EP0179452A2 - Print head production process for ink printing mechanism - Google Patents
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- EP0179452A2 EP0179452A2 EP85113417A EP85113417A EP0179452A2 EP 0179452 A2 EP0179452 A2 EP 0179452A2 EP 85113417 A EP85113417 A EP 85113417A EP 85113417 A EP85113417 A EP 85113417A EP 0179452 A2 EP0179452 A2 EP 0179452A2
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Definitions
- the invention relates to a method for producing a printhead according to the preamble of patent claim 1.
- a preassembled unit which consists of molding needles and the drive elements for droplet ejection and the contacting devices for the drive elements, is inserted and cast in an injection mold or casting mold. After removing the shaping needles, the ink channels are formed in the head part. This process requires a very precise pre-assembly, which must be carried out largely manually. In order to ensure a desired completely smooth surface inside the ink channels, the needles must be removed with great care.
- the object of the invention is to provide a method for producing ink printheads which allows the ink channels to be designed in any three-dimensional shape. Furthermore, the method is intended to enable a low-effort and automatable production method.
- the advantages associated with the method according to the invention consist essentially in an improvement in the formation of ink channels with regard to their fine structure.
- the method opens up the possibility of low manufacturing costs, e.g. to also form ink channels with a changing cross section, that is to say, for example, to create an ink print head in which the ink channels taper in the direction of the outlet opening.
- a thin plastic coating 2 is applied to a carrier 1, which essentially serves as a protective layer and as an adhesive between the carrier material and the ink contained in the interior of the ink print head (FIG. 1a).
- the carrier 1 is made of metal or plastic, e.g. from a polybutylene compound.
- a carrier which has a thickness of approximately 0.2 to 1 mm and an area of approximately 5 ⁇ 10 cm.
- a layer in the form of a photoplastic film 3 is then applied to the carrier 1 in a first lamination process. This is covered with a mask 4 and irradiated with UV light.
- the mask 4 has a translucent area 5 of a certain contour (FIG. 1 b).
- chemically detachable film segments are formed in the areas 6 of the photoplastic film 3 determined by the area 5 of the mask 4 (FIG. Ic).
- the free surface of the photoplastic film 3 is passivated, which e.g. by means of a light-absorbing dye solution or toner powder.
- the passivation can also be restricted to a part of the free area by means of a suitable cover.
- a second photoplastic film 7 is then applied to the first photoplastic film 3 treated in this way, covered with a mask 8 and exposed (FIG. 1d).
- the mask 8 in turn has a translucent area 9 of a certain contour, through which a certain segment 10 of the photoplastic film 7 corresponding to this contour is exposed. In this way, an area is created in the second photoplastic film 7, namely the film segment 10, which can be removed by chemical treatment.
- the area 9 of the mask 8 (FIG. 1 d) and thus also the film segment 10 (FIG. 1 e) is both in terms of its length and in terms of its width from the area 5 of the mask 4 (FIG.
- the detachable film segments of the photoplastic films 3 and 7 are developed (Fig.1f). It is a known photolithographic process.
- the described lamination, masking, exposure and passivation processes are then repeated several times, with development and thus exposure of the detachable film segments of the individual photoplastic films taking place after each or after several of these processes.
- an ink channel of an ink print head constructed according to the described method is shown.
- 2 shows the area 12 provided as an ink chamber, the ink channel 13 and the outlet opening 14.
- the areas 12, 13 and 14 are filled with ink during the operation of an ink print head.
- the ink print head works according to the so-called vacuum process. This means that what is shown here is the ink supply from an ink reservoir, which is arranged at a lower level than the outlet openings of the ink channels.
- a pulse-controllable converter 15 which e.g.
- the structure of the regions 1 2, 1 3 and 14 is formed by eight photoplastic films 18 to 25. Since photoplastic films are available in a thickness of approximately 10 0 to 50 p, an ink channel up to 400 p thick can be produced using 8 photoplastic films.
- a writing head with a double row of ink channels can be produced by joining two writing head units.
- the supply of the ink channels in the two print head units can be e.g. through an opening in the cover film.
- the cover and the vacuum process ensure that the entire print head is sealed. If necessary, what is not shown in detail here, an additional one can be provided to cover the outlet openings, e.g. Prevents ink from spilling during transportation.
