DE972421C

DE972421C - Device for the vapor deposition of objects that are to be examined in electron beam devices

Info

Publication number: DE972421C
Application number: DES27096A
Authority: DE
Inventors: Friedrich Kolwitz
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1952-02-09
Filing date: 1952-02-09
Publication date: 1959-07-16

Description

Einrichtung zur Bedampfung von Objekten, die in Elektronenstrahlgeräten untersucht werden sollen Zur Herstellung von Schattenpräparaten von Objekten, die in Elektronenstrahlgeräten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, untersucht werden sollen, sind Einrichtungen bekannt, bei denen in einer an der Vakuumpumpe liegenden Hochvakuumkammer eine Verdampfungsquelle und ein relativ dazu in verschiedenen Winkellagen einstellbarer Objekttisch angeordnet sind. Durch Einstellung des Objekttisches kann man den Einfallswinkel des auf das Objekt gerichteten Dampfstrahles ändern und damit die Schattenlage im Präparat beeinflussen. Device for the vapor deposition of objects in electron beam devices should be examined For the production of shadow preparations from objects that be examined in electron beam devices, for example electron microscopes devices are known in which one is located on the vacuum pump High vacuum chamber a source of evaporation and a relative to it in different angular positions adjustable stage are arranged. By adjusting the stage, you can one can change the angle of incidence of the steam jet directed at the object and thus influence the shadow position in the specimen.

Man erhält auf diese Weise bei der elektronenmikroskopischen Untersuchung sehr plastisch wirkende Präparate und kann dabei auch durch Ausmessung der Schattenlängen die Abmessungen der Objekte in Richtung senkrecht zum abbildenden Elektronenstrahl ermitteln.It is obtained in this way on examination by means of an electron microscope very plastic-looking preparations and can also be done by measuring the shadow lengths the dimensions of the objects in the direction perpendicular to the imaging electron beam determine.

Die Erfindung betrifft eine derartige Bedampfungseinrichtung für Objekte und zielt darauf ab, die Herstellung solcher Präparate zu vereinfachen. The invention relates to such a vapor deposition device for Objects and aims to simplify the manufacture of such preparations.

Zu diesem Zweck ist bei der Einrichtung mit einer an eine Pumpe angeschlossenen Hochvakuumkammer, in der eine Verdampfungsquelle und ein relativ dazu verstellbarer, zur Aufnahme von mehreren nacheinander und unabhängig voneinander zu bedampfenden Obj ektträgerbl enden eingerichteter Objekttisch vorgesehen sind, der Objekttisch gemäß der Erfindung außer mit einer zum Objektwechsel dienenden Verstelleinrichtung (z. B. Drehtisch) noch mit einer Schwenkvorrichtung in solcher Anordnung versehen, daß damit der Auftreffwinkel des Dampfstrahles auf der jeweils in der Betriebsstellung befindlichen Objektträgerhlende einzustellen ist.For this purpose, the device is connected to a pump High vacuum chamber in which an evaporation source and a relatively adjustable, to accommodate several to be steamed one after the other and independently of one another Obj ektträgerblenden arranged object table are provided, the object table according to the invention except with an adjusting device serving to change objects (e.g. turntable) still provided with a swivel device in such an arrangement, that so that the angle of incidence of the steam jet on each in the operating position the end of the slide.

Soweit außer der schon erwähnten bekannten Hochvakuumkammer eine weitere Bedampfungseinrichtung bekannt ist, handelt es sich um eine solche, mit der Glaslinsen durch Bedampfung vergütet werden sollen. Bei dieser Einrichtung zur Herstellung von Interferenzfiltern sind Testgläser in einem Drehtisch angeordnet, der jedoch keine Möglichkeit einer Verschwenkung relativ zum Dampfstrahl besitzt. Außerdem sind noch Trägerplatten für die Interferenzfilterschichten vorhanden. As far as one apart from the already mentioned known high vacuum chamber further vaporization device is known, it is one with the glass lenses are to be remunerated by vapor deposition. With this facility for Production of interference filters, test glasses are arranged in a turntable, which, however, has no possibility of pivoting relative to the steam jet. There are also carrier plates for the interference filter layers.

