EA035244B1 - Method to produce a humidity sensor based on a graphene oxide film - Google Patents

Method to produce a humidity sensor based on a graphene oxide film Download PDF

Info

Publication number
EA035244B1
EA035244B1 EA201990244A EA201990244A EA035244B1 EA 035244 B1 EA035244 B1 EA 035244B1 EA 201990244 A EA201990244 A EA 201990244A EA 201990244 A EA201990244 A EA 201990244A EA 035244 B1 EA035244 B1 EA 035244B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
graphene oxide
film
electrically conductive
graphene
oxide film
Prior art date
Application number
EA201990244A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
EA201990244A2 (en
Inventor
Павел Васильевич Винокуров
Иван Михайлович Филиппов
Айыысхан Иванович Алексеев
Альберт Николаевич Капитонов
Светлана Афанасьевна Смагулова
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова"
Publication of EA201990244A2 publication Critical patent/EA201990244A2/en
Publication of EA035244B1 publication Critical patent/EA035244B1/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B1/00—Nanostructures formed by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means

Abstract

The invention relates to the use of graphene, namely, the formation of electrically conductive structures on a polymer film by reducing graphene oxide (multigraphene) with high accuracy, rate and reliability, which can be used to manufacture a wide range of electronic devices and other technical products, in particular, humidity sensors of resistive type. A method to produce a humidity sensor based on a graphene oxide film by creating electrically conductive structures on a flexible polymer film; for that purpose, a graphene oxide film is formed on the surface of a polymer substrate by applying an aqueous suspension of graphene oxide and then drying it under normal conditions in a dark box for 24 h; then an electroconductive track of electrodes is irradiated on the surface of the prepared polymer substrate using a semiconductor laser. Further, a protective film based on a suspension of graphene oxide is additionally deposited on the electrically conductive structure. The electroconductive track of electrodes has current terminals formed by conductive paste. Studies have demonstrated the humidity sensors based on graphene oxide films formed by laser reduction to feature good repeatability and stability. The use of the method according to the invention can significantly shorten the time and reduce technological stages of manufacturing various structures produced on the basis of reduced graphene oxide.

Description

Изобретение относится к области использования графена, а именно к формированию электропроводящих структур на полимерной пленке путем восстановления оксида графена (мультиграфена) с высокой точностью, скоростью и надежностью, что может найти применение в изготовлении широкого спектра электронных приборов и других технических изделий, в частности датчиков влажности резистивного типа.The invention relates to the use of graphene, and in particular to the formation of electrically conductive structures on a polymer film by reducing graphene oxide (multigraphene) with high accuracy, speed and reliability, which can be used in the manufacture of a wide range of electronic devices and other technical products, in particular humidity sensors resistive type.

Известно, что графен является листом графита с толщиной в один атом с экстраординарными свойствами, такими как колоссальная подвижность носителей, прозрачность и т.д., что способствует развитию новой углеродной электроники. При этом создание пленок графена большой площади является высокотехнологичным и дорогостоящим процессом. Как альтернатива получения материалов с близкими характеристиками является восстановление оксида графена.It is known that graphene is a sheet of graphite with a thickness of one atom with extraordinary properties such as colossal mobility of carriers, transparency, etc., which contributes to the development of new carbon electronics. At the same time, the creation of large-area graphene films is a high-tech and expensive process. As an alternative to obtaining materials with similar characteristics is the reduction of graphene oxide.

Из уровня техники известен способ формирования прозрачных восстановленных оксид графеновых схем с помощью лазерного облучения (см. US №9099376, кл. H01L 21/336; H01L 21/268; H01L 21/02; H01L 29/16, опубл. 04.08.2015). Для получения таких схем суспензию оксида графена наносят на специально подготовленную поверхность стеклянной подложки. Далее с помощью эксимерного лазера создают проводящие схемы.The prior art method for the formation of transparent reduced graphene oxide schemes using laser irradiation (see US No. 9099376, CL H01L 21/336; H01L 21/268; H01L 21/02; H01L 29/16, published 04.08.2015) . To obtain such schemes, a suspension of graphene oxide is applied to a specially prepared surface of a glass substrate. Next, using an excimer laser create conductive circuits.

