EP0340126B1 - Parallax-free gas-filled x-ray detector - Google Patents

Parallax-free gas-filled x-ray detector Download PDF

Info

Publication number
EP0340126B1
EP0340126B1 EP89420149A EP89420149A EP0340126B1 EP 0340126 B1 EP0340126 B1 EP 0340126B1 EP 89420149 A EP89420149 A EP 89420149A EP 89420149 A EP89420149 A EP 89420149A EP 0340126 B1 EP0340126 B1 EP 0340126B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
electrodes
detector
input
sample
absorption
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP89420149A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0340126A1 (en
Inventor
Vincent Comparat
Jean Ballon
Pierre Carrechio
Alain Pélissier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Inel SAS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Inel SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Inel SAS filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP0340126A1 publication Critical patent/EP0340126A1/en
Application granted granted Critical
Publication of EP0340126B1 publication Critical patent/EP0340126B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J47/00Tubes for determining the presence, intensity, density or energy of radiation or particles
    • H01J47/06Proportional counter tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J47/00Tubes for determining the presence, intensity, density or energy of radiation or particles
    • H01J47/008Drift detectors

Definitions

  • the invention relates to detectors of ionizing radiation, in particular X-rays, and more particularly gaseous detectors, that is to say those for which the material absorbing the radiations to generate electrons is a gas (based on argon or xenon for example) see the first part of claim 1.
  • the invention also relates to the use of such a detector.
  • This type of detector is used for example to analyze samples of matter (metal alloys, proteins, crystal structures, biological macromolecules etc.) in order to determine the structure.
  • the samples are placed in front of the detector and lit laterally (in general) by an X-ray source; they diffract the rays and return them to the detector and the role of the latter is to determine the angle of incidence at which it receives the X-rays, therefore the angle of diffraction by the sample.
  • the measured diffraction angles provide indications of the structure of the sample material.
  • FIG. 1 Known two-dimensional gas detectors have a structure which is generally represented in FIG. 1. They correspond for example to what is described in FIG. 1 of American patent US Pat. No. 4,595,834.
  • the detector comprises a sealed enclosure 10 containing the absorbent gas, and on the front face a sealed inlet window 12, transparent to X-rays.
  • This window carries a transparent electrode 14 brought to a potential V1.
  • V1 a potential
  • Between the window 12 and the bottom of the enclosure 10 extends the space 16 called absorption and drift space, filled with gas (argon or xenon with polyatomic additives).
  • an electron detector 18 At the bottom of the enclosure, opposite the window 12 is placed an electron detector 18 called “location detector” because of its function which is to detect the presence and the position of a packet of electrons from the ionization of the enclosure gas.
  • This detector 18 comprises an input electrode 19 transparent to the electrons brought to a potential V2 greater than V1 (for example 0V (volt) if V1 is at -4000V (volts) and the distance between the electrodes 14 and 19 is l '' order of 10 cm).
  • photonic radiation 24 is re-emitted from the sample towards the absorbing gas with an angle of incidence that one seeks to know.
  • a photon Upon entering the gas, a photon will be absorbed at a point in the enclosure and at this point it will emit an electron or a packet of electrons.
  • the electric field in the absorption and drift space is created by the potential difference V2 - V1 so that the electrons drift, along the field lines, towards the detector 18 and their arrival position is detected.
  • the field lines are straight lines perpendicular to the electrodes 14 and 19.
  • the electron detector 18 will detect a position a or b for receiving an electron packet .
  • the object of the present invention is to produce a two-dimensional radiation detector without parallax error.
  • a theoretical solution is simple: it would consist in making a spherical enclosure with a spherical input electrode and an electron detector with localization also spherical and concentric with the input electrode, the sample being placed in the center of these elements. spherical. The electrons are then entrained in the direction of the incident radiation. There is no parallax error.
  • Figure 2 of the aforementioned patent US-A-4,595,834 proposes to produce a radial electric field (that is to say spherical equipotentials) using a spherical input electrode, a spherical concentric auxiliary electrode, the space absorption and drift being delimited by these two electrodes, and a transfer space being provided between the spherical auxiliary electrode and the location detector which is planar.
  • the potential difference between the two electrodes creates a radial electric field and spherical equipotentials in the absorption space.
  • the spherical electrodes are difficult to produce, especially the auxiliary electrode because it must be very transparent to the electrons since the electrons must reach the localization detector; it is therefore produced in the form of a grid of fine wires which is difficult to manufacture.
  • the parallax error is reduced by forcing the X-rays to be absorbed near the spherical input electrode where the field is approximately radial. This is obtained by using xenon under high pressure and limits the use of such a system to not too energetic X-rays and requires the use of a fairly thick spherical beryllium window. For reasons of pressure resistance, this window is necessarily of limited size.
  • the present invention proposes a new X-ray detector which makes it possible to avoid the drawbacks of the gaseous detectors of the prior art and in particular authorizes the placement of a sample at a variable distance from the entry window, while minimizing the 'parallax error, and simplifying manufacturing.
  • a gaseous detector of radiations emitted by a sample comprising a closed enclosure containing an absorbent gas for the radiation, an entrance window transparent to the radiations to be detected, an absorption and drift space behind the entry window and, at the end of this space, a two-dimensional plane electron location detector to determine the coordinates of an electron arrival point generated by an impact of photons in the absorbent gas, the detector further comprising a group of input electrodes situated behind the input window and largely transparent to radiation; this detector further comprises a group of lateral electrodes surrounding the absorption and drift space, the individual input electrodes and the individual lateral electrodes being brought to potentials which are different from one another and which vary according to the position at which one wishes to place the sample relative to the entry window, the potentials chosen for each of the electrodes being such that the absorption and drift space is separated into two parts without the use of electrodes physically delimiting this separation , the equipotentials in the first part being spherical or quasi-spherical and centered
  • a distance between the entrance window and the detector sufficient, for example 10 cm, almost all of the X-rays will be absorbed in the first part and this at a pressure equal to or slightly higher than atmospheric pressure.
  • a much simpler construction detector is thus obtained, presenting no parallax error, and making it possible to place the sample to be observed at a variable distance from the input window.
  • the lateral electrodes of the enclosure will preferably be formed on conical side walls laterally delimiting the absorption and drift space.
  • the input electrodes are formed by screen printing on an insulating substrate and are separated from each other by a highly resistive substance allowing the flow of electric ionization charges which would risk accumulating between the electrodes.
  • the detector comprises a sealed external enclosure 30 closed at the front by an inlet window 32 transparent to X-rays (or more generally to the radiation to be detected).
  • the window is for example made of mylar or kapton (trademarks for polymer films) or beryllium.
  • the bottom of the enclosure 30 comprises, as in the prior art, a plane electron detector 34 which is a location detector, two-dimensional, for example a wire detector, with parallel plates or any other type of known gas detector.
  • a plane electron detector 34 which is a location detector, two-dimensional, for example a wire detector, with parallel plates or any other type of known gas detector.
  • a set of input electrodes which are in principle circular, concentric and all in the same plane, parallel to the plane of the electron detector. The fact that they are all in the same plan facilitates manufacturing but this is not an obligation. One can for example arrange them on a spherical surface.
  • These input electrodes are symbolized by the reference 36; they are best seen in plan view in FIG. 4.
  • the center of the circular input electrodes is located on the general axis 38 of the system, axis perpendicular to the electron detector 34 at its center.
  • the input electrodes 36 can be carried by a transparent X-ray support separate from the input window 32 or can be applied to the window, with the interposition of an insulating layer if the window is conductive.
  • the enclosure 30 is filled with gas absorbing the radiation to be detected: for example argon or xenon with one or more additives (hydrocarbon, CO2, etc.) allowing the localization detector 34 to function properly and having good drift characteristics and the absence of excessive electronic recombination which would harm the collection of electrons.
  • gas absorbing the radiation to be detected for example argon or xenon with one or more additives (hydrocarbon, CO2, etc.) allowing the localization detector 34 to function properly and having good drift characteristics and the absence of excessive electronic recombination which would harm the collection of electrons.
  • an absorption and drift space 40 is materially delimited, between the input electrodes 36 and the electron detector 34, by a side wall 42 of generally conical shape, having as axis the general axis 38 of the detector; this wall 42 surrounds the entire absorption and drift space in which electrons can be generated by incident radiation and then directed towards the electron detector 34.
  • the conical side wall 42 need not be sealed; it only serves as a support for lateral electrodes 44 which surround the drift and absorption space 40.
  • the wall 42 may for example be a sheet based on glass fiber on which are deposited conductors constituting the electrodes 44, for example by screen printing or by printed circuit techniques.
  • the individual input electrodes 36 and the lateral individual electrodes 44 can be brought to potentials which are all different from each other, these potentials being able to vary depending on the distance at which the sample 20 to be observed will be placed relative to the electrodes d 'entry 36.
  • the lateral electrodes 44 are distributed over the entire length of the wall 42, between the small end of the cone (immediately adjacent to the plane of the input electrodes) and the large end of the cone (immediately adjacent to the plane of the electron detector).
  • the lateral electrodes are circular, centered on the axis 38 of the detector.
  • the number of electrodes 36 and 44 is a function of the desired precision on the electric field inside the absorption and drift space.
  • the individual potentials of the side electrodes are brought by conductors 46 external to the wall 42, through conductive passages arranged in the wall opposite each electrode.
  • the outer conductors 46 are connected to connectors 48 through which the various potentials can be brought.
  • the potentials can be generated by resistive dividing bridges, not shown, located outside the enclosure 30 and preset as required for desired sample distances, or by a more complex voltage generation system controlled by outside by the detector user.
  • connection system is the same for the input electrodes 36 but it has not been shown so as not to make Figure 2 heavy.
  • a distance D is chosen at which the sample 20 to be observed will be placed (distance between the sample and the plane of the input electrodes 36) and the sphere centered on the position of the sample and of radius D is called SPHD.
  • the radial electric field is produced not only by virtue of the lateral electrodes 44 situated inside the SPHL sphere, but also by virtue of an appropriate choice of the potentials of the lateral electrodes 44 situated outside the SPHL sphere; this remark is important because the absence of a material spherical auxiliary electrode at the location of the limiting auxiliary sphere SPHL or the absence of plane auxiliary electrodes between regions A and B to simulate a spherical electrode, requires doing also pay particular attention to potentials applied to the lateral electrodes 44 located outside the SPHL limit sphere.
  • the spherical equipotentials in the vicinity of the limit sphere SPHL are in fact particularly sensitive to the proximity of the plane detector and they are not isolated by an electrostatic screen which until now constituted the auxiliary electrode or electrodes materially placed in the limit region between the regions A and B.
  • the equipotentials in region B are determined, by the method of electrical images, between a sphere SPHL brought to a constant potential VL and the plane of the detector 34, brought to a fixed potential VF; the electric field on the SPHL sphere is calculated as a function of VL and VF.
  • V (r) (VD - VL) x L x D / r (LD) + (L x VL - D x VD) / (LD)
  • FIG. 3 shows, in addition to the spherical equipotentials of region A, an intermediate equipotential EQB of region B, which is not a sphere centered on point S.
  • the distance D at which the sample to be observed can be changed, and this results in a new preferential distribution of potentials to be assigned to the input electrodes 36 and to the side electrodes 44. It is therefore possible to move the position of the sample while retaining spherical equipotentials, centered on the sample, in most of the absorption and drift space 40.
  • region A can go down to 70% of this distance.
  • FIG. 4 represents the configuration of the input electrodes 36. These are concentric conductive circular tracks. They are produced in this example by screen printing of a conductive paste of carbon (carbon having the advantage of being fairly transparent to X-rays) on an insulating support.
  • a conductive paste of carbon carbon having the advantage of being fairly transparent to X-rays
  • the individual electrodes are supplied by conductors located on the other side of the support.
  • the support is then pierced with holes 50 filled with conductive paste and the supply conductors 52 are electrically connected to these holes.
  • the supply conductors can be screen printed on the other side of the insulating support. They must be as transparent as possible to the radiation to be detected.
  • FIG. 5 represents the configuration of the input conductors seen in cross section perpendicular to the plane of the input window, through only one of the conductive passages 50 and along the supply conductor 52 which is connected to this hole.
  • the insulating support is designated by the reference 54.
  • a highly resistive paste 56 is deposited between the circular conductive tracks constituting the electrodes 36 intended to evacuate towards the electrodes 36 the electric charges (ions) which are liable to accumulate at the interface between the insulating substrate 54 and the gas. of the enclosure. These charges come from the ionization of the gas and disturb the shape of the equipotentials towards the input of the detector if they remain stored on the insulating substrate.
  • the highly resistive paste can be a paste based on carbon in small proportion in an insulating resin.
  • the conductive electrodes 36 are deposited directly (by screen printing for example) on a resistive substrate (highly resistive) and not insulating; the same result would be achieved with regard to the removal of troublesome loads.
  • the side electrodes 44 can be deposited by screen printing on a flexible insulating sheet constituting the side wall 42; this flexible sheet is then rolled up in the form of a truncated cone.
  • the electrodes can also be produced in flexible printed circuit or else by stacking circular electrodes spaced by insulating shims. The connections with the supply conductors will however always be outside the space 40 so as not to disturb the electric field on the inside of the side wall 42.
  • FIG. 6 shows a slightly different constitution of the detector, in which an attempt is made to analyze the rear X-ray diffraction, by a sample of material.
  • the detector to be traversed in its center by a pierced axial tube 60 through which an X-ray emission beam can pass, directed towards the sample 20.
  • the rays re-emitted towards the rear by the sample are captured and analyzed by the detector.
  • the walls of the tube 60 are also side walls of the absorption and drift space 42, and that they also carry individual side electrodes 44; these electrodes are brought to potentials which are calculated in the same way than the others both in the upper region and in the lower region of the enclosure.
  • connections to bring the potentials to the different electrodes along the tube are made with the same constraints as above, and it is also recommended to provide a resistive substance between the electrodes peripheral to the tube.

