DE941378C

DE941378C - Measuring arrangement for small electrical capacities

Info

Publication number: DE941378C
Application number: DEC456A
Authority: DE
Inventors: G Galon; Herbert Francois Matare; Pierre Philippoteaux
Original assignee: Compagnie des Freins et Signaux Westinghouse SA
Current assignee: Compagnie des Freins et Signaux Westinghouse SA
Priority date: 1949-01-29
Filing date: 1950-01-26
Publication date: 1956-04-12

Description

Meßanordnung für kleine elektrische Kapazitäten Wenn man Untersuchungen vornehmen will, welche die Herstellung und die Verwendung von Halbleiterkörpern betreffen, ist es unerläßlich, sehr genaue kapazitätsmessungen vorzunehmen. Es ist z. B. interessant, in genauer Weise die Kapazität der Halbleiterkörper zu messen, denn man aus einer solchen Bestimmung sehr nützliche Schlüsse auf die Dichte nA der Verunreinigungspunkte oder Störabschnitte eines Halbleiters ziehen.Measuring arrangement for small electrical capacitances If you have investigations wants to make which the production and use of semiconductor bodies it is essential to make very accurate capacitance measurements. It is z. B. interesting to measure the capacitance of the semiconductor body in a precise way, for from such a determination one can draw very useful conclusions about the density nA of contamination points or interfering sections of a semiconductor.

Nach W. Schottky (siehe vereinfachte und erweiterte Theorie der Randschichtgleichrichter, Zeitschr. f. Physik, Bd. I8, S.539, Jahrg. I94I/42) ist nämlich nA mit der Kapazität der Sperschicht durch folgende Gleichung verbunden: d1/C2 8# I = # dU ##e nA In dieser Formel bedeutet # = dielektrizitätskonstante oder spezifisches Induktionsvermögen, U = Spannung in Volt, e = Einheitsladung, C = Kapazität in Farad. According to W. Schottky (see simplified and expanded theory of boundary layer rectifiers, Magazine f. Physics, vol. I8, p.539, year I94I / 42) is namely nA with the capacity of the spar layer connected by the following equation: d1 / C2 8 # I = # dU ## e nA In this formula means # = dielectric constant or specific inductance, U = voltage in volts, e = unit charge, C = capacity in farads.

Man sieht infolgedessen, daß es in solchen Fällen wichtig ist, daß man in der Lage ist, die minimalen Kapazitätsunterschiede zwischen den verschiedenen Potentialen entsprechenden Punkten der die Unsymmetrie eines Halbleiters ausdrückenden Kennlinien für den Vorwärts strom und den Rückstrom feststellen zu können. It can therefore be seen that in such cases it is important that one is able to understand the minimal capacity differences between the different Points corresponding to potentials expressing the asymmetry of a semiconductor To be able to determine characteristic curves for the forward current and the reverse current.

Anders ausgedrückt, man muß Kapazitäten der Größenordnung von O, I Pikofarad (pF), welche durch geringe Widerstände gedämpft sind, messen können was mit den gegenwärtig bekannten Kapazitätsmessern nicht möglich ist. Diese benutzen im allgemeinen Meßbrücken (Wheatstonesche Brükken od. dgl.), welche den Nachteil aufweisen, daß sie im allgemeinen mit verhältnismäßig niedrigen Frequenzen arbeiten und keine genaue Messung einer Kapazität gestatten, die kleiner als IO ist,. insbesondere, wenn diese Kapazität durch einen geringen Widerstand (der Größenordnung von einigen hundert Ohm) überbrückt, d. h. gedämpft, ist. In other words, one must have capacities of the order of magnitude of O, I can measure picofarads (pF), which are attenuated by low resistances which is not possible with the currently known capacitance meters. Use this Generally measuring bridges (Wheatstone bridges or the like), which have the disadvantage exhibit that they generally operate at relatively low frequencies and do not allow an accurate measurement of a capacitance less than IO. in particular, if this capacitance is replaced by a low resistance (of the order of a few hundred ohms) bridged, d. H. is muted.