- the edges of the write head can also be shaped in the manner described. This is particularly advantageous if the exit openings are very thin capillaries and / or if a write head with several rows of exit openings is created. This avoids the roughness associated with a simple cutting process in the area of the outlet openings.
- the embodiment shown in FIGS. 2 and 3 is based on the use of eight photoplastic films, each with the same thickness.
- the method according to the invention makes it easy to use a larger or a smaller number of photoplastic films than that provided in the exemplary embodiment.
- the photoplastic films can also have individually different thicknesses. This and the use of appropriately designed masks make it possible to produce a very precise and very finely graduated three-dimensional structure of the ink channels and the outlet openings. The effort required for this is not significant since the method according to the invention enables a very high degree of automation. Since the method according to the invention can be used to build and form a large number of such structures in one operation on a carrier, the method is particularly suitable for the production of multi-nozzle writing heads. In this case, the precision with which the desired structures can be produced has a particularly advantageous effect.
- 4 shows an exemplary embodiment. The part of a print head shown there is made up of eight photo-flat films 18 to 25, which are laminated in succession in the manner described.
- the invention is not limited to the formation of the ink channels and the outlet openings of a write head. Rather, the ink chamber and the ink supply part with which the ink chamber is connected at the end opposite the outlet openings can also be formed.
- the invention is also not limited to the fact that the photolithographic processes with which the exposed film segments are removed are carried out using the so-called positive technique, as has been described with reference to the exemplary embodiments. Rather, the so-called negative technique can be used with the same advantages. In this case, it is only necessary to use photoplastic films which form so-called cross-linked film segments on exposure, that is to say in which the exposed film segments become insoluble. With correspondingly designed masks, the method can also be carried out in the manner described in this case.
- the ink chamber 12 and part of the ink channels 13 are produced in a manner known per se by the injection molding process. Only the parts of the ink channels 13 to which particularly high demands are made and the outlet openings 14 are produced in accordance with the method according to the invention.
- photoplastic films in the example the photoplastic films 27 and 28 are applied to the molded plastic part 26 one after the other and treated in the manner described.
- the arrangement is in turn covered at the top by the coated metal foil 16, 17.
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Abstract
Die Ausbildung der Tintenkanäle (13) und der Düsenöffnungen (14) eines Tintenschreibkopfes erfolgt durch einen schichtweisen Aufbau aus einzelnen Fotoplastfolien (18-25); auf den einzelnen Fotoplastfolien (18-25) werden in aufeinanderfolgenden Laminierungsvorgängen jeweils unter Verwendung von Masken Foliensegmente vorgegebener Kontur für eine Freilegung durch eine fotochemische Behandlung festgelegt; zur Vermeidung von Doppelbelichtungen bereits behandelter Fotoplastfolien (18-25) findet nach jedem Laminierungsvorgang eine Passivierung z.B. durch Aufbringen einer lichtabsorbierenden Lösung statt; durch die Verwendung von Fotoplastfolien unterschiedlicher Dicke (10 µ bis 50 µ) und einer der Anzahl der Fotoplastfolien entsprechenden Anzahl von Masken mit lichtdurchlässigen Bereichen, die für jeden Laminierungsvorgang individuell festlegbar sind, ist ein dreidimensionaler Aufbau möglich.The ink channels (13) and the nozzle openings (14) of an ink writing head are formed by a layered construction of individual photoplastic films (18-25); on the individual photoplastic films (18-25), in successive lamination processes, film segments with a predetermined contour are laid down for exposure by photochemical treatment; To avoid double exposure of already treated photoplastic films (18-25), passivation takes place after each lamination process, e.g. by applying a light absorbing solution instead; A three-dimensional structure is possible through the use of photoplastic films of different thicknesses (10 µ to 50 µ) and a number of masks with translucent areas corresponding to the number of photoplastic films, which can be individually defined for each lamination process.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Druckkopfes gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.The invention relates to a method for producing a printhead according to the preamble of patent claim 1.