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

L'invention concerne les détecteurs de radiations ionisantes, notamment des rayons X, et plus particulièrement les détecteurs gazeux, c'est-à-dire ceux pour lesquels le matériau absorbant les radiations pour engendrer des électrons est un gaz (à base d'argon ou de xénon par exemple) voir le première partie de la revendication 1.The invention relates to detectors of ionizing radiation, in particular X-rays, and more particularly gaseous detectors, that is to say those for which the material absorbing the radiations to generate electrons is a gas (based on argon or xenon for example) see the first part of claim 1.

L'invention concerne aussi l'utilisation d'un tel détecteur.The invention also relates to the use of such a detector.

Ce type de détecteur est utilisé par exemple pour analyser des échantillons de matière (alliages métalliques, protéines, structures cristallines, macromolécules biologiques etc.) afin d'en déterminer la structure. Les échantillons sont placés devant le détecteur et éclairés latéralement (en général) par une source de rayons X ; ils diffractent les rayons et les renvoient vers le détecteur et le rôle de ce dernier est de déterminer l'angle d'incidence sous lequel il reçoit les rayons X donc l'angle de diffraction par l'échantillon. Les angles de diffraction mesurés fournissent des indications sur la structure de la matière de l'échantillon.This type of detector is used for example to analyze samples of matter (metal alloys, proteins, crystal structures, biological macromolecules etc.) in order to determine the structure. The samples are placed in front of the detector and lit laterally (in general) by an X-ray source; they diffract the rays and return them to the detector and the role of the latter is to determine the angle of incidence at which it receives the X-rays, therefore the angle of diffraction by the sample. The measured diffraction angles provide indications of the structure of the sample material.

Les détecteurs gazeux bidimensionnels connus ont une structure qui est représentée d'une manière générale à la figure 1. Ils correspondent par exemple à ce qui est décrit à la figure 1 du brevet américain US-A-4 595 834.Known two-dimensional gas detectors have a structure which is generally represented in FIG. 1. They correspond for example to what is described in FIG. 1 of American patent US Pat. No. 4,595,834.

Le détecteur comprend une enceinte étanche 10 contenant le gaz absorbant, et sur la face avant une fenêtre étanche d'entrée 12, transparente aux rayons X. Cette fenêtre porte une électrode transparente 14 portée à un potentiel V1. Entre la fenêtre 12 et le fond de l'enceinte 10 s'étend l'espace 16 dit espace d'absorption et de dérive, rempli de gaz (argon ou xénon avec des additifs polyatomiques).The detector comprises a sealed enclosure 10 containing the absorbent gas, and on the front face a sealed inlet window 12, transparent to X-rays. This window carries a transparent electrode 14 brought to a potential V1. Between the window 12 and the bottom of the enclosure 10 extends the space 16 called absorption and drift space, filled with gas (argon or xenon with polyatomic additives).

Au fond de l'enceinte, à l'opposé de la fenêtre 12 est placé un détecteur d'électrons 18 appelé "détecteur à localisation" en raison de sa fonction qui est de détecter la présence et la position d'un paquet d'électrons provenant de l'ionisation du gaz de l'enceinte. Ce détecteur 18 comprend une électrode d'entrée 19 transparente aux électrons portée à un potentiel V2 supérieur à V1 (par exemple 0V (volt) si V1 est à -4000V (volts) et que la distance entre les électrodes 14 et 19 est de l'ordre de 10 cm).At the bottom of the enclosure, opposite the window 12 is placed an electron detector 18 called "location detector" because of its function which is to detect the presence and the position of a packet of electrons from the ionization of the enclosure gas. This detector 18 comprises an input electrode 19 transparent to the electrons brought to a potential V2 greater than V1 (for example 0V (volt) if V1 is at -4000V (volts) and the distance between the electrodes 14 and 19 is l '' order of 10 cm).

Un échantillon de matière 20, placé hors de l'enceinte, devant la fenêtre 12 et à une certaine distance de celle-ci, est éclairé latéralement par une source 22 de rayons X.A sample of material 20, placed outside the enclosure, in front of the window 12 and at a certain distance from it, is lit laterally by a source 22 of X-rays.

