DE9321298U1 - Längen- oder Winkelmeßeinrichtung - Google Patents
Längen- oder WinkelmeßeinrichtungInfo
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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Description
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 8. September 1992
Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Längen- oder Winkelmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches
1.
Die Erfindung geht von dem aus der europäischen Patentschrift EP- 0 163 362 -Bl bekannten Stand der
Technik aus. Dieser Stand der Technik zeigt ein Dreigitterinterferometer, welches in praktischen
Anwendungen dadurch, daß eines der Gitter reflektierend ist, auf zwei Gitterstrukturen reduziert
wird. Die Auswertung der interferierenden Teilstrahlenbündel ermöglicht die Messung der Größe und
der Richtung der Relativverschiebung zwischen den beiden Gittern.
Eine Phasenverschiebung zwischen den von den Detektoren detektierten Teilstrahlenbündel ist deshalb
erforderlich.
Die DE-23 16 248-A1 offenbart eine Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen mit einem durchlässigen
und einem reflektierenden Gitter. Drei Detektoren
detektieren die Beugungsgruppen der nullten und der positiven und negativen zweiten Ordnung. Eine klare Offenbarung der Phasenbeziehungen zwischen den von ■ den Detektoren, die nicht die Beugungsgruppen der ersten Ordnung detektieren, detektierten Lichtstrahlen fehlt.
detektieren die Beugungsgruppen der nullten und der positiven und negativen zweiten Ordnung. Eine klare Offenbarung der Phasenbeziehungen zwischen den von ■ den Detektoren, die nicht die Beugungsgruppen der ersten Ordnung detektieren, detektierten Lichtstrahlen fehlt.
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Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung mit einer sehr hohen
' _) Auflösung und großzügiger Ausrichttoleranz unter
Verwendung von feinen Gittern mit einer Teilungsperiode in der Größenordnung von einem halben Mikrometer
am Maßstabgitter anzugeben. Hohe Modulationsgrade, keine Signaloberwellen und ein einfacher,
kompakter Aufbau sind ebenso erwünscht, wie die Möglichkeit, die phasenverschobenen Signale
mittels verschiedener Methoden zu erzeugen.
Diese Aufgabe wird von einer Längen- oder Winkelmeßeinrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1
gelöst.
) 25
Die besonderen Vorteile bestehen darin, daß mit sehr feinen Teilungsperioden des Maßstabgitters
gearbeitet werden kann, so daß bereits vor einer späteren Signalinterpolation eine hohe Auflösung
erzielt wird.
Die Erfindung wird nun anhand eines Beispiels und
seiner Varianten unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
35
35
Dabei zeigt:
Figur 1 ein optisches Schaubild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
__ zum Messen von Verschiebungen;
Figur 2 ein schematisches optisches Schaubild;
Figur 3 ein optisches Schaubild mit aus
gedehnter Lichtquelle und
Figur 4 eine schematisch dargestellte . Abtastplatte mit zwei unterschiedlichen
Gitterstrukturen.
Gemäß der Darstellung in Figur 1 enthält eine Längenmeßeinrichtung-1
eine Lichtquelle 2, ein Abtastgitter 3, ein reflektierendes Maßstabgitter 4 und
einen Fotodetektor 5, der die Signalstrahlenbündel Jo/ J+i/ J-x detektiert. In einer praktischen Ausführungsform
würden die Bauteile 2, 3 und 5 an einem gegenüber dem reflektierenden Maßstabgitter 4
verschiebbaren Lesekopf angebracht sein. Die elektrischen Ausgangssignale des Fotodetektors 5 bilden
ein Maß für die Richtung und Größe der Verschiebung des Lesekopfes gegenüber dem ortsfesten Maßstabgitter
4. Eine Linear- oder Winkelverschiebung zwischen den Elementen 3 und 4 kann bei entsprechendem
Aufbau gemessen werden.
Die Besonderheit der gezeigten Längenmeßeinrichtung liegt darin, daß als Lichtquelle 2 eine LED
(Lichtemittierende Diode), die Licht mit bestimmten Kohärenzeigenschaften aussendet/ verwendet wird.
Das Abtastgitter 3 weist eine Teilungsperiode TP2 auf, die näherungsweise oder genau doppelt so groß
ist wie die Teilungsperiode TPl des Maßstabgitters 4. Wichtig ist dabei, daß das Verhältnis genau 2:1,
oder näherungsweise 2:1 ist. Das gezeigte Maßstabgitter 4 soll eine Teilungsperiode TPl von &Ogr;,&dgr;&mgr;&khgr;&agr;
haben, das zugehörige Abtastgitter 3 jedoch eine Teilungsperiode TP2 von 0,9982&mgr;&pgr;&igr;. Allerdings könnte
diese Teilungsperiode auch ljL/m oder &Igr;,&Ogr;&Ogr;&Igr;&dgr;&mgr;&pgr;&igr; groß
bzw. fein sein.
Das" Maßstabgitter 4 und das Abtastgitter 3 sind parallel zueinander angeordnet. Das Lichtstrahlenbündel
der LED wird am Abtastgitter 3 in zwei erste Beugungsordnungen -1 und +1 aufgespalten, die symmetrisch
zum einfallenden Lichtstrahlenbündel verlaufen.
Durch das oben- genannte Verhältnis der Teilungsperioden
von Abtastgitter 3 zu Maßstabgitter 4 entstehen am Maßstabgitter 4, das als Reflexionsmaßstab
ausgebildet ist, zwei gebeugte Teilstrahlenündel, die - in Strichrichtung betrachtet - genau
oder näherungsweise in sich zurücklaufen.
Diese am Maßstab 4 gebeugten Teilstrahlenbündel werden durch nochmalige Beugung am Abtastgitter 3
zur Interferenz gebracht. Für den Fall TP2/TP1=2:1 interferieren diese Teilstrahlenbündel durch Beugung
am Abtastgitter 3 in leicht unterschiedliche Richtungen und erzeugen in der Brennebene einer
Linse ein Interferenz-Streifensystem/ aus welchem
mittels eines strukturierten Detektors die gewünschten phasenversetzten Ausgangssignale abgeleitet
werden können.
Für den Fall TP2/TP1=2:1 interferieren diese Teilstrahlenbündel durch Beugung am Abtastgitter 3 in
exakt gleiche Richtungen und erzeugen somit bei Bewegung des Maßstabgitters 4 relativ zum Abtastgitter
3 Intensitätsmodulationen in den resultierenden Signalstrahlenbündeln J0, J^x, J_x deren
gegenseitiger Phasenversatz, vorzugsweise 120°,
durch geeignete Ausgestaltung des Abtastgitters 3 ._) erreicht wird.
Diese Alternative entspricht der Darstellung in Figur 1.
Das schematische optische Schaubild in Figur 2 zeigt einen aufgefalteten Strahlengang eines Dreigitterschrittgebers
12. Hier sind das erste Gitter 32a und das dritte Gitter 32b räumlich getrennt und
die Funktionen als Aufspaltgitter 32a und als Vereinigungsgitter 32b leichter erkennbar.
Ein von einer LED 22 ausgesandtes Lichtstrahlenbündel fällt senkrecht auf das erste Gitter 32a, an
dem durch Beugung Teilstrahlenbündel der 0. und der +1.Ordnungen erzeugt werden. Diese Teilstrahlenbündel
treffen auf ein Maßstabgitter 42, an dem sie erneut gebeugt werden. Die zur Gitternormalen hingebeugten
Teilstrahlenbündel treffen am Vereinigungsgitter 32b aufeinander, wo sie unter erneuter
Beugung zur Interferenz kommen.
Die zeitlichen Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle 22 sind derart, daß das Teilstrahlenbündel der
0. Beugungsordnung des Aufspaltgitters 32a nicht zur Interferenz beiträgt, da es zwischen den drei
Gittern 32a, 42 und 32b eine andere optische Weglänge
zurücklegt, wie die beiden Teilstrahlenbündel der +1. Beugungsordnungen.
Die räumlichen Kohärenzeigenschaften der Lichtquel-Ie
22 sind derart, daß die am Maßstabgitter 42 aus
den Teilstrahlenbündeln der +1. BeugungsOrdnungen
.des Aufspaltgitters 32a hervorgegangenen Teilstrah-
J lenbündel 0. Beugungsordnungen ebenfalls nicht zur
Interferenz beitragen, da sie mit Versatz in Meßrichtung
X am Vereinigungsgitter 32b auftreffen. Es
gelangen somit nur diejenigen Teilstrahlenbündel zur Interferenz, welche sowohl gleich lange optische
Wege zwischen den Gittern durchlaufen als auch am Vereinigungsgitter 32b ohne Versatz in Meßrich^
tung X überlagert werden.
