DK2804716T3 - Fremgangsmåde og indretning til materialebearbejdning med en af en fiberlaser frembragt pulseret laserstråle - Google Patents
Fremgangsmåde og indretning til materialebearbejdning med en af en fiberlaser frembragt pulseret laserstråle Download PDFInfo
- Publication number
- DK2804716T3 DK2804716T3 DK13704014.3T DK13704014T DK2804716T3 DK 2804716 T3 DK2804716 T3 DK 2804716T3 DK 13704014 T DK13704014 T DK 13704014T DK 2804716 T3 DK2804716 T3 DK 2804716T3
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- laser
- output power
- laser beam
- fiber
- coupling element
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/705—Beam measuring device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
- H01S3/067—Fibre lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/1312—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation by controlling the optical pumping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
FREMGANGSMÅDE OG INDRETNING TIL MATERIALEBEARBEJDNING MED EN AF EN FIBERLASER FREMBRAGT PULSERET LASERSTRÅLE
BESKRIVELSE Nærværende opfindelse angår en fremgangsmåde til materialebearbejdning med en af en fiberlaser frembragt pulseret laserstråle. Opfindelsen angår desuden en til udøvelse af fremgangsmåden egnet indretning.
Ved materialebearbejdningen med en laserstråle anvendes der på grund af dennes kompakte opbygning, dennes høje virkningsgrad og den høje strålekvalitet af den af denne frembragte laserstråle til stadighed hyppigere fiberlasere. Især ved anvendelser, ved hvilke materialet smeltes med en pulserende laserstråle, har der imidlertid vist sig en række fremstillingstekniske problemer. Således har der i forbindelse med smeltning og sammensmeltning af uorganiske, eksempelvis metalliske eller keramiske pulvere, eller organiske pulvere, opstået mangler i form af en dannelse af lunker eller steder med ringere tæthed. Også i forbindelse med svejseapplikationer blev der observeret uensartede svejsesømme eller i forbindelse med punktsvejsninger kvalitativt mindreværdige svejsninger.
De betragtede negative effekter er i det væsentlige forårsaget af en, ved starten af laseremissionen, især i forbindelse med cw-fiberlasere eller hurtigt modulerede gain-switch fiberlasere udpræget optrædende, primær relaksationsimpuls eller -spids, hvis effekt kan udgøre flere gange den nominelle cw-effekt. I diagrammet i fig. 1 viser kurve a det typiske tidsmæssige forløb for udgangseffekten P af den af en fiberlaser genererede laserstråle, når denne styres, som pumpelyskilde anvendt diodelaser, med en i kurve b vist strømimpuls. I dette diagram kan det ses, at starten af laseremissionen er forsinket i forhold til starten af strømimpulsen I med en tid td. Udgangseffekten P stiger så hurtigt til en maksimal værdi Ppeak, for så efter denne korte stigning at svinge ind til cw-effekten Pcw, som i eksemplet kun udgør 20% af den maksimale effekt Ppeak i relaksationsimpulsen. Forsinkelsestid td, maksimalværdien Ppeak og bredde tw af relaksationsimpulsen afhænger i den forbindelse blandt andet af impulsfrekvensen, impulsbredden og den tilstræbte cw-effekt Pcw. I EP 2 136 439 A2 foreslås det derfor at undertrykke relaksationsimpulsen ved styring af den til den som pumpelyskilde anvendte diodelaser tilførte strømimpuls, idet denne i et første tidsafsnit styres til en lavere startværdi, ved hvilken laserudgangseffekten under alle omstændigheder opnår en værdi, som er så lav, at optræden af en relaksationsimpuls forhindres. I et andet tidsafsnit bliver så strømimpulsen styret til en slutværdi. Afhængigt af den tilstræbte slutværdi for laserudgangseffekten kan det, ved passende valg af laserudgangseffekten i det første tidsafsnit og dettes varighed, undgås, at der optræder en relaksationsimpuls.
Opfindelsen har nu til hensigt at angive en fremgangsmåde til materialebearbejdning med en af en fiberlaser genereret pulseret laserstråle, hvormed de ovenfor nævnte ugunstige virkninger i høj grad undgås. Desuden er det hensigten med opfindelsen at angive en indretning til udøvelse af fremgangsmåden.
Med hensyn til fremgangsmåden bliver den nævnte hensigt ifølge opfindelsen opnået ved en fremgangsmåde med de i patentkrav 1 angivne træk, i overensstemmelse med hvilke et i strålegangen for laserstrålen anbragt optisk koblingselement tidligst sluttes, når udgangseffekten fra laserstrålen er faldet under en forudbestemt værdi.
Ved passende valg af den forudbestemte værdi begynder materialebearbejdningen tidligst, når, i forbindelse med optræden af en relaksationsspids, dennes effekt er faldet til en værdi, ved hvilken de ovenfor nævnte ulemper ikke længere optræder. I overensstemmelse hermed er bearbejdningsresultaterne ved materialebearbejdningen, ved hvilken en smeltning eller påsmeltning af materialet er en væsentlig bestanddel af bearbejdningsprocessen, væsentligt forbedrede.
Med slutning af et optisk koblingselement forstås i det følgende en proces, ved hvilken koblingselementet sættes i en tilstand, i hvilken laserstrålen transmitteres. Når den forudbestemt værdi udgør to gange den indenfor pulsvarigheden ved opnåelse af en cw-drift fremkomne cw-udgangseffekt, kan de ovenfor nævnte ulemper pålideligt undgås.
Eftersom de opnåede bearbejdningsresultater er så meget bedre, jo mindre forskellen imellem den ved starten af impulsen optrædende maksimale effekt og den efterfølgende indstillede cw-effekt, er det i en foretrukken udførelsesform ifølge opfindelsen foreskrevet, at udgangseffekten fra laserstrålen ved slutning af det optiske koblingselement højest overskrider cw-udgangseffekten med 50%, fortrinsvis højst 10%. Når en med effekten for laserstrålen korreleret målestørrelse detekteres og anvendes til styring af koblingselementet, kan besværlige kalibreringsmålinger, som karakteriserer indkoblingsforholdene for fiberlaseren og koblingsforholdene for det optiske koblingselement og i givet fald kontrolmålinger, som skal gennemføres med regelmæssige tidsafstande, med henblik på fastlæggelse af koblingstidspunktet, bortfalde.
Med hensyn til indretningen bliver hensigten i overensstemmelse med opfindelsen løst ved de træk, som er angivet i patentkrav 6, som svarer analogt til de i krav 1 angivne træk.
Til videre forklaring af opfindelsen henvises til de i figurerne viste udførelseseksempler. På tegningen viser:
Fig. 1 et diagram, i hvilket strømimpulsen I i vilkårlige enheder (w.E.) til styringen af en til optisk pumpning anvendt diodelaser samt udgangseffekten P for en på denne måde i overensstemmelse med den kendte teknik optisk pumpet fiberlaser er vist som funktion af tiden t,
Fig. 2 et til udøvelse af fremgangsmåden i overensstemmelse med opfindelsen egnet laseranlæg i en skematisk principafbildning,
Fig. 3 et diagram, ved hvilket ligeledes udgangseffekten P fra fiberlaseren og strømimpuslen I er vist som funktion af tiden t, og hvor den primære relaksationsspids blokeres ved hjælp af det optiske koblingselement,
Fig. 4 en fordelagtig udførelsesform for et til udøvelse af fremgangsmåden i overensstemmelse med opfindelsen egnet laseranlæg med en i strålegangen for laserstrålen anbragt strålingsdetektor til detektion af en med udgangseffekten korreleret målestørrelse.
Ifølge figur 2 indeholder et laseranlæg en fiberlaser 2, hvis laserfiber 4 pumpes optisk af en diodelaser 6. Det af diodelaseren 6, som regel i et arrangement af adskillige enkeltemittere, emitterede pumpelys A (pumperlaserimpuls) bliver indkoblet i langs laserfiberen 4 anbragte pumpefibre eller i en kappe på laserfiberen 4 og når derfra ind i den laseraktive fiberkerne. Den af laserfiberen 4 genererede laserstråle L bliver ved hjælp af en symbolsk anskueliggjort afbildnings- og strålingsføringsindretning 8 fokuseret på et materiale 10, som skal bearbejdes. Diodelaseren 6 forsynes af en styrbar strømkilde 12 med en strømimpuls I. Strømkilden 12 styres med et styresignal S1 fra en central styreenhed 14, idet der ud over højde og varighed af strømimpulsen I også variabelt kan styres dennes impulsform 12. Styreenheden 14 styrer via yderligere styresignaler S2, S3 den relative bevægelse imellem materiale 10 og laserstråle 11, samt yderligere procesparametre for bearbejdningsprocessen.