Par diffraction, un rayonnement photonique 24 est réémis de l'échantillon vers le gaz absorbant avec un angle d'incidence qu'on cherche à connaître.By diffraction, photonic radiation 24 is re-emitted from the sample towards the absorbing gas with an angle of incidence that one seeks to know.

En pénétrant dans le gaz, un photon va être absorbé en un point de l'enceinte et en ce point il va émettre un électron ou un paquet d'électrons. Le champ électrique dans l'espace d'absorption et de dérive est créé par la différence de potentiel V2 - V1 afin que les électrons dérivent, le long des lignes de champ, vers le détecteur 18 et leur position d'arrivée est détectée. Les lignes de champ sont des droites perpendiculaires aux électrodes 14 et 19.Upon entering the gas, a photon will be absorbed at a point in the enclosure and at this point it will emit an electron or a packet of electrons. The electric field in the absorption and drift space is created by the potential difference V2 - V1 so that the electrons drift, along the field lines, towards the detector 18 and their arrival position is detected. The field lines are straight lines perpendicular to the electrodes 14 and 19.

Comme on le voit sur la figure 1, selon que le photon incident est absorbé en un point A ou un point B de sa trajectoire, le détecteur d'électrons 18 va détecter une position a ou b de réception d'un paquet d'électrons.As can be seen in FIG. 1, depending on whether the incident photon is absorbed at a point A or a point B on its trajectory, the electron detector 18 will detect a position a or b for receiving an electron packet .

Cela veut dire qu'à partir de l'information de position de réception du paquet d'électrons on ne peut pas remonter de manière univoque à l'angle d'incidence du rayonnement 24.This means that, from the information on the position of reception of the electron packet, it is not possible to clearly ascertain the angle of incidence of the radiation 24.

Il y a une erreur dite de parallaxe due à ce que le champ électrique qui fait dériver les électrons n'est pas orienté dans la direction du rayon incident 24.There is a so-called parallax error due to the fact that the electric field which causes the electrons to drift is not oriented in the direction of the incident ray 24.

La présente invention a pour but la réalisation d'un détecteur de rayonnement bidimensionnel sans erreur de parallaxe.The object of the present invention is to produce a two-dimensional radiation detector without parallax error.

Des solutions partielles à ce problème ont déjà été proposées.Partial solutions to this problem have already been proposed.

Certaines apparaissent dans le brevet US-A-4 595 834 déjà cité.Some appear in US-A-4,595,834 already cited.

Une solution théorique est simple : elle consisterait à réaliser une enceinte sphérique avec une électrode d'entrée sphérique et un détecteur d'électrons à localisation également sphérique et concentrique à l'électrode d'entrée, l'échantillon étant placé au centre de ces éléments sphériques. Les électrons sont alors entraînés dans la direction du rayonnement incident. Il n'y a pas d'erreur de parallaxe.A theoretical solution is simple: it would consist in making a spherical enclosure with a spherical input electrode and an electron detector with localization also spherical and concentric with the input electrode, the sample being placed in the center of these elements. spherical. The electrons are then entrained in the direction of the incident radiation. There is no parallax error.

Mais on ne sait pas faire de détecteur à localisation sphérique de dimensions suffisantes car ces détecteurs sont de technologie très délicate (ils sont constitués en général de fils très fins qu'on peut tendre dans un plan mais qu'on ne peut pas courber).However, we do not know how to make a detector with a spherical location of sufficient dimensions because these detectors are of very delicate technology (they are generally made up of very fine wires which can be stretched in a plane but which cannot be bent).

La figure 2 du brevet précité US-A-4 595 834 propose de réaliser un champ électrique radial (c'est-à-dire des équipotentielles sphériques) en utilisant une électrode d'entrée sphérique, une électrode auxiliaire concentrique sphérique, l'espace d'absorption et de dérive étant délimité par ces deux électrodes, et un espace de transfert étant prévu entre l'électrode auxiliaire sphérique et le détecteur à localisation qui est plan.Figure 2 of the aforementioned patent US-A-4,595,834 proposes to produce a radial electric field (that is to say spherical equipotentials) using a spherical input electrode, a spherical concentric auxiliary electrode, the space absorption and drift being delimited by these two electrodes, and a transfer space being provided between the spherical auxiliary electrode and the location detector which is planar.

La différence de potentiel entre les deux électrodes crée un champ électrique radial et des équipotentielles sphériques dans l'espace d'absorption.The potential difference between the two electrodes creates a radial electric field and spherical equipotentials in the absorption space.

Mais l'échantillon doit nécessairement rester au centre des sphères.But the sample must necessarily remain in the center of the spheres.

De plus les électrodes sphériques sont difficiles à réaliser, surtout l'électrode auxiliaire car elle doit être très transparente aux électrons puisque les électrons doivent atteindre le détecteur à localisation ; elle est donc réalisée sous forme d'une grille de fils fins qui est difficile à fabriquer.In addition, the spherical electrodes are difficult to produce, especially the auxiliary electrode because it must be very transparent to the electrons since the electrons must reach the localization detector; it is therefore produced in the form of a grid of fine wires which is difficult to manufacture.

C'est pourquoi le brevet US-A-4 595 834 propose de supprimer purement et simplement l'électrode auxiliaire en rapprochant considérablement l'un de l'autre l'électrode d'entrée et le détecteur à localisation et d'augmenter la pression du gaz.This is why the patent US-A-4,595,834 proposes purely and simply to suppress the auxiliary electrode by bringing the input electrode and the localization detector considerably closer to one another and to increase the pressure. some gas.

L'erreur de parallaxe est réduite en obligeant les rayons X à être absorbés près de l'électrode d'entrée sphérique où le champ est approximativement radial. Ceci est obtenu en utilisant du xénon sous haute pression et limite l'emploi d'un tel système à des rayons X pas trop énergétiques et oblige à utiliser une fenêtre en béryllium sphérique assez épaisse. Pour des raisons de tenue en pression cette fenêtre est nécessairement d'une dimension limitée.The parallax error is reduced by forcing the X-rays to be absorbed near the spherical input electrode where the field is approximately radial. This is obtained by using xenon under high pressure and limits the use of such a system to not too energetic X-rays and requires the use of a fairly thick spherical beryllium window. For reasons of pressure resistance, this window is necessarily of limited size.

Enfin, il faut signaler une autre méthode proposée par G. Charpak dans "Nuclear Instruments and Methods" 1982, N° 201, pages 181-192, North-Holland Publishing Company, pour produire un champ électrique radial sans électrode sphérique. Elle consiste à remplacer l'électrode sphérique d'entrée et l'électrode auxiliaire sphérique du brevet US-A-4 595 834 chacune par un ensemble d'électrodes planes portées à des potentiels différents les uns des autres, les potentiels étant calculés pour chaque électrode individuelle de telle manière que les équipotentielles dans tout l'espace d'absorption soient sphériques et centrées sur l'échantillon. Cette solution permet de changer le rayon de courbure des équipotentielles et donc la position de l'échantillon par rapport à la fenêtre d'entrée du détecteur en faisant varier les potentiels sur les différents conducteurs. Mais la réalisation du groupe d'électrodes auxiliaires situées en plein milieu de la chambre est très complexe (elles doivent être transparentes aux électrons) et une tentative de réalisation n'a été envisagée par l'auteur que pour l'obtention d'équipotentielles cylindriques et non sphériques.Finally, it is necessary to point out another method proposed by G. Charpak in "Nuclear Instruments and Methods" 1982, N ° 201, pages 181-192, North-Holland Publishing Company, to produce a radial electric field without spherical electrode. It consists in replacing the spherical input electrode and the spherical auxiliary electrode of US Pat. No. 4,595,834 each with a set of planar electrodes brought to potentials different from each other, the potentials being calculated for each individual electrode so that the equipotentials throughout the absorption space are spherical and centered on the sample. This solution makes it possible to change the radius of curvature of the equipotentials and therefore the position of the sample relative to the detector input window by varying the potentials on the different conductors. But the realization of group of auxiliary electrodes located in the middle of the chamber is very complex (they must be transparent to the electrons) and an attempt at realization was only considered by the author to obtain cylindrical and non-spherical equipotentials.

Pour résoudre le problème dans le cas d'équipotentielles sphériques, Charpak (FR-A-2363117) et Bolon et al. (IEEE Transactions on Nuclear Science, Vol. 5-26, fév. 1979, PP 146-149) ont proposé de jouer sur le potentiel d'électrodes latérales mais en maintenant au moins une électrode intermédiaire.To solve the problem in the case of spherical equipotentials, Charpak (FR-A-2363117) and Bolon et al. (IEEE Transactions on Nuclear Science, Vol. 5-26, Feb. 1979, PP 146-149) proposed to play on the potential of lateral electrodes but by maintaining at least one intermediate electrode.

La présente invention propose un nouveau détecteur de rayons X permettant d'éviter les inconvénients des détecteurs gazeux de l'art antérieur et autorisant notamment la mise en place d'un échantillon à une distance variable de la fenêtre d'entrée, tout en minimisant l'erreur de parallaxe, et en simplifiant la fabrication.The present invention proposes a new X-ray detector which makes it possible to avoid the drawbacks of the gaseous detectors of the prior art and in particular authorizes the placement of a sample at a variable distance from the entry window, while minimizing the 'parallax error, and simplifying manufacturing.

