EA015719B1 - Method and device for guiding of the ion flow - Google Patents

Method and device for guiding of the ion flow Download PDF

Info

Publication number
EA015719B1
EA015719B1 EA200900191A EA200900191A EA015719B1 EA 015719 B1 EA015719 B1 EA 015719B1 EA 200900191 A EA200900191 A EA 200900191A EA 200900191 A EA200900191 A EA 200900191A EA 015719 B1 EA015719 B1 EA 015719B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
nanotube
free end
ions
outlet
ion
Prior art date
Application number
EA200900191A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
EA200900191A1 (en
Inventor
Александр Криманов
Игорь Соминский
Original Assignee
Александр Криманов
Игорь Соминский
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Александр Криманов, Игорь Соминский filed Critical Александр Криманов
Publication of EA200900191A1 publication Critical patent/EA200900191A1/en
Publication of EA015719B1 publication Critical patent/EA015719B1/en

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

The method of ion flux control is the flux of ions that are introduced inside the inlet, fixed fastening element of the fixed end of flexible nanotubes, while the outlet of the free end of flexible nanotubes physically move the existing electrical, electromagnetic or electromechanical means of the axes of the coordinate system as at least in one direction, the boundaries of the free end of the movement and thus alter the spatial position of the outlet of the free end of the nanotube, while purposefully send you entered the ions and remove them at any given point, located in the outlet of motion of the free end of the nanotube, and the most are managing the flow of ions. The device for implementing the above method includes the flow of ions, the nanotube close element nanotubes, fixed end of the nanotube, the free end of the nanotube, entrance, entry into the hole the fixed end of the nanotube, the output, the output from the opening of the free end of the nanotube, a voltage of at least one or more - elements of electronic control signals to control elements of the electrical or electromagnetic deflection system, moving free end of flexible nanotube axis-coordinate, at least in one direction, the substrate for simulation, ions application, work desktop, and the free end of the flexible nanotube has constant charge or a magnet, while flexible nanotubes, hollow inside and has at least one unattached free end that no physical contact is in the zone of influence of one or more electrodes.

Description

Метод и устройство управления потоком ионов принадлежат к области наномеханики, промышленного нанотехнологического производства, в частности, наноэлектроники.The method and device for controlling the flow of ions belong to the field of nanomechanics, industrial nanotechnological production, in particular, nanoelectronics.

Технический уровеньTechnical level

Известны метод и устройства, несущие поток ионов и при помощи которых направление потока в нужную точку производят вручную или механически. Неподвижно зафиксированным транспортным крючком для переноса ионов микроиглы цепляют одиночный ион, частицу и перемещают вместе с жестко установленным концом устройства в соответствующую точку в границах области возможного движения. Известны, например, в частности наноиглы.A known method and device carrying an ion flux and with the help of which the flow is directed to the desired point manually or mechanically. With a motionlessly fixed transport hook for ion transfer, microneedles cling to a single ion, particle and move together with the rigidly installed end of the device to the corresponding point within the boundaries of the region of possible motion. Known, for example, in particular nano-needles.

Известные решения управления потоком ионов, устройства которых в эксплуатации малоэффективны, обладают примитивной и громоздкой конструкцией, трудоемкие в использовании, дороги в себестоимости, малонадежны, обладают ограниченным возможностями, в том числе медленны и неточны.Known ion flow control solutions, the devices of which are inefficient in operation, have a primitive and cumbersome design, are laborious to use, costly, unreliable, have limited capabilities, including slow and inaccurate ones.

Цель изобретенияThe purpose of the invention

Целью настоящего изобретения является расширение возможностей известных методов управления ионным потоком и устройств их осуществления, создание новых возможностей моделирования материалов с новыми свойствами, повышение эффективности скорости, качества, надежности наноразмерного моделирования, уменьшение себестоимости и повышение эффективности в принципе.The aim of the present invention is to expand the capabilities of known methods for controlling ion flow and devices for their implementation, creating new possibilities for modeling materials with new properties, increasing the efficiency of speed, quality, reliability of nanoscale modeling, reducing costs and increasing efficiency in principle.

Для достижения указанной цели при перемещении и моделировании ионов отказались от использования наноигл и от управляемой передвижной рабочей поверхности.To achieve this goal, when moving and modeling ions, they refused to use nano-needles and from a controlled mobile working surface.

Вместо этого, авторы предположили направить поток ионов в нужную точку моделирования вместе с выходным отверстием иононесущего канала свободного конца полой нанотрубки.Instead, the authors suggested directing the ion flow to the desired modeling point along with the outlet of the ion-carrying channel of the free end of the hollow nanotube.

Эта техническая задача решается настоящим изобретением, сущность которого принципиально представляет собой управление потоком ионов следующим образом - ионы вводят во входное отверстие, внутрь гибкой нанотрубки, при этом выходное отверстие свободного конца гибкой нанотрубки физически перемещают действующими исполнительными элементами в границах области движения свободного конца и изнутри нанотрубки выводят ионы в любую заданную точку.This technical problem is solved by the present invention, the essence of which is to control the ion flow as follows - ions are introduced into the inlet, into the flexible nanotube, while the outlet of the free end of the flexible nanotube is physically moved by the acting actuators within the boundaries of the region of motion of the free end and from the inside of the nanotube ions are removed at any given point.

Для этого в качестве исполнительных элементов используют действующие средства управления и отклонения, при этом отклоняют и перемещают выходное отверстие свободного конца гибкой нанотрубки как минимум в одном направлении или, при необходимости, перемещают в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ и при этом выходное отверстие свободного конца гибкой нанотрубки отклоняют и перемещают несколькими вариантами системы отклонения, в частности с применением электрических или электромагнитных средств отклонения.To do this, acting controls and deviations are used as actuators, while the outlet of the free end of the flexible nanotube is deflected and moved in at least one direction or, if necessary, moved in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ and the outlet of the free end a flexible nanotube is deflected and moved with several variants of the deflection system, in particular using electrical or electromagnetic deflection means.

Таким образом, технический результат достигается посредством ввода ионного потока в закрепленный конец нанотрубки и управления при этом свободным концом гибкой нанотрубки, при этом пространственное отклонение ее выходящего отверстия в физическом пространстве, с помощью системы отклоняющих элементов, которые по 1 варианту электрического отклонения, в частности, представляют собой электроды, а по 2 варианту электромагнитного отклонения, в частности, представляют собой электромагниты.Thus, the technical result is achieved by introducing an ion flux into the fixed end of the nanotube and controlling the free end of the flexible nanotube while spatial deflection of its outlet in the physical space using a system of deflecting elements, which according to one embodiment of the electric deflection, in particular represent electrodes, and according to the 2 variant of electromagnetic deflection, in particular, they are electromagnets.