Формирование электропроводящих структур на стеклянных негибких подложках может значительно ограничить сферу их применения, кроме того, техническое решение связано с использованием относительно дорогого и сложного в эксплуатации эксимерного лазера.The formation of electrically conductive structures on glass inflexible substrates can significantly limit their scope, in addition, the technical solution involves the use of a relatively expensive and difficult to operate excimer laser.

Известен метод получения тензометрического датчика (см. http://www.myu-inc.jp/myukk/S&M/ paper5.html) с применением лазера на двуокиси углерода с мощностью 1,8 Вт. Гибкий тензометрический датчик был сформирован с помощью лазерного восстановления оксида графена на полиэтилентерефталатовой (PET) подложке. Для получения такой структуры суспензия оксида графена была нанесена капельно на гибкую РЕТ-подложку, после высушивания пленка подвергалась лазерному восстановлению с одновременным формированием рисунка.A known method for producing a strain gauge sensor (see http://www.myu-inc.jp/myukk/S&M/ paper5.html) using a carbon dioxide laser with a power of 1.8 watts. A flexible strain gauge sensor was formed by laser reduction of graphene oxide on a polyethylene terephthalate (PET) substrate. To obtain such a structure, a suspension of graphene oxide was applied dropwise to a flexible PET substrate; after drying, the film was subjected to laser reduction with the simultaneous formation of a pattern.

Недостатком известного метода является использование относительно дорогого и сложного в эксплуатации CO2 лазера. Кроме того, подобное лазерное устройство способно расплавлять нетермостойкие подложки.A disadvantage of the known method is the use of a relatively expensive and difficult to operate CO 2 laser. In addition, such a laser device is capable of melting non-heat resistant substrates.

Известен способ получения восстановленного оксида графена с последующим изготовлением из него полевого транзистора (см. JP2013035739A, опубл. 21.02.2013), при котором отдельно формируют изолирующую и проводящую электрические части с помощью фемтосекундного лазера с длиной волны 800 нм. И в данном случае техническое решение связано с использованием относительно дорогого и сложного в эксплуатации фемтосекундного лазера.A known method of producing reduced graphene oxide, followed by the manufacture of a field effect transistor from it (see JP2013035739A, publ. 02.21.2013), in which an insulating and conductive electrical part is separately formed using a femtosecond laser with a wavelength of 800 nm. And in this case, the technical solution involves the use of a relatively expensive and difficult to use femtosecond laser.

По способу изготовления датчика влажности (см. RU №2579807, кл. G01N 27/00, В82В 1/00, опубл. 10.04.2016) на медную фольгу осаждают пленку мультиграфена, вырезают из нее заготовку датчика нужной формы и размеров, к местам расположения контактов на заготовке приклеивают стеклянную подложку и сверху наносят защитный слой требуемой формы, стравливают фольгу с незащищенных участков, промывают и высушивают заготовку, а также удаляют защитный слой с электрических контактов.According to the method of manufacturing a humidity sensor (see RU No. 2579807, class G01N 27/00, B82B 1/00, publ. 04/10/2016) a multigraphene film is deposited on a copper foil, a blank of the sensor of the desired shape and size is cut from it, to the locations The contacts on the workpiece are glued to a glass substrate and a protective layer of the required shape is applied on top, the foil is removed from unprotected areas, the workpiece is washed and dried, and the protective layer is removed from the electrical contacts.

Известное техническое решение характеризуется сложностью технологического процесса получения датчика, включающего несколько этапов формирования проводящих структур - использование медной фольги, осаждение пленки мультиграфена, приклеивание жесткой стеклянной подложки, нанесение защитного слоя и др., и не способствует развитию повторяемости производства датчиков заявленного типа.The known technical solution is characterized by the complexity of the technological process of obtaining a sensor, which includes several stages of the formation of conductive structures - the use of copper foil, the deposition of a multigraphene film, bonding of a rigid glass substrate, applying a protective layer, etc., and does not contribute to the development of repeatability of the production of sensors of the claimed type.