Laserfiberen 4 er eksternt efterkoblet et af styreenheden styret optisk koblingselement 16, eksempelvis en optisk kobler, en omskiftelig absorber eller en omskiftelig reflektor, som efter en forsinkelsestid Td først derefter sluttes og transmitterer laserstrålen L i retning mod materialet 10, når den primære relaksationsimpuls er klinget af og udgangseffekten for laserstrålen er faldet under en forudbestemt værdi. Denne værdi afhænger af typen af materialebearbejdning, materialet og den til bearbejdningen tilstræbte effekt og skal alt efter anvendelsessituationen eksperimentelt tilvejebringes. I overensstemmelse hermed kan diodelaseren 6 styres med en rektangulært formet strømimpuls I, ved hvilken optræden af en relaksationsimpuls er uundgåelig, eftersom denne i det mindste delvist optisk blokeres, dvs. ikke ledes til materialet.
Dette er vist i diagrammet i figur 3, hvor forsinkelsestiden Td er så stor, at laserfiberen ved slutning af det optiske koblingselement allerede er overgået til en cw-drift med i det mindste tilnærmelsesvis konstant udgangseffekt P og i overensstemmelse med den i kurven a viste, til materialebearbejdning anvendte laserimpuls ikke har nogen overhøjde. Impulsvarigheden Tc for den i kurve b viste rektangulært formede strømimpuls I, er i den forbindelse med forsinkelsestiden Td længere, med henblik på at opnå en for bearbejdningsprocessen tilstræbt henholdsvis nødvendig impulsvarlighed Tp for laserimpulsen.
Styringsparametrene for fiberlaseren, i ansøgningen eksempelvis anskueliggjort med den til styring af diodelaseren anvendt strømimpuls, eller koblingsforholdene for det optiske koblingselement 16, afhænger i den forbindelse af indkoblingsforholdene for den respektive anvendte fiberlaser og skal på forhånd bestemmes for i det mindste hver fiberlasertype ved måling og lagres i styreindretningen 14.
En sådan forudgående kalibrering henholdsvis regelmæssig kontrolmåling og fornyet fastlæggelse af styreparametrene for strømkilden eller koblingstidspunktet for det optiske koblingselement kan bortfalde, når der i udførelsesformen for laseranlægget ifølge figur 4 detekteres en med udgangseffekten fra fiberlaseren korreleret målestørrelse. Hertil bliver eksempelvis en mindre del af laserstrålen udkoblet ved refleksion og effekten af den udkoblede laserstråle detekteret i en strålingsdetektor 18. Det af strålingsdetektoren 18 genererede målesignal M bliver ført videre til den centrale styreenhed 14. Ud fra målesignalet M afledes et styresignal S1 til styring af det optiske koblingselement 16, idet det optiske koblingselement 16 sluttes, når eksempelvis i styreenheden 14 en udklingning af effekten af relaksationsimpulsen til en forudbestemt værdi, eksempelvis en til dennes maksimum refererende procentværdi, er fastslået. Særligt godt reproducerbare bearbejdningsresultater kan opnås, når den forudbestemte værdi udgør i det mindste 2 gange, fortrinsvis i det mindste 1,5 gange, særligt i det mindste 1,1 gange den tilstræbte cw-effekt, eller når opnåelse af et cw-plateau er fastslået.
En sådan, i overensstemmelse med opfindelsen foretrukken minimal forsinkelsestid Td,min er vist i diagrammet i figur 3, hvor det optiske koblingselement 16 allerede indkobles, når udgangseffekten P for relaksationsimpulsen er klinget af til omtrent to gange den, i det viste eksempel udgørende omtrent 200 W, cw-effekt, og i dette eksempel har nået en værdi på omtrent 400 W. I praksis har det nemlig vist sig, at det også kan være tilstrækkeligt, at den af en relaksationsspids optrædende startoverskridelse, dvs. den ved tidlig trigning (slutning) af koblingselementet i triggertidspunktet stadig i den afklingende flanke foreliggende udgangseffekt P ikke overskrider to gange cw-udgangseffekten Pcw. I de eksempelvis viste diagrammer er rektangulært formede laserimpulser vist, ved hvilke udgangseffekten i cw-drift er konstant. Grundlæggende er imidlertid også impulsformer mulige, ved hvilke udgangseffekten i cw-drift ikke er konstant, men eksempelvis er moduleret. I de viste udførelseseksempler er det optiske koblingselement 16 anbragt uden for laserfiberen 4. Grundlæggende er det imidlertid også muligt at integrere koblingselementet 16 i laserfiberen 4.