Таким образом, устройство осуществления метода содержит отклоняющую систему, состоящую из одного или нескольких электродов или из одного или нескольких пар электромагнитов.Thus, the method implementation apparatus comprises a deflection system consisting of one or more electrodes or one or more pairs of electromagnets.

Электроды и электромагниты отличаются друг от друга своими физическими свойствами, но каждый из которых успешно примененим в настоящем изобретении для достижения технического результата и эффективно выполняет свои задачи в отдельно для него поставленных целях и условиях и поэтому они представляют собой самостоятельно полноценные различные варианты элементов отклоняющей системы, при помощи которых перемещают свободный конец гибкой нанотрубки и, как результат, управляют ионным потоком, выходящим из нее.Electrodes and electromagnets differ from each other in their physical properties, but each of them is successfully used in the present invention to achieve a technical result and effectively performs its tasks in separate goals and conditions, and therefore they are independently complete various options for elements of a deflecting system, by which they move the free end of the flexible nanotube and, as a result, control the ion flow exiting from it.

Вариант 1.Option 1.

К нанотрубке, при этом по варианту 1 с электрической системой отклонения прикладывают постоянное электрическое напряжение, заряд и внутрь ее входного отверстия, при этом вводят и посылают поток ионов в любую заданую точку, расположенную в области движения свободного конца выходного отверстия нанотрубки.At the same time, according to option 1, with the electric deflection system, a constant electric voltage, charge and inside its inlet are applied, and an ion stream is introduced and sent to any given point located in the region of motion of the free end of the nanotube's outlet.

Электрические поля возникают из элементов отклонения, в частности из электродов при командной подаче на них электрического тока, чем воздействуют на незакрепленный конец нанотрубки, к которой приложено постоянное электрическое напряжение, заряд.Electric fields arise from deflection elements, in particular from electrodes, when an electric current is supplied to them, which affects the unsecured end of the nanotube, to which a constant electric voltage, charge is applied.

При этом электродами воздействуют на свободный конец нанотрубки и целенаправленно отклоняют его в горизонтальной плоскости его свободного движения, в результате чего управляют выходом потока ионов из выходного отверстия свободного конца нанотрубки в определенные точки пространства или входом из этих точек.In this case, the electrodes act on the free end of the nanotube and deliberately deflect it in the horizontal plane of its free movement, as a result of which the flow of ions from the outlet of the free end of the nanotube to certain points in space or the entrance from these points is controlled.

Для достижения указанной цели при управлении потоком ионов, как видно из вышеописанного, отказались от использования наноигл и от управляемой передвижной рабочей поверхности.To achieve this goal when controlling the flow of ions, as can be seen from the above, they refused to use nano-needles and from a controlled mobile work surface.

Вместо этого поток ионов направляется в нужную точку вместе с выходным отверстием иононесущего канала свободного конца нанотрубки, к которой при этом прикладывают постоянное электрическоеInstead, the ion flow is directed to the desired point along with the outlet of the ion-carrying channel of the free end of the nanotube, to which a constant electric

- 1 015719 напряжение.- 1 015719 voltage.

При этом свободный конец нанотрубки без физического контакта окружают системой отклонения, включающей в себя один или несколько, в частности по варианту 1, находящихся в горизонтальной плоскости пару вертикальных и пару горизонтальных электродов.In this case, the free end of the nanotube without physical contact is surrounded by a deflection system, which includes one or more, in option 1, a pair of vertical and a pair of horizontal electrodes located in the horizontal plane.

Электроды должны быть действующими и при этом могут быть любой формы.The electrodes must be valid and can be of any shape.

Электрическое поле, полученное с электродов, управляет движениями гибкого свободного конца нанотрубки, который при этом свободно перемещается в горизонтальной плоскости пространства по области движения ее гибкого конца, позволяя, таким образом, конструировать материалы, новые по своей ионной структуре, также в виде более простого примера позволяет формировать ионым потоком программно заданные наноэлектронные схемы, например, наноразмерные радиолампы.The electric field obtained from the electrodes controls the movements of the flexible free end of the nanotube, which freely moves in the horizontal plane of space along the region of motion of its flexible end, thus allowing the construction of materials new in their ionic structure, also in the form of a simpler example allows the formation of an ion beam programmed nanoelectronic circuits, for example, nanoscale radio tubes.

Метод управления потоком ионов по варианту 1, являющийся объектом данного изобретения, состоит в том, что из любого известного ионного источника ионый поток 1 подают во входящее отверстие 5В закрепленного конца 5А, как минимум одной нанотрубки 2, которая несет электрический заряд, для этого, в частности, к ней подводят электрическое напряжение И2 или создают оболочку с необходимыми электрическими свойствами.The method of controlling the ion flow according to embodiment 1, which is the object of the present invention, is that from any known ion source, the ion stream 1 is fed into the inlet 5B of the fixed end 5A of at least one nanotube 2 that carries an electric charge, for this, in particular, an electric voltage I2 is applied to it or a shell with the necessary electrical properties is created.

Нанотрубку 2 для этого укрепляют крепительным элементом 4, при этом свободный конец 5а гибкой нанотрубки 2, несущую внутри своей полости этот поток ионнов 1, физически перемещают в пространстве по области движения 6.For this, the nanotube 2 is strengthened with a fastening element 4, while the free end 5a of the flexible nanotube 2, carrying this stream of ions 1 inside its cavity, is physically moved in space along the region of motion 6.

При этом направляют и останавливают ее выходное отверстие 5а свободного конца нанотрубки в заранее заданой точке области движения 6, для этого подают командные импульсы-сигналы Ιδ1, Ιδ2 с элементов электронного управления К1, К.2; Т1,Т2 на элементы отклоняющей системы 3А, 3а; 3В, 3Ь, которыми в границах области движения 6 отклоняют свободный конец нанотрубки 5а с выходным, выводным отверстием 5в.At the same time, its outlet 5a of the free end of the nanotube is guided and stopped at a predetermined point of the motion region 6, for this, command pulses-signals Ιδ1, Ιδ2 from electronic control elements K1, K.2 are supplied; T1, T2 on the elements of the deflecting system 3A, 3a; 3B, 3b, by which, within the boundaries of the region of motion 6, the free end of the nanotube 5a is deflected with the outlet, outlet 5b.

