DE924878C

DE924878C - Electron microscope, in particular super microscope, with a projection lens acting as an electron mirror

Info

Publication number: DE924878C
Application number: DEA8258D
Authority: DE
Inventors: Hans Dr-Ing Mahl; Adolf Dipl-Ing Pendzich
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1942-01-21
Filing date: 1942-01-30
Publication date: 1955-03-10

Description

(WiGBl. S. 175)(WiGBl. P. 175)

AUSGEGEBEN AM 10. MÄRZ 1955ISSUED MARCH 10, 1955

A 8258 VIIIc/2igA 8258 VIIIc / 2ig

Zusatz zum Patent 761Addendum to patent 761

(Ges. v. 15. 7. 51)(Ges. V. July 15, 51)

Es sind bereits Elektronenmikroskope bekannt, welche mit einem Spiegel ausgerüstet sind. Durch die Spiegelung des Strahlenganges wird eine gedrängtere Bauart erzielt.Electron microscopes are already known which are equipped with a mirror. By the reflection of the beam path is achieved in a more compact design.

Im Hauptpatent ist eine Ausführungsart eines Elektronenmikroskops, insbesondere Übermikroskops, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse beschrieben, welche sich durch einen senkrechten, an einem Tisch befestigten Aufbau auszeichnet, bei dem das Strahlerzeugungssystem am unteren Ende des Entladungsgefäßes unter dem Tisch angeordnet ist und die Hochspannungszuleitungen unter dem Tisch zugeführt sind. Dem Gegenstand des Hauptpatentes liegt die Erkenntnis zugrunde, daß durch die umgekehrte Führung des Strahlenganges und den vertikalen Aufbau des Systems auf einem Tisch ein Elektronenmikroskop erhalten wird, welches außer einer geringen Bauhöhe über dem Tisch, so daß eine sehr einfache Beobachtung der Elektronenbilder im Sitzen möglich ist, noch eine Reihe von weiteren Vorteilen hat. Beispielsweise fallen die Hochspannungsleitungen im Raum weg, da die Kabel bequem unter dem Tisch zugeführt werden können,The main patent is an embodiment of an electron microscope, in particular an over microscope, described with a projection lens acting as an electron mirror, which extends through is characterized by a vertical structure attached to a table, in which the beam generation system is arranged at the lower end of the discharge vessel under the table and the high-voltage leads are fed under the table. The subject of the main patent is based on the knowledge that the reverse Guiding the beam path and the vertical structure of the system on a table an electron microscope is obtained, which apart from a low overall height above the table, so that a very simple observation of the electron images while sitting is possible, as well as a number of others Has advantages. For example, there are no high-voltage lines in the room because the cables can be conveniently fed under the table,

an dem das Spiegelelektronenmikroskop befestigt ist. Ferner werden· die sonst üblichen Gestänge zur Verstellung überflüssig, da beispielsweise die Objektschleuse mit dem Objekttisch etwa in Tischhöhe anzubringen und somit direkt zu erreichen ist.to which the mirror electron microscope is attached. Furthermore, the otherwise usual linkages are used Adjustment is not necessary because, for example, the object lock with the object table is approximately at table height to be attached and thus to be reached directly.

Die Erfindung betrifft eine Weiterbildung der Anordnung nach dem Hauptpatent. Erfindungsgemäß ist das Elektronenmikroskop durch die Umschaltbarkeit zum wahlweisen Betrieb als Zweilinsenmikroskop ohne Spiegelung des Strahlenganges oder als Linsenspiegelelektronenmikroskop gekennzeichnet.The invention relates to a further development of the arrangement according to the main patent. According to the invention is the electron microscope because it can be switched to optionally operate as a two-lens microscope without reflection of the beam path or as a lens mirror electron microscope marked.

Die Anordnung nach der Erfindung kann beispielsweise so ausgebildet werden, daß durch Umschaltung der als Elektronenspiegel dienenden· Projektionslinse die Elektronenstrahlen nicht gespiegelt werden, sondern die Projektionslinse inThe arrangement according to the invention can for example be designed so that by switching the projection lens serving as an electron mirror does not reflect the electron beams but the projection lens in

■ üblicher Weise passieren. Auf diese Weise wird eine Vergleichsmöglichkeit zwischen dem normal abgebildeten und dem gespiegelten Bild gegeben.■ happen in the usual way. This way, a comparison between the normal shown and given to the mirrored image.

