, being fixed in a grooved housing 34B arranged in the edge 34A. Since this seal must be able to slide on the wall 26, it is generally fairly rigid and is not very compressible. In the pumps existing to date, in order to seal between the transfer chambers 50 and 51, pressure means were provided under the seal 5 in order to press the upper face 52 of said seal against the wall 26. These pressure means consisted either of a second elastic seal disposed at the bottom of the housing 34B, or of a gas or air pressure chamber provided in the bottom of the housing 34B. As indicated previously, these means led to heating due to the friction of the seal against the wall, to wear of the seal and fouling of the transfer chambers.
La solution proposée ici tient compte du fait que deux chambres de transfert opposées sur une spirale, les deux chambres 50 et 51 dans l'exemple représenté, sont à des pressions relativement peu différentes entre elles sur une portion de surface 26 donnée, respectivement pour une position angulaire déterminée du mouvement orbital (voir figure 2). En effet, si la pression absolue dans une chambre de transfert augmente régulièrement lors de son passage depuis le début de la spirale vers le centre de celle-ci, la différence de pression entre deux chambres contiguës est relativement faible. Ainsi une étanchéité absolue n'est pas nécessaire. Le dispositif comprend donc, selon cette forme d'exécution, un joint 5, rigide ou semi-rigide, non déformable, monté dans un logement en rainure 34B d'une arête 34A de la spirale 34. L'ensemble du dispositif est monté de manière à laisser un jeu minime, de l'ordre de 0 à 5 centièmes de mm entre la face supérieure 52 du joint 5 et la paroi 26. Ce jeu minime permet d'éviter les inconvénients mentionnés précédemment, soit échauffement du joint contre la paroi, l'usure du joint et l'encrassement des chambres de transfert. Le joint 5 a été représenté ici comme présentant une surface supérieure 52 plane; une telle disposition n'est pas absolument nécessaire, cette surface pourrait tout aussi être bombée ou présenter une ligne d'arête en regard de la paroi qui lui fait face, l'important étant le jeu minime mentionné qui doit exister entre la portion du joint la plus proche de la paroi qui lui fait face et ladite paroi. Selon une deuxième forme d'exécution représentée à la figure 3B, le joint 5 a été supprimé et c'est directement l'arête supérieure 34A de la spirale 34 qui est séparée de la paroi qui lui fait face par un jeu compris entre 0 et 5 centièmes de mm. Comme précédemment, il n'est pas essentiel que cette arête supérieure soit plane.The solution proposed here takes into account the fact that two opposite transfer chambers on a spiral, the two chambers 50 and 51 in the example shown, are at pressures that are relatively little different from each other on a given portion of surface 26, respectively for a determined angular position of the orbital movement (see figure 2). In fact, if the absolute pressure in a transfer chamber increases regularly during its passage from the start of the spiral towards the center thereof, the pressure difference between two contiguous chambers is relatively small. Thus an absolute seal is not necessary. The device therefore comprises, according to this embodiment, a joint 5, rigid or semi-rigid, non-deformable, mounted in a grooved housing 34B with an edge 34A of the spiral 34. The entire device is mounted so as to leave a minimum clearance, of the order of 0 to 5 hundredths of a mm between the upper face 52 of the seal 5 and the wall 26. This minimal clearance makes it possible to avoid the drawbacks mentioned above, namely heating of the seal against the wall , the wear of the seal and the fouling of the transfer chambers. The seal 5 has been shown here as having a flat upper surface 52; such an arrangement is not absolutely necessary, this surface could also be curved or have an edge line facing the wall which faces it, the important thing being the minimal clearance mentioned which must exist between the portion of the joint closest to the wall facing it and said wall. According to a second embodiment shown in FIG. 3B, the seal 5 has been removed and it is directly the upper edge 34A of the spiral 34 which is separated from the wall which faces it by a clearance between 0 and 5 hundredths of a mm. As before, it is not essential that this upper edge is planar.
