Mehr als zweistufiges Elektronenmikroskop Zusatz zum Patent 90:,3
61,6 Das Patent 923 616 betrifft einen Korpuskularstrahlapparat, insbesondere
ein Elektronenmikroskop, mit magnetischen Polschuhlinsen, wobei einer Linse zwei
oder mehr im Vakuumraum des Mikroskops angeordnete Polschuhpaare zugeordnet sind,
die durch von außen her zu bedienende Antriebsmittel auszuwechseln .sind. Diese
Anordnung bringt den Vorteil, daß der @übergang von einer Vergrößerung zu einer
anderen in kürzester Zeit ohne Betriebsunterbrechung durchführbar ist, weil das
Auswechseln von Polschuhpaaren stattfinden kann, ohne den Vakuumraum öffnen zu müssen.More than two-stage electron microscope Addendum to patent 90:, 3 61.6 Patent 923 616 relates to a corpuscular beam apparatus, in particular an electron microscope, with magnetic pole piece lenses, with one lens being assigned to two or more pairs of pole pieces, which are arranged in the vacuum space of the microscope and which are connected from the outside the drive means to be operated are to be replaced. This arrangement has the advantage that the transition from one enlargement to another can be carried out in a very short time without interrupting operation, because pole shoe pairs can be changed without having to open the vacuum space.
Eine solche Polschuhwechseleinrichtung hat den weiteren Vorteil, daß
man rasch von elektronenmikroskopischen zu Beugungsaufnahmen desselben Objekts übergehen
kann, indem man einen Polschuh oder einen entsprechenden unmagnetischen Ring von
besonders großem lichtem Durchmesser in die Mikroskopachse bringt, so daß der Kegel
der abgebeugten Strahlen ungehindert bis auf die Endbildebene gelangt, wo er beobachtet
oder aufgenommen werden kann.Such a pole shoe changing device has the further advantage that
you can quickly switch from electron microscopic to diffraction images of the same object
can by using a pole piece or a corresponding non-magnetic ring of
brings particularly large clear diameter into the microscope axis, so that the cone
of the diffracted rays reaches the final image plane unhindered, where he observes
or can be included.
Durch die Erfindung wird eine derartige Polschuhwechseleinrichtung
in besonders vorteilhafter Weisse für ein mehr als zweistufiges Elektronenmikroskop
verwendet. Erfindungsgemäß sind bei einem mehr als zweistufigen Elektronenmikroskop
die auswechselbaren Polschuhe einer Linse zugeordnet,
die zwischen
dem Objektiv und dem das Endbild -erzeugenden letzten Projektiv liegt. Hierdurch
ergibt :sich der Vorteil, daß die mit den aus;-wechselbaren Polschuhen versehene
und dadurch in ihrer Brennweite in groben Stufen regelbare Linse nur für einen kleineren
freien Durchmesser zum Durchtritt der Beugungsbilder zu bemessen ist. Auch die gesamte
Konstruktion der mit den auswechselbaren Polschuhen versehenen Linse benötigt bei
dieser Anordnung weniger Raum und Material, als wenn man die letzte Abbildungslinse
des. drei-oder mehrstufigen Mikroskops mit auswechselbaren Polschuheinsätzen versieht.Such a pole shoe changing device is provided by the invention
in particularly advantageous white for a more than two-stage electron microscope
used. According to the invention in a more than two-stage electron microscope
the exchangeable pole pieces assigned to a lens,
the between
the lens and the final projective generating the final image. Through this
results: there is the advantage that the pole pieces provided with the pole pieces that can be changed from
and thus the focal length of the lens, which can be adjusted in coarse steps, is only possible for a smaller one
free diameter is to be measured for the passage of the diffraction patterns. Also the whole
Construction of the lens provided with the interchangeable pole pieces is required
this arrangement takes up less space and material than if you had the last imaging lens
Des. Provides three-stage or multi-stage microscope with exchangeable pole shoe inserts.
Würde man die auswechselbaren Polschuhe dem Objektiv zuordnen, so
ist die Auflösung der geringer vergrößerten Bilder schlechter infolge der größeren
Brennweite, mit denen im Objektiv gearbeitet wird. Ebenso verlangt die geringe Verzeichnung
des Endbildes ein Arbeiten mit möglichst kleiner Brennweite im letzten Projektiv.
Größere Brennweiten in der mittleren Linse verschlechtern dagegen weder die Auflösung
noch die Verzeichnung des Endbildes, da die in die mittlere Linse einfallenden Strahlen
:schon eine sehr geringe Apertur haben und der Bildwechsel für das von der mittleren
Linse gezeichnete, vor der dritten Linse liegende und weiter im Endbild abgebildete
Bildfeld noch sehr klein ist.If you were to assign the interchangeable pole pieces to the lens, so
the resolution of the less magnified images is poorer because of the larger ones
Focal length that is used in the lens. The low distortion is also a requirement
of the final image working with the smallest possible focal length in the last projective.
On the other hand, larger focal lengths in the central lens do not degrade the resolution
nor the distortion of the final image, since the rays entering the central lens
: already have a very small aperture and the image change for that of the middle one
Lens drawn, located in front of the third lens and further depicted in the final image
Field of view is still very small.