Sowohl für die Funktionssicherheit im praktischen Betrieb von Tintenschreibeinrichtungen als aber auch im Hinblick auf die Fertigung werden an einen Tintendruckkopf besondere Anforderungen gestellt. Einer der dafür wesentlichen Gründe ist, daß die im Tintendruckkopf zusammengefaßten einzelnen Tintenkanäle, die einerseits mit einem Tintenversorgungssystem in Verbindung stehen, andererseits mit ihren Austnttsöffnungen wesentlich für den Tröpfchenausstoß sind, sehr exakt dimensioniert und zugleich äußerst sauber ausgeführt sein müssen. Bereits kleinste Unregelmäßigkeiten führen zu einer Veränderung bzw. zu einem Ausfall einzelner Düsen. Diese Probleme nehmen mit der Erhöhung der Anzahl von Düsen erheblich zu, was insbesondere bei Tintendruckköpfen für hochauflösende Schreibeinrichtungen von Bedeutung ist.Both for the functional reliability in the practical operation of ink writing devices and also with regard to production, special requirements are placed on an ink print head. One of the main reasons for this is that the individual ink channels combined in the ink printhead, which on the one hand are connected to an ink supply system and on the other hand are essential for droplet ejection with their discharge openings, must be dimensioned very precisely and at the same time be extremely clean. Even the smallest irregularities lead to a change or failure of individual nozzles. These problems increase significantly with the increase in the number of nozzles, which is particularly important in the case of ink print heads for high-resolution writing devices.
Nach einem bekannten Verfahren (DE-OS 2543451) wird eine vormontierte Einheit, die aus Formnadeln und den Antriebselementen für den Tröpfchenausstoß sowie aus den Kontaktierungseinrichtungen für die Antriebselemente besteht, in eine Spritz- oder Gießform eingelegt und vergossen. Nach dem Entfernen der Formnadeln sind in dem Kopfteil die Tintenkanäle ausgeformt. Dieses Verfahren erfordert eine sehr exakte Vormontage, die weit gehend manuell durchgeführt werden muß. Um eine gewünschte völlig glatte Oberfläche im Inneren der Tintenkanäle zu gewährleisten, muß das Entfemen der Formnadeln mit großer Sorgfalt erfolgen.According to a known method (DE-OS 2543451), a preassembled unit, which consists of molding needles and the drive elements for droplet ejection and the contacting devices for the drive elements, is inserted and cast in an injection mold or casting mold. After removing the shaping needles, the ink channels are formed in the head part. This process requires a very precise pre-assembly, which must be carried out largely manually. In order to ensure a desired completely smooth surface inside the ink channels, the needles must be removed with great care.
Es ist auch bereits angegeben worden (DE-OS 3108206), einen Tintendruckkopf in der Weise herzustellen, daß die Tintenkanäle und eine Tintenzuführkammer als Ausnehmungen in einer fotoempfindlichen Schicht gebildet werden. Dabei wird die auf ein Substrat aufgebrachte fotoempfindliche Schicht mit einer Fotomaske bedeckt, die entsprechend den Tintenkanälen und der Tintenzuführkammer lichtundurchlässige Bereiche aufweist. Durch Belichtung und durch eine Behandlung mit einem Lösungsmittel werden dann die gewünschten Ausnehmungen gebildet. Eine Abdeckplatte vervollständigt die gesamte Anordnung. Mit diesem Verfahren können jedoch nur relativ einfache Strukturen ausgebildet werden. Häufig werden jedoch an die Form der Tintenkanäle besonders hohe Anforderungen gestellt, die mit diesem Verfahren nicht erfüllt werden können.It has also already been stated (DE-OS 3108206) to produce an ink print head in such a way that the ink channels and an ink supply chamber are formed as recesses in a photosensitive layer. The photosensitive layer applied to a substrate is covered with a photomask which has opaque areas corresponding to the ink channels and the ink supply chamber. The desired recesses are then formed by exposure and by treatment with a solvent. A cover plate completes the entire arrangement. With this method, however, only relatively simple structures can be formed. However, the shape of the ink channels is often subject to particularly high requirements which cannot be met with this method.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung von Tintendruckköpfen anzugeben, das eine Ausbildung der Tintenkanäle in beliebiger dreidimensionaler Form gestattet. Weiterhin soll das Verfahren eine aufwandsarme und automatisierbare Herstellungsweise ermöglichen.The object of the invention is to provide a method for producing ink printheads which allows the ink channels to be designed in any three-dimensional shape. Furthermore, the method is intended to enable a low-effort and automatable production method.
Diese Aufgabe wird gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst.This object is achieved in accordance with the characterizing features of patent claim 1.
Die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren verbundenen Vorteile bestehen im wesentlichen in einer Verbesserung der Ausbildung von Tintenkanälen hinsichtlich deren Feinstruktur. Das Verfahren eröffnet die Möglichkeit, mit geringem Fertigungsaufwand, z.B. auch Tintenkanäle mit sich änderndem Querschnitt auszubilden, also beispielsweise einen Tintendruckkopf zu schaffen, bei dem sich die Tintenkanäle in Richtung zur Austrittsöffnung hin verjüngen.The advantages associated with the method according to the invention consist essentially in an improvement in the formation of ink channels with regard to their fine structure. The method opens up the possibility of low manufacturing costs, e.g. to also form ink channels with a changing cross section, that is to say, for example, to create an ink print head in which the ink channels taper in the direction of the outlet opening.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.Further refinements of the invention are characterized in the subclaims.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Dort zeigen
- Fig. 1 bis 1 schematisch die einzelnen Schritte zur Herstellung eines Tintendruckkopfes bei Verfolgung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
- Fig. 2 ein nach diesem Verfahren hergestellter Kopfteil eines Tintendruckkopfes in einer Schnittdarstellung,
- Fig. 3 den Kopfteil nach
Figur 2 in Aufsicht, - Fig. 4 ein Beispiel für einen Mehrdüsenschreibkopf und
- Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel, bei dem nur die im Bereich der Austrittsdüsen liegenden Teile nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden.
- 1 to 1 schematically show the individual steps for producing an ink print head while following the method according to the invention,
- 2 shows a sectional view of a head part of an ink print head produced by this method,
- 3 shows the head part according to FIG. 2 in supervision,
- Fig. 4 shows an example of a multi-nozzle writing head and
- 5 shows an exemplary embodiment in which only the parts lying in the region of the outlet nozzles are produced by the method according to the invention.
In den Fig. 1a bis 1f sind schematisch die zum Verständnis der Erfindung wesentlichen Schritte des Verfahrens dargestellt. Zunächst wird auf einem Träger 1 eine dünne Plastbeschichtung 2 aufgebracht, die im wesentlichen als Schutzschicht und als Kleber zwischen dem Trägermaterial und der im Inneren des Tintendruckkopfes enthaltenen Tinte dient (Fig. 1a). Der Träger 1 besteht aus Metall oder aus Kunststoff, z.B. aus einer Polybuthylenverbindung. Günstige Ergebnisse werden mit einem Träger erreicht, der eine Dicke von etwa 0,2 bis 1 mm und eine Fläche von etwa 5 x 10 cm aufweist. Auf dem Träger 1 wird dann in einem ersten Laminierungsvorgang eine Schicht in Form einer Fotoplastfolie 3 aufgebracht. Diese wird mit einer Maske 4 abgedeckt und mit UV-Licht bestrahlt. Die Maske 4 weist im Beispiel einen lichtdurchlässigen Bereich 5 bestimmter Kontur auf (Fig. 1 b). Dadurch werden in den durch den Bereich 5 der Maske 4 bestimmten Bereichen 6 der Fotoplastfolie 3 chemisch lösbare Foliensegmente gebildet (Fig. ic). Nach Entfernen der Maske 4 wird die freie Oberfläche der Fotoplastfolie 3 passiviert, was z.B. mittels einer lichtabsorbierenden Farbstofflösung oder Tonerpulver geschieht Durch eine geeignete Abdeckung kann die Passivierung auch auf einen Teil der freien Fläche beschränkt werden.1a to 1f schematically show the steps of the method which are essential for understanding the invention. First, a thin
Mit der Passivierung wird eine spätere Doppelbelichtung der bereits behandelten Fotoplastfolie 3 verhindert. Auf die derart behandelte erste Fotoplastfolie 3 wird nun in einem weiteren Laminierungsvorgang eine zweite Fotoplastfolie 7 aufgebracht, mit einer Maske 8 abgedeckt und belichtet (Fig. 1d). Die Maske 8 weist wiederum einen lichtdurchlässigen Bereich 9 bestimmter Kontur auf, durch den ein bestimmtes und dieser Kontur entsprechendes Segment 10 der Fotoplastfolie 7 belichtet wird. Auf diese Weise entsteht in der zweiten Fotoplastfolie 7 wiederum ein Bereich, nämlich das Foliensegment 10, das durch eine chemische Behandlung herausgelöst werden kann. Der Bereich 9 der Maske 8 (Fig. 1 