Afin de garantir ce jeu entre le joint 5, respectivement l'arête 34A et la paroi qui lui fait face, des précautions particulières sont à prendre pour le montage de la portion mobile 3 relativement à la portion fixe 2. Tout d'abord, afin de garantir un espacement déterminé entre les parois 25 et 26 des deux demi-coquilles 20 et 21 , une cale circulaire 29 d'épaisseur déterminée peut être disposée entre les deux demi-coquilles 20 et 21 (voir figure 1 ). De même le mouvement axial de la portion mobile 3, respectivement du disque 30 portant les spirales 33 et 34 peut être éliminé par des paliers à roulement sans jeu 19, le calage du disque 30 sur la portée excentrée 16 étant aussi obtenu par des cales, disposées aux endroits adéquats comme par exemple les cales 19A. Ainsi, le disque 30 portant les spirales 33 et 34 peut être exactement centré dans l'espace situé entre les parois 25 et 26 des demi-coquilles 20 et 21 , laissant un jeu déterminé, de l'ordre de quelques centièmes de mm entre les joints 5, respectivement les arêtes supérieures des parois en spirale, et les parois 25 ou 26 qui leur font face.In order to guarantee this clearance between the seal 5, respectively the edge 34A and the wall which faces it, special precautions must be taken for the mounting of the movable portion 3 relative to the fixed portion 2. First, in order to to guarantee a determined spacing between the walls 25 and 26 of the two half-shells 20 and 21, a circular shim 29 of determined thickness can be placed between the two half-shells 20 and 21 (see FIG. 1). Similarly, the axial movement of the movable portion 3, respectively of the disc 30 carrying the spirals 33 and 34 can be eliminated by rolling bearings without play 19, the setting of the disc 30 on the eccentric bearing 16 also being obtained by shims, arranged in suitable places such as, for example, shims 19A. Thus, the disc 30 carrying the spirals 33 and 34 can be exactly centered in the space situated between the walls 25 and 26 of the half-shells 20 and 21, leaving a determined clearance, of the order of a few hundredths of mm between the joints 5, respectively the upper edges of the spiral walls, and the walls 25 or 26 which face them.
La nécessité de conserver un jeu constant entre les joints ou les arêtes des parois en spirale et les parois qui leur font face implique de supprimer les vibrations causées par le mouvement orbital de la portion mobile 3 ainsi que par la rotation de toutes les pièces en rotation du dispositif, c'est-à- dire notamment le rotor du moteur ainsi que les moyens de ventilation. Pour ceci des moyens d'équilibrage 6 sont prévus. Un premier moyen d'équilibrage consiste à prévoir un ou plusieurs contrepoids 60 montés en rotation avec l'axe de rotation 15 de la portion mobile 3. Pour ceci, un premier disque de fixation 61 est fixé sur l'extrémité de la portion d'arbre 18A proche de l'arbre d'entraînement 17, et un deuxième disque de fixation 62 est fixé sur une portion d'arbre 18, alignée sur l'axe 15 et disposée de l'autre côté de la portion excentrique 16, les contrepoids 60 étant fixés sur lesdits disques de fixation 61 et 62. On voit sur la figure 1 que pour un gain de place, les deux disques de fixation 61 et 62 sont juxtaposés avec des roues portant les moyens de ventilation 63 de la pompe et du moteur, sans que cela soit absolument nécessaire pour le fonctionnement de la pompe selon l'invention. La détermination de la masse et de la position de chacun des contrepoids 60 se fait de manière connue pour un équilibrage statique afin de contrebalancer le balourd créé par la portion mobile 3 excentrée ainsi que d'autres balourds des parties en rotation. Afin de diminuer ce balourd, un deuxième moyen d'équilibrage consiste à décaler angulairement de 180° les spirales 27 et 33 relativement aux spirales 28 et 34. En se reportant à la figure 2, si on voit que les ouvertures d'admission des spirales 28 et 34 sont situées approximativement à 7h. selon un cadran horaire, les spirales 27 et 33 disposées de l'autre côté du disque 30 et non visibles sur la figure ont leurs ouvertures d'admission situées approximativement à 1 h sur le même cadran horaire. Une telle disposition diminue légèrement le balourd de la portion mobile 3. Un autre avantage d'une telle disposition étant qu'en mettant en parallèle les entrées et les sorties de gaz ou d'air des spirales sur les orifices d'admission, respectivement de refoulement de la pompe, l'amplitude des pulsations de pression de gaz ou d'air est diminuée de moitié alors que la fréquence desdites pulsations est doublée. On a donc une aspiration, respectivement un expulsion du gaz ou de l'air plus régulière.The need to maintain a constant clearance between the joints or the edges of the spiral walls and the walls which face them implies suppressing the vibrations caused by the orbital movement of the movable portion 3 as well as by the rotation of all the rotating parts. of the device, that is to say in particular the motor rotor as well as the ventilation means. For this, balancing means 6 are provided. A first balancing means consists in providing one or more counterweights 60 mounted in rotation with the axis of rotation 15 of the movable portion 3. For this, a first fixing disc 61 is fixed on the end of the portion of shaft 18A close to the drive shaft 17, and a second fixing disc 62 is fixed to a portion of shaft 18, aligned on the axis 15 and disposed on the other side of the eccentric portion 16, the counterweights 60 being fixed on said fixing discs 61 and 62. It can be seen in FIG. 1 that, to save space, the two discs attachment 61 and 62 are juxtaposed with wheels carrying the ventilation means 63 of the pump and the motor, without this being absolutely necessary for the operation of the pump according to the invention. The mass and the position of each of the counterweights 60 are determined in a known manner for static balancing in order to counterbalance the unbalance created by the eccentric movable portion 3 as well as other unbalances of the rotating parts. In order to reduce this imbalance, a second balancing means consists in angularly shifting the spirals 27 and 33 by 180 ° relative to the spirals 28 and 34. Referring to FIG. 2, if we see that the intake openings of the spirals 28 and 34 are located approximately at 7 a.m. according to an hourly dial, the spirals 27 and 33 arranged on the other side of the disc 30 and not visible in the figure have their intake openings located approximately at 1 o'clock on the same hourly dial. Such an arrangement slightly reduces the unbalance of the mobile portion 3. Another advantage of such an arrangement being that by putting in parallel the gas and air inlets and outlets of the spirals on the intake orifices, respectively discharge of the pump, the amplitude of the gas or air pressure pulsations is halved while the frequency of said pulsations is doubled. There is therefore a suction, respectively a more regular expulsion of gas or air.