Задача, на решение которой направлено заявленное изобретение, выражается в создании способа изготовления датчика влажности на основе пленок графена, характеризующегося относительной технологической простотой и высокой повторяемостью и стабильностью получаемых на его основе датчиков влажности резистивного типа.The problem to which the claimed invention is directed is expressed in the creation of a method for manufacturing a moisture sensor based on graphene films, characterized by relative technological simplicity and high repeatability and stability of resistive type humidity sensors obtained on its basis.

Технический эффект, получаемый при решении поставленной задачи, выражается в формировании электропроводящих структур на полимерной пленке путем восстановления оксида графена с помощью полупроводникового лазера. Кроме того, решение может существенно снизить себестоимость изготовления изделий на основе восстановленного оксида графена.The technical effect obtained by solving the problem is expressed in the formation of electrically conductive structures on a polymer film by reduction of graphene oxide using a semiconductor laser. In addition, the solution can significantly reduce the cost of manufacturing products based on reduced graphene oxide.

Для решения поставленной задачи способ получения тонкопленочного датчика влажности резистивного типа основан на создании электропроводящих структур на гибкой полимерной пленке, для чего на поверхности полимерной подложки формируется пленка оксида графена путем нанесения водной суспензии оксида графена и последующей ее сушки при нормальных условиях, на поверхности подготовленной полимерной пленки с подложкой посредством полупроводникового лазера с длиной волны 430 нм облучается электропроводящая дорожка электродов. Кроме того, на электропроводящую структуру дополнительно нанесена защитная пленка на основе суспензии оксида графена. Кроме того, электропроводящая дорожка электродов имеет выводы на основе токопроводящей пасты.To solve this problem, the method of producing a thin-film resistive type humidity sensor is based on the creation of electrically conductive structures on a flexible polymer film, for which a graphene oxide film is formed on the surface of the polymer substrate by applying an aqueous suspension of graphene oxide and its subsequent drying under normal conditions, on the surface of the prepared polymer film with a substrate, a conductive electrode path is irradiated with a semiconductor laser with a wavelength of 430 nm. In addition, a protective film based on a suspension of graphene oxide is additionally applied to the electrically conductive structure. In addition, the conductive path of the electrodes has conclusions based on the conductive paste.

Сопоставительный анализ признаков заявленного решения с признаками аналога свидетельствует о соответствии заявленного решения критерию новизна.A comparative analysis of the features of the claimed solution with the signs of the analogue indicates the conformity of the claimed solution to the novelty criterion.

Совокупность признаков изобретения обеспечивает решение заявленной технической задачи, а именно, создание надежного и стабильного датчика резистивного типа на основе графеновой пленки.The combination of features of the invention provides a solution to the claimed technical problem, namely, the creation of a reliable and stable sensor of a resistive type based on graphene film.

- 1 035244- 1 035244

Известно, что оксид графена (ОГ) получают и используют в виде суспензии, т.к. жидкая основа позволяет наносить его на различные поверхности. Причем наличие кислородных групп в ОГ превращает его в диэлектрик, что, в свою очередь, не позволяет использовать в качестве проводниковых материалов.It is known that graphene oxide (OG) is prepared and used as a suspension, because the liquid base allows you to apply it on various surfaces. Moreover, the presence of oxygen groups in the exhaust gas turns it into a dielectric, which, in turn, does not allow using it as conductive materials.

Процесс избавления от кислородсодержащих групп и молекул, так называемое восстановление, позволяет увеличить проводимость до нужных величин для использования в электронных системах.The process of getting rid of oxygen-containing groups and molecules, the so-called reduction, allows you to increase the conductivity to the desired values for use in electronic systems.

Заявленное техническое решение иллюстрируется чертежом, где на фигуре показан общий вид датчика влажности на основе оксида графена (1) и восстановленного оксида графена (2).The claimed technical solution is illustrated by the drawing, where the figure shows a General view of a humidity sensor based on graphene oxide (1) and reduced graphene oxide (2).