Selon l'invention, on propose un détecteur gazeux de radiations émises par un échantillon, comprenant une enceinte fermée contenant un gaz absorbant pour la radiation, une fenêtre d'entrée transparente aux radiations à détecter, un espace d'absorption et de dérive derrière la fenêtre d'entrée et, à l'extrémité de cet espace, un détecteur à localisation d'électrons plan bidimensionnel pour déterminer les coordonnées d'un point d'arrivée d'électrons engendrés par un impact de photons dans le gaz absorbant, le détecteur comprenant encore un groupe d'électrodes d'entrée situées derrière la fenêtre d'entrée et largement transparentes aux radiations ; ce détecteur comprend en outre un groupe d'électrodes latérales entourant l'espace d'absorption et de dérive, les électrodes d'entrée individuelles et les électrodes latérales individuelles étant portées à des potentiels différents les uns des autres et variables en fonction de la position à laquelle on désire placer l'échantillon par rapport à la fenêtre d'entrée, les potentiels choisis pour chacune des électrodes étant tels que l'espace d'absorption et de dérive soit séparé en deux parties sans utilisation d'électrodes délimitant matériellement cette séparation, les équipotentielles dans la première partie étant sphériques ou quasi-sphériques et centrées sur la position de l'échantillon, et les équipotentielles dans la deuxième partie étant variables continûment d'une forme sphérique, à l'endroit de la séparation, à une forme plane à proximité immédiate du détecteur plan d'électrons.According to the invention, a gaseous detector of radiations emitted by a sample is proposed, comprising a closed enclosure containing an absorbent gas for the radiation, an entrance window transparent to the radiations to be detected, an absorption and drift space behind the entry window and, at the end of this space, a two-dimensional plane electron location detector to determine the coordinates of an electron arrival point generated by an impact of photons in the absorbent gas, the detector further comprising a group of input electrodes situated behind the input window and largely transparent to radiation; this detector further comprises a group of lateral electrodes surrounding the absorption and drift space, the individual input electrodes and the individual lateral electrodes being brought to potentials which are different from one another and which vary according to the position at which one wishes to place the sample relative to the entry window, the potentials chosen for each of the electrodes being such that the absorption and drift space is separated into two parts without the use of electrodes physically delimiting this separation , the equipotentials in the first part being spherical or quasi-spherical and centered on the position of the sample, and the equipotentials in the second part being continuously variable from a spherical shape, at the point of separation, to a planar shape in the immediate vicinity of the plane electron detector.

Ainsi, on supprime l'inconvénient d'avoir à fabriquer et installer un groupe d'électrodes auxiliaires complexes dans lequel chacune des électrodes individuelles doit être alimentée séparément et doit être très transparente aux électrons.Thus, the disadvantage of having to manufacture and install a group of complex auxiliary electrodes is eliminated, in which each of the individual electrodes must be supplied separately and must be very transparent to the electrons.

On pourra prévoir que la première partie de l'espace d'absorption (partie à équipotentielles sphériques) soit aussi grande que possible ; ainsi, on pourra avoir une zone d'absorption étendue sans augmenter les dimensions d'ensemble du détecteur ; cela est d'autant plus facile que l'échantillon est loin de la fenêtre d'entrée (mais alors on ne peut détecter qu'une faible gamme d'angles d'incidences de radiations) ; lorsque l'échantillon est près de la fenêtre on arrive à obtenir une première partie s'étendant sur 70 à 90 % (pourcentage mesuré dans l'axe du détecteur) de la distance entre la fenêtre d'entrée et le détecteur d'électrons. En choisissant une distance entre la fenêtre d'entrée et le détecteur suffisante, par exemple 10 cm, la quasi totalité des rayons X sera absorbée dans la première partie et ceci à une pression égale ou légèrement supérieure à la pression atmosphérique.Provision may be made for the first part of the absorption space (part with spherical equipotentials) to be as large as possible; thus, it will be possible to have an extended absorption zone without increasing the overall dimensions of the detector; this is all the easier when the sample is far from the input window (but then we can only detect a small range of angles of radiation incidence); when the sample is near the window we get a first part extending over 70 to 90% (percentage measured in the axis of the detector) of the distance between the entry window and the electron detector. By choosing a distance between the entrance window and the detector sufficient, for example 10 cm, almost all of the X-rays will be absorbed in the first part and this at a pressure equal to or slightly higher than atmospheric pressure.

On obtient ainsi un détecteur de rayonnement beaucoup plus simple de construction, ne présentant pas d'erreur de parallaxe, et permettant de placer l'échantillon à observer à une distance variable de la fenêtre d'entrée.A much simpler construction detector is thus obtained, presenting no parallax error, and making it possible to place the sample to be observed at a variable distance from the input window.

Les électrodes latérales de l'enceinte seront formées de préférence sur des parois latérales coniques délimitant latéralement l'espace d'absorption et de dérive.The lateral electrodes of the enclosure will preferably be formed on conical side walls laterally delimiting the absorption and drift space.

De préférence, les électrodes d'entrée sont formées par sérigraphie sur un substrat isolant et sont séparées les unes des autres par une substance fortement résistive permettant l'écoulement de charges électriques d'ionisation qui risqueraient de s'accumuler entre les électrodes.Preferably, the input electrodes are formed by screen printing on an insulating substrate and are separated from each other by a highly resistive substance allowing the flow of electric ionization charges which would risk accumulating between the electrodes.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels :

  • la figure 1, déjà décrite, représente la structure générale d'un détecteur gazeux de type connu ;
  • la figure 2 représente une coupe latérale schématique du détecteur selon l'invention ;
  • la figure 3 représente une configuration schématique d'équipotentielle dans le détecteur selon l'invention ;
  • la figure 4 représente une vue en plan des électrodes d'entrée ;
  • la figure 5 représente une vue en coupe latérale agrandie des électrodes d'entrée et de leurs conducteurs d'alimentation ; et
  • la figure 6 représente une réalisation de détecteur avec tube central pour l'analyse de la rétrodiffraction de l'échantillon.
Other characteristics and advantages of the invention will appear on reading the detailed description which follows and which is given with reference to the appended drawings in which:
  • Figure 1, already described, shows the general structure of a gas detector of known type;
  • Figure 2 shows a schematic side section of the detector according to the invention;
  • FIG. 3 represents a schematic configuration of equipotential in the detector according to the invention;
  • Figure 4 shows a plan view of the input electrodes;
  • FIG. 5 represents an enlarged side section view of the input electrodes and their supply conductors; and
  • FIG. 6 represents an embodiment of a detector with central tube for the analysis of the backscattering of the sample.

Sur la figure 2 on voit la structure générale du détecteur selon l'invention.In Figure 2 we see the general structure of the detector according to the invention.

Le détecteur comporte une enceinte extérieure étanche 30 fermée à l'avant par une fenêtre d'entrée 32 transparente aux rayons X (ou plus généralement au rayonnement à détecter). La fenêtre est par exemple en mylar ou kapton (marques déposées pour des films polymères) ou en béryllium.The detector comprises a sealed external enclosure 30 closed at the front by an inlet window 32 transparent to X-rays (or more generally to the radiation to be detected). The window is for example made of mylar or kapton (trademarks for polymer films) or beryllium.

Le fond de l'enceinte 30 comprend comme dans la technique antérieure un détecteur d'électrons plan 34 qui est un détecteur à localisation, bidimensionnel, par exemple un détecteur à fils, à plaques parallèles ou tout autre type de détecteur gazeux connu.The bottom of the enclosure 30 comprises, as in the prior art, a plane electron detector 34 which is a location detector, two-dimensional, for example a wire detector, with parallel plates or any other type of known gas detector.

A l'arrière de la fenêtre d'entrée 32 est placé un ensemble d'électrodes d'entrée qui sont en principe circulaires, concentriques et toutes dans un même plan, parallèle au plan du détecteur d'électrons. Le fait qu'elles soient toutes dans le même plan facilite la fabrication mais cela ne constitue pas une obligation. On peut par exemple les disposer sur une surface sphérique. Ces électrodes d'entrée sont symbolisées par la référence 36 ; on les voit mieux en vue en plan sur la figure 4. Le centre des électrodes circulaires d'entrée est situé sur l'axe général 38 du système, axe perpendiculaire au détecteur d'électrons 34 en son centre.At the rear of the input window 32 is placed a set of input electrodes which are in principle circular, concentric and all in the same plane, parallel to the plane of the electron detector. The fact that they are all in the same plan facilitates manufacturing but this is not an obligation. One can for example arrange them on a spherical surface. These input electrodes are symbolized by the reference 36; they are best seen in plan view in FIG. 4. The center of the circular input electrodes is located on the general axis 38 of the system, axis perpendicular to the electron detector 34 at its center.

Les électrodes d'entrée 36 peuvent être portées par un support transparent aux rayons X distinct de la fenêtre d'entrée 32 ou être appliquées sur la fenêtre, avec interposition d'une couche isolante si la fenêtre est conductrice.The input electrodes 36 can be carried by a transparent X-ray support separate from the input window 32 or can be applied to the window, with the interposition of an insulating layer if the window is conductive.