Les deux moyens d'équilibrage mentionnés fournissent un équilibrage statique de la portion mobile 3 de la pompe; afin de garantir que les jeux de quelques centièmes de mm sur les joints mentionnés plus haut soient maintenus lors du fonctionnement de la pompe, on procède en outre à un équilibrage dynamique de toute la partie en rotation du dispositif selon une technique connue d'équilibrage dynamique. On a représenté sur la figure 1 des petites masses 64 et 65 disposées respectivement sur les moyens de ventilation 63, qui ont été fixées lors de cette opération d'équilibrage dynamique.The two balancing means mentioned provide static balancing of the movable portion 3 of the pump; in order to guarantee that the play of a few hundredths of a mm on the seals mentioned above are maintained during the operation of the pump, a dynamic balancing of the entire rotating part of the device is also carried out according to a known dynamic balancing technique . FIG. 1 shows small masses 64 and 65 respectively disposed on the ventilation means 63, which were fixed during this dynamic balancing operation.
II a été mentionné précédemment que le disque central 30 est guidé par des moyens de guidage excentrique 4. En se reportant à la figure 2, on voit que le dispositif comprend ici trois moyens de guidage 4. Ces moyens de guidage sont destinés à empêcher que le disque central 30 tourne avec la rotation de la portée excentrée 16, mais ait le mouvement orbital désiré. Pour ceci, et comme on le voit à la figure 4, chaque moyen de guidage 4 est constitué d'une première portion d'arbre 40, en rotation dans un logement 41 prévu dans la demi-coquille 20. Un maneton 42 est fixé à une extrémité de la première portion d'arbre 40, ledit maneton portant une deuxième portion d'arbre 43 montée de manière excentrée relativement à la première portion d'arbre 40. La valeur d'excentrage entre les portions d'arbre 43 et 40 correspond à la valeur d'excentrage entre l'arbre d'entraînement 17 et la portée excentrée 16. La deuxième portion d'arbre 43 est montée pivotante dans un logement 44 du disque central 30, un roulement à aiguilles 45 assurant ce pivotement. Vu que le disque central 30 est guidé lors de son mouvement orbital par la portée excentrée 16 ainsi que par les portions d'arbre 43, soit en plus de deux points, on pourrait avoir un blocage du mouvement orbital ou pour le moins une forte usure des roulements dans le cas où les tolérances dimensionnelles de fabrication ne se compenseraient pas. Pour pallier à ceci, il est nécessaire de prévoir une possibilité d'adaptation de positionnement du disque central 30 relativement aux moyens de guidage 4. A cet effet, la portée d'arbre 43 comporte au moins une gorge 46 dans laquelle un joint élastique torique de type O-Ring est disposé. De par l'élasticité du ou des joints 47, le positionnement de la cage centrale 48 du roulement 45, respectivement du disque centrale 30 relativement à la portion d'arbre 43, respectivement à la demi-coquille 20 s'adapte automatiquement. Le dispositif a été décrit muni de trois moyens de guidage 4, un autre nombre de tels moyens ou d'autres moyens pourraient être prévus afin d'empêcher la rotation du disque 30 et de permettre le mouvement orbital décrit.It has been mentioned previously that the central disc 30 is guided by eccentric guide means 4. Referring to FIG. 2, it can be seen that the device here comprises three guide means 4. These guide means are intended to prevent that the central disc 30 rotates with the rotation of the eccentric scope 16, but has the desired orbital movement. For this, and as can be seen in FIG. 4, each guide means 4 consists of a first portion of shaft 40, in rotation in a housing 41 provided in the half-shell 20. A crank pin 42 is fixed to one end of the first shaft portion 40, said crank pin carrying a second shaft portion 43 mounted eccentrically relative to the first shaft portion 40. The offset value between the shaft portions 43 and 40 corresponds at the offset value between the drive shaft 17 and the offset bearing 16. The second shaft portion 43 is pivotally mounted in a housing 44 of the central disc 30, a needle bearing 45 ensuring this pivoting. Since the central disc 30 is guided during its orbital movement by the eccentric bearing 16 as well as by the shaft portions 43, that is to say in more than two points, one could have a blockage of the orbital movement or at least a strong wear bearings if the dimensional manufacturing tolerances do not compensate for each other. To overcome this, it is necessary to provide a possibility of adapting the positioning of the central disc 30 relative to the guide means 4. For this purpose, the shaft bearing 43 includes at least one groove 46 in which an elastic O-ring O-Ring type is arranged. Due to the elasticity of the seal (s) 47, the positioning of the central cage 48 of the bearing 45, respectively of the central disc 30 relative to the shaft portion 43, respectively to the half-shell 20 adapts automatically. The device has been described provided with three guide means 4, another number of such means or other means could be provided in order to prevent the rotation of the disc 30 and to allow the described orbital movement.
La forme d'exécution d'une pompe à vide à spirales décrite ici n'est qu'une forme d'exécution préférentielle, dans laquelle les deux paires de parois en spirales 27,33 et 28,34 fonctionnent en parallèle, c'est-à-dire que les deux jeux de spirales sont identiques, étant seulement décalés de 180° comme indiqué et que les chambres d'admission des deux jeux de spirales sont reliées ensemble sur l'orifice d'admission de la pompe alors que les deux chambres d'expulsion des deux jeux de spirales sont aussi reliées ensemble sur l'orifice d'expulsion de la pompe. La figure 2 montre la chambre d'admission 53 et la chambre d'expulsion 54 du jeu de spirales 28,34. Les moyens permettant de relier ensemble les chambres et de les connecter à leur orifice respectif sont connus de la technique. D'autres formes d'exécution sont possibles, par exemple une pompe à vide à deux étages, où la chambre d'expulsion d'un premier jeu de spirales est reliée à la chambre d'admission du deuxième jeu de spirales; dans ce cas, les deux jeux de spirales ne sont pas identiques, le deuxième jeu présentant un taux de compression plus élevé. On pourrait aussi avoir un seul jeu de parois en spirale, la portion fixe étant constituée d'une seule demi-coquille et le disque en mouvement orbital présentant un seul jeu de paroi en spirale sur une seule de ses faces. D'autres dispositions constructives que celles décrites peuvent être prévues, tout en répondant aux caractéristiques des revendications. The embodiment of a spiral vacuum pump described here is only a preferred embodiment, in which the two pairs of spiral walls 27,33 and 28,34 operate in parallel, that is that is to say that the two sets of spirals are identical, being only offset by 180 ° as indicated and that the intake chambers of the two sets of spirals are connected together on the intake port of the pump while the two expulsion chambers of the two sets of spirals are also connected together on the expulsion orifice of the pump. FIG. 2 shows the intake chamber 53 and the expulsion chamber 54 of the set of spirals 28,34. The means to connecting the chambers together and connecting them to their respective orifices are known in the art. Other embodiments are possible, for example a two-stage vacuum pump, where the expulsion chamber of a first set of spirals is connected to the intake chamber of the second set of spirals; in this case, the two sets of spirals are not identical, the second set having a higher compression ratio. One could also have a single set of spiral walls, the fixed portion consisting of a single half-shell and the disc in orbital movement having a single set of spiral wall on only one of its faces. Other constructive provisions than those described may be provided, while meeting the characteristics of the claims.

Claims

REVENDICATIONS
1 - Pompe à vide à spirales (1 ) comportant au moins1 - Spiral vacuum pump (1) comprising at least
une portion fixe (2) comprenant au moins une paroi essentiellement plane (25,26) disposée perpendiculairement à un axe longitudinal (15) de la pompe, une paroi en spirale (27,28) étant disposée perpendiculairement en saillie sur ladite paroi essentiellement plane,a fixed portion (2) comprising at least one essentially planar wall (25,26) arranged perpendicularly to a longitudinal axis (15) of the pump, a spiral wall (27,28) being arranged perpendicularly projecting on said essentially planar wall ,
une portion mobile (3) comprenant au moins un disque (30) parallèle à ladite paroi essentiellement plane et monté en pivotement sur une portée d'arbre (16) excentrée relativement à un arbre d'entraînement (17) parallèle audit axe longitudinal, des moyens de guidage (4) imposant un mouvement orbital dudit disque autour de ladite portée excentrée lors de la rotation de l'arbre d'entraînement, une paroi en spirale (33,34) étant disposée perpendiculairement en saillie sur au moins une face essentiellement plane (31 ,32) dudit disque,a movable portion (3) comprising at least one disc (30) parallel to said essentially flat wall and pivotally mounted on a shaft seat (16) eccentric relative to a drive shaft (17) parallel to said longitudinal axis, guide means (4) imposing an orbital movement of said disc around said eccentric bearing during the rotation of the drive shaft, a spiral wall (33,34) being arranged perpendicularly projecting on at least one essentially flat face (31, 32) of said disc,
la paroi en spirale (27,28) de la portion fixe (2) étant dirigée vers ladite face essentiellement plane (31 ,32) dudit disque et la paroi en spirale (33,34) de la portion mobile (3) étant dirigée vers ladite paroi essentiellement plane (25,26) de la portion fixe (2), les deux parois en spirale ayant essentiellement la même forme et étant imbriquées l'une dans l'autre,the spiral wall (27, 28) of the fixed portion (2) being directed towards said essentially planar face (31, 32) of said disc and the spiral wall (33, 34) of the movable portion (3) being directed towards said essentially planar wall (25, 26) of the fixed portion (2), the two spiral walls having essentially the same shape and being nested one inside the other,