В итоге, как результат, управляют ионным потоком 1, при этом целенаправленно посылают введеные ионы в любую заданную точку находящуюся в области движения 6 свободного конца нанотрубки 5а (фиг. 1)As a result, as a result, the ion flux 1 is controlled, while the introduced ions are purposefully sent to any given point located in the region of motion 6 of the free end of the nanotube 5a (Fig. 1)

При этом для осуществления этого метода, устройство управления потоком ионов (фиг. 2) в частности по варианту 1, включает в себя поток ионов 1, нанотрубку 2, крепительный элемент, нанотрубки 4, закрепленный конец нанотрубки 5А, свободный конец нанотрубки 5а, вход, ввод в отверстие закрепленного конца нанотрубки 5В, выход, вывод из отверстия свободного конца нанотрубки 5в, заряд, электрическое напряжение для управления нанотрубкой И2, как минимум один или несколько элементов электронного управления К1, К2; Т1, Т2, сигналы управления Ιδί, 1δ2; элементы отклоняющей системы 3А, 3а; 3В; 3в; подложку для конструирования, формирования, нанесения ионов Р, рабочий стол 8, лазерный излучатель Ь, луч лазера Ь1, картридж К, ионный материал ΙΜ, облако ионного испарения содержащее ионы 1т, поляризуещее электрическое напряжение И1, поверхностный электрод В.Moreover, to implement this method, the ion flow control device (Fig. 2) in particular according to embodiment 1, includes an ion flow 1, a nanotube 2, a fastener, nanotubes 4, a fixed end of the nanotube 5A, the free end of the nanotube 5a, an input, input into the hole of the fixed end of the nanotube 5B, exit, output from the hole of the free end of the nanotube 5v, charge, voltage to control the nanotube I2, at least one or more electronic controls K1, K2; T1, T2, control signals Ιδί, 1δ2; elements of the deflecting system 3A, 3a; 3B; 3c; a substrate for the construction, formation, deposition of ions P, a desktop 8, a laser emitter b, a laser beam b1, a cartridge K, an ion material ΙΜ, an ion evaporation cloud containing 1 m ions, a polarizing electric voltage I1, surface electrode B.

При этом нанотрубка 2, это как минимум одна полая углеродная или белковая трубка наноразмеров, которая имеет один или несклолько слоев оболочек с различными свойствами, в частности, при использовании трубчатых вирусов в качестве ионовода, их корпус покрывают металлом, создавая, в частности, золотую оболочку.In this case, nanotube 2 is at least one hollow carbon or protein nanoscale tube, which has one or several layers of shells with different properties, in particular when using tubular viruses as an ion guide, their body is covered with metal, creating, in particular, a gold shell .

При этом также нанотрубка 2 - это как минимум одна колоссальная углеродная нанотрубка с гигантским диаметром от 40 до 150 мкмIn addition, nanotube 2 is at least one colossal carbon nanotube with a giant diameter of 40 to 150 microns

При этом корпус картриджа К технологически открыт, любым действующим способом, для вхождения внутрь его, лазерного луча Ь1 из лазерного илучателя Ь, для испарения ионного материала ΙΜ, расположенного внутри катриджа К, как минимум по одному от каждого Ь, Ь1, ΙΜ.In this case, the cartridge case K is technologically open, by any applicable method, for entering the laser beam b1 from the laser emitter b into it, to vaporize the ion material ΙΜ located inside the cartridge K, at least one from each b, b1, b.

При этом корпус картриджа К технологически открыт для введения и закрепления внутри его любым действующим способом, как минимум одной нанотрубки 2.In this case, the cartridge housing K is technologically open for insertion and fixing inside it by any active method of at least one nanotube 2.

Вариант 2.Option 2

К нанотрубке при этом по варианту 2 с электромагнитной системой отклонения придают свойства магнита, при этом магнитное поле Ы-СЕВЕР-8-ЮГ распалагают вдоль тела свободного конца гибкой нанотрубки, при этом внутрь ее входного отверстия вводят поток ионов и посылают его в любую заданную точку, расположенную в области движения свободного конца выходного отверстия нанотрубки.In this case, according to option 2 with an electromagnetic system, the deviations give the properties of a magnet to the nanotube, while the Y-SEVER-8-YG magnetic field is arranged along the body of the free end of the flexible nanotube, while an ion stream is introduced into its inlet and sent to any given point located in the region of motion of the free end of the outlet of the nanotube.

Элетромагнитная система отклонения представляет собой, в частности, один или несколько электромагнитов, которые состоят из катушки на сердечнике и на которые подают электрическое напряжение, при этом у катушки меняют магнитное поле, которым воздействуют на магнит свободного конца нанотрубки и целенаправленно отклоняют его в горизонтальной плоскости его свободного движения, в результате чего управляют выходом потока ионов из выходного отверстия свободного конца нанотрубки в определенные точки пространства или входом из этих точек.The electromagnetic deflection system is, in particular, one or more electromagnets, which consist of a coil on the core and which are supplied with electrical voltage, while the coil changes the magnetic field that affects the magnet of the free end of the nanotube and deliberately deflects it in the horizontal plane of it free movement, as a result of which the exit of the ion flux from the outlet of the free end of the nanotube to certain points in space or the entrance from these points is controlled.

Для достижения указанной цели при управлении потоком ионов, как видно из вышеописанного, отказались от использования наноигл и от управляемой передвижной рабочей поверхности.To achieve this goal when controlling the flow of ions, as can be seen from the above, they refused to use nano-needles and from a controlled mobile work surface.

Вместо этого поток ионов направляется в нужную точку вместе с выходным отверстием иононесущего канала свободного конца нанотрубки.Instead, the ion flow is directed to the desired point along with the outlet of the ion-carrying channel of the free end of the nanotube.

При этом свободный конец нанотрубки без физического контакта окружают системой отклонения,In this case, the free end of the nanotube without physical contact is surrounded by a deflection system,

- 2 015719 включающей в себя один или несколько, в частности по варианту 2, находящихся в горизонтальной плоскости пару вертикальных и пару горизонтальных электромагнитов.- 2 015719 including one or more, in option 2, in the horizontal plane, a pair of vertical and a pair of horizontal electromagnets.

Электромагниты должны быть действующими и при этом могут быть любой формы.Electromagnets must be active and can be of any shape.

При этом нанотрубка 2 - это как минимум одна полая углеродная или белковая трубка наноразмеров, которая имеет один или несклолько слоев, оболочек с различными свойствами, в частности при использовании трубчатых вирусов в качестве ионовода их корпус покрывают металлом, создавая, в частности, золотую оболочку.At the same time, nanotube 2 is at least one hollow carbon or protein tube of nanosize, which has one or several layers, shells with different properties, in particular when using tubular viruses as an ion guide, their body is covered with metal, creating, in particular, a gold shell.

При этом также нанотрубка 2 - это как минимум одна колоссальная углеродная нанотрубка с гигантским диаметром от 40 до 150 мкмIn addition, nanotube 2 is at least one colossal carbon nanotube with a giant diameter of 40 to 150 microns

При этом корпус картриджа К технологически открыт любым действующим способом для вхождения внутрь его лазерного луча Ь1 из лазерного илучателя Ь, для испарения ионного материала ΙΜ, расположенного внутри катриджа К как минимум по одному от каждого Ь, Ь1, ΙΜ.In this case, the cartridge case K is technologically open by any active method for entering inside its laser beam b1 from the laser emitter b, for evaporating the ionic material ΙΜ located inside the cartridge K at least one from each b, b1, b.

