EP0058610B1 - Verfahren und Einrichtung zum Erreichen eines Hochvakuums mit Gebrauch einer Einstufen-Flüssigkeitsringpumpe - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zum Erreichen eines Hochvakuums mit Gebrauch einer Einstufen-Flüssigkeitsringpumpe Download PDF

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EP0058610B1
EP0058610B1 EP82400242A EP82400242A EP0058610B1 EP 0058610 B1 EP0058610 B1 EP 0058610B1 EP 82400242 A EP82400242 A EP 82400242A EP 82400242 A EP82400242 A EP 82400242A EP 0058610 B1 EP0058610 B1 EP 0058610B1
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B23/00—Pumping installations or systems
    • F04B23/04—Combinations of two or more pumps
    • F04B23/08—Combinations of two or more pumps the pumps being of different types
    • F04B23/12—Combinations of two or more pumps the pumps being of different types at least one pump being of the rotary-piston positive-displacement type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/54—Installations characterised by use of jet pumps, e.g. combinations of two or more jet pumps of different type

Definitions

  • the present invention relates to an installation, of the type defined in claim 1 or 4.
  • the discharge pipe of the liquid jet ejector can lead into a liquid-gas separator comprising means connected to the suction pipe of the centrifugal pump and ensuring the return of all or part of the liquid collected in the separator , towards said centrifugal pump.
  • the gas (air), for example at 8,333.10 3 Pa, sucked in through line 9 is discharged through line 11 (for example at 28,867.10 3 Pa) and then sucked in, together with the entrained fraction of the water refrigeration of the liquid ring pump, by the water jet ejector 14 operating with pressurized water from the discharge pipe 17 of the centrifugal pump 13.
  • the gas (air) -water mixture from the ejector 14 is then discharged through line 18 into compartment 19 (at atmospheric pressure) where there is separation of air (gas) and water.
  • the latter mixed with the cooling water coming from the compartment 20 and optionally from a cooling water make-up pipe (not shown), is then sucked by the suction pipe 28 of the centrifugal pump 13.
  • the adjustment of the desired vacuum or the regulation of the power absorbed as a function of the volumetric capacity of the assembly can be carried out very simply using the manual or automatic valve 16 or alternatively by variation, manual or automatic. , of the diameter of the nozzle 15a of the water jet ejector 14.

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Claims (17)