Mit den bekannten Anordnungen zur Messung kleiner Kapazitäten lassen sich die obigen Anforderungen nicht erfüllen. So ist z. B. bei einer bekannten Anordnung vorgeschlagen worden, die zu messende Kapazität zur Abstimmkapazität des Hochfrequenzkreises parallel zu schalten. Diese bekannteOAnordnung beruht jedoch auf dem einfachen Resonanzprinzip und gestattet nicht die Erzielung einer hinreichend großen Empfindlichkeit, um Kapazitäten im Größenbereich von Io-2 bis IolpF zu messen, insbesondere, wenn sogar eine Eigendämpfung von nur einigen hundert Ohm vorhanden ist. Leave with the known arrangements for measuring small capacities do not meet the above requirements. So is z. B. in a known arrangement has been proposed, the capacitance to be measured to the tuning capacitance of the high-frequency circuit to connect in parallel. However, this known arrangement is based on the simple resonance principle and does not allow a sufficiently high sensitivity to be achieved for capacitance to measure in the size range from Io-2 to IolpF, especially if even a self-damping of only a few hundred ohms is present.

Es sind auch Anordnungen zur Messung kleiner elektrischer Kapazitäten bekannt, welche nach dem tiberlagerungsprinzip arbeiten und bei denn der Hochfrequenzeingangskreis mit einem Meßkreis gekoppelt ist und bei dem die zu messende Kapazität mit einer Abstimmkapazität parallel geschaltet ist. Bei dieser Hexodenanordnung ist jedoch eine gewisse Rückwirkung des örtlichen Oszillators auf den Meßkreis nicht zu verhindern, so daß die Messung kleinster Kapazitäten, wie sie insbesondere in der Halbleitertechnik vorliegen, nicht oder sehr unbefriedigend durchgeführt werden kann. Es sind auch Schaltungen von ueber lagerungskapazitätsmessern bekannt, bei denen eine Tetrode Verwendung findet. Auch bei diesen Vorrichtungen ist die Rückwirkung des Oszillatorkreises immerhin noch so groß, daß sich die Messung kleinster Kapazitäten als unmöglich erweist. There are also arrangements for measuring small electrical capacitances known which work according to the superimposition principle and then the high-frequency input circuit is coupled to a measuring circuit and in which the capacitance to be measured with a Tuning capacitance is connected in parallel. In this hexode arrangement, however, not to prevent a certain reaction of the local oscillator on the measuring circuit, so that the measurement of the smallest capacities, as they are in particular in semiconductor technology present, cannot be carried out or can be carried out very unsatisfactorily. There are too Circuits of over storage capacitance meters are known in which a tetrode Is used. In these devices, too, there is the reaction of the oscillator circuit at least so large that the measurement of the smallest capacities turns out to be impossible proves.

Außerdem weisen diese Vorrichtungen eine sehr umständliche Bedienung auf, was um so schwerer wiegt, als zur Messung der Kapazität eines Halbleiters die ganze Kennlinie desselben erfaßt werden muß, weil sich die Kapazität entsprechend dem Arbeitspunkt auf-der Kennlinie ändert. In addition, these devices are very cumbersome to operate on what is all the more important than measuring the capacitance of a semiconductor entire characteristic curve of the same must be recorded, because the capacity is accordingly the operating point on the characteristic curve changes.

Die Erfindung hat einen Kapazitätsmesser einfachen Aufbaus zum Gegenstand, der nach Vornahme der Grundeinstellung nur die. Betätigung eines einzigen Organs zur Messung der Kapazität für den betreffenden Punkt der Kennlinie erfordert und die Messung von Kapazitäten der Größenordnung t/roo pF gestattet. Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung, bei der ein Hochfrequenzeingangskreis und ein mit demselben gekoppelter Meßkreis vorgesehen ist, wobei die zu messende Kapazität mit der Abstimmkapazität parallel geschaltet ist und wobei ein örtlicher Oszillator sowie ein Mischkreis für die Eingangsfrequenz und die Oszillatorfrequenz vorhanden sind. The subject of the invention is a capacitance meter of simple construction, which after making the basic setting only the. Operation of a single organ to measure the capacitance for the relevant point of the characteristic requires and the measurement of capacities of the order of t / roo pF is permitted. The present The invention relates to an arrangement in which a high frequency input circuit and a is provided with the same coupled measuring circuit, the capacitance to be measured is connected in parallel with the tuning capacitance and with a local oscillator as well as a mixing circuit for the input frequency and the oscillator frequency are.

Die erfindungsgemäße Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkreis eine Pentode aufweist, deren Steuergitter mit dem Mischkreis gekoppelt, deren Bremsgitter geerdet und deren Anode und deren Schirmgitter mit dem örtlichen Oszillator gemäß einer Dreipunktschaltung verbunden sind, wobei zur Verhinderung der Rückwirkung des örtlichen Oszillators auf die zu messende Kapazität ein Absorptionskreis vorgesehen ist, der mit dem Steuergitter gekoppelt ist. The arrangement according to the invention is characterized in that the The oscillating circuit has a pentode, the control grid of which is coupled to the mixing circuit, their braking grid grounded and their anode and their screen grid connected to the local Oscillator are connected in accordance with a three-point connection, whereby for prevention the reaction of the local oscillator on the capacitance to be measured is an absorption circle is provided which is coupled to the control grid.

Diese spezifische Schaltung ermöglicht - im Zusammenwirken mit dem Absorptionskreis, der als Sperrkreis ausgebildet ist, daß die Oszillatorfrequenz faktisch keinen Einfluß mehr auf den Meßkreis hat, so daß auch stark gedämpfte Kapazitäten in der Größenordnung von 1/ioo pF gemessen werden können. In der Zeichnung ist das elektrische Schaltbild des Kapazitätsmessers gemäß der Erfindung veranschaulicht. This specific circuit enables - in cooperation with the Absorption circuit, which is designed as a blocking circuit, that the oscillator frequency in fact no longer has any influence on the measuring circuit, so that even heavily attenuated capacitances on the order of 1/100 pF can be measured. In the drawing it is illustrates electrical circuit diagram of the capacitance meter according to the invention.

Wie man aus der Zeichnung sieht, ist die zu messende Kapazität, welche- in dem dargestellten Beispiel durch einen Halbleiter I gebildet wird, parallel zu einem Meßkreis geringer Kapazität geschaltet, welcher durch eine Selbstinduktionsspule2 und einen Kondensator 3 gebildet wird, der mittels eines Untersetzungsgetriebes z. B. mit dem Verhältnis 2 : IOOO verändert werden kann und zu Beginn mittels einer Eichkapazität geeicht wird. As you can see from the drawing, the capacitance to be measured is what- in the example shown is formed by a semiconductor I, parallel to connected to a measuring circuit of low capacitance, which is controlled by a self-induction coil2 and a capacitor 3 is formed by means of a reduction gear z. B. can be changed with the ratio 2: IOOO and at the beginning by means of a Calibration capacity is calibrated.

Dieser Meßkreis ist einerseits mit einem Eingangskreis 4 hoher Frequenz, z. B. der Größenordnung von 60 MHz, und andererseits mittels einer Selbstinduktionsspule 5 und eines regelbaren Kondensators 6 mit dem Kreis des Steuergitters 7 einer Dreigittermischröhre 8, deren Teil jenseits des Gitters 7 als örtlicher Schwingungserzeuger arbeitet, gekoppelt.This measuring circuit is on the one hand with an input circuit 4 high frequency, z. B. of the order of 60 MHz, and on the other hand by means of a self-induction coil 5 and an adjustable capacitor 6 with the circuit of the control grid 7 of a three-grid mixing tube 8, the part of which works on the other side of the grid 7 as a local vibration generator, coupled.

Wie man in der Zeichnung sieht, ist dieser örtlichte Schwingungserzeuger g mit der Anode IO, dem Schfrmgitter II und dem Bremsgitter 12 der Dreigitterröhre gemäß der unter dem Namen » Dreipunktschaltung « bekannten Schaltung verbunden, wobei eine Selbstinduktionsspule I3 gleichteilig mit dem Widerstand 14 und den üblichen Kondensatoren 15 zwischen dem gemeinsamen Punkt und der Erde angeordnet ist. As you can see in the drawing, this is a local vibrator g with the anode IO, the framing grid II and the braking grid 12 of the three-grid tube connected according to the circuit known under the name "three-point circuit", a self-induction coil I3 in the same part as the resistor 14 and the usual Capacitors 15 is arranged between the common point and the earth.