L'enceinte 30 est remplie de gaz absorbant le rayonnement à détecter : par exemple de l'argon ou du xénon avec un ou des additifs (hydrocarbure, CO₂,...) permettant un bon fonctionnement du détecteur à localisation 34 et présentant de bonnes caractéristiques de dérive et l'absence de recombinaison électronique trop importante qui nuirait à la collection des électrons.The enclosure 30 is filled with gas absorbing the radiation to be detected: for example argon or xenon with one or more additives (hydrocarbon, CO₂, etc.) allowing the localization detector 34 to function properly and having good drift characteristics and the absence of excessive electronic recombination which would harm the collection of electrons.

Dans l'enceinte, un espace d'absorption et de dérive 40 est matériellement délimité, entre les électrodes d'entrée 36 et le détecteur d'électrons 34, par une paroi latérale 42 de forme généralement conique, ayant pour axe l'axe général 38 du détecteur ; cette paroi 42 entoure tout l'espace d'absorption et de dérive dans lequel des électrons pourront être engendrés par un rayonnement incident puis dirigés vers le détecteur d'électrons 34.In the enclosure, an absorption and drift space 40 is materially delimited, between the input electrodes 36 and the electron detector 34, by a side wall 42 of generally conical shape, having as axis the general axis 38 of the detector; this wall 42 surrounds the entire absorption and drift space in which electrons can be generated by incident radiation and then directed towards the electron detector 34.

Le choix d'une forme conique est le choix le plus pratique et le plus adapté au but poursuivi mais il n'est pas obligatoire.The choice of a conical shape is the most practical choice and the most adapted to the aim pursued but it is not compulsory.

La paroi latérale conique 42 n'a pas besoin d'être étanche ; elle sert seulement de support à des électrodes latérales 44 qui entourent l'espace de dérive et d'absorption 40.The conical side wall 42 need not be sealed; it only serves as a support for lateral electrodes 44 which surround the drift and absorption space 40.

La paroi 42 peut être par exemple une feuille à base de fibre de verre sur laquelle sont déposés des conducteurs constituant les électrodes 44, par exemple par sérigraphie ou par des techniques de circuits imprimés.The wall 42 may for example be a sheet based on glass fiber on which are deposited conductors constituting the electrodes 44, for example by screen printing or by printed circuit techniques.

Les électrodes individuelles d'entrée 36 et les électrodes invididuelles latérales 44 peuvent être portées à des potentiels tous différents les uns des autres, ces potentiels pouvant varier en fonction de la distance à laquelle l'échantillon 20 à observer sera placé par rapport aux électrodes d'entrée 36.The individual input electrodes 36 and the lateral individual electrodes 44 can be brought to potentials which are all different from each other, these potentials being able to vary depending on the distance at which the sample 20 to be observed will be placed relative to the electrodes d 'entry 36.

Les électrodes latérales 44 sont réparties sur toute la longueur de la paroi 42, entre la petite extrémité du cône (immédiatement adjacente au plan des électrodes d'entrée) et la grande extrémité du cône (immédiatement adjacente au plan du détecteur d'électrons).The lateral electrodes 44 are distributed over the entire length of the wall 42, between the small end of the cone (immediately adjacent to the plane of the input electrodes) and the large end of the cone (immediately adjacent to the plane of the electron detector).

Les électrodes latérales sont circulaires, centrées sur l'axe 38 du détecteur.The lateral electrodes are circular, centered on the axis 38 of the detector.

Le nombre d'électrodes 36 et 44 est fonction de la précision désirée sur le champ électrique à l'intérieur de l'espace d'absorption et de dérive.The number of electrodes 36 and 44 is a function of the desired precision on the electric field inside the absorption and drift space.

Les potentiels individuels des électrodes latérales sont amenés par des conducteurs 46 extérieurs à la paroi 42, à travers des passages conducteurs aménagés dans la paroi en regard de chaque électrode. Les conducteurs extérieurs 46 sont reliés à des connecteurs 48 par lesquels peuvent être amenés les différents potentiels nécessaires. Les potentiels peuvent être engendrés par des ponts diviseurs résistifs non représentés, situés à l'extérieur de l'enceinte 30 et préréglés en fonction des besoins pour des distances d'échantillon désirées, ou encore par un système plus complexe de génération de tensions piloté de l'extérieur par l'utilisateur du détecteur.The individual potentials of the side electrodes are brought by conductors 46 external to the wall 42, through conductive passages arranged in the wall opposite each electrode. The outer conductors 46 are connected to connectors 48 through which the various potentials can be brought. The potentials can be generated by resistive dividing bridges, not shown, located outside the enclosure 30 and preset as required for desired sample distances, or by a more complex voltage generation system controlled by outside by the detector user.

Le système de connexion est le même pour les électrodes d'entrée 36 mais il n'a pas été représenté pour ne pas alourdir la figure 2.The connection system is the same for the input electrodes 36 but it has not been shown so as not to make Figure 2 heavy.

Les potentiels qu'il faut appliquer aux différentes électrodes d'entrée 36 et aux différentes électrodes latérales 44 sont calculés de la manière qui va être indiquée maintenant : l'explication est donnée en référence à la figure 3.The potentials that must be applied to the different input electrodes 36 and to the different lateral electrodes 44 are calculated in the manner which will now be indicated: the explanation is given with reference to FIG. 3.

On choisit une distance D à laquelle sera placé l'échantillon 20 à observer (distance entre l'échantillon et le plan des électrodes d'entrée 36) et on appelle SPHD la sphère centrée sur la position de l'échantillon et de rayon D.A distance D is chosen at which the sample 20 to be observed will be placed (distance between the sample and the plane of the input electrodes 36) and the sphere centered on the position of the sample and of radius D is called SPHD.

On choisit une distance L correspondant au rayon d'une sphère virtuelle SPHL centrée sur la position S de l'échantillon, cette sphère SPHL constituant une limite immatérielle de séparation entre deux régions A et B de l'espace d'absorption et de dérive 40.We choose a distance L corresponding to the radius of a virtual SPHL sphere centered on the position S of the sample, this SPHL sphere constituting an immaterial limit of separation between two regions A and B of the absorption and drift space 40 .

On choisira les potentiels à appliquer aux électrodes 36 et 44 pour que :

  • la région A, située entre les électrodes d'entrée 36 et la sphère limite SPHL, soit soumise à un champ électrique radial centré sur le point S, c'est-à-dire que les équipotentielles y seront des sphères concentriques à la sphère SPHL; et
  • la région B, située entre la sphère limite SPHL et le détecteur d'électrons plan 34, soit soumise à un champ électrique se déformant progressivement d'une direction radiale à une direction perpendiculaire au plan du détecteur d'électrons 34. Dans cette région B, les équipotentielles se déformeront pour passer d'une forme sensiblement sphérique à proximité immédiate de la sphère SPHL à une forme plane à proximité immédiate du détecteur 34.
The potentials to be applied to the electrodes 36 and 44 will be chosen so that:
  • the region A, located between the input electrodes 36 and the limit sphere SPHL, is subjected to a radial electric field centered on the point S, that is to say that the equipotentials there will be spheres concentric with the sphere SPHL ; and
  • region B, located between the limit sphere SPHL and the plane electron detector 34, is subjected to an electric field gradually deforming from a radial direction to a direction perpendicular to the plane of the electron detector 34. In this region B , the equipotentials will deform to pass from a substantially spherical shape in the immediate vicinity of the SPHL sphere to a planar shape in the immediate vicinity of the detector 34.

Il faut noter que le champ électrique radial est produit non seulement grâce aux électrodes latérales 44 situées à l'intérieur de la sphère SPHL, mais aussi grâce à un choix approprié des potentiels des électrodes latérales 44 situées à l'extérieur de la sphère SPHL ; cette remarque est importante car l'absence d'une électrode auxiliaire sphérique matérielle à l'endroit de la sphère auxiliaire limite SPHL ou l'absence d'électrodes auxiliaires planes entre les régions A et B pour simuler une électrode sphérique, impose de faire aussi particulièrement attention aux potentiels appliqués aux électrodes latérales 44 situées à l'extérieur de la sphère limite SPHL. Les équipotentielles sphériques au voisinage de la sphère limite SPHL sont en effet particulièrement sensibles à la proximité du détecteur plan et elles ne sont pas isolées par un écran électrostatique que constituaient jusqu'à présent la ou les électrodes auxiliaires matériellement placées dans la région limite entre les régions A et B.It should be noted that the radial electric field is produced not only by virtue of the lateral electrodes 44 situated inside the SPHL sphere, but also by virtue of an appropriate choice of the potentials of the lateral electrodes 44 situated outside the SPHL sphere; this remark is important because the absence of a material spherical auxiliary electrode at the location of the limiting auxiliary sphere SPHL or the absence of plane auxiliary electrodes between regions A and B to simulate a spherical electrode, requires doing also pay particular attention to potentials applied to the lateral electrodes 44 located outside the SPHL limit sphere. The spherical equipotentials in the vicinity of the limit sphere SPHL are in fact particularly sensitive to the proximity of the plane detector and they are not isolated by an electrostatic screen which until now constituted the auxiliary electrode or electrodes materially placed in the limit region between the regions A and B.

