EA035216B1 - Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами - Google Patents

Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами Download PDF

Info

Publication number
EA035216B1
EA035216B1 EA201900203A EA201900203A EA035216B1 EA 035216 B1 EA035216 B1 EA 035216B1 EA 201900203 A EA201900203 A EA 201900203A EA 201900203 A EA201900203 A EA 201900203A EA 035216 B1 EA035216 B1 EA 035216B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
solder
foil
piezoceramic
materials
temperature
Prior art date
Application number
EA201900203A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201900203A1 (ru
Inventor
Ольга Евгеньевна Квашенкина
Павел Гарифович Габдуллин
Original Assignee
Ольга Евгеньевна Квашенкина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ольга Евгеньевна Квашенкина filed Critical Ольга Евгеньевна Квашенкина
Priority to EA201900203A priority Critical patent/EA035216B1/ru
Publication of EA201900203A1 publication Critical patent/EA201900203A1/ru
Publication of EA035216B1 publication Critical patent/EA035216B1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K31/00—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups
    • B23K31/02—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups relating to soldering or welding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005—Soldering by means of radiant energy
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/19—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering taking account of the properties of the materials to be soldered
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/20—Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области пьезоэлектроники, а именно к способам соединения пьезокерамических материалов с помощью реакционной многослойной фольги, и может найти применение в производстве пьезокерамических композитных материалов и многослойной керамики, при монтаже СВЧ-устройств, печатных плат и электронных компонентов. Способ соединения пьезокерамических материалов включает использование реакционной фольги толщиной 30-100 мкм, слои которой выполнены толщиной 2-20 нм из металлов и/или неметаллов, выбранных из группы никель, алюминий, медь, ниобий, кобальт, титан, молибден, тантал, углерод, кремний, бор, перед нанесением припоя на фольгу наносят адгезионное покрытие толщиной от 30 до 120 нм, после чего наносят припой толщиной 2-15 мкм, а поверхности прижимают с давлением 0,7-2,2 кг/см(фиг. 1). В частных вариантах реализации изобретения перед прижимом поверхностей предварительно выполняют нагрев соединяемых поверхностей, в частности, до температуры не выше температуры Кюри пьезокерамического материала и температуры плавления припоя; припой наносят гальваническим способом, химическим способом или методом напыления.