Claims (8)
1. Fremgangsmåde til materialebearbejdning med en af en laserfiber (4) genereret pulseret laserstråle (L), kendetegnet ved et eksternt i forhold til laserfiberen (4) efterkoblet optisk koblingselement (16), hvor det i strålegangen for laserstrålen (L) anbragte optiske koblingselement (16) tidligst sluttes og sættes i en tilstand, i hvilken laserstrålen transmitteres, når udgangseffekten (P) for laserstrålen (L) er faldet under en forudbestemt værdi.
2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, ved hvilken det optiske koblingselement (16) tidligst sluttes, når udgangseffekten (P) for laserstrålen (L) er faldet til under to gange den indenfor pulsvarigheden ved opnåelse af en cw-drift fremkomne cw-udgangseffekt (Pcw).
3. Fremgangsmåde ifølge krav 2, ved hvilken udgangseffekten fra laserstrålen (L) ved slutning af det optiske koblingselement (16) højst overskrider cw-udgangseffekten (Pcw) med 50%.
4. Fremgangsmåde ifølge krav 2, ved hvilken udgangseffekten fra laserstrålen (L) ved slutning af det optiske koblingselement (16) højst overskrider cw-udgangseffekten (Pcw) med slutning af det optiske koblingselement (16) med 10%.
5. Fremgangsmåde ifølge ethvert af kravene 1-4, ved hvilken en med udgangseffekten (P) for laserstrålen (L) korreleret målestørrelse (M) detekteres og anvendes til styring af koblingselementet (16).
6. Indretning til materialebearbejdning med en af en fiberlaser (2) genereret pulserende laserstråle (L), med en diodelaser (6) til pumpning af laserfiberen (4) i fiberlaseren (2), en styrbar strømkilde (12) til forsyning af diodelaseren (6) med en strømimpuls (I), kendetegnet ved et i strålegangen for laserstrålen (L) anbragt optisk koblingselement (16), som eksternt er efterkoblet laserfiberen (4), samt med en styreenhed (14) til udøvelse af fremgangsmåden ifølge ethvert af kravene 1-4.
7. Indretning ifølge krav 6, med en strålingsdetektor (18) til måling af en med udgangseffekten (P)for laserstrålen (L) korreleret målestørrelse (M), ved hvilken styreenheden (14) er indrettet til udøvelse af fremgangsmåden ifølge krav 5.
8. Indretning ifølge krav 6 eller 7, hvor det optiske koblingsselement (16) er integreret i laserfiberen (4).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012200849 | 2012-01-20 | ||
DE102012208330 | 2012-05-18 | ||
PCT/EP2013/050905 WO2013107846A1 (de) | 2012-01-20 | 2013-01-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit einem von einem Faserlaser erzeugten gepulsten Laserstrahl |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DK2804716T3 true DK2804716T3 (da) | 2018-07-30 |
Family
ID=47714025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DK13704014.3T DK2804716T3 (da) | 2012-01-20 | 2013-01-18 | Fremgangsmåde og indretning til materialebearbejdning med en af en fiberlaser frembragt pulseret laserstråle |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140334509A1 (da) |
EP (1) | EP2804716B1 (da) |
JP (1) | JP2015509049A (da) |
DE (1) | DE102013100506A1 (da) |
DK (1) | DK2804716T3 (da) |
ES (1) | ES2677904T3 (da) |
TW (1) | TWI537081B (da) |
WO (1) | WO2013107846A1 (da) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015001321A1 (de) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | PicoQuant Innovations GmbH | Verfahren zur Unterdrückung des initialen optischen Relaxationspulses einer gewinngeschalten Laserdiode |
US9871339B1 (en) * | 2016-12-15 | 2018-01-16 | Raytheon Company | Laser transmitter for generating a coherent laser output signal with reduced self-phase modulation and method |
KR20210104062A (ko) | 2018-12-19 | 2021-08-24 | 쇠라 테크널러지스 인코포레이티드 | 2차원 인쇄를 위해 펄스 변조 레이저를 사용하는 적층 제조 시스템 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0746742B2 (ja) * | 1985-12-27 | 1995-05-17 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | レーザ加工機 |