Par des considérations de simple électrostatique, on détermine les équipotentielles entre deux sphères conductrices concentriques centrées sur le point S, l'une étant une sphère de départ SPHD de rayon D et l'autre la sphère limite SPHL de rayon L.By considerations of simple electrostatic, one determines the equipotentials between two concentric conducting spheres centered on the point S, one being a starting sphere SPHD of radius D and the other the limiting sphere SPHL of radius L.

Pour un potentiel VD imposé sur la sphère SPHD et un potentiel VL imposé sur la sphère SPHL, on obtient selon un premier calcul :

  • d'une part les valeurs des potentiels sur toutes les sphères concentriques intermédiaires de la région A, la valeur du potentiel V(R) sur une sphère intermédiaire de rayon R étant : V(R) = (VD - VL) x L x D/R (L - D) + (L x VL - D x VD)/(L-D)
    Figure imgb0001
  • d'autre part la valeur du champ électrique sur la sphère SPHL ; ce champ E est proportionnel à la différence de potentiel VL - VD et égal à E = (VL - VD) x D/(L - D) x L
    Figure imgb0002
For a potential VD imposed on the sphere SPHD and a potential VL imposed on the sphere SPHL, we obtain according to a first calculation:
  • on the one hand, the values of the potentials on all the intermediate concentric spheres of region A, the value of the potential V (R) on an intermediate sphere of radius R being: V (R) = (VD - VL) x L x D / R (L - D) + (L x VL - D x VD) / (LD)
    Figure imgb0001
  • on the other hand the value of the electric field on the SPHL sphere; this field E is proportional to the potential difference VL - VD and equal to E = (VL - VD) x D / (L - D) x L
    Figure imgb0002

Parallèlement à cela, selon un deuxième calcul, on détermine, par la méthode des images électriques, les équipotentielles dans la région B entre une sphère SPHL portée à un potentiel constant VL et le plan du détecteur 34, porté à un potentiel fixe VF ; on calcule le champ électrique sur la sphère SPHL en fonction de VL et VF.In parallel to this, according to a second calculation, the equipotentials in region B are determined, by the method of electrical images, between a sphere SPHL brought to a constant potential VL and the plane of the detector 34, brought to a fixed potential VF; the electric field on the SPHL sphere is calculated as a function of VL and VF.

VD et VF étant fixés, on cherche alors la valeur de VL qui permet de rendre aussi identiques que possible

  • d'une part, le champ électrique calculé sur la sphère SPHL à partir d'équipotentielles sphériques dans la région A, limitée par deux sphères à des potentiels VD et VL,
  • d'autre part, le champ électrique calculé sur la sphère SPHL à partir des potentiels dans la région B, définis par des conditions aux limites qui sont le potentiel VL sur la sphère SPHL et le potentiel VF dans le plan du détecteur d'électrons 34.
VD and VF being fixed, we then seek the value of VL which makes it possible to make as identical as possible
  • on the one hand, the electric field calculated on the SPHL sphere from spherical equipotentials in region A, limited by two spheres to potentials VD and VL,
  • on the other hand, the electric field calculated on the SPHL sphere from the potentials in region B, defined by boundary conditions which are the potential VL on the sphere SPHL and the potential VF in the plane of the electron detector 34 .

Comme le champ électrique déterminé par le premier calcul est constant sur toute la sphère SPHL (proportionnel à VL-VD) et comme le champ électrique déterminé par le deuxième calcul n'est pas constant sur toute la sphère SPHL, la condition d'identité indiquée ci-dessus n'est pas rigoureusement possible ; mais on peut choisir la valeur de VL par exemple de telle sorte que le champ électrique à l'intersection de la sphère SPHL et de l'axe 38 du détecteur soit identique dans les deux calculs.As the electric field determined by the first calculation is constant over the entire SPHL sphere (proportional to VL-VD) and as the electric field determined by the second calculation is not constant over the entire SPHL sphere, the condition of identity indicated above is not strictly possible; but one can choose the value of VL for example so that the electric field at the intersection of the sphere SPHL and the axis 38 of the detector is identical in the two calculations.

Pour cette valeur de VL on obtiendra une bonne approximation pour l'obtention d'équipotentielles sphériques ou quasi-sphériques dans toute la région A.For this value of VL we will obtain a good approximation for obtaining spherical or quasi-spherical equipotentials throughout the region A.

Ayant choisi la valeur de VL la plus appropriée, on revient à l'équation (1) pour déterminer les potentiels dans la région A par le premier calcul (conditions aux limites imposées par deux sphères) et dans la région B par le deuxième calcul (conditions aux limites imposées par une sphère et un plan). On détermine alors les potentiels :

  • à l'intersection entre les équipotentielles sphériques et le plan des électrodes d'entrée 36 (région A : premier calcul)
  • à l'intersection entre les équipotentielles sphériques de toute la région A et les parois latérales 42 de l'espace d'absorption et de dérive (région A : premier calcul)
  • à l'intersection entre les équipotentielles non sphériques de la région B et les parois latérales 42 au delà de la sphère limite SPHL (région B : deuxième calcul).
Having chosen the most appropriate value of VL, we return to equation (1) to determine the potentials in region A by the first calculation (boundary conditions imposed by two spheres) and in region B by the second calculation ( boundary conditions imposed by a sphere and a plane). We then determine the potentials:
  • at the intersection between the spherical equipotentials and the plane of the input electrodes 36 (region A: first calculation)
  • at the intersection between the spherical equipotentials of the entire region A and the side walls 42 of the absorption and drift space (region A: first calculation)
  • at the intersection between the non-spherical equipotentials of region B and the side walls 42 beyond the limit sphere SPHL (region B: second calculation).

Les intersections entre les équipotentielles sphériques et le plan des électrodes d'entrée sont des cercles concentriques et les électrodes d'entrée suivent le tracé de certains de ces cercles. On affectera à une électrode d'entrée 36 placée à une distance r de l'échantillon le potentiel V(r) calculé par l'équation (1) pour cette distance, en fonction des valeurs VD et VL choisies : V(r) = (VD - VL) x L x D/r(L-D) + (L x VL - D x VD)/(L-D)

Figure imgb0003
The intersections between the spherical equipotentials and the plane of the input electrodes are concentric circles and the input electrodes follow the course of some of these circles. We will assign to an input electrode 36 placed at a distance r from the sample the potential V (r) calculated by equation (1) for this distance, as a function of the values VD and VL chosen: V (r) = (VD - VL) x L x D / r (LD) + (L x VL - D x VD) / (LD)
Figure imgb0003

De même, les intersections entre les équipotentielles sphériques de la région A et les parois latérales coniques 42 sont des cercles parallèles centrés sur l'axe 38 ; les électrodes latérales 44 suivent le tracé de certains de ces cercles et on affectera à chaque électrode placée à la distance r de l'échantillon le potentiel V(r) obtenu par l'équation (1).Likewise, the intersections between the spherical equipotentials of region A and the conical side walls 42 are parallel circles centered on the axis 38; the lateral electrodes 44 follow the course of some of these circles and the potential V (r) obtained by equation (1) will be assigned to each electrode placed at the distance r from the sample.

Enfin, les intersections entre les équipotentielles de la région B et les parois latérales 42 sont encore des cercles (pour des raisons de symétrie) ; les électrodes latérales 44 de la région B suivent le tracé de certains de ces cercles et sont portées à des potentiels calculés par la méthode des images électrostatiques (deuxième calcul) en fonction de la position de ces cercles.Finally, the intersections between the equipotentials of region B and the side walls 42 are still circles (for reasons of symmetry); the lateral electrodes 44 of region B follow the course of some of these circles and are brought to potentials calculated by the method of electrostatic images (second calculation) as a function of the position of these circles.

On a représenté sur la figure 3, outre les équipotentielles sphériques de la région A, une équipotentielle intermédiaire EQB de la région B, qui n'est pas une sphère centrée sur le point S.FIG. 3 shows, in addition to the spherical equipotentials of region A, an intermediate equipotential EQB of region B, which is not a sphere centered on point S.

Lorsqu'on applique effectivement les potentiels ainsi déterminés à chacune des électrodes d'entrée 36 et des électrodes latérales 44 en deçà et au delà de la sphère limite SPHL on obtient des équipotentielles qui s'approchent avec une bonne approximation des équipotentielles à partir desquelles on a effectué le calcul des potentiels.When the potentials thus determined are effectively applied to each of the input electrodes 36 and of the lateral electrodes 44 below and beyond the limit sphere SPHL, equipotentials are obtained which approach with good approximation of the equipotentials from which performed the calculation of potentials.