Die Kathode I6 der Dreigitterröhre ist mit einem Zwischenfrequenzkreis I7 verbunden, dessen einstellbarer Kondensator 18 ein für allemal für das durchgelassene Zwischenfrequenzband eingestellt werden kann, wobei diese Zwischenfrequenz durch eine abgeschirmte Leitung 19 zu einerm Verstärker 20 (z. B. mit drei Stufen) geführt wird, der in der Zeichnung sehr schematisch dargestellt ist und auf den eine Zweielektrodenröhre oder ein Detek- tororgan 2I folgt, dessen gleichgerichteter Strom durch ein Mikroamperemeter 22 gemessen wird. The cathode I6 of the three-grid tube is with an intermediate frequency circuit I7 connected, its adjustable capacitor 18 once and for all for the let through Intermediate frequency band can be set, this intermediate frequency through a shielded line 19 to an amplifier 20 (z. B. with three stages) which is shown very schematically in the drawing and on which a two-electrode tube or a detec- tororgan 2I follows, its rectified current is measured by a micro-ammeter 22.

Der Halbleiter, dessen Kapazität man messen will, wird kapazitiv mittels eines Kondensators 23 an Erde gelegt, so daß man ihm mittels eines Spannungsteilers 24 eine Polarisationsspannung geben kann. In die Verbindungsleitung 25 ist zwischen dem Spannungsteiler und dem Halbleiter ein Milliamperemeter 26 und gegebenenfalls ein Filter 27 eingeschaltet. Ein Voltmeter 28 ist zu dem an Erde liegenden Teil des Spannungsteilers parallel geschaltet. The semiconductor whose capacity you want to measure becomes capacitive connected to earth by means of a capacitor 23, so that it can be obtained by means of a voltage divider 24 can give a polarization voltage. In the connecting line 25 is between the voltage divider and the semiconductor a milliammeter 26 and optionally a filter 27 switched on. A voltmeter 28 is attached to the ground part of the voltage divider connected in parallel.

Schließlich ist ein Absorptions- oder Sperrkreis 29 mit dem Kreis des Steuergitters 7 der Dreigitterröhre durch die Spule 5 gekoppelt, so daß auch die kleinste Belastung des Detektors I, dessen Kapazität man messen will, durch den örtlichen Schwingungserzeuger verhindert wird. Finally, there is an absorption or trap circuit 29 with the circle of the control grid 7 of the three-grid tube coupled by the coil 5, so that also the smallest load on the detector I, the capacity of which is to be measured the local vibration generator is prevented.

Zur Benutzung des oben beschriebenen Kapazitätsmessers geht man folgendermaßen vor: Man bringt zunächst den Detektor I an Ort und Stelle (nachdem man sich jedoch zunächst vergewissert hat, daß er betriebsfähig ist); man schaltet hierauf den Apparat ein, so daß die Dreigittermischröhre mit ihrem gemäß der »Dreipunktschaltung « geschalteten örtlichen Schwingungserzeuger sowie der Zwischenfrequenzverstärker 20 unter Spannung gesetzt werden; man stimmt den Absorptionskreis 29 auf die Frequenz des örtlichen Schwingungserzeugers ab, so daß der durch den Detektor I gleichgerichtete Strom den kleinsten Wert annimmt, was mittels des Milliamperemeters 26 festgestellt wird; man schaltet hierauf die Hochfrequenz ein, z. B. über den Eingangskreis 4, und stimmt die Anordnung mittels des Kondensators 6 so ab, daß die Mischung mit der örtlichen Schwingungsfrequenz die Zwischenfrequenz ergibt, bis das Mikroamperemeter 22 einen größten Ausschlag anzeigt; hierauf entfernt man den Detektor I und stimmt den Meßkreis 2 auf die gleiche Resonanz ab, so daß man an dem Mikroamperemeter 22 den größten Ausschlag, d. h. den Bezugspunkt für die zu messende Kapazität, erhält, hierauf bringt man den Detektor wieder an Ort und Stelle, was eine Verstimmung des Meßkreises 2, 3 durch die so parallel geschaltete Kapazität des Detektors I bewirkt, und verändert den Spannungsteiler 24 so, daß man einen beliebigen gewünschten Punkt der Kennlinie des Detektors einstellt; man betätigt dann den Meßkondensator 3, um die Abstimmung einzustellen, was erreicht ist, wenn man den Höchstausschlag des Mikroamperemeters 22 hergestellt hat; man liest dann an der Skalenscheibe des veränderlichen Kondensators 3, der, wie oben erwähnt, genau geeicht wurde, den Wert der Kapazität des Halbleiters I für den untersuchten Punkt der denn linie ab. The procedure for using the capacitance meter described above is as follows before: You first bring the detector I in place (after you, however first made sure that it is operational); one then switches the apparatus on so that the three-grid mixer tube with its switched according to the "three-point circuit" local vibration generator and the intermediate frequency amplifier 20 under voltage be set; one tunes the absorption circle 29 to the frequency of the local Vibration generator from, so that the rectified by the detector I current assumes the smallest value, which is determined by means of the milliameter 26; you then turn on the high frequency, z. B. via the input circuit 4, and correct the arrangement by means of the capacitor 6 so that the mixture with the local Oscillation frequency results in the intermediate frequency until the micro-ammeter 22 a indicates largest rash; then remove the detector I and tune the measuring circuit 2 on the same resonance, so that one can get the largest on the micro-ammeter 22 Rash, d. H. the reference point for the capacitance to be measured, receives on it if you bring the detector back in place, what a detuning of the measuring circuit 2, 3 caused by the capacitance of the detector I connected in parallel, and changed the voltage divider 24 so that you can get any desired point on the characteristic the detector adjusts; you then operate the measuring capacitor 3 to the vote set what is achieved when you hit the maximum deflection of the microamperometer 22 made; one then reads the dial of the variable capacitor 3, which has been precisely calibrated as mentioned above, the value of the capacitance of the semiconductor I for the examined point of the line.

Aus obigem geht hervor, daß nach der Einstellung des Apparates auf bestimmte Hoch- und Zwischenfrequenzen und der Einbringung der zu messenden Kapazität 1 das einzige zur Messung dieser Kapazität vorzunehmende Manöver darin besteht, den Kondensator 3 zu verändern und auf der Skalenscheibe dieses Kondensators den Wert der zu messenden Kapazität abzulesen. From the above it can be seen that after the setting of the apparatus on certain high and intermediate frequencies and the introduction of the capacitance to be measured 1 the only maneuver to be performed to measure this capacity is to to change the capacitor 3 and on the dial of this capacitor the Read the value of the capacity to be measured.

Man sieht. infolgedessen einerseits, daß man dank insbesondere der Verwendung der als Mischröhre und Schwingungserzeuger dienenden Dreigitterröhre8 einen Kapazitätsmesser äußerst einfachen Aufbaus erhält und daß ferner seine Handhabung äußerst einfach ist. One sees. as a result, on the one hand, that thanks in particular to the Use of the three-grid tube serving as a mixing tube and vibration generator8 a capacitance meter of extremely simple construction and that also its handling is extremely simple.

Es ist selbstverständlich, daß der Einbau der den Detektor I befestigenden Anschlußstücke derart sein muß, daß die Kapazität dieser Anschlußstücke gegen Erde gegenüber der Kapazität des bloßen Detektors vollständig vernachlässigbar ist und auch nicht die Messung fälscht. Es müssen daher für den Einbau dieser Anschlußstücke besondere Vorsichtsmaßnahmen getroffen werden. It goes without saying that the installation of the detector I attaching Connection pieces must be such that the capacity of these connection pieces to earth is completely negligible compared to the capacity of the mere detector and also does not falsify the measurement. It must therefore be used for the installation of these connectors special precautionary measures are taken.

Die Eigenheiten der oben beschriebenen Schaltung sind folgende: Meßkreis 2 mit sehr spitzer Kennlinie (d. h. mit einem hohen Gütefaktor Q), was die Ablesung der Kapazität 3 sehr erleichtert; sehr hohe Frequenz der Größenordnung von 60 MHz, was eine kleine Anfangskapazität (I0 bis 20pF) und somit eine große Genauigkeit bei der Messung kleiner änderungen ergibt; eine solche Empfindlichkeit für die Frequenz des Generators, daß der von der Hochfrequenzspannung an den Klemmen des Detektors herrührende gleichgerichtete Strom äußerst gering ist, was dank des Mischprinzips erreicht wird; keinerlei Störung durch die von dem örtlichen Schwingungserzeuger herrührende Spannung, welche natürlich größer ist als die des Signals, und zwar dank des Absorptionskreises 29; so ausgeführte Schaltung, daß die Veränderung der verteilten Kapazitäten, z. B. durch die Einführung des Detektors I, äußerst klein und vernachlässigbar ist; Möglichkeit der Messung der Kapazität des Detektors I für alle Werte der Kennlinie dieses Detektors durch Verstellung des Spannungsteilers 24. The peculiarities of the circuit described above are as follows: Measuring circuit 2 with a very sharp characteristic (i.e. with a high figure of merit Q), which gives the reading capacity 3 very facilitated; very high frequency of the order of 60 MHz, which has a small initial capacitance (I0 to 20pF) and therefore great accuracy results in small changes when measuring; such a sensitivity to the frequency of the generator that that of the high frequency voltage at the terminals of the detector The resulting rectified current is extremely low, thanks to the mixing principle is achieved; no interference from the local vibrator resulting voltage, which is of course greater than that of the signal, namely thanks to the absorption circle 29; circuit designed so that the change in distributed capacities, e.g. B. by the introduction of the detector I, extremely small and is negligible; Possibility of measuring the capacitance of the detector I. for all values of the characteristic of this detector by adjusting the voltage divider 24

Bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel war angenommen, daß die zu messende Kapazität die des Detektors und Halbleiters war. Es ist jedoch klar, daß man auch beliebige andere Kapazitäten der für den Apparat vorgesehenen Größenordnung messen kann, wobei diese Größenordnung, wie oben angegeben, von IopF bis l/oopF geht, ganz gleich, ob es sich um eine reine Kapazität oder eine durch einen geringen Widerstand gedämpfte Kapazität (z. B. des Halbleiters) handelt. In the embodiment described above, it was assumed that the capacitance to be measured was that of the detector and semiconductor. However, it is clear that any other capacities of the order of magnitude intended for the apparatus can also be used can measure, with this order of magnitude, as indicated above, from IopF to 1 / oopF regardless of whether it is a pure capacity or a small one Resistance damped capacitance (e.g. of the semiconductor) is.

In diesem letzteren Fall ist die Empfindlichkeit des erfindungsgemäßen Kapazitätsmessers noch bei etwa 3Aoo pF ausreichend. In this latter case the sensitivity is that of the present invention The capacitance meter is still sufficient at around 3Aoo pF.

Es ist wohlverstanden, daß bei der Messung einer reinen Kapazität die Polarisationsvorrichtung unwirksam wird. Dies gestattet sogar, festzustellen, ob man es wirklich mit einer reinen Kapazität zu tun hat, denn in diesem Fall erhält man bei einer Veränderung des Spannungsteilers 24 keinerlei Ausschlag in irgendeinem der Meßinstrumente 26 und 28. It is well understood that when measuring a pure capacitance the polarization device becomes ineffective. This even makes it possible to determine whether you are really dealing with a pure capacity, because in this case you get man when the voltage divider 24 is changed, there is no deflection in any of the gauges 26 and 28.

PATENTANSPUCH: 1 Anordnung zur Messung kleiner elektrischer Kapazitäten, die einen Hochfrequenzeingangskreis, einen Meßkreis, der mit dem Eingangskreis gekoppelt und in dem die zu messende Kapazität mit einer Abstimmkapazität parallel geschaltet ist, einen örtlichen Oszillator und einen Mischkreis für die Eingangsfrequenz und die Oszillatorfrequenz enthält, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkreis eine Pentode (8) aufweist, deren Steuergitter (7) mit dem Mischkreis (3) gekoppelt, deren Bremsgitter (12) geerdet und deren Anode (10) und deren Schirmgitter (11) mit dem örtlichen Oszillator (g) gemäß einer Dreipunktschaltung verbunden sind, wobei zur Verhinderung der Rückwirkung des örtlichen Oszillators auf die zu messende Kapazität ein Absorptionskreis (29) vorgesehen ist, der mit dem Steuergitter (7) gekoppelt ist. PATENT CLAIM: 1 arrangement for measuring small electrical capacitances, which has a high-frequency input circuit, a measuring circuit, which is coupled to the input circuit and in which the capacitance to be measured is connected in parallel with a tuning capacitance is, a local oscillator and a mixing circuit for the input frequency and contains the oscillator frequency, characterized in that the resonant circuit has a Pentode (8), whose control grid (7) is coupled to the mixing circuit (3), whose Braking grid (12) grounded and its anode (10) and its screen grid (11) with the local oscillator (g) are connected according to a three-point circuit, with for Prevention of the effect of the local oscillator on the capacitance to be measured an absorption circuit (29) is provided which is coupled to the control grid (7) is.

Claims

Attached publications: German patent specification No. 449 o4g; french Patent Specification No. 791,090; British Patent No. 443,976; ATM sheet V 3531-1.