In Figur 3 ist ein optisches Schaubild dargestellt, anhand dessen die Verhältnisse bei Beleuchtung unter
dem Winkel &egr; - Lichtstrahlenbündel, das von einem emittierenden Punkt einer ausgedehnten Lichtquelle
23 ausgeht - verdeutlicht werden.
Wie leicht erkennbar, bleiben die optischen Weglängen der signalbildenden Teilstrahlenbündel (Parallelogramm)
gleich; diese Teilstrahlenbündel erzeugen somit unabhängig vom Beleuchtungswinkel &egr;
Interferenzen gleicher Phase.
Die optischen Weglängen der am Maßstabsgitter 43 aus den Teilstrahlenbündeln der +1. Beugungsordnungen
des Aufspaltgitters 33a hervorgegangenen Teilstrahlenbündel 0. Beugungsordnungen sind dagegen
für unterschiedliche Beleuchtungswinkel verschieden.
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Eine Mischung vieler Einfallsrichtungen durch eine ausgedehnte Lichtquelle führt damit zu einer Überlagerung
von Interferenzen beliebiger Phase.
Aus diesem Grund erzeugen die Teilstrahlenbündel J0*, J+i*, J-x* und Jo**, Jh-I**, J-I** nur einen
konstanten Gleichlichtanteil auf dem Detektor.
Da bei dieser Ausführungsform das erste und das
letzte Gitter nicht körperlich identisch sind, können ihre Gitterparameter so gewählt werden, daß sie
ihre Aufgaben als Aufspaltgitter und als Vereinigungsgitter optimal erfüllen können.
Diese Optimierung ist auch bei Auflichtmeßeinrichtungen möglich, wenn das Abtastgitter 3 aus Figur 1
durch eine Abtastplatte 34 ersetzt wird, wie sie in Figur 4 dargestellt ist. Die Abtastplatte 34 weist
für diesen Anwendungsfall zwei Zonen mit unterschiedlichen Gitterstrukturen 34a und 34b auf, die
für Ihre Aufgaben als Aufspaltgitter 34a und Vereinigungsgitter 34b optimiert sind.
Mit einer Längen- oder Winkelmeßeinrichtung gemäß der Erfindung lassen sich also unter der Bedingung,
daß die Teilungsperiode TPl des Maßstabgitters 4 kleiner ist als die Wellenlänge des verwendeten
Lichtes, allein durch die Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle 2 oberwellenfreie Signale mit der Periode
TP1/2 erzeugen.
Phasenverschobene Signale können außer durch geeignete Dimensionierung des Abtastgitters oder
durch Auswerten eines Interferenzstreifensystems mittels strukturiertem Detektor auch polarisationsoptisch
gewonnen werden.
Claims (17)
1. Interferentiell arbeitende Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
mit mehreren in Meßrichtung relativ zueinander verschiebbaren Gittern, die als
J) Abtast- und als Maßstabgitter ausgebildet sind
und die von einer Lichtquelle kommendes Licht beugen und ferner die gebeugten Teilstrahlenbündel
zur Interferenz bringen, wobei die durch Interferenz entstehenden Intensitätsmodulationen
der Teilstrahlenbündel durch wenigstens einen Detektor in zueinander phasenverschobene elektrische
Signale umgewandelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß das Maßstabgitter (4; 42) eine
Teilungsperiode·(TPl) aufweist, die kleiner ist, als die Wellenlänge (^) des Lichtes, und daß
das Abtastgitter (3; 32a, 32b; 33a, 33b) eine Teilungsperiode (TP2) aufweist, die näherungsweise
oder exakt doppelt so groß ist, wie die Teilungsperiode (TPl) des Maßstabgitters (4),
und die größer als die Wellenlänge (^) des Lichtes
ist, und daß die zeitlichen Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle (2; 22) Interferenz nur
von solchen Teilstrahlenbündeln zulassen, die zwischen den Gittern (3, 4; 32a, 32b) gleich
lange optische Wege zurücklegen und daß die räumlichen Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle
(2; 22) Interferenz nur von solchen Teilstrahlenbündeln zulassen, die beim letzten Gitterdurchtritt
ohne Versatz in Meßrichtung (X) überlagert werden.
2. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am legten Gitter
(3/ 32b) nur die Teilstrahlenbündel der +1.Ordnung
miteinander interferieren und die Teilstrahlenbündel der 0. und 2.Ordnungen miteinander
interferieren.
3. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht mittels
eines Polarisators in Strichrichtung der Gitter oder senkrecht dazu polarisiert wird.
'.J)
4. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch
3, dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines
&lgr;/2-Plättchens die Polarisationsebene zwischen den Gittern gedreht wird.
&lgr;/2-Plättchens die Polarisationsebene zwischen den Gittern gedreht wird.
5. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines
konvergenten ' Beleuchtungsstrahlenganges die Lichtquelle (2; 22) auf dem Detektor (5; 52)
abgebildet wird.
6. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die phasenverschobenen
Signale durch die Variation der Gitterparameter des Abtastgitters (3; 32b; 33) gewonnen
werden.
7. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die phasenverschobenen
Signale mit polarisationsoptischen Mitteln erzeugt werden.
8. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch I7 dadurch gekennzeichnet/ daß die phasenverschobenen
Signale durch die Auswertung eines Interferenzstreifen-Musters mittels eines strukturierten
Detektors {5, 52) gewonnen werden.
9. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am ersten Gitter
(3; 32a) eine Aufspaltung in Teilstrahlenbündel (+1; -1) erfolgt, die symmetrisch zum einfallenden
Lichtstrahl verlaufen.
y ,
10. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch
1/ dadurch gekennzeichnet, daß das erste bzw.
dritte Gitter Aufspalt- bzw. Abtastgitter (3; 32a bzw. 32b) und das zweite Gitter das Maßstabgitter
(4; 42) einer inkrementalen Wegmeßeinrichtung (1; 12) verkörpern.
11. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 10/ dadurch gekennzeichnet, daß das erste und
dritte Gitter (3) transparent und körperlich identisch sind/ und daß das zweite Gitter reflektierend
als Maßstabgitter (4) einer Auflichtmeßeinrichtung (1) ausgebildet ist.
12. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 10/ dadurch gekennzeichnet, daß das erste und
dritte Gitter auf einer gemeinsamen Abtastplatte (33) angeordnet sind, aber unterschiedliche Gitterparameter
(33a; 33b) aufweisen.
13. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Gitter (32a;
42; 32b) als transparente Gitter einer Durchlichtmeßeinrichtung (12) ausgebildet sind.
14. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 13/ dadurch gekennzeichnet/ daß das erste Gitter
als Aufspaltgitter (32a) und das dritte Gitter als Vereinigungsgitter (32b) ausgebildet ist und
daß sie unterschiedliche Gitterparameter aufweisen.
15. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche/ dadurch gekennzeichnet/
daß als Maßstab- und/oder Abtastgitter Phasen- und/oder Amplitudengitter verwendet werden.
16. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche/ dadurch gekennzeichnet,
daß als Maßstab- und Abtastgitter sogenannte Kreuzgitter verwendet werden.
17. Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet/ daß mit Hilfe der
Kreuzgitter eine Meßeinrichtung für zwei Dimensionen gebildet wird..
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP19920116126 EP0590163B1 (de) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | Längen- oder Winkelmesseinrichtung |
DE19934329627 DE4329627A1 (de) | 1992-09-21 | 1993-09-02 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE9321298U1 true DE9321298U1 (de) | 1997-01-30 |
Family
ID=25929162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE9321298U Expired - Lifetime DE9321298U1 (de) | 1992-09-21 | 1993-09-02 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE9321298U1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106813578A (zh) * | 2015-11-30 | 2017-06-09 | 上海微电子装备有限公司 | 一种二维光栅测量系统 |
-
1993
- 1993-09-02 DE DE9321298U patent/DE9321298U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106813578A (zh) * | 2015-11-30 | 2017-06-09 | 上海微电子装备有限公司 | 一种二维光栅测量系统 |
CN106813578B (zh) * | 2015-11-30 | 2019-02-22 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种二维光栅测量系统 |
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