Description

Изобретение относится к области пьезоэлектроники, а именно к способам соединения пьезокерамических материалов с помощью реакционной многослойной фольги, и может найти применение в производстве пьезокерамических композитных материалов и многослойной керамики, при монтаже СВЧустройств, печатных плат и электронных компонентов.
В уровне техники известно применение пьезоэлектрических материалов, в частности пьезокерамических, при производстве различных элементов, узлов и устройств: генераторов, датчиков (сенсоров), актюаторов (пьезоприводов), преобразователей и комбинированных систем. Среди пьезокерамических материалов выделяют несколько типов, характеризующихся различными физическими свойствами, определяющими, в свою очередь, особенности изготовления из них элементов техники (особенности соединения пьезокерамических материалов), а также особенности использования таких элементов.
В настоящее время существует несколько способов соединения пьезокерамических материалов для получения конструктивных элементов устройств: пайка и соединение посредством электропроводящего клея. Однако ни один из вышеперечисленных способов не гарантирует отсутствие повреждений чувствительного пьезоэлемента при получении такого элемента устройства.
Так, из уровня техники известен способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами посредством пайки (патент RU 2041776 на изобретение Способ пайки керамики с металлом, дата приор. 27.04.1992, опубл. 20.08.1995, B23K 1/00). Для соединения материалов припой расплавляют; жидкое состояние припоя достигается относительно долгим и высокотемпературным воздействием на него (например, жалом паяльника). Это в свою очередь приводит к нагреву соединяемых материалов, повреждению кристаллической структуры пьезокерамической детали и, как следствие, утрате ее электрофизических свойств (деполяризация пьезокерамического материала). На практике во избежание нежелательного нагрева соединяемых поверхностей в процессе пайки область пайки дополнительно охлаждают между повторяющимися этапами нагрева припоя, что значительно увеличивает время соединения материалов. Кроме того, прочность соединения материалов и качество полученного изделия (работоспособность пьезокерамического изделия) зависят, в частности, от количества соединяющего их материала (припоя): недостаток припоя снижает прочность соединения, а излишек - качество собранного изделия. Прочность соединения материалов определяется также силой их прижима при соединении: малое усилие прижима снижает прочность соединения, а чрезмерное усилие прижима увеличивает риск разрушения соединяемых деталей, риск их смещения друг относительно друга и вытекание припоя. При традиционной пайке отмеривание точного количества припоя весьма затруднительно, а варьирование усилия прижима при неоптимальном количестве припоя неэффективно. В дополнение к вышеперечисленному к недостаткам относится также необходимость проведения вспомогательных операций, таких как предварительная очистка соединяемых поверхностей от пленки, образующейся вследствие реакции серебра на поверхности пьезокерамики и серы в атмосферном воздухе, и посточистка от использованных флюсов (это увеличивает время соединения материалов).
Известен способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами с помощью электропроводящегоя клея (патент RU 2491684 на изобретение Многослойная керамическая гетероструктура с магнитоэлектрическим эффектом и способ ее получения, дата приор. 27.04.1992, опубл. 20.08.1995, B23K 1/00).
Однако указанный способ не обеспечивает достаточной электропроводности собранного изделия в целом. Кроме того, разность коэффициентов температурного расширения самого пьезоэлемента, скрепляющей прослойки (клея) и ответного основания приводит к разрушению (растрескиванию) собранного изделия в процессе эксплуатации, что ограничивает возможности его использования в частных случаях.
Альтернативным способом соединения пьезокерамических материалов является способ с использованием реакционных фольговых материалов, в которых возможно протекание быстрого самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (далее СВС-реакция), что позволяет их использовать как источник регулируемого тепла.
Наиболее близким по технической сущности к заявленному решению является способ соединения различных материалов, в том числе компонентов микроэлектронных устройств, при котором используют многослойную реакционную фольгу (заявка US 2002182436 на изобретение Автономные реакционные многослойные фольги, приор. 18.04.2002, опубл. 05.12.2002, С23С 14/34). Способ включает размещение многослойной реакционной фольги толщиной от 50 мкм до 1 см с предварительно нанесенным на нее припоем между соединяемыми поверхностями, прижим указанных поверхностей и инициирование реакции в фольге посредством прикладывания к фольге кратковременного энергетического импульса. При этом слои фольги выполнены из металлов или сплавов металлов, выбранных из группы алюминий, никель, медь, титан, цирконий, гафний.
Однако известное техническое решение, выбранное в качестве прототипа для заявленного способа, не обеспечивает получение прочного соединения пьезокерамических материалов с различными материалами при сохранении их функциональных свойств по следующим причинам. Указанная толщина и химический состав используемой многослойной реакционной фольги обуславливают наличие значительного объема запасенной энергии в ней и, соответственно, выделения большого количества тепла при инициировании СВС-реакции в ней. Процесс соединения пьезокерамических материалов, которые, как из- 1 035216 вестно, являются крайне чувствительными к нагреву, с различными материалами требует контролирования количества выделяемого тепла с учетом типа пьезокерамического материала, его толщины и необходимых эксплуатационных характеристик готового изделия (соединенных материалов). Однако качественный состав фольги в способе-прототипе не позволяет снизить количество выделяемого тепла до допустимого значения. Например, фольга толщиной 80 мкм, состоящая из 2000 чередующихся слоев алюминия и никеля, каждый из которых имеет толщину 2 нм, с добавлением 1% молибдена, 0,5% серебра, 1,5% индия, дает очень большой выход энергии, что неприемлемо для соединения тонких пьезокерамических материалов (они разрушаются). С другой стороны, применение фольги из менее энергоемких материалов, например фольги, состоящей из 900 чередующихся слоев алюминия и оксида железа, где толщина каждого слоя алюминия составляет 1,5 нм, а толщина каждого слоя оксида железа - 2,5 нм, с добавлением 1% молибдена, 0,7% серебра, 1% индия, не обеспечивает достаточного расплавления припоя и, следовательно, получения прочного соединения. Кроме того, отсутствие согласованности усилия прижима, характеристик используемой фольги и припоя не позволяет получить прочное соединение, способное к распайке (разъединению) без разрушения пьезокерамических материалов (без потери их функциональных свойств).
