EA201500105A1 - Способ измерения контактной разности потенциалов - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к области электроизмерительной техники, в частности к способам измерения контактной разности потенциалов, и может найти применение как при решении научно-исследовательских задач, так и в промышленности при оценке состояния поверхности различных материалов, качества очистки их поверхностей, защитных свойств тонких пленок и покрытий, в том числе для изделий микро- и нанотехнологии, при различных условиях окружающей среды и внешних воздействиях на поверхность исследуемого образца. Задача, решаемая изобретением, заключается в увеличение производительности измерений контактной разности потенциалов путем сокращения времени установления выходного сигнала. Указанный технический результат достигается тем, что в способе измерения контактной разности потенциалов, включающем размещение измерительного электрода вблизи поверхности исследуемого образца, наложение на измерительный электрод механической вибрации в направлении, перпендикулярном к поверхности исследуемого образца, соединение измерительного электрода с исследуемым образцом внешней электрической цепью, содержащей последовательно включенный регулируемый источник напряжения компенсации, по значению которого судят о величине контактной разности потенциалов. Согласно изобретению плавную регулировку напряжения компенсации не осуществляют, вместо этого детектируют переменную составляющую сигнала в цепи, содержащей измерительный электрод, при поочередной подаче двух различных фиксированных значений напряжения компенсации. На основании двух пар полученных значений строят график линейной зависимости величины