chaque paroi en spirale (27,28,33,34) comportant une arête supérieure (34A;52) proche de la paroi (25,26) ou de la face (31 ,32) essentiellement plane lui faisant face,each spiral wall (27, 28, 33, 34) comprising an upper edge (34 A; 52) close to the wall (25, 26) or to the face (31, 32) essentially plane facing it,
caractérisée en ce qu'characterized in that
un jeu de faible amplitude est aménagé entre chacune desdites arêtes supérieures (34A;52) et la paroi (25,26) ou la face (31 ,32) essentiellement plane lui faisant face. 2- Pompe à vide selon la revendication 1 , caractérisée en ce que ladite arête supérieure est disposée sur la face supérieure (52) d'un joint (5) disposé dans un logement (34B) aménagé sur l'arête (34A) de ladite paroi en spiralea play of small amplitude is arranged between each of said upper edges (34A; 52) and the wall (25, 26) or the essentially planar face (31, 32) facing it. 2- vacuum pump according to claim 1, characterized in that said upper edge is disposed on the upper face (52) of a seal (5) disposed in a housing (34B) arranged on the edge (34A) of said spiral wall
3- Pompe à vide selon la revendication 1 , caractérisée en ce que ladite arête supérieure est disposée sur la face supérieure de l'arête (34A) de ladite paroi en spirale.3- Vacuum pump according to claim 1, characterized in that said upper edge is arranged on the upper face of the edge (34A) of said spiral wall.
4- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le jeu de faible amplitude aménagé entre chacune desdites arêtes supérieures (34A; 52) et la paroi (25,26) ou la face (31 ,32) essentiellement plane lui faisant face est compris entre 0 et 5 centièmes de mm.4- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the clearance of small amplitude arranged between each of said upper edges (34A; 52) and the wall (25,26) or the face (31, 32) essentially plane facing it is between 0 and 5 hundredths of a mm.
5- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre des moyens (29) permettant d'assurer un espacement fixe entre ladite paroi essentiellement plane (25,26) de la portion fixe (2) et la face essentiellement plane (31 ,32) de la portion mobile (3).5- vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (29) for ensuring a fixed spacing between said essentially planar wall (25,26) of the fixed portion (2 ) and the essentially planar face (31, 32) of the movable portion (3).
6- Pompe à vide selon la revendication 5, caractérisée en ce que les moyens permettant d'assurer un espacement fixe entre ladite paroi essentiellement plane de la portion fixe et la face essentiellement plane de la portion mobile sont constitués d'au moins une cale circulaire (29) permettant de positionner axialement ladite portion fixe (21 ) relativement au châssis (13,14) de la pompe.6- vacuum pump according to claim 5, characterized in that the means for ensuring a fixed spacing between said essentially planar wall of the fixed portion and the essentially planar face of the movable portion consist of at least one circular shim (29) for axially positioning said fixed portion (21) relative to the frame (13,14) of the pump.
7- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre des moyens (19,19A) permettant de caler axialement la portion mobile (3,30) afin d'empêcher tout mouvement axial de ladite portion mobile.7- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (19,19A) for axially wedging the movable portion (3.30) in order to prevent any axial movement of said mobile portion.
8- Pompe à vide selon la revendication 7, caractérisée en ce que les moyens permettant de caler axialement la portion mobile afin d'empêcher tout mouvement axial de ladite portion mobile sont constitués de moyens de roulement (19) et de cales (19A) aptes à fixer axialement ladite portion mobile relativement à une portée de l'arbre d'entraînement (17).8- vacuum pump according to claim 7, characterized in that the means for axially wedging the movable portion to prevent any axial movement of said movable portion consist of rolling means (19) and shims (19A) capable of axially fixing said movable portion relative to a bearing surface of the drive shaft (17).
9- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre des moyens (60,61 ,62,64,65) permettant d'équilibrer statiquement et dynamiquement les pièces en rotation.9- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (60,61, 62,64,65) for statically and dynamically balancing the rotating parts.
10- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les moyens de guidage (4) imposant un mouvement orbital dudit disque (30) autour de ladite portée excentrée (16) lors de la rotation de l'arbre d'entraînement (17) sont constitués d'au moins une première portion d'arbre (40) montée en pivotement dans un logement (41 ) aménage dans la portion fixe (2), un maneton (42) muni d'une deuxième portion d'arbre (43) étant monté à une extrémité de ladite première portion d'arbre, ladite deuxième portion d'arbre étant excentrée relativement à ladite première portion d'arbre de la même valeur que celle de l'excentrage dudit disque (30) relativement à l'arbre d'entraînement (17), ladite deuxième portion d'arbre étant montée en pivotement dans un logement (44) aménagé dans ledit disque, des moyens (46,47) étant prévus pour compenser des tolérances dimensionnelles de positionnement dudit disque relativement à la portion fixe.10- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the guide means (4) imposing an orbital movement of said disc (30) around said eccentric bearing (16) during the rotation of the shaft d drive (17) consist of at least a first portion of shaft (40) pivotally mounted in a housing (41) fitted in the fixed portion (2), a pin (42) provided with a second portion d 'shaft (43) being mounted at one end of said first shaft portion, said second shaft portion being offset relative to said first shaft portion of the same value as that of the offset of said disc (30) to the drive shaft (17), said second portion of the shaft being pivotally mounted in a housing (44) arranged in said disc, means (46,47) being provided to compensate for dimensional tolerances for positioning of said disc relative to the fixed portion.
1 1- Pompe à vide selon la revendication 10, caractérisée en ce que lesdits moyens prévus pour compenser des tolérances dimensionnelles de positionnement dudit disque relativement à la portion fixe sont constitués d'au moins un joint torique (47) disposé dans une gorge (46) aménagée sur le pourtour de ladite deuxième portion d'arbre (43) introduite dans une cage interne (48) d'un roulement à aiguilles (45).1 1- Vacuum pump according to claim 10, characterized in that said means provided to compensate for dimensional tolerances for positioning of said disc relative to the fixed portion consist of at least one O-ring (47) disposed in a groove (46 ) arranged on the periphery of said second shaft portion (43) introduced into an internal cage (48) of a needle bearing (45).
12- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la portion fixe (2) comprend deux demi-coquilles (20,21 ) comportant chacune une paroi essentiellement plane (25,26), une paroi en spirale (27,28) étant disposée perpendiculairement sur chacune des deux dites parois essentiellement planes, chacune desdites parois en spirale étant tournée en direction de la portion mobile (3) constituée d'un disque central (30) disposé entre les deux dites parois essentiellement planes (25,26) et comportant une paroi en spirale (33,34) sur chacune de ses faces (31 ,32), chaque paire de parois en spirale se faisant face étant imbriquée.12- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the fixed portion (2) comprises two half-shells (20,21) each comprising an essentially planar wall (25,26), a spiral wall ( 27, 28) being arranged perpendicularly on each of the two said essentially flat walls, each of said spiral walls being turned in the direction of the movable portion (3) consisting of a central disc (30) disposed between the two said essentially flat walls (25, 26) and comprising a spiral wall (33, 34) on each of its faces (31, 32), each pair of spiral walls facing each other being nested.
13- Pompe à vide selon la revendication 12, caractérisée en ce que les débuts des spirales de la paire de parois en spirale (27,33) disposées d'un côté du disque central (30) sont décalés de 180° relativement aux débuts des spirales de la paire de parois en spirale (28,34) disposées de l'autre côté du disque central.13- Vacuum pump according to claim 12, characterized in that the beginnings of the spirals of the pair of spiral walls (27,33) disposed on one side of the central disc (30) are offset by 180 ° relative to the beginnings of the spirals of the pair of spiral walls (28,34) arranged on the other side of the central disc.
14- Pompe à vide selon l'une des revendications 12 ou 13, caractérisée en ce que les deux jeux de parois en spirale (27,33,28,34) possèdent la même forme et le même développement, les chambres d'entrée (53) des deux dits jeux de parois en spirale étant reliées, les deux chambres de sortie (54) des deux dits jeux de parois en spirale étant aussi reliées. 14- Vacuum pump according to one of claims 12 or 13, characterized in that the two sets of spiral walls (27,33,28,34) have the same shape and the same development, the inlet chambers ( 53) of the two said sets of spiral walls being connected, the two outlet chambers (54) of the two said sets of spiral walls also being connected.
REVENDICATIONS MODIFIEESAMENDED CLAIMS
[reçues par le Bureau international le 02 Septembre 1998 (02.09..98); revendications let 12-14 remplacées par les revendications 1 et 12 nouvelles; autres modifications inchangées (4 pages)][received by the International Bureau on September 02, 1998 (02.09..98); claims let 12-14 replaced by new claims 1 and 12; other changes unchanged (4 pages)]
1- Pompe à vide à spirales (1 ) comportant au moins1- Spiral vacuum pump (1) comprising at least
une portion fixe (2) constituée de deux demi-coquilles (20,21 ) comportant chacune une paroi essentiellement plane (25,26) disposée perpendiculairement à un axe longitudinal (15) de la pompe, une paroi en spirale (27,28) étant disposée perpendiculairement en saillie sur chacune desdites parois essentiellement planes,a fixed portion (2) consisting of two half-shells (20,21) each comprising an essentially planar wall (25,26) arranged perpendicular to a longitudinal axis (15) of the pump, a spiral wall (27,28) being arranged perpendicularly projecting on each of said essentially planar walls,
une portion mobile (3) comprenant au moins un disque (30) parallèle auxdites parois essentiellement planes et monté en pivotement sur une portée d'arbre (16) excentrée relativement à un arbre d'entraînement (17) parallèle audit axe longitudinal, des moyens de guidage (4) imposant un mouvement orbital dudit disque autour de ladite portée excentrée lors de la rotation de l'arbre d'entraînement, une paroi en spirale (33,34) étant disposée perpendiculairement en saillie sur chacune des faces opposées essentiellement plane (31 ,32) dudit disque,a movable portion (3) comprising at least one disc (30) parallel to said essentially planar walls and pivotally mounted on a shaft seat (16) eccentric relative to a drive shaft (17) parallel to said longitudinal axis, means guide (4) imposing an orbital movement of said disc around said eccentric bearing during the rotation of the drive shaft, a spiral wall (33,34) being arranged perpendicularly projecting on each of the opposite faces essentially planar ( 31, 32) of said disc,
la paroi en spirale (27,28) de chacune des deux demi-coquilles (20,21 ) de la portion fixe (2) étant dirigée vers ladite face essentiellement plane (31,32) qui lui fait face dudit disque et la paroi en spirale (33,34) de chacune des faces (31 ,32) de la portion mobile (3) étant dirigée vers ladite paroi essentiellement plane (25,26) de la demi-coquille (20,21 ) qui lui fait face de la portion fixe (2), chaque paire de deux parois en spirale correspondantes (27,33 ;28,34) étant constituée de deux parois en spirales ayant essentiellement la même forme et étant imbriquées l'une dans l'autre,the spiral wall (27,28) of each of the two half-shells (20,21) of the fixed portion (2) being directed towards said essentially planar face (31,32) which faces it of said disc and the wall in spiral (33,34) of each of the faces (31, 32) of the movable portion (3) being directed towards said essentially flat wall (25,26) of the half-shell (20,21) which faces it from the fixed portion (2), each pair of two corresponding spiral walls (27,33; 28,34) consisting of two spiral walls having essentially the same shape and being nested one inside the other,
chaque paroi en spirale (27,28,33,34) comportant une arête supérieure (34A;52) proche de la paroi (25,26) ou de la face (31 ,32) essentiellement plane lui faisant face, un jeu de faible amplitude étant aménagé entre chacune desdites arêtes supérieures (34A;52) et la paroi (25,26) ou la face (31,32) essentiellement plane lui faisant face,each spiral wall (27,28,33,34) comprising an upper edge (34A; 52) close to the wall (25,26) or to the face (31, 32) essentially planar facing it, a play of weak amplitude being arranged between each of said upper edges (34A; 52) and the wall (25,26) or the essentially planar face (31,32) facing it,
caractérisée en ce que les débuts des spirales de la paire de parois en spirale (27,33) disposées d'un côté du disque central (30) sont décalés de 180° relativement aux débuts des spirales de la paire de parois en spirale (28,34) disposées de l'autre côté du disque central.characterized in that the beginnings of the spirals of the pair of spiral walls (27,33) arranged on one side of the central disc (30) are offset by 180 ° relative to the beginnings of the spirals of the pair of spiral walls (28,34) arranged on the other side of the central disc.
2- Pompe à vide selon la revendication 1 , caractérisée en ce que ladite arête supérieure est disposée sur la face supérieure (52) d'un joint (5) disposé dans un logement (34B) aménagé sur l'arête (34A) de ladite paroi en spirale2- vacuum pump according to claim 1, characterized in that said upper edge is disposed on the upper face (52) of a seal (5) disposed in a housing (34B) arranged on the edge (34A) of said spiral wall
3- Pompe à vide selon la revendication 1 , caractérisée en ce que ladite arête supérieure est disposée sur la face supérieure de l'arête (34A) de ladite paroi en spirale.3- Vacuum pump according to claim 1, characterized in that said upper edge is arranged on the upper face of the edge (34A) of said spiral wall.
4- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le jeu de faible amplitude aménagé entre chacune desdites arêtes supérieures (34A; 52) et la paroi (25,26) ou la face (31 ,32) essentiellement plane lui faisant face est compris entre 0 et 5 centièmes de mm.4- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the clearance of small amplitude arranged between each of said upper edges (34A; 52) and the wall (25,26) or the face (31, 32) essentially plane facing it is between 0 and 5 hundredths of a mm.
5- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre des moyens (29) permettant d'assurer un espacement fixe entre lesdites parois essentiellement planes (25,26) de la portion fixe (2) et lesdites faces essentiellement planes (31 ,32) de la portion mobile (3).5- vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (29) for ensuring a fixed spacing between said essentially planar walls (25,26) of the fixed portion (2 ) and said essentially planar faces (31, 32) of the movable portion (3).
6- Pompe à vide selon la revendication 5, caractérisée en ce que les moyens permettant d'assurer un espacement fixe entre lesdites paroi essentiellement planes de la portion fixe et lesdites faces essentiellement planes de la portion mobile sont constitués d'au moins une cale circulaire (29) permettant de positionner axialement ladite portion fixe (21 ) relativement au châssis (13,14) de la pompe.6- vacuum pump according to claim 5, characterized in that the means for ensuring a fixed spacing between said essentially planar wall of the fixed portion and said essentially planar faces of the movable portion consist of at least one circular shim (29) for axially positioning said fixed portion (21) relative to the frame (13,14) of the pump.
7- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre des moyens (19.19A) permettant de caler axialement la portion mobile (3,30) afin d'empêcher tout mouvement axial de ladite portion mobile.7- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (19.19A) allowing axially wedging the movable portion (3.30) in order to prevent any axial movement of said movable portion.
8- Pompe à vide selon la revendication 7, caractérisée en ce que les moyens permettant de caler axialement la portion mobile afin d'empêcher tout mouvement axial de ladite portion mobile sont constitués de moyens de roulement (19) et de cales (19A) aptes à fixer axialement ladite portion mobile relativement à une portée de l'arbre d'entraînement (17).8- vacuum pump according to claim 7, characterized in that the means for axially wedging the movable portion to prevent any axial movement of said movable portion consist of rolling means (19) and shims (19A) suitable axially fixing said movable portion relative to a bearing surface of the drive shaft (17).
9- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre des moyens (60,61 ,62,64,65) permettant d'équilibrer statiquement et dynamiquement les pièces en rotation.9- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that it further comprises means (60,61, 62,64,65) for statically and dynamically balancing the rotating parts.
10- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les moyens de guidage (4) imposant un mouvement orbital dudit disque (30) autour de ladite portée excentrée (16) lors de la rotation de l'arbre d'entraînement (17) sont constitués d'au moins une première portion d'arbre (40) montée en pivotement dans un logement (41 ) aménage dans la portion fixe (2), un maneton (42) muni d'une deuxième portion d'arbre (43) étant monté à une extrémité de ladite première portion d'arbre, ladite deuxième portion d'arbre étant excentrée relativement à ladite première portion d'arbre de la même valeur que celle de l'excentrage dudit disque (30) relativement à l'arbre d'entraînement (17), ladite deuxième portion d'arbre étant montée en pivotement dans un logement (44) aménagé dans ledit disque, des moyens (46,47) étant prévus pour compenser des tolérances dimensionnelles de positionnement dudit disque relativement à la portion fixe.10- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the guide means (4) imposing an orbital movement of said disc (30) around said eccentric bearing (16) during the rotation of the shaft d drive (17) consist of at least a first portion of shaft (40) pivotally mounted in a housing (41) fitted in the fixed portion (2), a pin (42) provided with a second portion d 'shaft (43) being mounted at one end of said first shaft portion, said second shaft portion being offset relative to said first shaft portion of the same value as that of the offset of said disc (30) to the drive shaft (17), said second portion of the shaft being pivotally mounted in a housing (44) arranged in said disc, means (46,47) being provided to compensate for dimensional tolerances for positioning of said disc relative to the fixed portion.
11 - Pompe à vide selon la revendication 10, caractérisée en ce que lesdits moyens prévus pour compenser des tolérances dimensionnelles de positionnement dudit disque relativement à la portion fixe sont constitués d'au moins un joint torique (47) disposé dans une gorge (46) aménagée sur le pourtour de ladite deuxième portion d'arbre (43) introduite dans une cage interne (48) d'un roulement à aiguilles (45). 12- Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les deux jeux de parois en spirale (27,33,28,34) possèdent la même forme et le même développement, les chambres d'entrée (53) des deux dits jeux de parois en spirale étant reliés, les deux chambres de sortie (54) des deux dits jeux de parois en spirale étant aussi reliés. 11 - Vacuum pump according to claim 10, characterized in that said means provided to compensate for dimensional tolerances for positioning of said disc relative to the fixed portion consist of at least one O-ring (47) disposed in a groove (46) fitted around the periphery of said second shaft portion (43) introduced into an internal cage (48) of a needle bearing (45). 12- Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the two sets of spiral walls (27,33,28,34) have the same shape and the same development, the inlet chambers (53) two said sets of spiral walls being connected, the two outlet chambers (54) of the two said sets of spiral walls also being connected.
DECLARATION SELON L'ARTICLE 19DECLARATION ACCORDING TO ARTICLE 19
La revendication 1 a été modifiée comme suit :Claim 1 has been amended as follows:
- La partie caractérisante de la revendication 1 initiale a été introduite dans le préambule;- The characterizing part of initial claim 1 has been introduced in the preamble;
- La partie caractérisante de la revendication 12 initiale a été introduite dans le préambule;- The characterizing part of initial claim 12 has been introduced in the preamble;
- La partie caractérisante est constituée de la partie caractérisante de l'ancienne revendication 13. - The characterizing part consists of the characterizing part of the old claim 13.
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