US5151909A (en) * | 1990-10-16 | 1992-09-29 | Laserscope | Frequency doubled solid state laser having programmable pump power modes and method for controllable lasers |
WO2005016586A2 (en) * | 2003-08-19 | 2005-02-24 | Electro Scientific Industries, Inc | Methods of link processing using lasers |
DE102005034106A1 (de) * | 2005-07-21 | 2007-01-25 | Carl Baasel Lasertechnik Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Erzeugen eines Laserpulses für die Feinbearbeitung von Werkstücken mit einem Faserlaser |
DE102005060487A1 (de) * | 2005-11-17 | 2007-05-31 | Technische Universität Berlin | Festkörperlasersystem und Verfahren zum Betreiben |
US7872794B1 (en) * | 2007-01-21 | 2011-01-18 | Lockheed Martin Corporation | High-energy eye-safe pulsed fiber amplifiers and sources operating in erbium's L-band |
JP5354969B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2013-11-27 | ミヤチテクノス株式会社 | ファイバレーザ加工方法及びファイバレーザ加工装置 |
US8238390B2 (en) * | 2008-06-27 | 2012-08-07 | Institut National D'optique | Methods for stabilizing the output of a pulsed laser system having pulse shaping capabilities |
-
2013
- 2013-01-18 DE DE102013100506A patent/DE102013100506A1/de not_active Withdrawn
- 2013-01-18 WO PCT/EP2013/050905 patent/WO2013107846A1/de active Application Filing
- 2013-01-18 EP EP13704014.3A patent/EP2804716B1/de active Active
- 2013-01-18 DK DK13704014.3T patent/DK2804716T3/da active
- 2013-01-18 ES ES13704014.3T patent/ES2677904T3/es active Active
- 2013-01-18 JP JP2014552628A patent/JP2015509049A/ja active Pending
- 2013-01-21 TW TW102102187A patent/TWI537081B/zh active
-
2014
- 2014-07-21 US US14/336,025 patent/US20140334509A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013107846A1 (de) | 2013-07-25 |
US20140334509A1 (en) | 2014-11-13 |
EP2804716B1 (de) | 2018-04-18 |
EP2804716A1 (de) | 2014-11-26 |
ES2677904T3 (es) | 2018-08-07 |
TW201402258A (zh) | 2014-01-16 |
JP2015509049A (ja) | 2015-03-26 |
DE102013100506A1 (de) | 2013-07-25 |
TWI537081B (zh) | 2016-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101445986B1 (ko) | 각각의 레이저 펄스의 파워의 변화를 가진, 특히 용접을 위한, 펄스된 레이저 머시닝 방법 및 펄스된 레이저 머시닝 장비 | |
KR101906015B1 (ko) | 단펄스 레이저의 임의 트리거링을 위한 이득 제어 | |
DK2804716T3 (da) | Fremgangsmåde og indretning til materialebearbejdning med en af en fiberlaser frembragt pulseret laserstråle | |
US7953126B2 (en) | Fiber laser processing method and fiber laser processing apparatus | |
US9180052B2 (en) | Method and device for non-invasive temperature determination in biological tissue treated with treatment radiation | |
JP2021010017A (ja) | レーザ衝撃ピーニング処理において使用するための方法および装置 | |
CN103986054B (zh) | 用于主动控制种子激光器的光输出的方法 | |
CN111822849B (zh) | 激光处理系统及处理方法 | |
KR101617080B1 (ko) | 레이저 가공장치 및 레이저 가공방법 | |
CN1572049A (zh) | 脉冲振荡型固体激光器装置和激光加工装置 | |
WO2020108490A1 (zh) | 一种激光器及其出光控制方法、装置及激光设备 | |
AU2018235246B2 (en) | Laser device for material processing | |
JP2006105802A (ja) | 距離測定装置 | |
JP2006303235A (ja) | 出力安定化機構を有するフェムト秒レーザー装置 | |
KR102208679B1 (ko) | 레이저 에너지를 이용하여 납땜 재료 부착물을 용융시키는 레이저 장치 및 방법 | |
JP6259367B2 (ja) | レーザ加工装置、その制御方法、及び、スパークプラグの製造方法 | |
CN210731347U (zh) | 一种基于温度检测的激光加工设备 | |
KR101371199B1 (ko) | 더블펄스 레이저 발생장치 및 더블펄스 레이저 발생방법 | |
KR20160127461A (ko) | 레이저 가공 장치 및 그 가공방법 | |
RU2016108827A (ru) | Способ генерации широкополосного оптического излучения с высокой яркостью | |
WO2018123035A1 (ja) | ターゲット撮影装置及び極端紫外光生成装置 | |
JP2018099692A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
US11801570B2 (en) | Laser processing machine | |
US20140118724A1 (en) | Analyseur Spatial de Faisceau Laser a Reglage Automatique | |
JP2015188932A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |