DK123832B - Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. - Google Patents

Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.

Info

Publication number
DK123832B
DK123832B DK618468A DK618468A DK123832B DK 123832 B DK123832 B DK 123832B DK 618468 A DK618468 A DK 618468A DK 618468 A DK618468 A DK 618468A DK 123832 B DK123832 B DK 123832B
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
substrate
thin film
making thin
making
film
Prior art date
Application number
DK618468A
Other languages
Danish (da)
English (en)
Inventor
O Christensen
Original Assignee
Disa Elektronik As
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disa Elektronik As filed Critical Disa Elektronik As
Priority to DK618468A priority Critical patent/DK123832B/da
Priority to GB1289978D priority patent/GB1289978A/en
Publication of DK123832B publication Critical patent/DK123832B/da

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3435—Applying energy to the substrate during sputtering
    • C23C14/345—Applying energy to the substrate during sputtering using substrate bias
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/354—Introduction of auxiliary energy into the plasma
    • C23C14/355—Introduction of auxiliary energy into the plasma using electrons, e.g. triode sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
DK618468A 1968-12-17 1968-12-17 Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. DK123832B (da)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK618468A DK123832B (da) 1968-12-17 1968-12-17 Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
GB1289978D GB1289978A (enrdf_load_stackoverflow) 1968-12-17 1969-12-16

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK618468A DK123832B (da) 1968-12-17 1968-12-17 Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK123832B true DK123832B (da) 1972-08-07

Family

ID=8147886

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK618468A DK123832B (da) 1968-12-17 1968-12-17 Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.

Country Status (2)

Country Link
DK (1) DK123832B (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB1289978A (enrdf_load_stackoverflow)

Also Published As

Publication number Publication date
GB1289978A (enrdf_load_stackoverflow) 1972-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK123338B (da) Fremgangsmåde til elektrostatisk påføring af et overtræk på en materialebane under fremføring, samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK124016B (da) Apparat til påføring af en væske, især et klæbemiddel, på en flade.
DK115091B (da) Fremgangsmåde til måling af en tilstand inden i eller på et roterende legeme og apparat til udførelse af fremgangsmåden.
DK121343B (da) Fremgangsmåde og apparat til at påføre, udmåle og fordele en ustabil overtrækningsvæske på en bane.
DK137438B (da) Fremgangsmåde til fremstilling af en hul genstand og apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK139309B (da) Fremgangsmåde til opsamling af på en væskeoverflade flydende materialer og apparat til gennemførelse af fremgangsmåden.
DK139377B (da) Fremgangsmåde til overtrækning af små dele med en beklædning af formstof og apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK137747B (da) Fremgangsmåde til hærdning af en plade af natron-kalk-siliciumoxidglas samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK134641B (da) Fremgangsmåde til frembringelse af en film af metaloxyd samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK125973B (da) Fremgangsmåde til kontinuerlig fremstilling af biaksialt strakte krympefolier samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK120734B (da) Fremgangsmåde til pålægning af tyndfilm ved ionforstøvning på et tyndt, trådformet, elektrisk isolerende substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK128443B (da) Sammentrykkelig beholder samt fremgangsmåde og apparat til fremstilling af beholderen.
DK140692B (da) Apparat til anbringelse af lukker på beholdere.
DK135977B (da) Fremgangsmåde til fremme af adhesionen mellem et underlag og en plastfilm ved behandling af plastfilmen med elektriske udladninger.
DK125169B (da) Fremgangsmåde til belægning af et underlag med et antal lag af forskellige materialer og med en nøjagtig tykkelse samt apparat til udførelse af denne fremgangsmåde.
DK104953C (da) Fremgangsmåde til fremstilling af en biaksialt orienteret termoplastisk hinde samt apparat til udførelse af fremgangsmåden.
DK125070B (da) Fremgangsmåde og apparat til overtrækning af en genstand med flere lag af flydende overtræksmaterialer.
DK127846B (da) Fremgangsmåde ved sammenlimning af genstande samt apparat til fremgangsmåden udøvelse.
DK132787C (da) Fremgangsmade ved formning af en klods af trefinerer, samt apparat til udovelse af fremgangsmaden
DK131504B (da) Fremgangsmåde til fremstilling af et partikelformet enzymmateriale samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK123001B (da) Fremgangsmåde til elektrostatisk påføring af et lag af et pulverformet materiale på en overflade samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK122284B (da) Fremgangsmåde til tørring og desaktivering af gær samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK123832B (da) Fremgangsmåde ved fremstilling af tyndfilm på et substrat samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.
DK121282B (da) Fremgangsmåde til tæt sammenføjning ag genstande af et tyndt foliemateriale, fortrinsvis en dåse og dennes låg samt apparat tol udøvelse af denne fremgangsmåde.
DK131318B (da) Fremgangsmåde til enkeltvis pilning af kogte og som følge heraf bøjede rejer samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden.