DK1230828T3 - Fremgangsmåde ved tilvejebringelse af en strålingskilde for det yderste ultraviolette bånd og anvendelse heraf til litografi - Google Patents

Fremgangsmåde ved tilvejebringelse af en strålingskilde for det yderste ultraviolette bånd og anvendelse heraf til litografi

Info

Publication number
DK1230828T3
DK1230828T3 DK00979727T DK00979727T DK1230828T3 DK 1230828 T3 DK1230828 T3 DK 1230828T3 DK 00979727 T DK00979727 T DK 00979727T DK 00979727 T DK00979727 T DK 00979727T DK 1230828 T3 DK1230828 T3 DK 1230828T3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
lithography
providing
radiation source
ultraviolet band
outer ultraviolet
Prior art date
Application number
DK00979727T
Other languages
English (en)
Inventor
Daniele Babonneau
Remy Marmoret
Laurence Bonnet
Original Assignee
Commissariat Energie Atomique
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat Energie Atomique filed Critical Commissariat Energie Atomique
Priority claimed from EP00979727A external-priority patent/EP1230828B1/fr
Application granted granted Critical
Publication of DK1230828T3 publication Critical patent/DK1230828T3/da

Links

DK00979727T 2000-11-14 2000-11-14 Fremgangsmåde ved tilvejebringelse af en strålingskilde for det yderste ultraviolette bånd og anvendelse heraf til litografi DK1230828T3 (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP00979727A EP1230828B1 (fr) 1999-11-15 2000-11-14 Procede d'obtention et source de rayonnement extreme ultraviolet, et son application en lithographie
PCT/FR2000/003163 WO2001037618A1 (fr) 1999-11-15 2000-11-14 Procede d'obtention et source de rayonnement extreme ultraviolet, application en lithographie

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK1230828T3 true DK1230828T3 (da) 2005-03-07

Family

ID=34224031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK00979727T DK1230828T3 (da) 2000-11-14 2000-11-14 Fremgangsmåde ved tilvejebringelse af en strålingskilde for det yderste ultraviolette bånd og anvendelse heraf til litografi

Country Status (1)

Country Link
DK (1) DK1230828T3 (da)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60128879D1 (de) Belichtungsapparat
DE60232568D1 (de) Belichtungsapparat
NO20052140L (no) Bandasje og epidermal posisjoneringsmekanisme og fremgangsmate for anvendelse av samme
NO20033719D0 (no) Fremgangsmåte og anordning for tilvirkning av en forfestet bleie
DE60118669D1 (de) Lithographischer Projektionsapparat
DE60213696D1 (de) Sekundär-Energiequelle
DK1337280T3 (da) Fremgangsmåde til inaktivering af mikroorganismer i en fluid ved anvendelse af ultraviolet stråling
DE60223630D1 (de) Lithographisches Gerät und zugehöriges Herstellungsverfahren
NO20033633L (no) System og fremgangsmåte ved lengdekorrigering
DE10000191B8 (de) Projektbelichtungsanlage der Mikrolithographie
DE60119612D1 (de) Mehrstrahlenbelichtungsgerät
NO20035738L (no) Kontrollert frigivelsessammensetning og metode for a produsere det samme
DE60128975D1 (de) Mikrolithographischer Projektionsapparat
DK1324970T3 (da) Retinoider til behandling af emfysem
AU2002231350A1 (en) Attenuating extreme ultraviolet (euv) phase-shifting mask fabrication method
DE60215593D1 (de) Transformator Abschirmung
DE60233850D1 (de) UV-Verstärker für eine Metallhalogenidlampe
ID29506A (id) Masker sekali pakai
DE60024724D1 (de) Reflektoren für eine ultraviolette Strahlungsquelle
DE60205062D1 (de) Hochleistungs EUV-Strahlungsquelle
DE60111207D1 (de) Stabilisierte strahlungsquelle
AU2002235039A1 (en) Exposure mask
DE50213516D1 (de) Beleuchtungs- und Belichtungssytem und -verfahren
DE59912068D1 (de) Mikrolithographie-Projektionsobjektiveinrichtung sowie Projektionsbelichtungsanlage
DK1230828T3 (da) Fremgangsmåde ved tilvejebringelse af en strålingskilde for det yderste ultraviolette bånd og anvendelse heraf til litografi