При этом корпус картриджа К технологически открыт для введения и закрепления внутри его любым действующим способом как минимум одной нанотрубки 2.In this case, the cartridge housing K is technologically open for insertion and fixing inside it by any active method of at least one nanotube 2.

Перечень чертежейList of drawings

На фиг. 1 приведена принципиальная конструкция устройства для осуществления сущности изобретения;In FIG. 1 shows the basic design of a device for implementing the invention;

на фиг. 2 - вариант 1 электрической системы отклонения устройства управления ионным потоком;in FIG. 2 - option 1 of the electrical system deviation of the ion flow control device;

на фиг. 3 - вариант 2 электромагнитной системы отклонения устройства управления ионным потоком;in FIG. 3 - option 2 of the electromagnetic system deviation of the ion flow control device;

на фиг. 4 - схема взаимодействия элементов конструкции устройства с электрической системой отклонения;in FIG. 4 is a diagram of the interaction of structural elements of the device with the electrical deviation system;

на фиг. 5 - схема взаимодействия элементов конструкции устройства с электромагнитной системой отклонения;in FIG. 5 is a diagram of the interaction of structural elements of the device with the electromagnetic deflection system;

на фиг. 6 - схема узла взаимодействия электрического напряжения с выходящими из нанотрубки ионами для преоброзования их в атомы при электромагнитной системе отклонения;in FIG. 6 is a diagram of a node for the interaction of electric voltage with ions leaving the nanotube for their transformation into atoms with an electromagnetic deflection system;

на фиг. 7 - схема устройства управления потоком ионов в совокупности с системой перемещения всей конструкции по оси Ζ относительно подложки;in FIG. 7 is a diagram of an ion flow control device in combination with a system for moving the entire structure along the оси axis relative to the substrate;

на фиг. 8 - схема устройства управления потоком ионов как элемента конструкции поворотного станка карусельного типа.in FIG. 8 is a diagram of an ion flow control device as a structural member of a rotary machine of a carousel type.

Пример осуществления изобретенияAn example embodiment of the invention

Метод управления потоком ионов осуществляют (фиг. 1) следующим образом - поток ионов 1 вводят внутрь, во входное отверстие 5В закрепленного крепительным элементом 4 конца 5А гибкой полой нанотрубки 2, при этом выходное отверстие 5в свободного конца 5а гибкой нанотрубки 2 физически перемещают действующими исполнительными элементами как минимум в одном, в частности в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ, в границах области движения свободного конца и изнутри нанотрубки целенаправлено выводят поток ионов в любую заданную точку области движения.The ion flow control method is carried out (Fig. 1) as follows - the ion flow 1 is introduced inside, into the inlet 5B of the end 5A of the flexible hollow nanotube 2 fixed by the fastening element 4, while the outlet 5b of the free end 5a of the flexible nanotube 2 is physically moved by the acting actuating elements in at least one, in particular in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ, within the boundaries of the region of motion of the free end and from the inside of the nanotube, the ion flux is directed to any given point in the region movement.

Метод управления потоком ионов осуществляют устройством, которое работает следующим образом.The ion flow control method is carried out by a device that operates as follows.

Лазерный излучатель Ь лучом лазера Ь1 испаряет ионный материал ΙΜ, закрепленный внутри камеры прозрачного блока-картриджа К, и преобразовывает его в ионное облако 1т (фиг. 4, 5).The laser emitter b by the laser beam b1 evaporates the ion material ΙΜ fixed inside the chamber of the transparent block-cartridge K, and converts it into an ion cloud 1m (Fig. 4, 5).

Ионное облако 1т разделяется поляризующим электрическим напряжением И1 на отдельные ионы, которые собираются возле поверхностного электрода В. Полярность и величина напряжения И1 зависят от типа ионов.The ion cloud 1m is separated by a polarizing electric voltage I1 into individual ions, which are collected near the surface electrode B. The polarity and magnitude of the voltage I1 depend on the type of ions.

Сила давления ионного облака 1т в камере картриджа К вводит ионы испаренного ионного материала ΙΜ во входное отверстие 5В закрепенного конца нанотрубки 5А, зафиксированного крепительным элементом 4 в нижней части камеры картриджа К.The pressure of the ion cloud 1t in the chamber of the cartridge K introduces the ions of the evaporated ionic material вход into the inlet 5B of the fixed end of the nanotube 5A, fixed by the fastening element 4 in the lower part of the chamber of the cartridge K.

Сила давленния также проталкивает ионы по внутренней полости к выходному отверстию 5в свободного конца нанотрубки 5а, которая расположена в заданнй точке области движения 6 над столом 8 с подложкой Р.The pressure force also pushes ions through the internal cavity to the outlet 5c of the free end of the nanotube 5a, which is located at a given point in the region of motion 6 above table 8 with substrate R.

Вариант 1.Option 1.

При этом к нанотрубке 2, в частности как вариант 1, прикладывают, подводят электрическое напряжение И2, и свободный конец 5а которой без физического контакта окружен электродами (фиг. 2 АА, фиг. 4), 3А, 3а, 3В, 3Ь, которые соеденены с элементами управления К1, К2, Т1, Т2 электрические импульсы от которых изменяют электрическое напряжение на электродах по команде импульсных сигналов Ι81,182 .In this case, an electric voltage I2 is applied to the nanotube 2, in particular as an option 1, and the free end 5a of which is without physical contact surrounded by electrodes (Fig. 2 AA, Fig. 4), 3A, 3a, 3B, 3b, which are connected with controls K1, K2, T1, T2, electrical pulses from which change the voltage on the electrodes by command of pulse signals Ι81,182.

При этом эти изменяющиеся напряжения взаимодействуют с зарядом на нанотрубке 2 и отклоняют ее свободный конец 5а, физически перемещая его выходное отверстие 5в по пространству в границах области движения 6 свободного конца 5а нанотрубки 2.At the same time, these changing stresses interact with the charge on the nanotube 2 and deflect its free end 5a, physically moving its outlet 5c in space within the boundaries of the region of motion 6 of the free end 5a of nanotube 2.

При этом заряд и его полярность на нанотрубке 2 относительно стола 8, в частности, создают электрическое напряжение И2.In this case, the charge and its polarity on the nanotube 2 relative to the table 8, in particular, create an electric voltage I2.

При этом на подложку Р наносят рабочий материал 1т, ионы которого при необходимости преобраIn this case, a working material 1t is applied to the substrate P, whose ions, if necessary, are converted

- 3 015719 зовывают в атомы 1тА, для этого воздействуют (фиг. 6) на ионы электрическим напряжением И2, при этом полярность и величина напряжения И2 зависят от типа ионов и требований поставленной задачи, таким образом, управляют потоком ионов 1т или потоком атомов 1тА, который выводят из выходного отверстия свободного конца гибкой нанотрубки и целенаправленно (фиг. 7) моделируют модель при необходимости в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ или по плоскости расставляют на подложке Р, которую располагают на металлическом столе 8, которые при трехмерном моделировании моделей могут входить в конструкции поворотного станка карусельного типа.(фиг. 8) как неподвижные элементы.- 3 015719 are called 1tA atoms, for this they act (Fig. 6) on ions with an electric voltage of I2, while the polarity and magnitude of the voltage of I2 depend on the type of ions and the requirements of the task, thus controlling the flow of ions 1t or the flow of atoms 1tA, which is removed from the outlet of the free end of the flexible nanotube and purposefully (Fig. 7) model the model if necessary in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ or on a plane placed on a substrate P, which is placed on a metal table 8, which and three-dimensional modeling of models can be included in the design of the rotary machine of the carousel type. (Fig. 8) as fixed elements.

При этом положение свободного конца нанотрубки 5а определяют по разности потенциалов на элементах отклоняющей системы, в частности на электродах 3А, 3а, 3В, 3Ь.The position of the free end of the nanotube 5a is determined by the potential difference on the elements of the deflecting system, in particular on the electrodes 3A, 3a, 3B, 3b.

При этом полярность электрических напряжений Ш,И2 на устройстве определяют ионным материалом ΙΜ, в зависимости от того, что наносят на подложку анионы или катионы.In this case, the polarity of the electric voltages Ш, И2 on the device is determined by the ionic material ΙΜ, depending on what anions or cations are applied to the substrate.

При этом при необходимости моделируют сложносоставную модель в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ, для этого, в частности могут использовать поворотные многоярусные станки карусельного типа (фиг. 8), содержащие повортный подъемный ярус 7, направляющие движения по оси Ζ подъемного яруса 8, поворотный фиксированный ярус 9, элетромотор 10, высокоточный червячный шестереночный механизм 11.Moreover, if necessary, simulate a complex model in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ, for this, in particular, they can use rotary multi-tier machines of the carousel type (Fig. 8) containing a rotary lifting tier 7, guiding movements along the Ζ axis of the lifting tier 8, rotary fixed tier 9, electric motor 10, high-precision worm gear mechanism 11.

При их помощи выбирают необходимый картридж, который спускают-поднимают и слоями вставляют неоходимые ионы в моделируемый объект, основание которого располагают на подложке Р, которую устанавливают на металлическом столе 8, которые в виде станины для многоярусных вращающихся картриджей.With their help, the necessary cartridge is selected, which is lowered, lifted and the necessary ions are inserted into the simulated object, the base of which is placed on the substrate P, which is installed on a metal table 8, which is in the form of a bed for multi-tier rotating cartridges.

Устройство управления потоком ионов в применении варианта 1 содержит (фиг. 4) картридж К, лазерный излучатель Ь, луч излучателя Ь1, ионный материал ΙΜ, облако ионов 1т, поляризующее напряжение И1, поверхностный электрод В, поток ионнов 1, нанотрубку с постоянным электрическим зарядом, напряжением 2, крепительный элемент нанотрубки 4, закрепленный конец нанотрубки 5А, свободный конец нанотрубки 5а, вход, ввод в отверстие закрепленного конца нанотрубки 5В, выход, вывод из отверстия свободного конца нанотрубки 5в, переменное электрическое напряжение для управления нанотрубкой И2, как минимум один или несколько элементов электронного управления К1, К2. Т1, Т2, сигналы управления Ι§1, Ι§2, элементы электрической отклоняющей системы (фиг. 4) 3А, 3, 3В, 3Ь и (фиг. 7) 10, 11 перемещающие отверстие свободного конца нанотрубки 5в по осям ΧΥΖ, подложку Р для моделирования, нанесения ионов, рабочий стол 8.The ion flow control device in the application of option 1 contains (Fig. 4) a cartridge K, a laser emitter b, an emitter beam b1, ion material ΙΜ, a 1t ion cloud, polarizing voltage I1, surface electrode B, ion flow 1, a nanotube with a constant electric charge , voltage 2, the fastening element of the nanotube 4, the fixed end of the nanotube 5A, the free end of the nanotube 5a, the input, the input to the hole of the fixed end of the nanotube 5B, the output, the output from the hole of the free end of the nanotube 5v, alternating voltage I2 for controlling nanotube, at least one or more electronic control elements K1, K2. T1, T2, control signals Ι§1, Ι§2, elements of the electric deflecting system (Fig. 4) 3A, 3B, 3B, 3b and (Fig. 7) 10, 11 moving the hole of the free end of the nanotube 5c along the ям axes, the substrate P for modeling, deposition of ions, desktop 8.

Вариант 2.Option 2

Также к нанотрубке 2, в частности как вариант 2 (фиг. 3 А-А), придают свойства магнита, при этом магнитное поле Ν-ί.ΈΒΕΡ-8-ЮГ распалагают вдоль тела свободного конца полой нанотрубки 5а, при этом внутрь ее входного отверстия 5В вводят поток ионов 1 и посылают его в любую заданную точку, расположенную в области движения 6 свободного конца 5а выходного отверстия 5в нанотрубки 2, свободный конец 5а которой без физического контакта окружен электромагнитами (фиг. 5 А-А) 3А, 3а, 3В, 3Ь, которые соеденены с элементами управляющего напряжения И3А, И3а, И3В, И3Ь.Also, to the nanotube 2, in particular as option 2 (Fig. 3 A-A), the properties of a magnet are imparted, while the magnetic field Ν-ί. Ю-8-SG is arranged along the body of the free end of the hollow nanotube 5a, while inside its input holes 5B introduce a stream of ions 1 and send it to any given point located in the region of motion 6 of the free end 5a of the outlet 5b of nanotube 2, the free end 5a of which is without physical contact surrounded by electromagnets (Fig. 5A-A) 3A, 3a, 3B 3b, which are connected to the control voltage elements I3A, I3a, I3B, I3b.

При этом (фиг. 5 А-А) эти изменяющиеся напряжения И3А, И3а, И3В, И3Ь меняют магнитное поле катушек электромагнитов 3А, 3а, 3В, 3Ь, которым воздействуют на магнит Ν-ί.ΈΒΕΡ-8-ЮГ на свободном конце 5а нанотрубки 2 и отклоняют ее свободный конец 5а, физически перемещая (изл=0(18о шза,изв=(з(18О*)и зь) его выходное отверстие 5в по пространству в границах области движения 6 свободного конца нанотрубки 5а.In this case (Fig. 5 A-A), these changing voltages I3A, I3a, I3B, I3b change the magnetic field of the coils of electromagnets 3A, 3a, 3B, 3b, which affect the magnet Ν-ί.ΈΒΕΡ-8-SG at the free end 5a nanotubes 2 and deflect its free end 5a, physically moving (rad = 0 (18 ° ss, sv = (s (18O *) and ss) its outlet 5c in space within the boundaries of the region of motion 6 of the free end of nanotubes 5a.

При этом на подложку Р наносят рабочий материал 1т, ионы которого при необходимости преобразовывают в атомы 1тА, для этого воздействуют (фиг. 6) на ионы электрическим напряжением И2, при этом полярность и величина напряжения И2 зависят от типа ионов и требований поставленной задачи, таким образом, управляют потоком ионов 1т или потоком атомов 1тА, который выводят из выходного отверстия свободного конца гибкой нанотрубки и целенаправленно (фиг. 7) моделируют модель при необходимости послойно в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ, перемещают вверхвниз или по плоскости расставляют йЬ на подложке Р, которую располагают на металлическом столе 8, который как элемент может входить в конструкции поворотного станка карусельного типа (фиг. 8).In this case, a working material 1t is applied to the substrate P, whose ions are converted into 1tA atoms if necessary, for this they act (Fig. 6) on the ions with an electric voltage of I2, while the polarity and magnitude of the voltage of I2 depend on the type of ions and the requirements of the task, such Thus, they control the 1t ion flux or 1tA atomic flux, which is removed from the outlet of the free end of the flexible nanotube and purposefully (Fig. 7) model the model if necessary in layers in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ, eschayut vverhvniz or db plane are arranged on the substrate P, which is positioned on a metal table 8 which may be included as an element in the construction of the rotary machine carousel (FIG. 8).

При этом полярность и величина напряжения И2 зависят от типа ионов.In this case, the polarity and magnitude of the voltage I2 depend on the type of ions.

При этом полярность электрических напряжений И1, И2, И3 на устройстве определяется ионным материалом ΙΜ в зависимости от того, что наносят на подложку - анионы или катионы.In this case, the polarity of the electric voltages I1, I2, I3 on the device is determined by the ionic material ΙΜ depending on what is applied to the substrate — anions or cations.

При этом при необходимости моделируют сложносоставную модель, в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ, для этого, в частности, могут использовать поворотные многоярусные станки карусельного типа (фиг. 8), содержащие повортный подъемный ярус 7, направляющие движения по оси Ζ подъемного яруса 8, поворотный фиксированный ярус 9, электромотор 10, высокоточный червячный шестереночный механизм 11.In this case, if necessary, a complex model is simulated, in three dimensions along the axes of the coordinate system для, for this, in particular, they can use rotary multi-tier machines of the carousel type (Fig. 8) containing a rotary lifting tier 7, guiding movements along the Ζ axis of the lifting tier 8 , rotary fixed tier 9, electric motor 10, high-precision worm gear mechanism 11.

При их помощи выбирают необходимый картридж, который спускают-поднимают и слоями вставWith their help, they select the necessary cartridge, which is lowered, raised and rose in layers

- 4 015719 ляют неоходимые ионы в моделируемый объект, основание которого располагают на подложке Р, которую устанавливают на металлическом столе 8, которые в виде станины для многоярусных вращающихся картриджей.- 4 015719 pour the necessary ions into a simulated object, the base of which is placed on a substrate P, which is mounted on a metal table 8, which is in the form of a bed for multi-tier rotating cartridges.

В итоге, как результат, достигают управления ионным потоком в трехмерном направлении.As a result, as a result, control of the ion flux in the three-dimensional direction is achieved.

Устройство управления потоком ионов в применении варианта 2 содержит (фиг. 5) картридж К, лазерный излучатель Ь, луч излучателя Ь1, ионный материал ΙΜ, облако ионов 1т, поляризующее напряжение υΐ, поверхностный электрод В, поток ионов 1, нанотрубку с постоянным электрическим зарядом, напряжением 2, крепительный элемент нанотрубки 4, закрепленный конец нанотрубки 5А, свободный конец нанотрубки 5а, несущий магнит Ν-ΟΈΒΕΡ-8-ЮГ. вход, ввод в отверстие закрепленного конца нанотрубки 5В, выход, вывод из отверстия свободного конца нанотрубки 5В, переменное электрическое напряжение υ2, управляющее электрическое напряжение и3А, и3а, иЗВ, иЗЬ, элементы электромагнитной отклоняющей системы (фиг. 5), в частности электромагниты 3А, 3а, 3В, 3Ь и (фиг. 7) 10, 11, перемещающие отверстие свободного конца нанотрубки 5В по осям ΧΥΖ, подложка Р для моделирования, нанесения ионов, рабочий стол 8.The ion flow control device in the application of embodiment 2 contains (Fig. 5) a cartridge K, a laser emitter b, an emitter beam b1, ion material ΙΜ, a 1t ion cloud, polarizing voltage υΐ, surface electrode B, ion flow 1, a nanotube with a constant electric charge , voltage 2, the fastening element of the nanotube 4, the fixed end of the nanotube 5A, the free end of the nanotube 5a, bearing a magnet Ν-ΟΈΒΕΡ-8-SO. input, input to the hole of the fixed end of the nanotube 5V, exit, output from the hole of the free end of the nanotube 5V, alternating voltage υ2, control voltage u3A, u3a, uzv, uzb, elements of the electromagnetic deflecting system (Fig. 5), in particular electromagnets 3A , 3a, 3B, 3b and (Fig. 7) 10, 11, moving the hole of the free end of the nanotube 5B along the ΧΥΖ axes, the substrate P for modeling, ion deposition, desktop 8.

В частности, в рамках рассматриваемого примера устройства после нанесения на подложку атомов ионного материала и расставив при этом их в нужных местах, производится смена картриджа и к ранее установленным атомам расставляют по нужным местам атомы уже другого ионного материала.In particular, in the framework of the considered example of the device, after the deposition of atoms of ionic material on the substrate and placing them in the right places, the cartridge is changed and the atoms of another ionic material are placed in the right places to the previously installed atoms.

Количество картриджей при этом варианте устройства зависит от физического состава материалов конструируемого изделия.The number of cartridges in this embodiment of the device depends on the physical composition of the materials of the designed product.

Таким образом, авторы предлагают новый метод управления потоком ионов, который осуществляется путем отклонения перемещения пространственной позиции свободного конца гибкой нанотрубки, которая несет поток ионов.Thus, the authors propose a new method for controlling the ion flux, which is carried out by deflecting the displacement of the spatial position of the free end of the flexible nanotube, which carries the ion flux.

Данный метод управления потоком ионов и устройство его осуществления, являющиеся объектом данного изобретения, могут быть промышленно использованы в наноэлектронике, на химическом производстве, в медицине, в военной технике, в фотографии и прочих областях физики и химии.This method of controlling the flow of ions and the device for its implementation, which are the object of this invention, can be industrially used in nanoelectronics, in chemical production, in medicine, in military equipment, in photography and other fields of physics and chemistry.