On peut obtenir encore de meilleurs résultats en prenant les valeurs de potentiel déterminées ci-dessus pour les électrodes 36 et 44 comme base de départ pour une optimisation des équipotentielles à l'aide d'un programme informatique de résolution numérique de l'équation de Laplace tournant sur un ordinateur. On modifie ainsi par itération les valeurs des potentiels des électrodes 36 et 44 afin de rendre les équipotentielles aussi proches que possible de sphères parfaites dans la région A.Even better results can be obtained by taking the potential values determined above for the electrodes 36 and 44 as a starting point for optimizing the equipotentials using a computer program for numerical resolution of the Laplace equation. running on a computer. The values of the potentials of the electrodes 36 and 44 are thus modified by iteration in order to make the equipotentials as close as possible to perfect spheres in region A.

On notera, en ce qui concerne les électrodes latérales 44 situées dans la région B, que des résultats satisfaisants peuvent être obtenus en pratique même si l'on se contente de leur appliquer des potentiels variant linéairement avec la distance entre la sphère SPHL et l'électrode 34. Dans ce cas on s'affranchit du deuxième calcul susmentionné mais on pourra toujours procéder à une optimisation itérative.It will be noted, with regard to the lateral electrodes 44 located in region B, that satisfactory results can be obtained in practice even if one is satisfied with applying to them potentials varying linearly with the distance between the sphere SPHL and the electrode 34. In this case we get rid of the aforementioned second calculation but we can always carry out an iterative optimization.

On peut changer la distance D à laquelle est placé l'échantillon à observer, et il en résulte une nouvelle répartition préférentielle de potentiels à affecter aux électrodes d'entrée 36 et aux électrodes latérales 44. Il est donc possible de déplacer la position de l'échantillon tout en conservant des équipotentielles sphériques, centrées sur l'échantillon, dans la majeure partie de l'espace d'absorption et de dérive 40.The distance D at which the sample to be observed can be changed, and this results in a new preferential distribution of potentials to be assigned to the input electrodes 36 and to the side electrodes 44. It is therefore possible to move the position of the sample while retaining spherical equipotentials, centered on the sample, in most of the absorption and drift space 40.

Si l'échantillon n'est pas trop près de la fenêtre d'entrée, on arrive à obtenir des équipotentielles pratiquement sphériques dans une région A pouvant s'étendre jusqu'à environ 90 % de la distance entre les électrodes d'entrée et le détecteur d'électrons, distance mesurée le long de l'axe 38 du détecteur.If the sample is not too close to the input window, it is possible to obtain practically spherical equipotentials in a region A which can extend up to approximately 90% of the distance between the input electrodes and the electron detector, distance measured along axis 38 of the detector.

Si l'échantillon est très près, l'extension de la région A peut descendre à 70 % de cette distance.If the sample is very close, the extension of region A can go down to 70% of this distance.

La figure 4 représente la configuration des électrodes d'entrée 36. Ce sont des pistes circulaires conductrices, concentriques. Elles sont réalisées dans cet exemple par sérigraphie d'une pâte conductrice au carbone (le carbone ayant l'avantage d'être assez transparent aux rayons X) sur un support isolant.FIG. 4 represents the configuration of the input electrodes 36. These are concentric conductive circular tracks. They are produced in this example by screen printing of a conductive paste of carbon (carbon having the advantage of being fairly transparent to X-rays) on an insulating support.

Les électrodes individuelles sont alimentées par des conducteurs situés de l'autre côté du support. Le support est alors percé de trous 50 remplis de pâte conductrice et les conducteurs d'alimentation 52 sont reliés électriquement à ces trous. Les conducteurs d'alimentation peuvent être sérigraphiés de l'autre côté du support isolant. Ils doivent être aussi transparents que possible aux rayonnements à détecter.The individual electrodes are supplied by conductors located on the other side of the support. The support is then pierced with holes 50 filled with conductive paste and the supply conductors 52 are electrically connected to these holes. The supply conductors can be screen printed on the other side of the insulating support. They must be as transparent as possible to the radiation to be detected.

La figure 5 représente la configuration des conducteurs d'entrée vus en coupe transversale perpendiculairement au plan de la fenêtre d'entrée, à travers un seul des passages conducteurs 50 et le long du conducteur d'alimentation 52 qui est relié à ce trou. Le support isolant est désigné par la référence 54.FIG. 5 represents the configuration of the input conductors seen in cross section perpendicular to the plane of the input window, through only one of the conductive passages 50 and along the supply conductor 52 which is connected to this hole. The insulating support is designated by the reference 54.

De préférence, on dépose entre les pistes conductrices circulaires constituant les électrodes 36 une pâte fortement résistive 56 destinée à évacuer vers les électrodes 36 les charges électriques (ions) qui risquent de s'accumuler à l'interface entre le substrat isolant 54 et le gaz de l'enceinte. Ces charges proviennent de l'ionisation du gaz et viennent perturber la forme des équipotentielles vers l'entrée du détecteur si elles restent stockées sur le substrat isolant. On propose ici de les évacuer par ce dépôt résistif entre les pistes. La résistance peut être de quelques mégohms entre deux pistes adjacentes séparées de quelques millimètres. Elle ne doit pas, évidemment, conduire à une consommation de courant trop importante et il faut veiller à ce que les pistes voisines puissent être portées à des potentiels différant de plusieurs dizaines de volts ou même plus. La pâte fortement résistive peut être une pâte à base de carbone en faible proportion dans une résine isolante.Preferably, a highly resistive paste 56 is deposited between the circular conductive tracks constituting the electrodes 36 intended to evacuate towards the electrodes 36 the electric charges (ions) which are liable to accumulate at the interface between the insulating substrate 54 and the gas. of the enclosure. These charges come from the ionization of the gas and disturb the shape of the equipotentials towards the input of the detector if they remain stored on the insulating substrate. Here we propose to evacuate them by this resistive deposit between the tracks. The resistance can be a few megohms between two adjacent tracks separated by a few millimeters. Obviously, it must not lead to excessive current consumption and care must be taken to ensure that the neighboring tracks can be brought to potentials differing by several tens of volts or even more. The highly resistive paste can be a paste based on carbon in small proportion in an insulating resin.

On pourrait envisager aussi que les électrodes conductrices 36 soient déposées directement (par sérigraphie par exemple) sur un substrat résistif (fortement résistif) et non pas isolant ; on atteindrait le même résultat en ce qui concerne l'évacuation des charges gênantes.It could also be envisaged that the conductive electrodes 36 are deposited directly (by screen printing for example) on a resistive substrate (highly resistive) and not insulating; the same result would be achieved with regard to the removal of troublesome loads.

Pour les électrodes latérales 44, la constitution peut être la même que celle des électrodes d'entrée mais

  • 1° il n'y a pas le problème de transparence aux rayons X ;
  • 2° le problème des charges électriques à évacuer est moins crucial ; la pâte résistive 56 est utile mais moins nécessaire.
For the lateral electrodes 44, the constitution may be the same as that of the input electrodes but
  • 1 ° there is no problem of transparency to X-rays;
  • 2 ° the problem of electrical charges to be removed is less crucial; resistive paste 56 is useful but less necessary.

Les électrodes latérales 44 peuvent être déposées par sérigraphie sur une feuille souple isolante constituant la paroi latérale 42 ; cette feuille souple est ensuite enroulée en forme de tronc de cône. Les électrodes peuvent aussi être réalisées en circuit imprimé souple ou bien par empilement d'électrodes circulaires espacées par des cales isolantes. Les connexions avec les conducteurs d'alimentation seront cependant toujours à l'extérieur de l'espace 40 pour ne pas perturber le champ électrique du côté intérieur de la paroi latérale 42.The side electrodes 44 can be deposited by screen printing on a flexible insulating sheet constituting the side wall 42; this flexible sheet is then rolled up in the form of a truncated cone. The electrodes can also be produced in flexible printed circuit or else by stacking circular electrodes spaced by insulating shims. The connections with the supply conductors will however always be outside the space 40 so as not to disturb the electric field on the inside of the side wall 42.

Pour terminer cette description, on a représenté à la figure 6 une constitution un peu différente du détecteur, dans laquelle on cherche à analyser la diffraction arrière de rayons X, par un échantillon de matière.To complete this description, FIG. 6 shows a slightly different constitution of the detector, in which an attempt is made to analyze the rear X-ray diffraction, by a sample of material.

Cela suppose que la source et le détecteur soient placés du même côté de l'échantillon.This assumes that the source and the detector are placed on the same side of the sample.

On a donc prévu que le détecteur soit traversé en son centre par un tube axial percé 60 par lequel peut passer un faisceau d'émission de rayons X dirigé vers l'échantillon 20. Les rayons réémis vers l'arrière par l'échantillon sont captés et analysés par le détecteur.Provision has therefore been made for the detector to be traversed in its center by a pierced axial tube 60 through which an X-ray emission beam can pass, directed towards the sample 20. The rays re-emitted towards the rear by the sample are captured and analyzed by the detector.

Pour mettre en oeuvre l'invention, il faut alors considérer que les parois du tube 60 sont également des parois latérales de l'espace d'absorption et de dérive 42, et qu'elles portent également des électrodes latérales individuelles 44 ; ces électrodes sont portées à des potentiels qui sont calculés de la même manière que les autres aussi bien dans la région supérieure que dans la région inférieure de l'enceinte.To implement the invention, it must then be considered that the walls of the tube 60 are also side walls of the absorption and drift space 42, and that they also carry individual side electrodes 44; these electrodes are brought to potentials which are calculated in the same way than the others both in the upper region and in the lower region of the enclosure.