d) und damit auch das Foliensegment 10 (Fig. 1 e) ist sowohl hinsichtlich seiner Länge als auch hinsichtlich seiner Breite von dem Bereich 5 der Maske 4 (Fig. 1 b) bzw. des Foliensegments 6 in der Fotoplasttolie 3 (Fig. 1c) verschieden. Wie später anhand der Fig. 2 und 3 beschrieben wird, ist damit der Aufbau einer dreidimensionalen Struktur eines Tintenkanals möglich. Die belichtete freie Oberfläche der Fotoplastfolie 7 wird dann wiederum, nachdem die Maske 8 entfernt wurde, passiviert. Eine fotochemische Behandlung der belichteten Fotoplastfolien kann entweder nach jedem Laminierungsvorgang oder nach einigen aufeinander folgenden Laminierungsvorgängen geschehen. Bei dem in Fig. 1 dargestellten schematischem Beispiel erfolgt die fotochemische Behandlung nach dem zweiten Laminierungsvorgang.The passivation prevents a later double exposure of the already treated photoplastic film 3. In a further lamination process, a second photoplastic film 7 is then applied to the first photoplastic film 3 treated in this way, covered with a mask 8 and exposed (FIG. 1d). The mask 8 in turn has a translucent area 9 of a certain contour, through which a
Mit diesem Schritt werden die lösbaren Foliensegmente der Fotoplastfolien 3 und 7 heraus entwickelt (Fig.1f). Es handelt sich dabei um ein an sich bekanntes fotolithographisches Verfahren. Die beschriebenen Laminierungs-, Maskierungs-, Belichtungs- und Passivierungsvorgänge werden dann mehrfach wiederholt, wobei jeweils nach jedem oder nach mehreren dieser Vorgänge eine Entwicklung und damit eine Freilegung der lösbaren Foliensegmente der einzelnen Fotoplastfolien stattfinden. Die durch diesen schichtweisen Aufbau und durch die Verwendung einer der Anzahl der Laminierungsvorgänge entsprechenden Anzahl von Masken, deren lichtdurchlässige Bereiche jeweils unterschiedliche Konturen aufweisen können, entstehenden Hohlräume bilden eine gewünschte dreidimensionale Kanal- und Düsenstruktur.With this step, the detachable film segments of the photoplastic films 3 and 7 are developed (Fig.1f). It is a known photolithographic process. The described lamination, masking, exposure and passivation processes are then repeated several times, with development and thus exposure of the detachable film segments of the individual photoplastic films taking place after each or after several of these processes. The cavities created by this layered structure and by the use of a number of masks corresponding to the number of lamination processes, the translucent areas of which can each have different contours, form a desired three-dimensional channel and nozzle structure.
In den Fig. 2 und 3 ist ein nach dem beschriebenen Verfahren aufgebauter Tintenkanal eines Tintendruckkopfes dargestellt. Fig. 2 zeigt den als Tintenkammer vorgesehenen Bereich 12, den Tintenkanal 13 und die Austrittsöffnung 14. Die Bereiche 12, 13 und 14 sind im Betrieb eines Tintendruckkopfes mit Tinte gefüllt. Der Tintendruckkopf arbeitet nach dem sogenannten Unterdruckverfahren. Das bedeutet, daß, was hier dargestellt ist, die Tintenzufuhr aus einem Tintenreservoir, erfolgt, das auf einem tieferen Niveau angeordnet ist als die Austrittsöffnungen der Tintenkanäle. Unter der Einwirkung eines impulsweise ansteuerbaren Wandlers 15, der z.B. als Piezoröhrchen oder als Piezoplättchen ausgebildet sein kann, werden bekanntlich im Inneren der Tintenkammer 12 Druckwellen erzeugt, die sich nach beiden Seiten hin mit Schallgeschwindigkeit ausbreiten und an der Düsenaustrittsöffnung 14 den Ausstoß einer kleinen Tintenmenge in Form eines Tintentröpfchens bewirken. Der sich in Richtung zur Austrittsöffnung 14 verjüngende Tintenkanal 13 sowie die Austrittsöffnung 14 sind gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren durch die beschriebenen Laminierungsvorgänge ausgebildet. Man erkennt anhand von Fig. 2, die die Anordnung in einer Schnittdarstellung zeigt, daß sich der Tintenkanal 13 zunehmend in der Höhe verengt. Anhand von Fig.3, die die Anordnung in Aufsicht zeigt, erkennt man, daß zugleich die Breite des Tintenkanals 13 zunehmend abnimmt. Zur Abdeckung der jeweils obersten Fotoplasffolie, durch die die Austrittsöffnung 14 gebildet wird, ist eine Abdeckfolie 16 vorgesehen, die zum Schutz gegen eine unmittelbare Tintenberührung mit einer Schutzschicht 17 versehen sein kann.2 and 3, an ink channel of an ink print head constructed according to the described method is shown. 2 shows the