Для осуществления способа используются оксид графена в водной суспензии, например, с концентрацией 5 мг/мл; лазерное устройство полупроводникового типа, например, с длиной волны 430 нм; полимерная пленка, используемая в качестве подложки, например, на основе полиэстера или полиэтилентерефталата; устройство нанесения слоя суспензии оксида графена на полимерную подложку, например автоматическая пипетка с объемом 1 мкл.To implement the method, graphene oxide is used in an aqueous suspension, for example, with a concentration of 5 mg / ml; a semiconductor-type laser device, for example, with a wavelength of 430 nm; a polymer film used as a substrate, for example, based on polyester or polyethylene terephthalate; a device for applying a layer of a suspension of graphene oxide on a polymer substrate, for example, an automatic pipette with a volume of 1 μl.

Выбор лазера полупроводникового типа для формирования электропроводящих структур на полимерной пленке объясняется тем, что использование подобных лазерных устройств за счет маломощности излучения (в среднем 2,5 Вт) и длины волны, близкой к ультрафиолетовой части спектра, позволяет без сильного нагрева и повреждения полимерной подложки проводить восстановление пленки оксида графена (см. https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0008622315305182).The choice of a semiconductor laser for the formation of electrically conductive structures on a polymer film is explained by the fact that the use of such laser devices due to the low radiation power (2.5 W on average) and a wavelength close to the ultraviolet part of the spectrum allows conducting strong heating and damaging the polymer substrate reduction of a graphene oxide film (see https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0008622315305182).

Заявленный способ осуществляется следующим образом.The claimed method is as follows.

Для создания пленки оксида графена на полимерной подложке суспензию оксида графена наносят на поверхность подложки определенной формы капельным методом с помощью автоматической пипетки. При этом форма подложки определяется предварительно в зависимости от производственной программы, например, при изготовлении цельных изделий форма и размеры заготовки соответствует форме и размеру изготавливаемого изделия. Далее, подготовленная подложка направляется на сушку, которая осуществляется при нормальных условиях в темном боксе в течение 24 ч.To create a graphene oxide film on a polymer substrate, a suspension of graphene oxide is applied to the surface of a substrate of a certain shape by the drop method using an automatic pipette. In this case, the shape of the substrate is determined previously depending on the production program, for example, in the manufacture of whole products, the shape and dimensions of the workpiece correspond to the shape and size of the manufactured product. Next, the prepared substrate is sent to drying, which is carried out under normal conditions in a dark box for 24 hours.

Получаемую пленку закрепляют на рабочем столике лазерного устройства, например, оснащенного блоком управления геометрией детали. Предварительный чертеж обжига загружается в блок управления лазерного устройства, по которому производится облучение на поверхности графеновой пленки (см. фигуру).The resulting film is fixed on the working table of a laser device, for example, equipped with a part geometry control unit. A preliminary firing drawing is loaded into the control unit of the laser device, which irradiates the surface of the graphene film (see figure).

После завершения процесса лазерной обработки поверхности пленки оксида графена восстановленная часть приобретает видимый темный цвет по сравнению с невосстановленной частью. В результате дорожка из восстановленного графена формирует электропроводящую структуру на полимерной пленке. Причем, получаемая пленка не требует процедуры постобработки.After the laser processing of the surface of the graphene oxide film is completed, the reduced part acquires a visible dark color compared to the unreduced part. As a result, the path of reduced graphene forms an electrically conductive structure on the polymer film. Moreover, the resulting film does not require a post-processing procedure.

Таким образом, способ позволяет существенно снизить временные затраты, уменьшить технологические этапы изготовления различных структур на базе восстановленного оксида графена, что уменьшает себестоимость производства.Thus, the method can significantly reduce time costs, reduce the technological stages of manufacturing various structures based on reduced graphene oxide, which reduces the cost of production.

Лабораторными испытаниями установлено, что проводимость ОГ с ростом уровня относительной влажности RH от 30 до 70% возрастает почти в 3 раза. При прогонке RH в обратном направлении наблюдается явление слабого гистерезиса проводимости. Кроме того, определено влияние света на чувствительность датчика влажности.Laboratory tests found that the conductivity of the exhaust gas with an increase in the level of relative humidity RH from 30 to 70% increases almost 3 times. When RH is driven in the opposite direction, the phenomenon of weak conductivity hysteresis is observed. In addition, the influence of light on the sensitivity of the humidity sensor is determined.

Нанесение защитных пленок оксида графена на область структуры датчика влажности улучшает отклик и время восстановления. Зависимость сопротивления от влажности окружающей среды показывает гистерезис, а дополнительный слой пленки ОГ уменьшает величину гистерезиса.The application of graphene oxide protective films to the area of the moisture sensor structure improves response and recovery time. The dependence of the resistance on the humidity of the environment shows hysteresis, and an additional layer of the exhaust film reduces the hysteresis.

Кроме того, для выводов к измерителю сопротивления от вновь сформированной электропроводящей дорожки электродов используют токопроводящую пасту, например полимерную серебросодержащую пасту типа ПСП-2.In addition, for the leads to the resistance meter from the newly formed electroconductive track of the electrodes, a conductive paste, for example, a polymer silver-containing paste of the PSP-2 type, is used.

Таким образом, полученные результаты показывают, что датчики влажности на основе пленок оксида графена с применением лазерного восстановления обладают хорошей повторяемостью и стабильностью. Кроме того, техническое решение характеризуется повышением безопасности и технологичности процесса восстановления оксида графена.Thus, the results obtained show that moisture sensors based on graphene oxide films using laser reduction have good repeatability and stability. In addition, the technical solution is characterized by increased safety and manufacturability of the process of reduction of graphene oxide.

Claims (3)

1. Способ получения датчика влажности на основе пленки оксида графена, характеризующийся тем, что на гибкой полимерной подложке создают графеновую пленку путем нанесения водной суспензии оксида графена и последующей ее сушки, на которой формируют электропроводящую структуру, для чего посредством полупроводникового лазера с длиной волны 430 нм на поверхности подготовленной графеновой пленки с подложкой облучают электропроводящую дорожку электродов.1. A method of producing a moisture sensor based on a graphene oxide film, characterized in that a graphene film is created on a flexible polymer substrate by applying an aqueous suspension of graphene oxide and its subsequent drying, on which an electrically conductive structure is formed, for which, by means of a semiconductor laser with a wavelength of 430 nm on the surface of the prepared graphene film with a substrate, the electroconductive track of the electrodes is irradiated. 2. Способ получения датчика влажности на основе пленки оксида графена по п.1, отличающийся тем, что на электропроводящую структуру дополнительно нанесена защитная пленка из оксида графена.2. A method of producing a moisture sensor based on a graphene oxide film according to claim 1, characterized in that a protective film of graphene oxide is additionally deposited on the electrically conductive structure. 3. Способ получения датчика влажности на основе пленки оксида графена по пп.1 и 2, отличающийся тем, что электропроводящая дорожка электродов имеет выводы на основе токопроводящей пасты.3. A method of producing a humidity sensor based on a graphene oxide film according to claims 1 and 2, characterized in that the electroconductive track of the electrodes has conclusions based on the conductive paste.
EA201990244A 2018-06-01 2019-02-07 Method to produce a humidity sensor based on a graphene oxide film EA035244B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018120326A RU2682259C1 (en) 2018-06-01 2018-06-01 Method of making thin-film humidity sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201990244A2 EA201990244A2 (en) 2020-05-19
EA035244B1 true EA035244B1 (en) 2020-05-20

Family

ID=65806000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201990244A EA035244B1 (en) 2018-06-01 2019-02-07 Method to produce a humidity sensor based on a graphene oxide film

Country Status (2)

Country Link
EA (1) EA035244B1 (en)
RU (1) RU2682259C1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2701005C1 (en) * 2019-04-17 2019-09-24 Чеглаков Андрей Валерьевич Method of producing electroconductive films from a graphene oxide dispersion
CN110371952B (en) * 2019-07-03 2021-10-29 东南大学 Flexible resistance type humidity sensor and preparation method thereof
CN111168245B (en) * 2019-12-03 2022-04-05 南京信息职业技术学院 Preparation device, preparation method and application of graphene electrode pattern
CZ2020125A3 (en) 2020-03-10 2021-10-06 Západočeská Univerzita V Plzni Humidity sensor for measuring with a DC measuring signal and producing it
RU2764380C1 (en) * 2021-07-28 2022-01-17 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К.Аммосова" Method for manufacturing a flexible humidity sensor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103236295A (en) * 2013-04-23 2013-08-07 上海师范大学 Preparation method of patterned graphene conductive thin film
US20170176380A1 (en) * 2014-02-17 2017-06-22 Nokia Technologies Oy Field-effect sensor and associated methods

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2109778C1 (en) * 1994-04-12 1998-04-27 Институт высокомолекулярных соединений РАН Polymeric moisture-sensitive composition for moisture transducer of resistive type
RU160838U1 (en) * 2014-11-13 2016-04-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" HUMIDITY SENSOR DEVICE
RU2579807C1 (en) * 2014-11-13 2016-04-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" Method of making moisture sensor
CN104958073A (en) * 2015-07-03 2015-10-07 深圳市共进电子股份有限公司 Humidity sensor, electronic device and respiration detection system and method
US9976975B2 (en) * 2015-07-24 2018-05-22 King Abdulaziz University Method of making thin film humidity sensors

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103236295A (en) * 2013-04-23 2013-08-07 上海师范大学 Preparation method of patterned graphene conductive thin film
US20170176380A1 (en) * 2014-02-17 2017-06-22 Nokia Technologies Oy Field-effect sensor and associated methods

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Sensors and Materials, Volume 26, Number 9, pp. 699-709, 2014, "Graphene-Based Strain Gauge on a Flexible Substrate", Mohammed Gamil, et al., https://doi.org/10.18494/SAM.2014.1030, см. весь документ *

Also Published As

Publication number Publication date
EA201990244A2 (en) 2020-05-19
RU2682259C1 (en) 2019-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2682259C1 (en) Method of making thin-film humidity sensor
You et al. Laser fabrication of graphene‐based flexible electronics
Wang et al. Exfoliation at the liquid/air interface to assemble reduced graphene oxide ultrathin films for a flexible noncontact sensing device
Samouco et al. Laser-induced electrodes towards low-cost flexible UV ZnO sensors
Han et al. Sunlight‐Reduced Graphene Oxides as Sensitive Moisture Sensors for Smart Device Design
CN108414603B (en) Humidity sensor based on double electric layer thin film transistor and preparation method thereof
Lee et al. Fabrication of flexible, transparent silver nanowire electrodes for amperometric detection of hydrogen peroxide
Joanni et al. In situ growth of laser-induced graphene micro-patterns on arbitrary substrates
Zhang et al. Human‐like sensing and reflexes of graphene‐based films
CN105576123B (en) Full graphene race flexibility organic field-effect tube and its manufacturing method
Qiao et al. Graphene devices based on laser scribing technology
Ye et al. Pattern directive sensing selectivity of graphene for wearable multifunctional sensors via femtosecond laser fabrication
RU2697471C1 (en) Method of local controlled reduction of graphene oxide for sensor applications
Tseng et al. Ultrafast laser direct writing of screen-printed graphene-based strain electrodes for sensing glass deformation
Kim et al. Deformable single wall carbon nanotube electrode for transparent tactile touch screen
Singh et al. An extended-gate FET-based pH sensor with an InZn x O y membrane fabricated on a flexible polyimide substrate at room temperature
CN109817722A (en) Driving element and preparation method thereof based on carbon nano-tube film transistor
Lee et al. Operation range-optimized silver nanowire through junction treatment
US9275777B2 (en) Method for processing an embedded metal film
US11874249B2 (en) Graphite biosensor and circuit structure and method of manufacture
US9245810B2 (en) Electrical and opto-electrical characterization of large-area semiconductor devices
CN106896144A (en) Optical addressing potential sensing assembly
RU2661884C2 (en) Sensitive element of biological sensor
Aleksandrov et al. The effect of hydrogen on the conductivity of Ag-Pd thick film resistors
US20140352144A1 (en) Methods for improving electrical isolation of patterned transparent conductive films

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ KZ KG TJ TM RU