Diese Trägerplatten sind einerseits mit Hilfe von Blattfedern an einem unbeweglichen Stützkörper und andererseits am Rand eines axial auf und ab verstellbaren Ringes gelenkig gehalten. Mit dieser Einrichtung kann bei sämtlichen Trägerplatten der Auftreffwinkel der Dampfstrahlen gleichzeitig und in gleichmäßigem Ausmaß geändert werden. Eine Möglichkeit, einzelne in einen Obj ekttisch eingesetzte Objektträgerblenden jeweils unabhängig von den übrigen mit verschieden großen Bedampfungswinkeln zu behandeln, und ein für diesen Zweck verwendeter Tisch, der zwei Bewegungsmöglichkeiten besitzt, eine zur Auswahl des zu bedampfenden Objektes und eine zweite zur Änderung des Bedampfungswinkels bei dem jeweils in der Betriebsstellung befindlichen Objekt, ist bei dieser bekannten Einrichtung nicht vorhanden.These carrier plates are on the one hand with the help of leaf springs on one immovable support body and on the other hand at the edge of an axially adjustable up and down Ring kept articulated. With this device, all carrier plates the angle of incidence of the steam jets changed simultaneously and to an even extent will. One possibility of individual slide covers inserted into an object table each independently of the rest with different large steaming angles treat, and a table used for this purpose, the two possibilities of movement has, one to select the object to be steamed and a second to change it the steaming angle for the object in the operating position, is not available in this known device.

Bei der Erfindung ist also wesentlich ein Tisch für eine Vielzahl von Objektträgerblenden, der seinerseits als Ganzes zusammen mit den darin eingesetzten Objektträgerblenden schwenkbar und außerdem zum Objektwechsel verstellbar ist. Man erhält auf diese Weise eine einfache Einrichtung, die es gestattet, bei sicherer Halterung der sehr kleinen Obj ektträgerblenden ohne. Vakuumunterbrechung eine Vielzahl von einsetzbaren Objekten einzeln unterschiedlich hinsichtlich der Bedampfungszeit und des Bedampfungswinkels zu behandeln. In the invention, one table is essential for a multitude of people of slide apertures, which in turn as a whole together with the ones used in them Slide covers can be swiveled and also adjusted to change objects. Man in this way receives a simple installation that allows it to be safer Holder for the very small lens mount covers without. Vacuum interruption a large number of usable objects individually different with regard to the steaming time and the steaming angle.

Vorzugsweise wird man den Tisch so ausbilden, daß die Achse der zur Einstellung des Auftreffwinkels dienenden Schwenkvorrichtung quer zur Drehachse des Objekttisches liegt. Preferably you will train the table so that the axis of the for Adjustment of the angle of incidence serving pivoting device transverse to the axis of rotation of the object table.

Die Achse der Schwenkvorrichtung selbst wird man vorzugsweise in den Bereich der in die Bedampfungsstellung gebrachten Objektträgerblende legen. The axis of the pivoting device itself is preferably in Place the area of the slide cover that has been brought into the steaming position.

Mit einer solchen Einrichtung wird in einfacher Weise sichergestellt, daß die jeweils in der Betriebslage befindliche Objektträgerblende bei der nachträglichen Einstellung der Bedampfungswinkellage keine wesentlichen Querbewegungen zum Dampfstrahl macht. Die Verstelleinrichtung, die dazu dient, die Aufnahmestellen der Objekte nacheinander in die Bedampfungsstellung zu bringen, kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Man kann die Konstruktion beispielsweise so wählen, daß der Objekttisch eine geradlinige Bewegung durch die Betätigung dieser Verstelleinrichtungen ausführt. Eine andere Ausführungsmöglichkeit ergibt sich, wenn man einen Drehtrieb für den Objekttisch anwendet. Bei dieser Konstruktion werden die einzelnen Aufnahmestellen für die Objekte so angeordnet, daß sie auf einem Kreisbogen liegen. With such a device it is ensured in a simple manner, that the slide aperture located in the operating position in the subsequent Adjustment of the steaming angle position no significant transverse movements to the steam jet power. The adjusting device, which is used to set the pick-up points for the objects to bring them into the steaming position one after the other can be done in various ways be trained. You can choose the construction, for example, so that the stage executes a rectilinear movement by actuating these adjustment devices. Another possible embodiment results when you have a rotary drive for the Applies stage. With this construction, the individual pick-up points for the objects arranged so that they lie on an arc.

Um sicherzustellen, daß nur jeweils diejenige zur Bedampfung bestimmte Objektaufnahmestelle freigegeben wird, ist gemäß der weiteren Ausbildung der Erfindung unmittelbar vor dem verstellbaren Objekttisch eine feststehende Blende mit einer entsprechenden Öffnung angeordnet.To ensure that only the one intended for steaming Object receiving point is released, is according to the further embodiment of the invention a fixed screen with a corresponding opening arranged.

Eine besonders vorteilhafte Anordnung erhält man, wenn man alle Verstellungen einer einzigen Betätigungsstange zuordnet, weil man dann mit dem geringsten Aufwand an Dichtungsmitteln auskommt. Diesen Gedanken kann man in der Weise verwirklichen, daß durch die Vakuumwand der Kammer eine drehbare und axial verstellbare Betätigungswelle hindurchgeführt ist, die bei ihrer Drehung in der einen axialen Endlage den Objekt tisch zum Objektwechsel - beispielsweise über ein Reibrad - dreht und in der anderen axialen Endlage mit dem schwenkbaren Teil des Obj ekttisches gekuppelt ist und diesen für die Winkeleinstellung dreht. Man kann eine derartige zur Winkeleinstellung dienende Verstelleinrichtung so ausbilden, daß man verschiedene Winkel einstellen kann. Diese kann kontinuierlich veränderlich von o bis 900 erfolgen. Im allgemeinen kommt man in der Praxis mit einer verhältnismäßig groben Einstellmöglichkeit aus; es ist daher vorteilhaft, wenn man der Objekttischhalterung eine Kugelraste zuordnet, die von o bis 90° läuft und in gleichen Winkelabständen von z. B. I50 unterteilt ist. A particularly advantageous arrangement is obtained if all adjustments are made assigned to a single operating rod, because you can then with the least effort in terms of sealants. This thought can be realized in the way that through the vacuum wall of the chamber a rotatable and axially adjustable actuating shaft is passed through which the object upon rotation in one axial end position table to change objects - for example via a friction wheel - rotates and in the other axial end position is coupled to the pivotable part of the Obj ekttisches and this rotates for angle adjustment. Such a device can be used to adjust the angle Train adjusting device so that you can set different angles. These can be done continuously variable from 0 to 900. Generally one comes in practice with a relatively coarse setting option; it is therefore advantageous if you assign a ball catch to the specimen stage holder, which can be used by o runs to 90 ° and at equal angular intervals of z. B. I50 is divided.

Innerhalb der Hochvakuumkammer des Bedampfungsgerätes kann man eine einzige Verdampfungsquelle verwenden. Für mancheZwecke kann es auch vorteilhaft sein, mehrere relativ zueinander unter verschiedenen Winkeln stehende Verdampfungsquellen vorzusehen. Man hat dann die Möglichkeit, bei feststehendem Obj ekttisch die Objektbedampfung unter diesen entsprechenden Winkeln und auch mit verschiedenem Material vorzunehmen. Eine solche Einrichtung mit beispielsweise zwei Verdampfungsquellen gibt die Möglichkeit, von der Schrägbedampfung ohne Unterbrechung des Vakuums auf die Senkrechtbedampfung desselben Objektes, gegebenenfalls auch unter Benutzung von zwei verschiedenen Bedampfungsmaterialien, überzugehen. Die Vakuumkammer der Anordnung wird mit einem Deckel verschließbar ausgeführt, in dem ein Schauglas angeordnet ist. Bei Anwendung von zwei Bedampfungsquellen empfiehlt es sich, diese relativ zu diesem Schauglas hintereinander und in verschiedenen Höhenlagen anzuordnen. Inside the high vacuum chamber of the steaming device you can find a Use only source of evaporation. For some purposes it can also be beneficial several evaporation sources that are at different angles relative to one another to be provided. You then have the option of object vaporization with a fixed object table to be carried out at these appropriate angles and also with different material. Such a device with, for example, two evaporation sources gives the possibility of from oblique vapor deposition without interrupting the vacuum to vertical vapor deposition of the same object, possibly also using two different evaporation materials, to pass over. The vacuum chamber of the arrangement can be closed with a cover executed, in which a sight glass is arranged. When using two steam sources it is advisable to do this one after the other and in different positions relative to this sight glass To arrange altitudes.

Um eine gute Einstellbarkeit und leichte Auswechselbarkeit der Bedampfungsquellen selbst zu erreichen, wird man den Einspannstäben der Heizquellen in geeigneter Weise ausgebildete Klemmenvorrichtungen zuordnen, die sowohl waagerecht als auch senkrecht verstellbar sind. A good adjustability and easy interchangeability of the steaming sources To achieve this yourself, one becomes the clamping rods of the heating sources in a suitable manner Associate trained clamping devices that are both horizontal and vertical are adjustable.

Während man für den Obj ekttisch, der mehrere Aufnahmestellen für Objektträgerblenden besitzt, so ausbildet, daß seine Drehachse exzentrisch zur Achse des Dampfstrahls liegt, kann man gemäß der weiteren Ausbildung der Erfindung auch noch einen Objekttisch anwenden, dessen Drehachse mit dem Dampfstrahl zusammenfällt. Eine solche Anord- nung kann man dazu benutzen, um eine Kegelbedampfung von Objekten durchzuführen. Die Einzelteile des Objekttisches wird man vorteilhaft so ausführen, daß sie nach Offnung der Hochvakuumkammer leicht abgebaut werden können. Bei geeigneter Ausgestaltung einer Obj ekthalterung, die in das Innere der Bedampfungskammer an Stelle des drehbaren Objekttisches einsetzbar ist, kann man auch die Aufgabe lösen, eine große Anzahl von Objektblenden, die unter verschiedenen Winkeln zur Bedampfungsquelle liegen, gleichzeitig und mit gleicher Intensität zu bedampfen. While one for the object table, the multiple recording points for Has slide apertures, so trained that its axis of rotation is eccentric to the axis of the steam jet, you can also according to the further embodiment of the invention still use an object table whose axis of rotation coincides with the steam jet. Such an arrangement tion can be used to create a cone vaporization of objects. The individual parts of the object table will be advantageous run in such a way that they can be easily dismantled after opening the high vacuum chamber. With a suitable configuration of an object holder, which is inserted into the interior of the vapor deposition chamber can be used in place of the rotating object table, you can also do the task solve a large number of object apertures at different angles to Vaporization source are to be vaporized simultaneously and with the same intensity.

Zu diesem Zweck kann man so vorgehen, daß an Stelle der bisher beschriebenen drehbaren Objekttische ein Einsatz in die Hochvakuumkammer eingefügt werden kann, bei dem die Objektträgerblenden auf Kreisbogenstücken liegen, die um eine gemeinsame, auch die Bedampfungsquelle enthaltende Achse so gruppiert sind, daß die Objekte unter verschiedenem Winkel zur Bedampfungsquelle stehen.For this purpose one can proceed in such a way that in place of the previously described rotatable object tables an insert can be inserted into the high vacuum chamber, in which the specimen slide diaphragms lie on circular arcs that surround a common, also the axis containing the evaporation source are grouped so that the objects stand at different angles to the vapor source.

Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus den im folgenden behandeltenAusführungsbeispielen. Further features essential to the invention emerge from the examples discussed in the following.

In Fig. I ist eine Ansicht einer Bedampfungseinrichtung nach der Erfindung von der Seite des geöffneten Deckels her dargestellt. Fig. 2 zeigt den zugehörigen Langsschnitt durch die Einrichtung. In Fig. I is a view of a steaming device according to Invention shown from the side of the open lid. Fig. 2 shows the associated longitudinal section through the facility.

Die Vakuumkammer selbst hat die Form eines zylindrischen Topfes I mit gewölbtem Boden 2 und besteht aus nichtrostendem Stahl. Sie ist waagerecht liegend angeordnet und mit einer seitlich aufschwenkbaren Tür 3 verschließbar, in der ein Schauglas 4 angeordnet ist. Im unteren Teil der Verdampfungskammer befinden sich die beiden Verdampfungsquellen 5 und 6 mit gemeinsamer Masseelektrode. Sie sind relativ zum Schauglas 4 hintereinanderliegend angeordnet und befinden sich in verschiedener Höhenlage, so daß jede Verdampfungsquelle von außen her gut beobachtet werden kann. Die Einspannstäbe 7, 8 für die Heizquellen lassen sich durch entsprechend ausgebildete Klemmeinrichtungen 9, I0, II, 12 sowohl waagerecht als auch senkrecht verstellen. Die Heizquellen sind aus Tantalblech gebogene Schiffchen oder Wolframdrähte, die in die geschlitzten Stäbe eingeführt und mit Klemmbacken I3 festgespannt werden. Die dargestellte Anordnung ermöglicht also ein genaues Ausrichten und schnelles Auswechseln der Heizquellen. Die Einzelheiten der Befestigung und Einstellmöglichkeit der Heizquellen und die ihnen zugeordneten Konstruktionsteile sind in den Fig. 4 bis 6 dargestellt. Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, wird jede Verdampfungsquelle nach oben hin durch eine Blende 14, die eine kleine Öffnung besitzt, abgedeckt, um einen möglichst punktförmigen Verdampfungsort zu erhalten. Zum Auffangen der beim Anheizen verdampften Verunreinigungen ist darüber noch ein Schirmblech 15 angeordnet, das von außen her entweder elektromagnetisch gesteuert oder mechanisch über eine Wellrohrdurchführung fortgeschwenkt werden kann. In Fig. 6 sind mit I6 die Schwenkachsen und mit I7 die Antriebsstangen dieser Schirmbleche bezeichnet. The vacuum chamber itself has the shape of a cylindrical pot I. with a curved bottom 2 and is made of stainless steel. She is lying horizontally arranged and closable with a laterally pivotable door 3, in which a Sight glass 4 is arranged. In the lower part of the evaporation chamber there are the two evaporation sources 5 and 6 with a common ground electrode. they are arranged one behind the other relative to the sight glass 4 and are located in different Altitude, so that every source of evaporation can be clearly observed from the outside. The clamping rods 7, 8 for the heating sources can be designed accordingly Adjust clamping devices 9, I0, II, 12 both horizontally and vertically. The heat sources are boats or tungsten wires that are bent from tantalum sheet inserted into the slotted rods and clamped with clamping jaws I3. The arrangement shown enables precise and quick alignment Replacing the heating sources. The details of the attachment and adjustment option of the heating sources and the structural parts assigned to them are shown in FIG. 4 to 6 shown. As can be seen from Fig. 4, each evaporation source at the top by a cover 14, which has a small opening, covered, in order to obtain an evaporation point as punctiform as possible. To catch the A shield plate 15 is arranged above it for contaminants that have evaporated when heating up, from the outside either controlled electromagnetically or mechanically via a Corrugated pipe bushing can be swiveled away. In Fig. 6 with I6 are the pivot axes and I7 denotes the drive rods of these shield plates.

Senkrecht über der hinteren Verdampfungsquellen befindet sich der Objekttisch I8. Dieser Tisch ist um die Achse 19 drehbar angeordnet, die ihrerseits in dem schwenkbaren Teil 20 der Objekttischhalterung mit der Rändelmutter 21 leicht lösbar verbunden ist. Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, trägt der Objekttisch 18 gleichmäßig auf seinem Umfang verteilt eine Anzahl von Objekthaltern 22, die entweder Lackabdrücke oder eine Gruppe von beispielsweise sieben Blenden 23 aufnehmen können. Eine runde Blechscheibe 24, die auf der feststehenden Achse 19 befestigt ist und sich somit beim Drehen des Tisches I8 nicht mitdreht, deckt die Objektaufnahmestelle ab, die senkrecht über derVerdampfungsquelle liegt. An dieser Stelle kann der Dampfstrahl durch Blendenöffnung 25 hindurchtretend die Objekte treffen. Durch Drehen des Tisches I8 können alle Objekte nacheinander diese Lage einnehmen. Diese in Fig. I dargestellte Anordnung ermöglicht daher, nach jeder Bedampfung einer Objektaufnahmestelle eine beliebige andere Beschattungszeit zu wählen bzw. durch Schwenken des Objekttisches mit Hilfe des Schwenkteils 20 einen anderen gewünschten Beschattungswinkel einzustellen. The is located vertically above the rear evaporation sources Object stage I8. This table is arranged to be rotatable about the axis 19, which in turn in the pivotable part 20 of the stage holder with the knurled nut 21 easily is releasably connected. As can be seen from FIG. 3, the object table 18 carries uniformly on its circumference distributed a number of object holders 22, which either paint impressions or a group of, for example, seven diaphragms 23 can accommodate. A round Sheet metal disc 24, which is attached to the fixed axis 19 and thus does not turn when the table I8 rotates, covers the object receiving point, the perpendicular to the evaporation source. At this point the steam jet passing through the aperture 25 hit the objects. By turning the table I8 all objects can take this position one after the other. This shown in FIG Arrangement therefore enables one after each vapor deposition of an object receiving point to choose any other shading time or by swiveling the object table set a different desired shading angle with the help of the pivoting part 20.

Der Objekttisch läßt sich unter Vakuum von außen her durch Drehen am Knopf 26 mit Hilfe der Welle 27 über ein Reibrädchen 28, das mit dem äußeren Rand des Stückes 29 zusammenarbeitet, zum Objektwechsel drehen. Die Welle 27 ist in der aus der Figur ersichtlichen Weise durch Nutringmanschette abgedichtet. Der schwenkbare Teil 20 der Objekttischhalterung ist drehbar um diese Welle gelagert. Drückt man den Knopf 26 nach links in Richtung auf die Kammer zu, so schiebt sich die Welle 27 mit dem Kupplungsstück30 in den Schlitz 3I der Objekttischhalterung 20 und nimmt diese bei anschließender Drehung des Knopfes 26 mit. Auf diese Weise kann der Objekttisch I8 um die waagerechte Achse seiner Oberfläche geschwenkt werden. Eine eingebaute Sattelfeder oder Kugelraste 32 hält den Tisch in der gewünschten Winkellage fest. Dies kann rastmäßig von o bis go0 laufend, von 15 zu I50 gestuft oder kontinuierlich erfolgen. The object table can be turned from the outside under vacuum on the button 26 with the help of the shaft 27 via a friction wheel 28, which is connected to the outer Edge of the piece 29 cooperates, turn to change the object. The shaft 27 is sealed in the manner shown in the figure by U-ring collar. Of the pivotable part 20 of the specimen stage holder is rotatably mounted about this shaft. If the button 26 is pressed to the left in the direction of the chamber, it will slide the shaft 27 with the coupling piece 30 in the slot 3I of the stage holder 20 and takes them along when the knob 26 is subsequently turned. In this way the stage I8 can be swiveled around the horizontal axis of its surface. A built-in saddle spring or ball catch 32 holds the table in the desired position Fixed angular position. This can be incremented from o to go0, graded from 15 to I50 or take place continuously.