1. Einrichtung zum schnellen Erreichen eines Hochvakuums in einem Raum, bestehend aus einer ersten Vakuum-Erzeugungseinheit, gebildet durch eine Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1), deren Ansaugung (9) in Verbindung mit dem Raum steht, aus einer zweiten Vakuum-Erzeugungseinheit, deren Ausgang (18) in Verbindung mit der Atmosphäre steht und deren Ansaugung (11) mit dem Ausgang der gesagten ersten Einheit verbunden ist, und aus den Mitteln, die der zweiten Einheit augenblicklich ermöglichen, in Serie mit der ersten Einheit zu arbeiten, wenn ein Zwischenvakuum durch die erste Einheit im Raum erzeugt wurde, und die die zweite Einheit augenblicklich daran hindern, mit der ersten Einheit zu arbeiten, wenn der Druck im Raum größer ist als der vorgegebene Zwischen-Vakuum, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einheit aus einem Flüssigkeitsstrahl-Ejektor (1) besteht, dessen Antriebsflüssigkeit-Zulauf mit der Ausgangsleitung (17) einer mit dieser Flüssigkeit gespeisten Zentrifugal-Pumpe verbunden ist.
2. Einrichtung entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die besagten Mittel sowohl eine Fördermengen-Reguliereinrichtung beinhalten, sowie ein am Antriebsflüssigkeitszulauf (15) des Flüssigkeits-Ejektors (14) oder an der Auslaufleitung (17) der Zentrifugalpumpe (13) vorgesehenes Ventil (16).
3. Einrichtung entsprechend Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die besagten Mittel eine Vorrichtung (29, 30) beinhalten, welche die Verbindung der Zentrifugalpumpe (13) mit dem durch die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe erzeugten Vakuum vorzugsweise automatisch sichert, wenn das Vakuum einen vorgegebenen Wert erreicht.
4. Einrichtung zur schnellen Erzeugung eines Hochvakuums in einem Raum, bestehend aus einer ersten Vakuumerzeugungs-Einheit, gebildet durch eine Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1), deren Ansaugung (9) in Verbindung mit dem Raum steht, aus einer zweiten Vakuumerzeugungs-Einheit, deren Ausgang (18) mit der Atmosphäre in Verbindung steht, und deren Ansaugung (11) mit dem Ausgang der gesagten ersten Einheit verbunden ist und aus den ersten Mitteln, die der zweiten Einheit, wenn ein vorgesehener Zwischenvakuum im Raum erreicht ist, ausgenblicklich ermöglichen, mit der ersten Einheit in Serie zu arbeiten, und die die zweite Einheit, wenn der Druck im Raum größer ist als der gesagte vorgegebene Zwischenvakuum, augenblicklich daran hindern, mit der ersten Einheit in Serie zu arbeiten, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einheit aus einem Flüssigkeitsstrahl-Ejektor besteht, dessen Antriebsflüssigkeits-Eingang (15) mit dem Ausgang (17) einer Zentrifugalpumpe verbunden ist, und daß sie außerdem zweite Mittel enthält, die die zweite Einheit dazu bringen, parallel mit der ersten Einheit zu arbeiten, wenn der Druck im Raum höher ist, als der gesagte vorgegebene Zwischenvakuum.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Mittel ein schnell öffnendes oder schließendes, vorzugsweise automatisches, in der Leitung (11) zwischen dem Ausgang der ersten Einheit (1) und der Ansaugung der zweiten Einheit angeordnetes Ventil (43) ist, und ferner bestehen aus einer an die freie Luft mündenden und oberhalb des Ventils (43) angebrachten ersten Schnellschlußklappe (44), die an die besagte Leitung (11) über eine Abzweigung (45) ansetzt, und aus einer in der von der Ansaugung (9) der ersten Einheit (1) ausgehenden und nach dem Ventil (43) zur Ansaugung der zweiten Einheit (14) angebrachten, zweiten Schnellschlußklappe (46), wobei die erste Klappe (44) den Umlauf der Flüssigkeiten nur in der Richtung von der ersten Einheit zur freien Luft und die zweite Klappe (46) den Umlauf der Flüssigkeiten nur in der Richtung von der Ansaugung der ersten Einheit zur Ansaugung der zweiten Einheit ermöglicht.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüch, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitstrahl-Ejektor (14) von Eindüsen-Typ (15a) oder vom Mehrdüsen-Typ (41) ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsstrahl-Ejektor (14) Mittel zur Einstellung des Durchmessers der Düsen (15a, 41) enthält.
8. Einrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsstrahl-Ejektor (14) vom Mehrdüsen-Typ Mittel (42) zur Verringerung der Stückzahl der Düsen (41) enthält.
9. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrifugalpumpe (13) durch den gleichen Wellenstrang wie den der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1) angetrieben wird.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrifugalpumpe (13) durch die gleiche Welle (5), wie die der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe angetrieben wird.
11. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrifugalpumpe (13) direkt oder über einen Hochtrieb oder einen Drehzahlwandler am Ende der Welle (5) der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1) angebracht ist.
12. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1) mit einer Kühlflüssigkeit-Speiseleitung (26) verbunden ist.
13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang (11) der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (1) mit der Ansaugung des Flüssigkeitsstrahl-Ejektors (14) direkt verbunden ist.
14. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsleitung (18) des Flüssigkeitstrahl-Ejektors (14) in einen Flüssigkeit-Gas-Separator (21) mündet, der mit der Ansaugleitung (28) der Zentrifugalpumpe (13) verbundene Mittel beinhaltet, die den Rückfluß der ganzen oder eines Teils der in diesem Separator (21) ausgeschiedenen Flüssigkeit zur Zentrifugalpumpe sichern.
15. Einrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeits-Gas-Separator (21) aus einem Behälter mit zwei Abteilungen besteht, wobei die eine (20) durch Kühlflüssigkeit gespeist und mit der Speiseleitung (26) verbunden ist und wobei die Durchflußmenge der die Abteilung (20) speisenden Kühlflüssigkeit größer ist als die Durchflußmenge der Kühlflüssigkeit in der Leitung (26), wobei die andere (19) einerseits die Mischung Flüssigkeits-Gas aus dem Flüssigkeitsstrahl-Ejektor und andererseits durch Überlauf die Mehrmenge der anderen Abteilung (20) aufnimmt.
16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 14 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Speiseleitung (26) mit einer dauernden Kühlflüssigkeitsquelle verbunden ist.
17. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang (17) der Zentrifugalpumpe (13) oberhalb der Vorrichtung (16) zur Durchflußmengen-Regulierung eine Abzweigung aufweist, in der eine, einen geringen Durchfluß in dieser Leitung ermöglichende Blende (40) angeordnet ist.
EP82400242A 1981-02-13 1982-02-10 Verfahren und Einrichtung zum Erreichen eines Hochvakuums mit Gebrauch einer Einstufen-Flüssigkeitsringpumpe Expired EP0058610B1 (de)

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AT82400242T ATE35721T1 (de) 1981-02-13 1982-02-10 Verfahren und einrichtung zum erreichen eines hochvakuums mit gebrauch einer einstufenfl¨ssigkeitsringpumpe.

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FR8102929 1981-02-13
FR8102929A FR2500086A1 (fr) 1981-02-13 1981-02-13 Installation pour la realisation d'une difference elevee de pression entre deux points, mettant en oeuvre une pompe a anneau liquide simple etage associee a un ejecteur a jet de liquide

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EP0058610A1 EP0058610A1 (de) 1982-08-25
EP0058610B1 true EP0058610B1 (de) 1988-07-13

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