Задачей изобретения является создание способа, обеспечивающего быстрое и прочное соединение пьезокерамических материалов с сохранением их функциональных свойств при возможности их распайки в случае необходимости без разрушения пьезокерамических материалов.
Задача достигается тем, что в способе соединения пьезокерамических материалов с различными материалами, при котором между соединяемыми поверхностями 1 и 2 размещают многослойную реакционную фольгу 3 с предварительно нанесенным на нее припоем, прижимают указанные поверхности и прикладывают к фольге кратковременный энергетический импульс, согласно изобретению используют фольгу толщиной 30-100 мкм, слои которой выполнены толщиной 2-20 нм из металлов и/или неметаллов, выбранных из группы никель, алюминий, медь, ниобий, кобальт, титан, молибден, тантал, углерод, кремний, бор, перед нанесением припоя на фольгу наносят адгезионное покрытие толщиной от 30 до 120 нм, после чего наносят припой толщиной 2-15 мкм, а поверхности прижимают с давлением 0,7-2,2 кг/см2.
В частных вариантах реализации изобретения перед прижимом предварительно выполняют нагрев соединяемых поверхностей, в частности, до температуры не выше температуры Кюри пьезокерамического материала и температуры плавления припоя фольги; припой наносят гальваническим способом, химическим осаждением или методом напыления.
Авторами экспериментально установлено, что заявленные диапазоны характеристик используемой фольги и режимов способа являются оптимальными для получения прочного соединения пьезокерамических материалов с различными материалами без потери функциональных свойств при возможности их распайки в случае необходимости без разрушения пьезокерамических материалов.
Достижение технического результата, обеспечиваемого при осуществлении заявленного способа, обусловлено следующим.
Применение многослойной реакционной фольги заявленного состава и толщины и при ее активации энергетическим импульсом обеспечивает быстрое выделение запасенной энергии в объеме, обеспечивающем достаточную степень расплавления припоя различной толщины в максимально короткий срок, что исключает излишний нагрев пьезокерамических материалов. Это в сочетании с усилием прижима позволяет получить наиболее приемлемые для соединения пьезокерамических материалов параметры процесса, варьирование которых, в свою очередь, обусловливает получение быстрого и прочного соединения пьезокерамических материалов различной толщины с сохранением их функциональных свойств. Нанесение на фольгу адгезионного покрытия заданной толщины обеспечивает прочное сцепление припоя различной толщины с фольгой, что исключает его отлипание от фольги и, следовательно, способствует получению качественного соединения материалов. А заявленная толщина припоя обеспечивает возможность распайки соединения в случае необходимости без разрушения пьезокерамических материалов.
Предварительный нагрев соединяемых поверхностей, в частности, до температуры не выше температуры Кюри пьезокерамического материала и температуры плавления припоя фольги позволяет уменьшить градиент перепада температуры на границе раздела фольга-соединяемый элемент, что значительно снижает количество механических напряжений в соединяемых материалах и, следовательно, приводит к существенному повышению качества получаемого соединения. Нанесение припоя гальваническим способом, химическим осаждением или методом напыления позволяет получить тонкий равномерный слой, что также способствует получению прочного соединения материалов с сохранением их функциональных свойств при возможности их распайки в случае необходимости без разрушения пьезокерамических материалов.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1 представлена принципиальная схема соединения пьезокерамических материалов с металлическими материалами по заявленному способу, на фиг. 2 - схема строения одного из вариантов используемой многослойной реакционной фольги, на фиг. 3 - микрофотографии пластинчатых многослойных реакционных фольг, полученных различными способами: (а) и (b) - 2 035216 осаждение магнетрона; (с) - начальный стек фольги перед холодной прокаткой, (d) - после холодной прокатки; (е) и (f) - шаровая мельница с высокой энергией и холодная прокатка; (a), (b), (f) получены на туннельном электронном микроскопе ТЕМ (легкая фаза Al, темная фаза Ni); (с)-(е) получены на атомносиловом электронном микроскопе SEM (темная фаза Ni, легкая фаза Al).
Сущность изобретения иллюстрируется следующими примерами, представленными в табл.1, 2, в которых соединение пьезокерамических материалов с различными материалами осуществлялось по описанной выше схеме (с учетом полярности пьезокерамики) на механической установке, включающей основание с соответствующими разметкой и оснасткой для позиционирования пьезокерамических элементов, прижимным грузом и средством запуска СВС-реакции. Для соединения с пьезокерамическими материалами использовались металлические материалы (например, алюминиевое основание, корпус из никеля, корпус из латуни, основание из меди, коваровый корпус) и неметаллические материалы (например, пьезокерамика, германий, сапфир, поликор, кремний, текстолит, лавсан).
В качестве средства запуска СВС-реакции использованы искра, сгенерированная источником постоянного тока и пропущенная через малый участок фольги (напряжение 6-12 В);
жало паяльника, обеспечивающие кратковременное точечное касание малого кончика фольги (температура жала 350-600°С);
лазер, кратковременно и точечно воздействующий на участок фольги (длина волны 0,3-10 мкм, мощность 1-100 Вт/мин).
В качестве соединяемых пьезокерамических материалов использовали пьезокерамические элементы, произведенные фирмами Morgan Matroc Ltd (Electro Ceramic Division, США) и Аврора-Элма (РФ, г. Волгоград), следующих типоразмеров:
диск, толщина 0,2 мм, диаметр 4 мм;
диск, толщина 0,5 мм, диаметр 7 мм;
цилиндр, высота 5 мм, диаметр 8 мм;
цилиндр, высота 15 мм, диаметр 25 мм.
Приведенные в примерах типоразмеры пьезокерамических материалов не ограничивают возможность применения заявленного способа для материалов иных типоразмеров.
Образцы фольги покрывали адгезионным покрытием, имеющим высокие функциональные характеристики (хорошо адгезирующееся в процессе нанесения и последующей пайке), толщиной от 30 до 120 нм на основе серебра, золота и меди.
Поверх адгезионного покрытия гальваническим способом, химическим осаждением или методом напыления наносился припой на основе олова и висмута.
При использовании образцов фольги №№ 4, 6 перед прижимом соединяемых поверхностей осуществляли их нагрев до температуры не выше температуры Кюри соответствующих пьезокерамических материалов и не выше температуры плавления припоя с целью уменьшения градиента температуры при СВС-реакции и, как следствие, смягчения термоудара, сопровождающего СВС-реакцию. Так, для образца № 4 температура предварительного нагрева составляла 100°С, а для образца № 6 124°С.
Прижим соединяемых поверхностей осуществляли посредством установки прижимных грузов соответствующей массы на пакет соединяемых элементов (длительность не более 1 мин).
Параметры используемых материалов и режимов способа представлены в табл. 1. Толщина слоев каждого металла или неметалла в одном образце фольги варьировалась в диапазонах, указанных в таблице. Так в образце № 1 слои Ni и Al имели толщину от 7 до 20 нм каждый, при одинаковом количестве слоев общая толщина фольги была различной, и, как следствие, количество выделяемой при запуске СВС-реакции энергии было различным. В зависимости от количества выделенной энергии определялось давление прижима, необходимое для получения оптимальных параметров соединения.
Таблица 1
Используемые материалы и режимы способа
№ образца Качественный состав реакционной фольги Количество слоев, шт Диапазоны толщин чередующихся слоев, min -max нм Диапазоны общей толщины фольги, min - max мкм Толщина припоя, мкм Температура плавления верхнего СЛОЯ Тпл, °C Температура фронта СВСреакции, Тад, °C Скорость реакционн ого фронта, м/с Удельное количество выделяемой энергии при реакции, Дж/гр Удельная теплоемкость шва С, Дж/(кг*К) Диапазон приемлемых давлений прижима, кг/см2
1 Ni+Al 4000 7-20 28-80 10 182 1450 12 1050- 1250 670 1,1-4,0
2 Cu+Al 4500 4-15 18-68 10 170 1340 9 1000- 1240 564 1,2-3,2
3 Nb+C 6000 5-12 30-72 10 180 1015 15 970 - 1000 720 1,0-3,8
4 Со+А1 5000 3-10 15-50 8 170 1350 24 975 - 1245 685 1,5-4,2
5 Ti+Si 3000 9-18 27-54 3 185 1820 26 980- 1540 540 1,9-3,2
6 Ti+Al 3000 8-20 24-60 5 179 1780 18 990 - 1400 613 1,8-2,9
7 Mo+2Si 2500 10-20 25-50 5 182 1610 13 950 - 1450 640 1,7-3,5
8 Mo+B 6000 4-10 24-60 12 171 1220 20 980 - 1230 532 1,4-5
9 Ti+C 5000 5-8 25-40 8 170 1310 21 1010-1200 751 1,2-4,9
10 2Ta+C 1500 12-20 18-30 5 186 1112 19 800- 1100 650 1,0-1,4
Оценка сохранения функциональных свойств, соединенных с помощью представленных образцов
- 3 035216 фольги пьезокерамических материалов с различными материалами, производилась на аппаратуре для контроля параметров пьезоэлементов и преобразователей Цензурка-М путем измерения параметров электромеханической колебательной системы: тангенса угла диэлектрических потерь tg5, %, резонансной частоты fp, кГц, антирезонансной частоты fa, кГц, резонансного промежутка Af, кГц.
Оценка прочностных характеристик образцов соединений производилась на разрывной машине WPM Masch 2168, тип ФМ-250 путем измерения нескольких ключевых прочностных показателей: временного сопротивления разрыву σΒ, кгс/мм2 (испытания в течении 50 ч); предела прочности паяного шва на растяжение ар, МПа; модуля упругости Е, ГПа; предела прочности паяного соединения на срез тср, МПа, модуля сдвига G (ГПа), коэффициента Пуассона μ.
Параметры характеристик полученных готовых изделий представлены в табл. 2.
Таблица 2
Характеристики полученных соединений
№ образ ца Предел прочное ти паяного шва на растяже ние σΒ, МПа Модул ь упруго сти Е, ГПа Предел прочное ти паяного соедине ния на срез Тср, МПа Моду ль сдвиг aG, ГПа Коэффици ент Пуассона μ Тангенс угла диэлектрине ских потерь tg5, % Резонанс ная частота fp max|Y|, кГц Резонанс ная частота fa min|Y|, кГц Резонанс ный промежут ок fa - fa, кГц.
1 48 18 45 4,6 0,32 0,0075 17,27 18,15 0,87
2 42 10,2 38 2,6 0,34 0,008 17,23 18,10 0,87
3 55 3,6 56 1,4 0,25 0,0065 17,27 18,15 0,88
4 70 7,4 65 2,2 0,35 0,0075 17,30 18,17 0,88
5 62 10,6 68 4,1 0,32 0,005 17,26 18,15 0,87
6 65 10,2 69 3,9 0,31 0,005 17,20 18,10 0,87
7 41 и,з 39 3,8 0,29 0,0065 17,24 18,15 0,88
8 30 11,1 32 3,91 0,29 0,004 17,30 18,17 0,88
9 24 10,3 21 4,3 0,32 0,009 17,24 18,15 0,88
10 30 10,8 23 2,1 0,35 0,0085 17,19 18,17 0,88
Приведенные в табл. 1, 2 данные подтверждают, что заявленный способ позволяет получить прочное соединение пьезокерамических материалов за максимально короткое время (1-2 мс) без потери функциональных свойств таких материалов (измеренные параметры электромеханической колебательной системы соответствуют ГОСТ 12370-80, ГОСТ Р 57438-2017 и ГОСТ Р 8.945-2018, а также нормативной документации большинства потребителей).
Все образцы соединений испытывались на возможность их распайки без разрушения пьезокерамических материалов. Для этого каждое паяное соединение подвергалось нагреву до температуры, выше температуры начала плавления припоя. Разъединенные таким образом пьезокерамические материалы не повреждаются, не теряют своих функциональных свойств и могут быть использованы повторно.
Таким образом, заявленный способ соединения пьезокерамических материалов обеспечивает быстрое получение прочного соединения с сохранением функциональных свойств пьезокерамики при возможности распайки соединения в случае необходимости без разрушения пьезокерамики.

Claims (4)

1. Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами, при котором между соединяемыми поверхностями размещают многослойную реакционную фольгу с предварительно нанесенным на нее припоем, прижимают указанные поверхности и прикладывают к фольге кратковременный энергетический импульс, отличающийся тем, что используют фольгу толщиной 30-100 мкм, слои которой выполнены толщиной 2-20 нм из металлов и/или неметаллов, выбранных из группы никель, алюминий, медь, ниобий, кобальт, титан, молибден, тантал, углерод, кремний, бор, перед нанесением припоя на фольгу наносят адгезионное покрытие толщиной от 30 до 120 нм, после чего наносят припой толщиной 2-15 мкм, а поверхности прижимают с давлением 0,7-2,2 кг/см2.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед прижимом поверхностей предварительно выполняют нагрев соединяемых поверхностей.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что, нагрев осуществляют до температуры не выше температуры Кюри пьезокерамического материала и температуры плавления припоя фольги.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что припой наносят гальваническим способом, химическим осаждением или методом напыления.
EA201900203A 2019-03-26 2019-03-26 Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами EA035216B1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201900203A EA035216B1 (ru) 2019-03-26 2019-03-26 Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201900203A EA035216B1 (ru) 2019-03-26 2019-03-26 Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201900203A1 EA201900203A1 (ru) 2020-05-15
EA035216B1 true EA035216B1 (ru) 2020-05-18

Family

ID=70847643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201900203A EA035216B1 (ru) 2019-03-26 2019-03-26 Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами

Country Status (1)

Country Link
EA (1) EA035216B1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019135171A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Rogers Germany Gmbh Lotmaterial, Verfahren zur Herstellung eines solchen Lotmaterials und Verwendung eines solchen Lotmaterials zur Anbindung einer Metallschicht an eine Keramikschicht

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1260124A1 (ru) * 1984-03-01 1986-09-30 Ростовский-На-Дону Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сельскохозяйственного Машиностроения Способ пайки керамики с металлами и неметаллами
JPH026571A (ja) * 1988-03-24 1990-01-10 Hercules Inc 硬化塗装組成物および急速硬化促進方法
RU2022733C1 (ru) * 1991-06-04 1994-11-15 Минский радиотехнический институт Способ пайки ультразвуковых преобразователей из магнитострикционных ферритов
US5407119A (en) * 1992-12-10 1995-04-18 American Research Corporation Of Virginia Laser brazing for ceramic-to-metal joining
RU2041776C1 (ru) * 1992-04-27 1995-08-20 Юрий Эдуардович Паэранд Способ пайки керамики с металлом
JPH07291753A (ja) * 1994-04-27 1995-11-07 Kyushu Dentsu Kk セラミック部材と金属部材との接合方法
RU2336980C2 (ru) * 2006-10-03 2008-10-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии Способ пайки керамики с металлами и неметаллами

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1260124A1 (ru) * 1984-03-01 1986-09-30 Ростовский-На-Дону Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сельскохозяйственного Машиностроения Способ пайки керамики с металлами и неметаллами
JPH026571A (ja) * 1988-03-24 1990-01-10 Hercules Inc 硬化塗装組成物および急速硬化促進方法
RU2022733C1 (ru) * 1991-06-04 1994-11-15 Минский радиотехнический институт Способ пайки ультразвуковых преобразователей из магнитострикционных ферритов
RU2041776C1 (ru) * 1992-04-27 1995-08-20 Юрий Эдуардович Паэранд Способ пайки керамики с металлом
US5407119A (en) * 1992-12-10 1995-04-18 American Research Corporation Of Virginia Laser brazing for ceramic-to-metal joining
JPH07291753A (ja) * 1994-04-27 1995-11-07 Kyushu Dentsu Kk セラミック部材と金属部材との接合方法
RU2336980C2 (ru) * 2006-10-03 2008-10-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии Способ пайки керамики с металлами и неметаллами

Also Published As

Publication number Publication date
EA201900203A1 (ru) 2020-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5548167B2 (ja) 積層体及び積層体の製造方法
JP3798319B2 (ja) 自立形反応性多層フォイル
US6863992B2 (en) Composite reactive multilayer foil
US20090186195A1 (en) Reactive Multilayer Joining With Improved Metallization Techniques
US8397976B2 (en) Method for cohesively bonding metal to a non-metallic substrate using capacitors
TWI498435B (zh) 具有低溫高強度接合的濺鍍靶材組合
JP2003520685A (ja) ミクロ流体装置及び超音波結合プロセス
JP3670008B2 (ja) 気密ろう接合部の作成方法
CN109822094A (zh) 一种Al-Ti合金异种金属焊接方法
EA035216B1 (ru) Способ соединения пьезокерамических материалов с различными материалами
US20230330767A1 (en) Method for Producing Load-Indicating Connection Components, and Corresponding Load-Indicating Connection Component
JP2006528556A (ja) 溶融接合材料の高められた制御を伴う反応性多層箔を使用する接合方法
Aasmundtveit et al. In–Bi low-temperature SLID bonding for piezoelectric materials
Sha et al. Low-temperature solid-state silver bonding of silicon chips to alumina substrates
JP5597946B2 (ja) 金属の低温接合方法
EA035213B1 (ru) Способ соединения печатных плат с различными материалами
CN113929487B (zh) 压电陶瓷复合材料及其制备方法和应用
CN114340211A (zh) 电路板复合材料及其制备方法和应用
Enjo et al. Effects of ultrasonic vibration on diffusion welding of aluminum
JP4151859B2 (ja) スパッタリング用ターゲット板の接合方法
Welker et al. Bonding of ceramics using reactive NanoFoil®
JP2005082431A (ja) セラミック接合方法及びこれによって接合されたセラミック接合部材
JPH09213230A (ja) 電極板と金属埋め込みセラミックスとの接合体およびその製造方法
JP2000183476A (ja) セラミックス回路基板
Sebo et al. Joining of copper-carbon fibre composite with gold coated alumina by low temperature In-Pb and Soldamol 170 solders

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AZ BY KG TJ RU