Для метода управления ионным потоком применяется любая известная нанотрубка, в частности наноконус, или другая белковая или углеродная каркасная структуры. Вместо уже известных методов управления потоком ионов и связанных с такими методами устройств данное изобретение позволяет использовать новый более простой метод и новые устройства эффективно упрощенной конструкции, с меньшей потребностью в дорогостоящих материалах, меньшей себестоимости, эффективно обладающие большей скоростью работы, продуктивностью и большей точностью.For the ion flow control method, any known nanotube, in particular a nanocone, or other protein or carbon frame structure is used. Instead of the already known methods for controlling the flow of ions and the devices associated with such methods, this invention allows the use of a new simpler method and new devices of an efficiently simplified design, with less need for expensive materials, lower cost, efficiently possessing greater speed, productivity and greater accuracy.

Использование данного изобретения, например, в наноэлектронике позволяет создавать многоэтажным объемным способом архитектурную ионную структуру послойно создаваемого объекта любой сложности свойств, в частности наноразмерные объёмные ячейки компьютерной памяти, наноразмерные радиолампы и, что наиболее важно, подключить к процессу создания нанообъектов программное обеспечение. Доступность к построению ионной структуры в 3-х измерениях открывает новые возможности для исследователей и технологов.Using this invention, for example, in nanoelectronics, it is possible to create an architectural ionic structure in a multi-storey volumetric manner using a layer-by-layer object of any complexity of properties, in particular nanoscale volumetric computer memory cells, nanoscale radio tubes and, most importantly, connect software to the process of creating nano-objects. Accessibility to the construction of an ionic structure in 3 dimensions opens up new possibilities for researchers and technologists.

Материаловеды теперь могут моделировать не только по поверхности, но формировать также морфологию многослойных структур. С помощью данного изобретения технолог может моделировать послойно объект, при желании послойно изменяя его свойства.Material scientists can now model not only on the surface, but also form the morphology of multilayer structures. With the help of this invention, the technologist can simulate an object in layers, if desired, layer-by-layer changing its properties.

Таким образом, данное изобретение является идеальным средством для ионной инплантации, моделирования структурных свойств поликристаллических объектов и установления соответствия их строения с заданными теоретическими моделями.Thus, this invention is an ideal tool for ion implantation, modeling the structural properties of polycrystalline objects and establishing the correspondence of their structure with given theoretical models.

Этот метод и устройство управления ионным потоком открывают новые возможности в различных промышленных областях, где для дальнейшего прогресса требуется создание 3-мерных структур или функциональных блоков с нанометровыми размерами.This method and ion flow control device open up new possibilities in various industrial fields, where further progress requires the creation of 3-dimensional structures or functional blocks with nanometer dimensions.

Claims (7)

1. Способ управления потоком ионов, в котором поток ионов вводят внутрь во входное отверстие закрепленного крепежным элементом неподвижного конца гибкой нанотрубки, у которой свободный конец, содержащий выходное отверстие, физически перемещают посредством электрических, электромагнитных или электромеханических средств в пространстве по меньшей мере в одном направлении в границах области движения свободного конца для изменения пространственной позиции выходного отверстия, при этом введенные внутрь нанотрубки ионы выводятся в заранее заданную точку, находящуюся в области движения выходного отверстия свободного конца нанотрубки.1. The method of controlling the ion flow, in which the ion flow is introduced inside the inlet of the fixed end of the flexible nanotube fixed by the fastener, in which the free end containing the outlet is physically moved by means of electrical, electromagnetic or electromechanical means in space in at least one direction within the boundaries of the region of motion of the free end to change the spatial position of the outlet, while the ions introduced into the nanotube are removed in advance e is a given point located in the region of motion of the outlet of the free end of the nanotube. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна нанотрубка изначально обладает постоянным электрическим зарядом или к ней подводят электрическое напряжение, а для изменения пространственного положения подают переменные электрические импульсы-сигналы с элементов электронного управления на элементы отклоняющей системы, которыми создают переменное электрическое поле, воздействующее на постоянный электрический заряд нанотрубки, чем отклоняют ее свободный конец, при этом нанотрубка представляет собой полую углеродную или белковую трубку, которая имеет 2. The method according to claim 1, characterized in that at least one nanotube initially has a constant electric charge or an electric voltage is supplied to it, and to change the spatial position, variable electrical impulses-signals are sent from electronic control elements to elements of the deflecting system, which create an alternating electric field that acts on the constant electric charge of the nanotube, which deflects its free end, while the nanotube is a hollow carbon or white forged tube that has - 5 015719 один или несколько слоев в виде оболочек с различными свойствами.- 5 015719 one or more layers in the form of shells with various properties. 3. Способ по п.1 или 2, в котором используют лазерный излучатель для испарения ионного материала, закрепленного внутри камеры блока-картриджа для формирования ионного облака, при этом ионное облако разделяют поляризующим электрическим напряжением на отдельные ионы, которые собирают возле поверхностного электрода, а далее под действием силы давления ионного облака в камере картриджа вводят ионы испаренного материала во входное отверстие закрепленного в нижней части камеры картриджа конца нанотрубки и проталкивают ионы по внутренней полости к выходному отверстию, при этом к нанотрубке прикладывают постоянное электрическое напряжение, а ее свободный конец окружают без физического контакта электродами, которые соединяют с элементами управления, электрическими импульсами которых изменяют электрическое напряжение на электродах для отклонения ее свободного конца, при этом электрическое напряжение создает заряд на нанотрубке относительно стола, а полярность электрических напряжений на картридже зависит от того, что наносят на подложку - анионы или катионы.3. The method according to claim 1 or 2, in which a laser emitter is used to evaporate ionic material fixed inside the chamber of the cartridge block to form an ionic cloud, wherein the ionic cloud is separated by polarizing electric voltage into individual ions that are collected near the surface electrode, and then, under the action of the pressure of the ion cloud in the chamber of the cartridge, the ions of the evaporated material are introduced into the inlet of the end of the nanotube fixed in the lower part of the chamber of the cartridge and the ions are pushed through the internal floor at the outlet, in which case a constant electric voltage is applied to the nanotube, and its free end is surrounded without physical contact by electrodes that are connected to control elements whose electric pulses change the voltage on the electrodes to deflect its free end, while the electric voltage creates a charge on the nanotube relative to the table, and the polarity of the electrical voltage on the cartridge depends on what is applied to the substrate - anions or cations. 4. Способ по любому из пп.1, 2, 3, отличающийся тем, что слоями моделируют модель в трех измерениях по осям системы координат ΧΥΖ, для этого используют электрические или электромагнитные средства отклонения выходного отверстия свободного конца гибкой нанотрубки, которое перемещают вперед-назад, вправо-влево и вверх-вниз, при этом используют поворотные многоярусные станки карусельного типа, содержащие поворотный подъемный ярус, направляющие движения по оси Ζ подъемного яруса, поворотный фиксированный ярус, электромотор, высокоточный червячный шестереночный механизм, при этом выбирают необходимый картридж, который спускают-поднимают, выводят и слоями вставляют необходимые ионы в моделируемый объект, основание которого располагают на подложке, которую устанавливают на металлическом столе, и как результат, достигают управления ионным потоком в трехмерном направлении.4. The method according to any one of claims 1, 2, 3, characterized in that the layers model the model in three dimensions along the axes of the coordinate system ΧΥΖ, for this use electric or electromagnetic means of deflecting the outlet of the free end of the flexible nanotube, which is moved back and forth , right-left and up-down, using rotary multi-tier machines of the carousel type, containing a rotary lifting tier, guiding movements along the Ζ axis of the lifting tier, a fixed rotary tier, an electric motor, a high-precision worm gear mechanism, in this case, the necessary cartridge is selected, which is lowered, raised, removed and the necessary ions are inserted in layers into the simulated object, the base of which is placed on a substrate, which is mounted on a metal table, and as a result, the ion flux is controlled in three dimensions. 5. Устройство для осуществления способа по пп.1, 2, 3, включающее подложку для моделирования и нанесения ионов, рабочий стол, по меньшей мере одну нанотрубку с постоянным электрическим зарядом или средством приложения к ней напряжения, крепежный элемент, фиксирующий вводное отверстие нанотрубки, средство создания переменного электрического напряжения для управления нанотрубкой, по меньшей мере один электрод, по меньшей мере один источник сигнала управления, при этом свободный конец нанотрубки без физического контакта находится в зоне воздействия одного или нескольких электродов.5. A device for implementing the method according to claims 1, 2, 3, including a substrate for modeling and deposition of ions, a desktop, at least one nanotube with a constant electric charge or means for applying voltage to it, a fastener fixing the input opening of the nanotube, means for generating an alternating electric voltage for controlling a nanotube, at least one electrode, at least one source of a control signal, while the free end of the nanotube without physical contact is in the zone of Procedure of one or more electrodes. 6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что содержит один или несколько элементов электронного управления.6. The device according to claim 5, characterized in that it contains one or more electronic controls. 7. Устройство по любому из пп.5 и 6, отличающееся тем, что нанотрубка имеет вид наноконуса, нанооболочки или наноспирали и изготовлена из углерода или имеет вид коаксиального нанокабеля, оболочка-изолятор которого представляет собой пленку из оксида металла, или представляет собой полую белковую нанотрубку, такую как трубчатый вирус, оболочка которого покрыта пленкой из оксида металла и состоит по меньшей мере из одного слоя.7. The device according to any one of paragraphs.5 and 6, characterized in that the nanotube has the form of a nanocone, nanoshell or nanoshelix and is made of carbon or has the form of a coaxial nanocable, the insulator shell of which is a metal oxide film, or is a hollow protein a nanotube, such as a tubular virus, the shell of which is coated with a film of metal oxide and consists of at least one layer.
EA200900191A 2008-02-13 2009-02-13 Method and device for guiding of the ion flow EA015719B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EEU200800023 2008-02-13
EEU200800024 2008-02-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA200900191A1 EA200900191A1 (en) 2009-10-30
EA015719B1 true EA015719B1 (en) 2011-10-31

Family

ID=41149154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA200900191A EA015719B1 (en) 2008-02-13 2009-02-13 Method and device for guiding of the ion flow

Country Status (2)

Country Link
EA (1) EA015719B1 (en)
EE (1) EE200900010A (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1270496A (en) * 1969-10-21 1972-04-12 Philips Electronic Associated Ion source for slow-ion sputtering
EP0328076A2 (en) * 1988-02-08 1989-08-16 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Thin film forming apparatus and ion source utilizing sputtering with microwave plasma
JPH05171426A (en) * 1991-12-24 1993-07-09 Agency Of Ind Science & Technol Laser ion plating device
US5317148A (en) * 1991-05-22 1994-05-31 Loral Corporation IR/ladar scanner

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1270496A (en) * 1969-10-21 1972-04-12 Philips Electronic Associated Ion source for slow-ion sputtering
EP0328076A2 (en) * 1988-02-08 1989-08-16 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Thin film forming apparatus and ion source utilizing sputtering with microwave plasma
US5317148A (en) * 1991-05-22 1994-05-31 Loral Corporation IR/ladar scanner
JPH05171426A (en) * 1991-12-24 1993-07-09 Agency Of Ind Science & Technol Laser ion plating device

Also Published As

Publication number Publication date
EA200900191A1 (en) 2009-10-30
EE200900010A (en) 2009-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110337359A (en) Use the increasing material manufacturing in mobile building space
CN110177676A (en) Large scale increases material machine
JP6530081B2 (en) Method and system for layering three-dimensional models from powder materials
US20160375492A1 (en) Application of magnetic fields in additive manufacturing
US20140054817A1 (en) Three-dimensional printer
CN109228304A (en) A kind of 3 D-printing device of electric field induction auxiliary electrojet
Splatt et al. Deterministic reordering of 40Ca+ ions in a linear segmented Paul trap
Becker et al. Feedback control of many magnetized: Tetrahymena pyriformis cells by exploiting phase inhomogeneity
WO2009033150A1 (en) Pitch, roll, and yaw motions for electromagnet arrays
JP6619092B2 (en) 3D structure manufacturing apparatus and manufacturing method for cells
WO2001025504A1 (en) Micro three-dimensional structure, production method therefor and production device therefor
US8859999B2 (en) Movement-free bending method for one-dimensional or two-dimensional nanostructure using ion beam
Sokolich et al. Modmag: A modular magnetic micro-robotic manipulation device
JP6802218B2 (en) Modeling material coating device
EA015719B1 (en) Method and device for guiding of the ion flow
CN104493321B (en) Linear cutting machine
EA015720B1 (en) Method and device for guiding of the ion flow
Subendran et al. An aquatic microrobot for microscale flow manipulation
JP2006518923A (en) Mass spectrometer with improved mass filter and ion detector
Tsumori et al. Magnetic actuator using interaction between micro magnetic elements
Shakir et al. Nanoscale path planning and motion control with maglev positioners
Zhang et al. Novel 3D magnetic tweezer system for microswimmer manipulations
CN114888798A (en) Micro-robot motion control system based on oscillating magnetic field platform
CN116476029A (en) Micro drug-carrying robot system based on photo-magnetic double control and control method
Ayanian et al. Stochastic control for self-assembly of XBots

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG MD TJ TM

MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): RU