In dem anhand von Fig. 2 und Fig. 3 beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die Struktur der Bereiche 12, 13 und 14 durch acht Fotoplastfolien 18 bis 25 gebildet. Da Fotoplastfolien in einer Dicke von etwa 10 0 bis 50 p zur Verfügung stehen, kann bei Verwendung von 8 Fotoplastfolien ein Tintenkanal bis zu 400 p Dicke hergestellt werden.In the exemplary embodiment described with reference to FIGS. 2 and 3, the structure of the
Wird als Abdeckung eine Selbstklebefolie verwendet, so kann durch eine Zusammenfügung von zwei Schreibkopfeinheiten ein Schreibkopf mit einer Doppelreihe von Tintenkanälen hergestellt werden. Die Versorgung der Tintenkanäle in den beiden Schreibkopfeinheiten kann dabei z.B. über eine Durchbrechung der Abdeckfolie erfolgen. Die Abdichtung des gesamten Schreibkopfes ist durch die Abdeckung und durch das Unterdruckverfahren gewährleistet. Bedarfsweise kann, was im einzelnen hier nicht dargestellt ist, auch ein zusätzliches zur Abdeckung der Aus trittsöffnungen vorgesehen sein, das z.B. während des Transports oder ein Auslaufen von Tinte verhindert.If a self-adhesive film is used as the cover, a writing head with a double row of ink channels can be produced by joining two writing head units. The supply of the ink channels in the two print head units can be e.g. through an opening in the cover film. The cover and the vacuum process ensure that the entire print head is sealed. If necessary, what is not shown in detail here, an additional one can be provided to cover the outlet openings, e.g. Prevents ink from spilling during transportation.
In Ausgestaltung der Erfindung können auch die Kanten des Schreibkopfes in der beschriebenen Weise geformt werden. Das hat insbesondere dann Vorteile, wenn es sich bei den Austrittsöffnugnen um sehr dünne Kapillaren handelt und/oder wenn ein Schreibkopf mit mehreren Reihen von Austrittsöffnungen erstellt wird. Man vermeidet darauf die mit einem einfachen Abschneidevorgang verbundene Rauhigkeit im Bereich der Austrittsöffnungen.In an embodiment of the invention, the edges of the write head can also be shaped in the manner described. This is particularly advantageous if the exit openings are very thin capillaries and / or if a write head with several rows of exit openings is created. This avoids the roughness associated with a simple cutting process in the area of the outlet openings.
Das in den Fig. 2 und 3 dargestellte Ausführungsbeispiel geht von der Verwendung von acht Fotoplastfolien mit jeweils gleicher Dicke aus. Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet es ohne weiteres, eine größere oder eine kleinere Anzahl von Fotoplastfolien als im Ausführungsbeispiel vorgesehen, zu verwenden. Darüber hinaus können die Fotoplastfolien auch individuell verschiedene Dicke besitzen. Dadurch und durch die Verwendung entsprechend gestalteter Masken ist es möglich, eine sehr genaue und sehr fein abgestufte dreidimensionale Struktur der Tintenkanäle und der Austrittsöffnungen zu erzeugen. Der dafür erforderliche Aufwand fällt nicht stark ins Gewicht, da das erfindungsgemäße Verfahren einen sehr hohen Automatisierungsgrad ermöglicht. Da mit dem erfindungsgemäßen Verfahren in einem Arbeitsgang auf einem Träger jeweils eine Vielzahl von derartigen Strukturen aufgebaut und ausgebildet werden können, eignet sich das Verfahren besonders für die Herstellung von Mehrdüsenschreibköpfen. Für diesen Fall wirken sich die Präzision, mit der die gewünschten Strukturen hergestellt werden können, besonders vorteilhaft aus. Ein Ausführungsbeispiel zeigt Fig. 4. Der dort dargestellte Teil eines Druckkopfes ist aus acht Fotoplatfolien 18 bis 25 aufgebaut, die in der beschriebenen Weise aufeinanderfolgend laminiert werden.The embodiment shown in FIGS. 2 and 3 is based on the use of eight photoplastic films, each with the same thickness. The method according to the invention makes it easy to use a larger or a smaller number of photoplastic films than that provided in the exemplary embodiment. In addition, the photoplastic films can also have individually different