EP0919110B1 - High-mode microwave resonator for the high-temperature treatment of materials - Google Patents

High-mode microwave resonator for the high-temperature treatment of materials Download PDF

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EP0919110B1
EP0919110B1 EP97930399A EP97930399A EP0919110B1 EP 0919110 B1 EP0919110 B1 EP 0919110B1 EP 97930399 A EP97930399 A EP 97930399A EP 97930399 A EP97930399 A EP 97930399A EP 0919110 B1 EP0919110 B1 EP 0919110B1
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EP
European Patent Office
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resonator
microwave
coupled
highly
field
Prior art date
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EP97930399A
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Lambert Feher
Guido Link
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Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64—Heating using microwaves
    • H05B6/70—Feed lines
    • H05B6/707—Feed lines using waveguides
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64—Heating using microwaves
    • H05B6/6402—Aspects relating to the microwave cavity

Definitions

  • the invention relates to a high-mode microwave resonator for high temperature treatment of materials. With him should Ceramics are sintered or materials are dried can. The more homogeneous the field distribution, the better this is achieved inside the resonator or in the microwave oven.
  • DE 43 13 806 describes a device for heating materials described by microwaves.
  • the device exists from a heating chamber through which to process Material is transported.
  • the heating chamber has one Part of the wall that is concavely curved.
  • the coupled Microwave reflects and on the material volume to be heated focused.
  • a comparable device is shown in WO 90/03714.
  • the heating chamber is used to heat the food to try that Food volume to be heated with a more uniform temperature field to provide.
  • JP 4-137391 the heating chamber is around one of the first reflection walls second reflection wall opposite, expanded, with which the process volume is aimed at with an increased uniform field to meet, so that an even To achieve heating of the object.
  • a cylindrical reaction vessel is described in US Pat. No. 5,532,462, the inside of which is stingy with microwave energy.
  • the multimod microwave is coupled into the vessel in such a way that it is absorbed and reflected on the inner wall, in such a way that the absorption and reflection are helical progressively.
  • the inside of the boiler should be so even be heated.
  • FR-A 2 072 618 describes a microwave resonator described, the resonator of a prismatic, with respect its longitudinal axis symmetrical even-numbered cavity is polygonal cross section. The lateral surface segments as well the two faces are flat. The homogeneity of the field is generated by a rotating wing, which functions as a Kind of antenna forms and the even distribution of that from that Wing in the resonator emitted microwave beam promotes.
  • the invention is based, strong inhomogeneous task Exaggerated fields (caustics) in a resonator, which acts as a microwave oven is used to avoid and a coupling Microwave beam through an external geometry in the volume to distribute in order to heat or burn or goods to be sintered in a largely homogeneous field to be able to suspend.
  • a resonator which acts as a microwave oven is used to avoid and a coupling Microwave beam through an external geometry in the volume to distribute in order to heat or burn or goods to be sintered in a largely homogeneous field to be able to suspend.
  • the task is accomplished by a high-fashion microwave resonator solved according to claim 1.
  • the resonator is a prismatic one, in terms of its Longitudinal axis symmetrical cavity with even polygonal Cross-section. All surface segments of the resonator are flat or equivalent, topologically flat. This keeps the Coupled microwave beam in the event of reflections on the resonator wall always divergent and does not become like circular cylindrical and spherical geometries always focused.
  • the beam is divided into two symmetrical halves because the beam axis from the microwave coupling window first to the closest, common Edge of two lateral surface segments falls. With that you reach a first strong fanning out after the first reflection, the when the beam is first reflected on only one flat wall segment is not reached.
  • the MiRa code was developed as a gridless analytical computer procedure with which complex resonator geometries can be examined.
  • the inner walls of the resonator are metallic or with a metallic layer, making it suitable for the microwave are a mirror that reflects better the higher the electrical conductivity of the walls is. Beyond that they persist in the process environment, d. H. for the touching Atmosphere must be chemically inert and must be cooled to with thermal stress, which is predominantly from radiation and more or less subordinate to convection, to withstand.
  • a material like silver or copper or gold or stainless steel or some other suitable one metallic material as wall or interior wall coating used for the resonator (claim 3).
  • the microwave is coupled into the resonator by one of the two flat faces.
  • the coupling opening lies outside the center of the end face (Claim 4), see above that there is a common edge of two abutting shell segments there that is closest to the coupling opening lies. To this edge runs from the coupling opening outgoing beam axis and divides there at the first reflection first in two beam axes, up to the second Reflection are mirror images of each other.
  • the resonator Due to the homogeneous field distribution achieved in the steady state the resonator is now very good as a microwave oven Suitable for sintering ceramic substances. But it can other objects can also be heated or dried or simply tempered (claim 5).
  • a quasi-optical beam with a Gaussian beam is inserted into the resonator Beam profile or a microwave beam that comes close to this profile coupled (claim 6).
  • the coupling into the resonator 1 with a hexagonal cross section quasi-optical microwave beam 2 is used in the two Figures 1a and 1b simplified with the first two Reflections shown.
  • the microwave beam 2 enters the resonator 1 through the coupling opening 3 in the figure 1a lower front 4.
  • the beam axis 5 of the in Resonator 1 entering the first beam part is with a Angle a to the end face 4 inclined with the coupling opening 3. It is oriented so that it is on the closest edge of two abutting, flat polygon surfaces. On these two contiguous polygon surfaces becomes the Beam 2 reflected for the first time and simultaneously in two to each other divided symmetrical parts.
  • the interior of the resonator 1 is due to the always divergent beam path with increasing Reflections filled in more and more evenly.
  • the microwave oven consists of a cylindrical Form 6 with two connecting pieces 7 and 8, of which one 8th attaches to the lateral surface and the temperature measurement as well serves to pump out or flood the interior of the resonator and the second 7 attaches obliquely to one of the two end faces 4. Over the latter, the microwave 2 is inside the resonator coupled. That is why it is also with the coupling window 9 completed at the joint to the beam-guiding waveguide.
  • the inside of the original cylinder 6 is from the front side 4 to End face 4 with the applicator insert which is hexagonal in cross section 10 coaxial.
  • the applicator 10 is shown in FIG rotated so far about the cylinder axis that the incident Beam axis 5 on the closest edge of two intersecting Polygon walls of the applicator insert 10 falls. So that is done then there the first symmetrical division of the incident Microwave beam 2.
  • the MiRa code as a tool for determining and interpreting the optimal resonator geometry is a crucial tool. It is in its essential features and its basic Use explained in Figure 4. The more detailed connections of these codes are in the o. e. Literature comprehensible by the authors H. Feher et al. described. Essentially first a resonator model with polygonal Cross section assumed, modeled and used to calculate the in this field geometry occurring resonator geometry used. The numerical calculation is carried out using the MiRa field calculation, in which the microwave entering the resonator 1 2 is followed optically. The successive filling of fields in Resonator 1 can finally u. a. display suitable for video, so that z. B. as a result the longitudinal and cross-sectional development demonstrated the field distribution inside the resonator can be.
  • the aim is to keep the energy density in the defined working volume as large as possible, while at the same time little variation in the field strength values around the mean value (homogeneous distribution).
  • the working volume for comparison of the conditions, is defined as the coherent volume that has the best field quality with the original cylindrical geometry.
  • the study with the MiRa code to investigate the field homogeneity of various prismatic applicator designs revealed an optimum for the hexagonal structure with edge loading according to FIGS. 1a, b and 2b.
  • FIG. 3 shows the quotient normalized to the maximum (worst case) for the application of edges or walls.
  • the edge loading shows a better homogeneous energy yield except for the pentagonal cross section.
  • the normalized scatter is shown in FIG. With the hexagonal Applicator predicts that with him the least scatter with the highest possible energy density is to be expected. This finding has been confirmed experimentally, and it shows a spacious, completely homogeneous Blackening of the thermal papers placed in the resonator in all measured levels up to the applicator wall. The predictions are confirmed by the experiment, so that the MiRa code is characterized by high reliability. Calculations for higher polygonal cross sections Order converge in the scattering behavior of the resonator field quickly against the cylinder geometry.