Les connexions pour amener les potentiels aux différentes électrodes le long du tube se font avec les mêmes contraintes que précédemment, et il est également recommandé de prévoir une substance résistive entre les électrodes périphériques au tube.The connections to bring the potentials to the different electrodes along the tube are made with the same constraints as above, and it is also recommended to provide a resistive substance between the electrodes peripheral to the tube.

Claims (10)

  1. A gas detector for radiations emitted by a sample (20), comprising a closed chamber (30) containing a gas absorbing the radiation, an input window (32) transparent to the radiations to be detected, an absorption and drift space (40) behind the input window and, at the extremity of this space, a plane two-dimensional detector for the localization of electrons (34) for determining the coordinates of an arrival point of electrons generated by a photon impact in the absorbing gas, the detector further comprising a set of input electrodes (36) placed behind the input window and highly radiation-transparent,
       characterized in that it further comprises a set of lateral electrodes (44) surrounding the absorption and drift space, the individual input electrodes (36) and the individual lateral electrodes (44) being set to voltages different the ones from the others and variable as a function of the position where it is desirable to place the sample with respect to the input window, the voltages determined for each of the electrodes being such that the absorption and drift space is shared into two parts without using electrodes physically delimiting this separation, the equipotentials in the first part being spheric or quasi-spheric and centered on the position of the sample, and the equipotentials in the second part being continuously variable from a spheric shape, at the place of the separation, to a plane shape at close proximity of the plane electron detector.
  2. A gas detector according to claim 1, characterized in that the lateral electrodes (44) are distributed on the whole distance separating the input electrodes (36) from the electron detector (34).
  3. A gas detector according to claim 1 or 2, characterized in that the first part (A) of the absorption and drift space extends over a distance of about 70 to 90% of the distance between the input electrodes (36) and the electron detector (34), said distance being measured along the axis of the detector.
  4. Utilization of a gas detector according to any of claims 1 to 3, characterized in that the voltage values of the different input electrodes and of the different lateral electrodes result from a calculation carried out in the following manner:
    a) determining the equipotentials between a sphere having a radius corresponding to the distance (L) between the sample and the first of the two parts of the absorption and drift space set to a voltage VL and a concentric sphere having a radius corresponding to the distance (D) between the sample and the input window set to a voltage VD,
    b) setting the potential of the input electrodes (36) and lateral electrodes (44) placed in the first part as a function of said determination, and
    c) setting the potential of the electrodes placed in the second part by means of linear interpolation.
  5. Utilization of a gas detector according to any of claims 1 to 3, characterized in that the voltage values of the different input electrodes and different lateral electrodes result from a calculation carried out in the following manner:
    a) determining the equipotentials between a sphere having a radius corresponding to the distance (L) between the sample and the first of the two parts of the absorption and drift space set to a voltage VL and a concentric sphere, having a radius corresponding to the distance (D) between the sample and the input window set to a voltage VD,
    b) determining the equipotentials between the sphere set to a voltage VL and a plane set to a voltage VF, and
    c) determining the resulting potentials at the places where the different electrodes are positioned, the voltage values assigned to the different electrodes being those resulting voltages.
  6. Utilization of a gas detector according to claim 5, characterized in that the voltage values of the different electrodes are the ones resulting from the additional calculation consisting in choosing the voltage VL in such a way that the electric field, at a point of the sphere set to a voltage VL, has the same value in the calculation carried out at step a) and in the calculation carried out at step b).
  7. Utilization of a gas detector according to any of claims 4 to 6, characterized in that the voltages at the input and lateral electrodes are optimized by an iterative calculation carried out by a computer.
  8. A detector according to any of claims 1 to 3, characterized in that a highly resistive substance (56) is disposed between the input electrodes (36) for avoiding the storage of electric charges between two adjacent electrodes.
  9. A detector according to any of claims 1 to 3 and 8, characterized in that the lateral electrodes (44) are formed on a conic wall (42) delimiting the absorption and drift space.
  10. A detector according to any of claims 1 to 3, 8 and 9, characterized in that said detector is provided with an axial tube (60) crossing it along its center for permitting the lighting of a sample and observing the rear diffraction, lateral electrodes (44) being also distributed along the tube wall in the absorption and drift space.
EP89420149A 1988-04-27 1989-04-25 Parallax-free gas-filled x-ray detector Expired - Lifetime EP0340126B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8806018 1988-04-27
FR8806018A FR2630829A1 (en) 1988-04-27 1988-04-27 GAS DETECTOR FOR X-RAYS WITHOUT PARALLAX

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0340126A1 EP0340126A1 (en) 1989-11-02
EP0340126B1 true EP0340126B1 (en) 1993-08-04

Family

ID=9366001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP89420149A Expired - Lifetime EP0340126B1 (en) 1988-04-27 1989-04-25 Parallax-free gas-filled x-ray detector

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4954710A (en)
EP (1) EP0340126B1 (en)
JP (1) JPH02177243A (en)
DE (1) DE68907993T2 (en)
FR (1) FR2630829A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2718633B1 (en) * 1994-04-19 1996-07-12 Georges Charpak Medical imaging device in low dose X or gamma ionizing radiation.
US6198798B1 (en) * 1998-09-09 2001-03-06 European Organization For Nuclear Research Planispherical parallax-free X-ray imager based on the gas electron multiplier
SE0003390L (en) * 2000-09-22 2002-03-23 Xcounter Ab Parallax-free detection of ionizing radiation
CA2657315C (en) * 2006-07-10 2018-09-04 University Health Network Apparatus and methods for real-time verification of radiation therapy
US7639783B1 (en) 2008-06-02 2009-12-29 Bruker Axs, Inc. Parallax free and spark protected X-ray detector
WO2016191883A1 (en) 2015-06-05 2016-12-08 University Health Network Sensors with virtual spatial sensitivity for monitoring a radiation generating device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2363117A1 (en) * 1976-08-26 1978-03-24 Anvar Medical radiographic imaging unit - has electrodes providing cylindrical or spherical electrostatic field, each electrode comprising conductor mat
US4595834A (en) * 1984-05-23 1986-06-17 Burns Ronald E Low parallax error radiation detector

Also Published As

Publication number Publication date
DE68907993T2 (en) 1994-03-24
DE68907993D1 (en) 1993-09-09
EP0340126A1 (en) 1989-11-02
US4954710A (en) 1990-09-04
JPH02177243A (en) 1990-07-10
FR2630829A1 (en) 1989-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0810631B1 (en) High resolution radiographic imaging device
EP0678896B1 (en) Low dose ionizing X- or gamma-ray medical imaging device
FR2739941A1 (en) HIGH-RESOLUTION POSITION DETECTOR OF HIGH FLOWS OF IONIZING PARTICLES
EP0228933B1 (en) Neutral particles detection and situating device, and its use
EP0340126B1 (en) Parallax-free gas-filled x-ray detector
WO1993003495A1 (en) Ionizing radiation gas detector
FR2660999A1 (en) IMPROVED IONIZATION MANOMETER FOR VERY LOW PRESSURES.
EP0730291B1 (en) Ionizing X-ray or low dosis gamma medical imaging devices
EP0046125B1 (en) Radiation detector
FR2532111A1 (en) EMISSION LENS AND COMBINED ELECTROSTATIC LENS
EP0063083B1 (en) X rays detector
EP0615274A1 (en) Ionizing particler imaging device using a multiwire proportional chamber
EP0368694A1 (en) Process and device for the high-resolution localisation of neutral particles
EP0395510A1 (en) Method and device for determining the distribution of beta-rays emitted from a surface
FR2754068A1 (en) GAS DETECTOR OF IONIZING RADIATION WITH VERY HIGH COUNTING RATES
EP0116806B1 (en) Curved electronic avalanche gaseous detector with strip-shaped electrode
EP0326479B1 (en) Detector for x-ray tomography
FR2522415A1 (en) PROPORTIONAL DETECTOR OF IONIZING RADIATION FOR TWO DIMENSIONAL LOCATION
FR2602058A1 (en) Gas detector using a microstrip anode
EP2483909B1 (en) Radiation detectors and autoradiographic imaging devices comprising such detectors
FR2693556A1 (en) Method and device for detecting an ionic electrical disturbance in a determined zone of a medium and their use.
FR2639472A1 (en) CHANNEL SOURCE FOR GENERATING EV AND CIRCULATOR FOR EV
FR2629628A1 (en) COIL, METHOD OF MAKING SAID COIL, AND IMAGING DEVICE COMPRISING SUCH COIL
FR2786024A1 (en) GAS FILLING PHOTON LOCATION DETECTOR
EP0418965A1 (en) Cathode ray tube having a photodeflector

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB IT NL

17P Request for examination filed

Effective date: 19900410

17Q First examination report despatched

Effective date: 19920309

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT NL

REF Corresponds to:

Ref document number: 68907993

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19930909

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19930902

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: MODIANO & ASSOCIATI S.R

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19940425

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Effective date: 19941101

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee
GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 19940425

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Effective date: 19941229

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19950103

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20050425