thicknesses. This and the use of appropriately designed masks make it possible to produce a very precise and very finely graduated three-dimensional structure of the ink channels and the outlet openings. The effort required for this is not significant since the method according to the invention enables a very high degree of automation. Since the method according to the invention can be used to build and form a large number of such structures in one operation on a carrier, the method is particularly suitable for the production of multi-nozzle writing heads. In this case, the precision with which the desired structures can be produced has a particularly advantageous effect. 4 shows an exemplary embodiment. The part of a print head shown there is made up of eight photo-
Die Erfindung ist nicht auf die Ausbildung der Tintenkanäle und der Austrittsöffnungen eines Schreibkopfes beschränkt. Vielmehr kann damit auch die Tintenkammer und der Tintenversorgungsteil, mit dem die Tintenkammer an den Austrittsöffnungen entgegengesetzten Ende in Verbindung steht, ausgebildet werden.The invention is not limited to the formation of the ink channels and the outlet openings of a write head. Rather, the ink chamber and the ink supply part with which the ink chamber is connected at the end opposite the outlet openings can also be formed.
Ebensowenig ist die Erfindung darauf beschränkt, daß die fotolithographischen Vorgänge, mit denen die belichteten Foliensegmente entfernt werden, anhand der sogenannten Positivtechnik erfolgt, wie anhand der Ausführungsbeispiele beschrieben wurde. Mit den gleichen Vorteilen kann vielmehr auch die sogenannte Negativtechnik angewendet werden. In diesem Falle ist es lediglich erforderlich, Fotoplastfolien zu verwenden, die bei Belichtung sogenannte vemetzte Foliensegmente bilden, das heißt, bei denen die belichteten Foliensegmente unlösbar werden. Mit entsprechend gestalteten Masken ist auch in diesem Falle das Verfahren in der bechriebenen Weise durchführbar.The invention is also not limited to the fact that the photolithographic processes with which the exposed film segments are removed are carried out using the so-called positive technique, as has been described with reference to the exemplary embodiments. Rather, the so-called negative technique can be used with the same advantages. In this case, it is only necessary to use photoplastic films which form so-called cross-linked film segments on exposure, that is to say in which the exposed film segments become insoluble. With correspondingly designed masks, the method can also be carried out in the manner described in this case.
Im Rahmen der Erfindung ist es weiterhin möglich, nicht die gesamte Struktur der Tintenkanäle des Tintendruckkopfes nach dem erfindungsgemäßen Verfahren auszubilden. Das Verfahren läßt sich vielmehr auch mit einer an sich bekannten Spritzgußtechnik kombinieren. Diese Ausgestaltung ist deshalb vorteilhaft, weil damit die Anzahl der aufzubringenden Schichten reduziert werden kann. Ein Beispiel für diese Ausgestaltung zeigt Fig. 5.In the context of the invention, it is also possible not to design the entire structure of the ink channels of the ink print head by the method according to the invention. Rather, the method can also be combined with an injection molding technique known per se. This embodiment is advantageous because it can reduce the number of layers to be applied. 5 shows an example of this embodiment.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 ist die Tintenkammer 12 und ein Teil der Tintenkanäle 13 in an sich bekannter Weise im Spritzgußverfahren hergestellt. Lediglich die Teile der Tintenkanäle 13, an die besonders hohe Anforderungen gestellt werden sowie die Austrittsöffnungen 14 werden gemäß dem Verfahren nach der Erfindung hergestellt.In the exemplary embodiment according to FIG. 5, the
Dazu werden mehrere Fotoplastfolien, im Beispiel die Fotoplastfolien 27 und 28 auf dem gespritzten Kuntstoffteil 26 nacheinander aufgebracht und in der beschriebenen Weise behandelt. Nach oben ist die Anordnung wiederum durch die beschichtete Metallfolie 16, 17 abgedeckt.For this purpose, several photoplastic films, in the example the
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