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Description

Die Erfindung betrifft einen hochmodigen Mikrowellenresonator für die Hochtemperaturbehandlung von Werkstoffen. Mit ihm sollen Keramiken gesintert oder Materialien getrocknet werden können. Dies gelingt um so besser, je homogener die Feldverteilung im Resonatorinnern oder dem Mikrowellenofen ist.The invention relates to a high-mode microwave resonator for high temperature treatment of materials. With him should Ceramics are sintered or materials are dried can. The more homogeneous the field distribution, the better this is achieved inside the resonator or in the microwave oven.

In der DE 43 13 806 wird eine Vorrichtung zum Erhitzen von Materialien durch Mikrowellen beschrieben. Die Vorrichtung besteht aus einer Heizkammer, durch die hindurch das zu prozessierende Material transportiert wird. Die Heizkammer hat ein Wandteil, das konkav gekrümmt ist. An dieser wird die eingekoppelte Mikrowelle reflektiert und auf das zu erwärmende Materialvolumen fokussiert.DE 43 13 806 describes a device for heating materials described by microwaves. The device exists from a heating chamber through which to process Material is transported. The heating chamber has one Part of the wall that is concavely curved. At this the coupled Microwave reflects and on the material volume to be heated focused.

Eine vergleichbare Einrichtung zeigt die WO 90/03714. Dort dient die Heizkammer zur Speisenerwärmung, um zu versuchen das zu erwärmende Speisenvolumen mit einem gleichmäßigeren Temperaturfeld zu versehen.A comparable device is shown in WO 90/03714. There the heating chamber is used to heat the food to try that Food volume to be heated with a more uniform temperature field to provide.

In der JP 4-137391 ist die Heizkammer um eine der ersten Reflexionswand gegenüber liegende zweite Reflexionswand erweitert, womit angestrebt wird das Prozeßvolumen mit einem verstärkten, gleichmäßigen Feld zu erfüllen, um damit eine gleichmäßige Aufheizung des Gegenstands zu erreichen.In JP 4-137391 the heating chamber is around one of the first reflection walls second reflection wall opposite, expanded, with which the process volume is aimed at with an increased uniform field to meet, so that an even To achieve heating of the object.

In der US 5,532,462 wird ein zylindrisches Reaktionsgefäß beschrieben, dessen Inneres mit Mikrowellenenergie geizt wird. Hierzu die Multimod-Mikrowelle in das Gefäß derart eingekoppelt, daß sie an der Innenwand absorbiert und reflektiert wird, und zwar derart, daß die Absorption und Reflektion helikal fortschreitend erfolgen. Das Kesselinnere soll so gleichmäßig geheizt werden. A cylindrical reaction vessel is described in US Pat. No. 5,532,462, the inside of which is stingy with microwave energy. For this purpose, the multimod microwave is coupled into the vessel in such a way that it is absorbed and reflected on the inner wall, in such a way that the absorption and reflection are helical progressively. The inside of the boiler should be so even be heated.

In der FR-A 2 072 618 wird ein Mikrowellenresonator beschrieben, dessen Resonator ein prismatischer, bezüglich seiner Längsachse symmetrischer Hohlraum mit geradzahlig polygonalem Querschnitt ist. Die Mantelflächensegmente wie auch die beiden Stirnseiten sind eben. Die Homogenität des Feldes wird von einem Drehflügel erzeugt, welcher die Funktion einer Art Antenne bildet und die gleichmäßige Verteilung des von dem Flügel im Resonator abgestrahlten Mikrowellenstrahls fördert.FR-A 2 072 618 describes a microwave resonator described, the resonator of a prismatic, with respect its longitudinal axis symmetrical even-numbered cavity is polygonal cross section. The lateral surface segments as well the two faces are flat. The homogeneity of the field is generated by a rotating wing, which functions as a Kind of antenna forms and the even distribution of that from that Wing in the resonator emitted microwave beam promotes.

Inhomogene Feldverteilungen führen beim ... Inhomogeneous field distributions lead ...

Inhomogene Feldverteilungen führen beim Sintern von Keramiken zu unterschiedlichen Dichten innerhalb einer Charge und zu inhomogenen Verdichtungen in einzelnen Proben, die letztlich mechanische Spannungen hervorrufen, die die Formteile deformieren oder gar zertrümmern. Diese Problematik und die daraus gezogene Erkenntnis, daß eine gleichmäßige Volumenheizung u. a. bei Sinterprozessen von bedeutendem Vorteil und großer Bedeutung bei der thermischen Materialprozessierung sind, werden in dem Aufsatz "Microwave Sintering of Zirconia-Toughened Alumina Composites" von H. D. Kimrey et al. abgehandelt (Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 189, 1991 Material Research Sosiety, Seiten 243 bis 255). Es werden zwei hochmodige, zylindrische Mikrowellenöfen betrieben, der eine bei 2.45 GHz und der andere bei 28 GHz. Erfolgreich war der Sinterprozeß nur bei der hohen Frequenz.Inhomogeneous field distributions lead to the sintering of ceramics to different densities within a batch and to inhomogeneous Densifications in individual samples, ultimately mechanical Cause stresses that deform the molded parts or even smash it. This problem and the resultant Realization that a uniform volume heating u. a. of significant advantage and importance in sintering processes in thermal material processing are in the article "Microwave Sintering of Zirconia-Toughened Alumina Composites "by H. D. Kimrey et al. (Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 189, 1991 Material Research Sosiety, Pages 243 to 255). There are two high-fashioned, cylindrical ones Microwave ovens operated, one at 2.45 GHz and the other at 28 GHz. The sintering process was only successful with the high frequency.

Anläßlich des MRS Spring Meeting in San Francisco, April 11th, 1996 (Symp. Microwave Processing of Materials V) berichteten L. Feher et al. unter dem Titel "The MiRa/THESIS 3D-Code Package for Resonator Design and Modeling of Millimeter-Wave Material Processing" über die Simulation der Feldverteilung in einem vom IAP in Nizhny Novgorod benutzten Design eines hochmodigen, zylindrischen Resonators mit sphärischem Deckel. Es wird darin gezeigt, daß Resonatoren mit kreiszylindrischer oder sphärischer Geometrie eine durchweg verbesserungsbedürftige Feldverteilungen haben. Aufgrund ihrer Topologie treten Fokussierungen des Feldes im Resonatorinnern zwangsläufig auf, so daß im Vergleich zum Resonatorvolumen nur ein verhältnismäßig kleines Arbeitsvolumen mit einigermaßen homogener Feldverteilung bleibt. Zusätzliche technische Maßnahmen wie Modenrührer und diffuse Flächen (Streuflächen) bringen zwar Verbesserung, die aber für die gewerbliche bzw. industrielle Anwendung mit zu hohem Aufwand verbunden sind.On the occasion of the MRS Spring Meeting in San Francisco, April 11th, 1996 (Symp. Microwave Processing of Materials V) reported L. Feher et al. under the title "The MiRa / THESIS 3D Code Package for Resonator Design and Modeling of Millimeter-Wave Material Processing "via the simulation of the field distribution in a design used by the IAP in Nizhny Novgorod of a high-fashioned cylindrical resonator with spherical lid. It it is shown that resonators with circular cylindrical or spherical geometry, all in need of improvement Have field distributions. Kick due to their topology Focus of the field inside the resonator inevitably on so that compared to the resonator volume only a relative small work volume with a reasonably homogeneous field distribution remains. Additional technical measures such as fashion stirrers and diffuse surfaces (scattered surfaces) bring improvement, but for commercial or industrial use are associated with too much effort.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, starke inhomogene Feldüberhöhungen (Kaustiken) in einem Resonator, der als Mikrowellenofen verwendet wird, zu vermeiden und einen einkoppelnden Mikrowellenstrahl durch eine äußere Geometrie im Volumen zu verteilen, um dadurch ein aufzuwärmendes oder zu brennnendes bzw. zu sinterndes Gut einem weitgehend homogenen Feld aussetzen zu können.The invention is based, strong inhomogeneous task Exaggerated fields (caustics) in a resonator, which acts as a microwave oven is used to avoid and a coupling Microwave beam through an external geometry in the volume to distribute in order to heat or burn or goods to be sintered in a largely homogeneous field to be able to suspend.

Die Aufgabe wird durch einen hochmodigen Mikrowellenresonator gemäß Anspruch 1 gelöst.The task is accomplished by a high-fashion microwave resonator solved according to claim 1.

Der Resonator ist ein prismatischer, bezüglich seiner Längsachse symmetrischer Hohlraum mit geradzahlig polygonalem Querschnitt. Alle Flächensegmente des Resonators sind eben oder gleichbedeutend, topologisch flach. Dadurch bleibt der eingekoppelte Mikrowellenstrahl bei Reflexionen an der Resonatorwand stets divergent und wird nicht wie bei kreiszylindrischen und sphärischen Geometrien immer wieder fokussiert.The resonator is a prismatic one, in terms of its Longitudinal axis symmetrical cavity with even polygonal Cross-section. All surface segments of the resonator are flat or equivalent, topologically flat. This keeps the Coupled microwave beam in the event of reflections on the resonator wall always divergent and does not become like circular cylindrical and spherical geometries always focused.

Bei der ersten Reflexion erfährt der Strahl eine Aufteilung in zwei symmetrische Hälften, da die Strahlachse vom Mikrowellenkoppelfenster zunächst auf die nächstliegende, gemeinsame Kante zweier Mantelflächensegmente fällt. Damit erreicht man eine erste starke Auffächerung nach der ersten Reflektion, die bei erster Reflektion des Strahls an nur einem ebenen Wandsegment nicht erreicht wird.At the first reflection, the beam is divided into two symmetrical halves because the beam axis from the microwave coupling window first to the closest, common Edge of two lateral surface segments falls. With that you reach a first strong fanning out after the first reflection, the when the beam is first reflected on only one flat wall segment is not reached.

Plausibel scheint zunächst, wenn der eingekoppelte Strahl stets derart reflektiert wird, daß eine Auffächerung erfolgt. Dann können ungebührliche Feldüberhöhungen, wie sie bei reiner Zylindergeometrie durch Fokussiereffekt auftreten, nicht zustande kommen. In Folge davon muß bei einer Resonatorgeometrie mit polygonalem Querschnitt nicht zu hoher Ordnung ein im Vergleich zur Zylindergeometrie viel größeres Nutzvolumen (auch Arbeits- oder Prozeßvolumen) zu erreichen sein.At first it seems plausible if the injected beam is always reflected in such a way that a fanning out takes place. Then undue field peaks, as in pure Cylinder geometry occur due to focusing effect, does not occur come. As a result, a resonator geometry with polygonal cross section not too high in comparison to the cylinder geometry much larger usable volume (also Work or process volume).

Feldberechnungen mit einem speziell entwickelten Computerprogramm bestätigen diese Plausibilitätsbetrachtung. Zu diesem Zweck wurden Resonatordesignstudien mit diesem Computerprogramm, dem MiRa-Code (Microwave Raytracer), unter verschiedenen polygonalen Geometrien als meistversprechend ausgewählt. Der MiRa-Code dient zur Berechnung stationärer Wellenfelder und zeigt gute Übereinstimmung mit entsprechend realisierten Resonatoren.Field calculations with a specially developed computer program confirm this plausibility check. For this purpose, resonator design studies using this computer program, the MiRa code ( Mi crowave Ra ytracer), were selected as the most promising among various polygonal geometries. The MiRa code is used to calculate stationary wave fields and shows good agreement with correspondingly implemented resonators.

Der MiRa-Code wurde als ein gitterloses analytisches Rechnerverfahren entwickelt mit dem komplexe Resonatorgeometrien untersucht werden können. Ein Strahlformalismus, der die kompletten Eigenschaften für elektromagnetische Felder im stationären Zustand repräsentiert, liefert die theoretische Basis für diesen Code. Dies erlaubt die Beschreibung eines monochromatischen, sich harmonisch ändernden Wellenfeld mit dem Vektorpotential A(x, t) = A(x) e-iwt. The MiRa code was developed as a gridless analytical computer procedure with which complex resonator geometries can be examined. A beam formalism that represents the complete properties for electromagnetic fields in the steady state provides the theoretical basis for this code. This allows the description of a monochromatic, harmonically changing wave field with the vector potential A (x, t) = A (x) e -iwt ,

Unter Einbeziehung von Eichtransformationen ist die Bedingung Φ(x, t) = O immer einzuhalten (siehe nochmals o. e. MRS Spring Meeting 1996, insbesondere "Optical field calculations with the Mira-Code").Including calibration transformations is the condition Φ (x, t) = O always to be observed (see MRS Spring Meeting 1996 again, in particular "Optical field calculations with the Mira code").

Im abhängigen Anspruch 2 wird der symmetrisch hexagonale Querschnitt des Resonators gekennzeichnet, weil mit ihm hinsichtlich der homogenen Feldverteilung geringster Schwankung das beste Ergebnis erreicht wurde und damit das Resonatorvolumen fast vollständig als Arbeitsvolumen benutzt werden kann. Andere geradzahlig polygonale Resonatorquerschnitte zeigen hinsichtlich der Feldhomogenität nicht diese Qualität. Dennoch, ein oktagonaler Resonatorquerschnitt ist immer noch wesentlich günstiger für die Ausprägung eines homogenen Feldes als die zum Stand der Technik angeführten Geometrien, selbst wenn sie noch einen Modenrührer im Resonatorinnern haben. In dependent claim 2, the symmetrical hexagonal cross section of the resonator because with it the homogeneous field distribution with the smallest fluctuation best result was achieved and thus the resonator volume can be used almost completely as work volume. Other even-numbered polygonal resonator cross sections show with respect the field homogeneity does not have this quality. Yet, an octagonal resonator cross section is still essential cheaper for the development of a homogeneous field than that state of the art geometries, even if they still have a mode stirrer inside the resonator.

Die Innenwände des Resonators sind metallisch oder mit einer metallischen Schicht bedeckt, wodurch sie für die Mikrowelle ein Spiegel sind, der um so besser reflektiert, je höher die elektrische Leitfähigkeit der Wände ist. Darüber hinaus müssen sie in der Prozeßumgebung beständig, d. h. für die berührende Atmosphäre chemisch inert sein und müssen gekühlt werden, um bei thermischer Belastung, die überwiegend von Strahlung und mehr oder weniger untergeordnet von Konvektion herrührt, standzuhalten. Je nach Einsatzfall wird ein Material wie Silber oder Kupfer oder Gold oder Edelstahl oder ein sonstwie geeignetes metallisches Material als Wand oder Innenwandbeschichtung für den Resonator eingesetzt (Anspruch 3).The inner walls of the resonator are metallic or with a metallic layer, making it suitable for the microwave are a mirror that reflects better the higher the electrical conductivity of the walls is. Beyond that they persist in the process environment, d. H. for the touching Atmosphere must be chemically inert and must be cooled to with thermal stress, which is predominantly from radiation and more or less subordinate to convection, to withstand. Depending on the application, a material like silver or copper or gold or stainless steel or some other suitable one metallic material as wall or interior wall coating used for the resonator (claim 3).

Die Einkopplung der Mikrowelle in den Resonator erfolgt von einer der beiden ebenen Stirnseiten. Die Einkoppelöffnung liegt außerhalb des Zentrums der Stirnseite (Anpruch 4), so daß es eine gemeinsame Kante zweier aneinanderstoßender Mantelsegmente gibt, die der Einkopplungsöffnung am nächsten liegt. Zu dieser Kante läuft die von der Einkopplungsöffnung ausgehende Strahlachse und teilt sich dort bei der ersten Reflexion zunächst in zwei Strahlachsen auf, die bis zur zweiten Reflexion spiegelbildlich zueinander verlaufen.The microwave is coupled into the resonator by one of the two flat faces. The coupling opening lies outside the center of the end face (Claim 4), see above that there is a common edge of two abutting shell segments there that is closest to the coupling opening lies. To this edge runs from the coupling opening outgoing beam axis and divides there at the first reflection first in two beam axes, up to the second Reflection are mirror images of each other.

Durch die erreichte homogene Feldverteilung im stationären Zustand ist jetzt der Resonator als Mikrowellenofen sehr gut zur Sinterung keramischer Substanzen geeignet. Es können aber durchaus auch andere Gegenstände ausgeheizt oder getrocknet oder einfach temperiert werden (Anspruch 5).Due to the homogeneous field distribution achieved in the steady state the resonator is now very good as a microwave oven Suitable for sintering ceramic substances. But it can other objects can also be heated or dried or simply tempered (claim 5).

In den Resonator wird ein quasioptischer Strahl mit gaußschem Strahlprofil oder ein diesem Profil nahekommender Mikrowellenstrahl eingekoppelt (Anspruch 6).A quasi-optical beam with a Gaussian beam is inserted into the resonator Beam profile or a microwave beam that comes close to this profile coupled (claim 6).

Die Vorteile des prismatischen Resonators mit geradzahligem, symmetrisch polygonalem Querschnitt und der gegen die Längsachse geneigten Strahleinkopplung mit anschließender symmetrischer Strahlaufteilung nach der ersten Reflexion hat sich nach auf den MiRa-Code gestützte Vorhersagen als optimal und vorteilhaft herausgestellt. Die theoretischen Befunde wurden experimentell bestätigt. Vor allem können weitere bekannte technische Hilfsmittel wie der Modenrührer und Streuscheiben (Diffusoren) entfallen. Sie bringen keine zusätzliche Verbesserung mehr. Damit ist die Voraussetzung für eine gleichmäßige Verarbeitung mehrerer zu glühender oder zu brennender Körper, sogenannte Grünkörper, geschaffen und der industrielle Einsatz nahegelegt.The advantages of the prismatic resonator with an even number symmetrical polygonal cross section and against the Beam coupling inclined along the longitudinal axis with subsequent symmetrical Beam splitting after the first reflection has according to predictions based on the MiRa code as optimal and emphasized advantageous. The theoretical findings were experimentally confirmed. Above all, other well-known ones technical aids such as the fashion stirrer and spreading discs (Diffusers) are eliminated. They don't bring any additional improvement more. This is the prerequisite for an even Processing of several bodies to be glowing or burning, so-called green bodies, created and industrial use suggested.

Das im folgenden anhand der Zeichnung näher beschrieben Ausführungsbeispiel der Erfindung ist als Ofen für die Keramiksinterung vorgesehen.The embodiment described below with reference to the drawing the invention is as a furnace for ceramic sintering intended.

Es zeigt:

  • Figur 1a Projektion des eingekoppelten Strahls senkrecht zur Resonatorachse,
  • Figur 1b Projektion des eingekoppelten Strahls parallel zur Resonatorachse,
  • Figur 2 der Mikrowellenofen mit hexagonalem Applikatoreinsatz und Kantenbeaufschlagung durch die Mikrowelle,
  • Figur 3 Abhängigkeit der Feldhomogenität und Energiedichte im Arbeitsvolumen von der Ordnung des polygonalen Querschnitts und der Art der Wandbeaufschlagung,
  • Figur 4 Blockdiagramm der Feldberechnung mit dem MiRa-Code.
    • It shows:
  • FIG. 1a projection of the injected beam perpendicular to the resonator axis,
  • FIG. 1b projection of the injected beam parallel to the resonator axis,
  • FIG. 2 shows the microwave oven with a hexagonal applicator insert and edge loading by the microwave,
  • FIG. 3 dependence of the field homogeneity and energy density in the working volume on the order of the polygonal cross-section and the type of wall application,
  • Figure 4 Block diagram of the field calculation with the MiRa code.

    • Der in den Resonator 1 mit hexagonalem Querschnitt einkoppelnde, quasioptische Mikrowellenstrahl 2 wird in den beiden Figuren 1a und 1b strahloptisch vereinfacht mit den beiden ersten Reflexionen dargestellt. Der Mikrowellenstrahl 2 tritt in den Resonator 1 durch die Einkoppelöffnung 3 in der in der Figur 1a unteren Stirnfseite 4 ein. Die Strahlachse 5 des in den Resonator 1 eintretenden, ersten Strahlteils ist mit einem Winkel a zur Stirnseite 4 mit dem Einkoppelöffnung 3 geneigt. Sie ist so ausgerichtet, daß sie auf die nächstliegende Kante der zwei aneinanderstoßenden, ebenen Polygonflächen stößt. An diesen beiden aneinanderstoßenden Polygonflächen wird der Strahl 2 erstmalig reflektiert und gleichzeitig in zwei zueinander symmetrische Teile aufgeteilt. Der Innenraum des Resonators 1 wird durch den stets divergenten Strahlengang mit zunehmenden Reflexionen immer gleichmäßiger ausgefüllt.The coupling into the resonator 1 with a hexagonal cross section quasi-optical microwave beam 2 is used in the two Figures 1a and 1b simplified with the first two Reflections shown. The microwave beam 2 enters the resonator 1 through the coupling opening 3 in the figure 1a lower front 4. The beam axis 5 of the in Resonator 1 entering the first beam part is with a Angle a to the end face 4 inclined with the coupling opening 3. It is oriented so that it is on the closest edge of two abutting, flat polygon surfaces. On these two contiguous polygon surfaces becomes the Beam 2 reflected for the first time and simultaneously in two to each other divided symmetrical parts. The interior of the resonator 1 is due to the always divergent beam path with increasing Reflections filled in more and more evenly.