Läßt man den Knopf 26 nach der Einstellung des Winkels los, so drückt die Feder 33 die Welle 27 zurück, so daß der Stift 30 wieder aus der Kupplung 3I heraustritt. Wenn man nunmehr den Knopf 26 in dieser horizontalen Endlage der Welle 27 dreht, so wird diese Drehbewegung über das Reibrad 28 auf den Tisch I8 übertragen. Der schwenkbare Teil 20 des Objekttisches ist in dem Teil 34 gelagert, der seinerseits im Halterohr 35 mit Hilfe der Rändelmutter 36 leicht lösbar festgeklemmt ist. If the button 26 is released after the angle has been set, then pushes the spring 33 the shaft 27 back, so that the pin 30 again from the coupling 3I steps out. If you now press the button 26 in this horizontal end position of the shaft 27 rotates, this rotational movement is transmitted to the table I8 via the friction wheel 28. The pivotable part 20 of the stage is mounted in the part 34, which in turn is clamped easily releasably in the holding tube 35 with the aid of the knurled nut 36.

In dem schwenkbaren Teil 20 befindet sich neben der Einspannstelle 37 des Tisches 18 noch eine zweite Einspannstelle 38, die senkrecht über der Verdampfungsquelle 5 liegt. Sie dient zur Aufnahme der Achse eines kleineren Objekttisches, der ebenso geschwenkt und gedreht werden kann wie der Tisch 18. Dieser kleinere Tisch ist in der Figur nicht dargestellt. Ein auf die Mitte dieses kleineren Tisches aufgebrachtes Objekt wird also bei Drehung des Tisches eine kegelförmige Beschattung erhalten, wenn die Tischlage irgendeine Winkelstellung zu der Beschattungsquelle eingenommen hat. In the pivotable part 20 is located next to the clamping point 37 of the table 18 still has a second clamping point 38, which is perpendicular to the evaporation source 5 lies. It is used to hold the axis of a smaller object table, which also can be panned and rotated like the table 18. This smaller one Table is not shown in the figure. One on the middle of this smaller table When the table is turned, the applied object becomes a conical shade obtained when the table position is at any angular position to the shading source has taken.

Die Heizquelle 6, die vorn in der Kammer liegt, ist so ausgerichtet, daß sie senkrecht auf den Tisch I8 strahlt, wenn dieser in die in Fig. 2 gestrichelt eingezeichnete Lage 39 geschwenkt ist. Man kann also mit der hinteren Heizquelle 5 eine Schrägbeschattung vornehmen und anschließend bei dieser Einstellung unter dem gleichen Vakuum, gegebenenfalls auch mit einem anderen Material, das Objekt von der vorderen Heizquelle aus senkrecht bedampfen. The heating source 6, which is located in the front of the chamber, is oriented so that it radiates perpendicularly onto the table I8 when this is broken into in FIG location 39 is pivoted. So you can use the rear heating source 5 make an angled shading and then with this setting under the same vacuum, possibly also with a different material, the object vaporize vertically from the front heating source.

Durch Lösen der Rändelmutter 2I kann man den Objekttisch I8 leicht und schnell aus der Tischhalterung 20 herausziehen, so daß der Tisch außerhalb der Kammer bestückt werden kann. Durch Lösen der Rändelschraube 36 läßt sich der ganze Objekttisch zusammen mit seiner Halterung in einfacher Weise aus der Kammer entfernen. An Stelle dieses in Fig. I dargestellten Objekttisches kann man beispielsweise einen Einsatz 40 aufstecken, der in Fig. 7 und 8 dargestellt ist. Die Objektblenden 41 liegen hier auf Kreisbogenstücken 42, die um eine gemeinsame Achse43, auf der auch die Bedampfungsquelle liegt, so gruppiert sind, daß die Objekte zu der Bedampfungsquelle verschiedene Winkellagen einnehmen. In Fig. 8 ist die Anordnung so gewählt, daß sich Winkellagen von I5, 30, 45, 60, 75 und 900 ergeben. Bei dieser Anordnung ist fernerhin erreicht, daß die Intensität der Bedampfung in allen verschiedenen Winkellagen gleich groß ist. By loosening the knurled nut 2I, the object table I8 can easily be opened and quickly pull it out of the table holder 20 so that the table is outside the Chamber can be equipped. By loosening the knurled screw 36, the whole Easily remove the specimen stage together with its holder from the chamber. Instead of this object table shown in FIG Attach insert 40, which is shown in FIGS. 7 and 8. The lens apertures 41 lie here on circular arc pieces 42, which are about a common axis43, on which also the evaporation source is, are grouped so that the objects to the evaporation source assume different angular positions. In Fig. 8, the arrangement is chosen so that angular positions of I5, 30, 45, 60, 75 and 900 result. With this arrangement furthermore that the intensity of the vapor deposition in all different angular positions is achieved is the same size.

PATENTANSPP\tTCHE: 1. Einrichtung zur Bedampfung von Objekten, die in Elektronenstrahlgeräten, z. B. Elektronenmikroskopen, untersucht werden sollen, mit einer an eine Pumpe angeschlossenen Hochvakuumkammer, in der eine Verdampfungsquelle und ein relativ dazu verstellbarer, zur Aufnahme von mehreren nacheinander und unabhängig voneinander zu bedampfenden Objektträgerblenden eingerichteter Objekttisch angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekttisch außer mit einer zum Objektwechsel dienenden Verstelleinrichtung (z. B. Drehtisch) noch mit einer Schwenkvorrichtung in solcher Anordnung versehen ist, daß damit der Auftreffwinkel des Dampfstrahls auf der jeweils in der Betriebsstellung befindlichen Objektträgerblende einzustellen ist. PATENT APPROACH: 1. Device for the vapor deposition of objects that in electron beam devices, e.g. B. electron microscopes are to be examined, with a high vacuum chamber connected to a pump, in which an evaporation source and one that is adjustable relative to it, for receiving several one after the other and independently arranged object table set up to be vaporized from one another are, characterized in that the object table except for one for changing objects Serving adjusting device (e.g. turntable) still with a swivel device is provided in such an arrangement that thus the angle of incidence of the steam jet on the slide diaphragm in the operating position is.

Claims

2. Device according to claim I, characterized in that the axis the pivoting device used to adjust the angle of impact transversely to the axis of rotation of the object table.

3. Device according to claim 2, characterized in that the axis the pivoting device in the area of the object carrier screen rotated into the steaming position lies.

4. Device according to claim 2 or 3, characterized in that a fixed screen with a Opening is arranged, each of which only the object receiving point intended for vapor deposition releases.

5. Device according to claim I, 2, 3 or LC: characterized in that that through the vacuum wall of the chamber a rotatable and axially adjustable actuating shaft is passed through which, when rotated in the one axial end position, the object table To change objects, e.g. rotates using a friction wheel and in the other axial end position is coupled with the swiveling part of the object table and this for the angle adjustment turns.

6. Device according to claim I or one of the following, characterized characterized in that the individual object receiving points each for receiving a plurality (e.g. seven) set up of slide apertures to be steamed at the same time are.

7. Device according to claim I or one of the following, characterized characterized in that two evaporation sources are provided in the high vacuum chamber are that a vapor deposition of the object with different material and under different Allow angles.

8. Device according to claim 7, characterized in that the two Evaporation sources one behind the other relative to a sight glass arranged in the chamber lid and are arranged at different altitudes.

9. Device according to claim 7 or 8, characterized in that the energy saving rods of the heating sources by means of appropriately designed clamping devices are adjustable both horizontally and vertically.

10. Device according to claim I or one of the following, characterized characterized in that to achieve a conical shading in the object table holder a special specimen stage with a central receiving point for objects can be used in a clamping point lying vertically above the evaporation source is.

II. Device according to claim I or one of the following, characterized characterized that the object table in the table holder with a knurled nut is inserted easily detachable.

12. Device according to claim I or one of the following, characterized characterized in that the specimen stage holder is slightly towards the inside of the chamber to be released from the fixed tubular part surrounding the control shaft is.

13. Device according to claim 12, characterized in that on Place of the object table holder treated in the previous claims to put on an insert is, in which the specimen slide covers lie on pieces of circular arc that are arranged around a common, also the steaming axis containing source are grouped so that that the objects assume different angular positions to the vaporization source and the The intensity of the steaming is the same in all angular positions.

Publications considered: »Le Journal de Physique et le Radium «from 11.7. 1950, pp. 353/354; Journal of Applied Physics, Vol. 17, January 1946, p.25.