    In den Figuren 1a und 1b ist dieser Vorgang nur für die ersten beiden Reflexionen gezeigt, um anzudeuten, wie die Felderfüllung des Raumes und damit des Mikrowellenofens fortschreitet (In Wirklichkeit ist die stationäre Felderfüllung im Resonator nach dem Einkoppeln gewissermaßen sofort vorhanden). Stärkere lokale Feldüberhöhungen (Kaustiken) werden vermieden, infolge können keine sogenannten Hotspots in den im Resonator 1 aufgeheizten Keramikformen enstehen. Die zu prozeßierenden Keramikformen werden im Arbeitsvolumen (Prozeßvolumen) des Ofens (Resonators) dem Mikrowellenfeld ausgesetzt.In Figures 1a and 1b, this process is only for the first Both reflections are shown to indicate how the fields are filled of the room and thus the microwave oven (In reality, the stationary field filling is in the resonator almost immediately available after coupling). Stronger local field elevations (caustics) are avoided as a result can no so-called hotspots in the heated in the resonator 1 Ceramic forms are created. The ceramic molds to be processed are in the working volume (process volume) of the furnace (resonator) exposed to the microwave field.

    In Figur 2 besteht der Mikrowellenofen aus einem zylindrischen Gebilde 6 mit zwei Anschlußstutzen 7 und 8, wovon der eine 8 an der Mantelfläche ansetzt und der Temperaturmessung sowie dem Auspumpen bzw. Atmosphärefluten des Resonatorinnern dient und der zweite 7 schräg an einer der beiden Stirnflächen 4 ansetzt. Über letzterem wird die Mikrowelle 2 ins Resonatorinnere eingekoppelt. Deshalb ist er auch mit dem Koppelfenster 9 an der Stoßstelle zum strahlführenden Hohlleiter abgeschlossen.In Figure 2, the microwave oven consists of a cylindrical Form 6 with two connecting pieces 7 and 8, of which one 8th attaches to the lateral surface and the temperature measurement as well serves to pump out or flood the interior of the resonator and the second 7 attaches obliquely to one of the two end faces 4. Over the latter, the microwave 2 is inside the resonator coupled. That is why it is also with the coupling window 9 completed at the joint to the beam-guiding waveguide.

    Das Innere des Originalzylinders 6 ist von Stirnseite 4 zu Stirnseite 4 mit dem im Querschnitt hexagonalen Applikatoreinsatz 10 koaxial ausgelegt. In Figur 2 ist der Applikator 10 soweit um die Zylinderachse gedreht, daß die einfallende Strahlachse 5 auf die nächstliegende Kante zweier sich stoßender Polygonwände des Applikatoreinsatzes 10 fällt. Damit erfolgt dann dort die erste symmetrische Aufteilung des einfallenden Mikrowellenstrahls 2.The inside of the original cylinder 6 is from the front side 4 to End face 4 with the applicator insert which is hexagonal in cross section 10 coaxial. The applicator 10 is shown in FIG rotated so far about the cylinder axis that the incident Beam axis 5 on the closest edge of two intersecting Polygon walls of the applicator insert 10 falls. So that is done then there the first symmetrical division of the incident Microwave beam 2.

    Der MiRa-Code als Instrument zur Ermittlung und Auslegung der optimalen Resonatorgeometrie ist ein entscheidendes Werkzeug. Er ist in seinen wesentlichen Zügen und seiner grundsätzlichen Benutzung in Figur 4 erläutert. Die detaillierteren Zusammenhänge dieses Codes sind in der o. e. Literaturstelle nachvollziehbar von den Autoren H. Feher et al. beschrieben. Im wesentlichen wird zunächst ein Resonatormodell mit polygonalem Querschnitt angenommen, modelliert und zur Berechnung der in dieser Resonatorgeometrie auftretenden Feldverteilung herangezogen. Die numerische Kalkulation erfolgt mit der MiRa-Feldberechnung, in der die in den Resonator 1 eintretende Mikrowelle 2 strahloptisch verfolgt wird. Die sukzessive Felderfüllung im Resonator 1 läßt sich schließlich u. a. videogeeignet darstellen, so daß z. B. als ein Ergebnis die Längs- und Querschnittsentwicklung der Feldverteilung im Resonatorinnern vorgeführt werden kann.The MiRa code as a tool for determining and interpreting the optimal resonator geometry is a crucial tool. It is in its essential features and its basic Use explained in Figure 4. The more detailed connections of these codes are in the o. e. Literature comprehensible by the authors H. Feher et al. described. Essentially first a resonator model with polygonal Cross section assumed, modeled and used to calculate the in this field geometry occurring resonator geometry used. The numerical calculation is carried out using the MiRa field calculation, in which the microwave entering the resonator 1 2 is followed optically. The successive filling of fields in Resonator 1 can finally u. a. display suitable for video, so that z. B. as a result the longitudinal and cross-sectional development demonstrated the field distribution inside the resonator can be.

    Zur Ofenauslegung ist es das Bestreben, die Energiedichte im definierten Arbeitsvolumen möglichst groß zu halten, bei gleichzeitiger geringer Streuung der Feldstärkewerte um den Mittelwert (homogene Verteilung). Das Arbeitsvolumen, zum Vergleich der Bedingungen, wird als das zusammenhängende Volumen definiert, das bei der zylindrischen Originalgeometrie die beste Feldqualität aufweist. Durch die Studie mit dem MiRa-Code zur Untersuchung der Feldhomogenität verschiedener prismatischer Applikatordesigns zeigte sich ein Optimum für die hexagonale Struktur mit Kantenbeaufschlagung gemäß Figuren 1a, b und 2b. Hier ist das Verhältnis
    (Streuung der Energiedichte im Arbeitsvolumen) : (im Arbeitsvolumen zur Verfügung stehende mittlere Energiedichte)
    minimal. In der Figur 3 ist der auf das Maximum (ungünstigste Fall) normierte Quotient für Kanten- bzw. Wandbeaufschlagung dargestellt. Die Kantenbeaufschlagung zeigt eine bis auf den pentagonalen Querschnitt bessere homogene Energieausbeute.    When designing the furnace, the aim is to keep the energy density in the defined working volume as large as possible, while at the same time little variation in the field strength values around the mean value (homogeneous distribution). The working volume, for comparison of the conditions, is defined as the coherent volume that has the best field quality with the original cylindrical geometry. The study with the MiRa code to investigate the field homogeneity of various prismatic applicator designs revealed an optimum for the hexagonal structure with edge loading according to FIGS. 1a, b and 2b. Here is the relationship
    (Scattering of the energy density in the work volume): (Average energy density available in the work volume)
    minimal. FIG. 3 shows the quotient normalized to the maximum (worst case) for the application of edges or walls. The edge loading shows a better homogeneous energy yield except for the pentagonal cross section.

    In Figur 3 ist die normierte Streuung gezeigt. Mit dem hexagonalen Applikator ergibt sich die Vorhersage, daß mit ihm die geringste Streuung bei möglichst hoher Energiedichte überhaupt zu erwarten ist. Dieser Befund ist experimentell bestätigt, und zwar zeigt sich eine großräumige, vollkommen homogene Schwärzung der in den Resonator gebrachten Thermopapiere in allen gemessenen Ebenen bis zur Applikatorbewandung. Die Vorausberechnungen werden also durch das Experiment bestätigt, so daß sich der MiRa-Code durch eine hohe Zuverlässigkeit auszeichnet. Berechnungen für polygonale Querschnitte höherer Ordnung konvergieren im Streuverhalten des Resonatorfeldes rasch gegen die Zylindergeometrie.The normalized scatter is shown in FIG. With the hexagonal Applicator predicts that with him the least scatter with the highest possible energy density is to be expected. This finding has been confirmed experimentally, and it shows a spacious, completely homogeneous Blackening of the thermal papers placed in the resonator in all measured levels up to the applicator wall. The predictions are confirmed by the experiment, so that the MiRa code is characterized by high reliability. Calculations for higher polygonal cross sections Order converge in the scattering behavior of the resonator field quickly against the cylinder geometry.

    Als Balken für, Kante- Beaufschlagung durch die einkoppelnde Mikrowelle, ist das Verhältnis für die mittlere Energie und Streuung der Original- (Zylinder-) geometrie bei stillstehendem Modenrührer zu sehen. Der zweite Balken zeigt den Gewinn durch einen laufenden Modenrührer, der sich so schnell dreht, daß die Fluktuation durch die Einzelstellungen des Modenrührers nicht mehr nachweisbar sind. Die Originalkonfiguration kann in Streuung und zur Verfügung stehender Energiedichte vergleichbar einer kubischen (quadratischer Resonatorquerschnitt) Applikatorgeometrie angesehen werden, allerdings ist hier die Homogenität ohne ein technisches Hilfsmittel wie Modenrührer oder Streuscheibe erreicht.As a beam for, edge loading through the coupling Microwave, is the ratio for the medium energy and Scattering of the original (cylinder) geometry when stationary To see fashion stirrers. The second bar shows the profit by a running fashion stirrer that turns so fast that the fluctuation through the individual positions of the mode stirrer are no longer detectable. The original configuration can be in scatter and available energy density comparable to a cubic (square resonator cross section) Applicator geometry can be viewed, however here the homogeneity without a technical aid such as a fashion stirrer or lens has been reached.

    Bei der Studie der Feldverteilung mit dem MiRa-Code hinsichtlich der experimentellen Überprüfung wurden die Polygone, mit quadratischem Querschnitt startend, in den zylindrischen Querschnitt des Originalresonators einbeschrieben. Damit steigt das Volumen mit zunehmender Kantenzahl an und folglich sinkt bei gleicher eingekoppelter Leistung die im Volumen zur Verfügung stehende Energiedichte. Dieses kommt insbesondere beim Pentagon zum Ausdruck. When studying the field distribution with the MiRa code regarding the polygons, with square cross section starting in the cylindrical cross section of the original resonator. So that increases the volume increases with the number of edges and consequently decreases with the same coupled-in power available in volume standing energy density. This comes especially with the Pentagon expressed.

    Es ist für polygonale Querschnitte geradzahliger Ordnung eine deutliche Abnahme der Streuung von der Originalgeometrie ohne laufenden Modenrührer über den quadratischen Querschnitt bis hin zum hexagonalen Querschnitt gegeben. Erst ab dieser steigt die Streuung wieder an, ist aber für die Polygone geradzahliger Ordnung durchweg besser als bei Wandbeaufschlagung. Bedeutend stärker ist die normierte Feldstreuung für ungeradzahlige Polygone. Es konvergiert die normierte Streuung für polygonale Querschnitte höherer Ordnung rasch gegen die Originalgeometrie ohne laufenden Modenrührer. It is an even order for polygonal cross-sections significant decrease in scatter from the original geometry without running mode stirrers up to the square cross section given to the hexagonal cross section. Only from this increases the scatter increases again, but is even-numbered for the polygons Consistently better than with wall application. Significantly The standardized field scatter is stronger for odd numbers Polygons. The normalized scatter for polygonal converges Cross-sections of higher order quickly against the original geometry without running fashion stirrer.

    BezugszeichenlisteReference list

    11
    ResonatorResonator
    22nd
    Mikrowellenstrahl, MikrowelleMicrowave beam, microwave
    33rd
    EinkopplungsöffnungCoupling opening
    44th
    StirnseiteFace
    55
    StrahlachseBeam axis
    66
    Zylinder, GebildeCylinders, structures
    77
    AnschlußstutzenConnecting piece
    88th
    AnschlußstutzenConnecting piece
    99
    KoppelfensterCoupling window
    1010th
    prismatischer Hohlraum, Applikatoreinsatzprismatic cavity, applicator insert

    Claims (6)

    1. Highly modal microwave resonator for the high-temperature treatment of materials, with the resonator (1) being a prismatic and, in relation to its longitudinal axis, symmetric cavity with an even-numbered polygonal cross section and the lateral surface segments as well as both front surfaces (4) of the resonator (1) being plane, characterized by
      the beam axis (5) of the microwave beam (2) to be coupled in via one of both front surfaces (4) hitting the nearest edge of two adjacent lateral surface segments in an inclined manner, as a result of which the divergent microwave beam (2) coupled in the resonator (1) is fanned up into two symmetrical reflection and diffraction components during first reflection near the coupling (3), and by
      further reflections at the inner walls of the resonator always causing the beam to be fanned up such that a largely homogeneous field distribution exists in the entire resonator volume.
    2. Highly modal microwave resonator according to claim 1, characterized by
      the cross section of the resonator (1) being hexagonal or octagonal in order to obtain field homogeneity with minimum fluctuations.
    3. Highly modal microwave resonator according to claim 2, characterized by
      the inner walls of the resonator (1) being coated with a metal material of high electrical conductivity, which is suited for the process, e.g. silver or copper or gold or aluminum or stainless steel, as a result of which the walls represent mirrors for the coupled-in microwave (2).
    4. Highly modal microwave resonator according to claim 3, characterized by
      the resonator (1) representing a furnace for the high-temperature treatment of materials, such as the heating or drying or sintering and/or welding of ceramics, or for the annealing of semiconductors.
    5. Highly modal microwave resonator according to claim 4, characterized by
      the window for coupling in (3) being set off from the center of one front surface (4).
    6. Highly modal microwave resonator according to claim 5, characterized by
      the coupled-in microwave beam (2) representing a quasi-optical beam having a Gaussian beam profile or a profile that nearly corresponds to it.
    EP97930399A 1996-08-17 1997-06-25 High-mode microwave resonator for the high-temperature treatment of materials Expired - Lifetime EP0919110B1 (en)

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    EP0919110A1 EP0919110A1 (en) 1999-06-02
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    Families Citing this family (14)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    DE19700141A1 (en) * 1997-01-04 1998-07-09 Gero Hochtemperaturoefen Gmbh Kiln for high temperature treatment of materials with low dielectric loss factor
    DE19752728C2 (en) * 1997-11-28 1999-11-04 Karlsruhe Forschzent Rotary tube furnace heated by microwaves
    DE19802745C2 (en) 1998-01-26 1999-11-25 Karlsruhe Forschzent Microwave technical ignition and combustion support device for a fuel engine
    US6320170B1 (en) * 1999-09-17 2001-11-20 Cem Corporation Microwave volatiles analyzer with high efficiency cavity
    IT1319036B1 (en) * 1999-11-03 2003-09-23 Technology Finance Corp Pro Pr DIELECTRIC HEATING DEVICE
    CN1250477C (en) * 2000-10-19 2006-04-12 日本核融合科学研究所 Burning furnace, burnt body pnducing method, and hurnt body
    DE10329411B4 (en) * 2003-07-01 2006-01-19 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Microwave resonator, a process line constructed modularly from such a microwave resonator, a method for operating and by this method thermally processed objects / workpieces by means of a microwave
    DE10329412B4 (en) * 2003-07-01 2005-09-22 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Highly modern microwave resonator for thermal processing
    JP2006260915A (en) * 2005-03-16 2006-09-28 Masaji Miyake Electromagnetic wave heating apparatus
    WO2012043753A1 (en) 2010-09-30 2012-04-05 株式会社サイダ・Ｆｄｓ Microwave device and flow tube thereof
    JP5681847B2 (en) * 2010-09-30 2015-03-11 株式会社サイダ・Ｆｄｓ Microwave equipment
    KR101390663B1 (en) * 2012-06-15 2014-04-30 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 Device for cavity higher order mode excitation
    DE102017114102A1 (en) 2017-06-26 2018-12-27 Harald Heinz Peter Benoit Apparatus and method for heating a material
    EP3566722A1 (en) * 2018-05-08 2019-11-13 Cleanwood Technology S.L. Disinfection system for wood barrels

    Family Cites Families (6)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    JPS4837532B1 (en) * 1969-12-01 1973-11-12
    GB1495691A (en) * 1974-03-23 1977-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Microwave oven
    AU521896B2 (en) * 1976-11-17 1982-05-06 Jean, O.A.L. Apparatus for subjecting a material to electromagnetic waves
    GB8822703D0 (en) * 1988-09-28 1988-11-02 Core Consulting Group Microwave-powered heating chamber
    DE4313806A1 (en) * 1993-04-27 1994-11-03 Rene Salina Device for heating materials in a heating chamber which can be irradiated with microwaves, and method for producing ceramic products, in which the raw product (unfinished product) is dried by means of microwaves
    US5532462A (en) * 1994-04-29 1996-07-02 Communications & Power Industries Method of and apparatus for heating a reaction vessel with microwave energy

    Also Published As

    Publication number Publication date
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    EP0919110A1 (en) 1999-06-02
    JP2000501880A (en) 2000-02-15
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    WO1998008359A1 (en) 1998-02-26

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