Als zweckmäßig hat es sich gegebenenfalls auchIt has also proven to be useful if necessary

erwiesen, bei einem derartigen· Elektronentischmikroskop eine Übersichtslinse zu benutzen, um in der Leuchtschirmebene des nicht gespiegelten Strahlenganges ein Übersichtsbild mäßiger Ver-have been shown to use an overview lens in such an electron table microscope in order to the luminescent screen level of the non-mirrored beam path an overview image of moderate

■ größerung betrachten zu können. Es wird dann der Vorteil erzielt, daß sich ein hell leuchtendes Übersichtsbild auf dem Leuchtschirm ergibt. Dieses helle Leuchtschirmbild stört im Gegensatz zu einem auf der der Objektivlinse zugewandten Seite der Projektionslinse angebrachten Zwischenbildleuchtschirm die Beobachtung des Endbildes nicht. Während ein auf der Spiegellinse angebrachter Zwischenbildleuchtschirm vorzugsweise nur wenig empfindlich sein darf, damit sein Leuchten nicht das auf dem Endleuchtscbirm entstellende Bild überstrahlt, wenn man von einem Herausklappen· des Leuchtschirmes oder von anderen Maßnahmen absehen will, kann bei der Verwendung der Übersichtslinse auch ein hell leuchtendes Zwischenbild ohne besondere Maßnahmen beobachtet werden.■ to be able to view enlargement. The advantage is then achieved that there is a brightly shining overview image on the luminescent screen. In contrast to, this bright fluorescent screen is annoying an intermediate luminescent screen attached to the side of the projection lens facing the objective lens the observation of the final image does not. While a mounted on the mirror lens The intermediate fluorescent screen should preferably only be slightly sensitive so that its glow does not on the end of the fluorescent screen is outshining if the If you want to refrain from luminescent screen or other measures, you can use the overview lens even a brightly shining intermediate image can be observed without any special measures.

Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an Hand von in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Ein Elektronentischmikroskop hat beispielsweise die in der Fig. ι gezeigte Form. An einem Mikroskoptisch 5 ist das Übermikroskop 22 befestigt. Das Übermikroskop enthält ein Strahlerzeugungssystem 1, welches die Kathode und den Wehneltzylinder sowie die Anode umfaßt, eine Objektivlinse 4 und eine Spiegellinse 10. Das Übermikroskop ist mit einer Objektschleuse 2 versehen, um das zu beobachtende Objekt 3 einschleusen zu können. Auf der dem Strahlerzeugungssystem abgewandten Seite der Objektivlinse 4 ist eine mit einer Bohrung für den Durchtritt des Primärstrahles versehene Photoplatte 6 angebracht, die durch den drehbaren Klappleuchtschirm 7 zur Belichtung freigegeben werden kann. Um das von der Spiegellinse 10 gespiegelte Bild auf dem Leuchtschirm 7 beobachten zu können, ist in der Wandung^ des Übermikroskops 22 ein Einblickfenster 8 vorgesehen. Die Spiegellinse 10 ist zweckmäßig mit einer Übersichtslinse 9 zusammengebaut, um auf dem Leuchtschirm 11 ein schwach vergrößertes Übersichtsbild erzeugen' zu können, das gegebenenfalls über den Projektor 12 mit Planspiegel auf die Leinwand 13 projiziert werden kann. Es ist auf diese Weise möglich, einerseits das Zwischenbild auf der Leinwand 13 beobachten zu können und andererseits das gespiegelte Bild auf dem Leuchtschirm 7 durch das Einblickfenster 8 betrachten zu können. Um das Übermikroskop wahlweise zum Spiegelbetrieb oder zum Durchstrahlungsbetrieb umschalten zu können, ist ein Hochspannungsschalter 17 vorgesehen, welcher lediglich schematisch angedeutet ist. Dieser Hochspannungsschalter besteht zweckmäßig aus einem Vakuumschalter, der in der gezeigten Stellung die Mittelelektrode der Spiegellinse 10 mit dem Spiegelblendenpotential 20 verbindet, während die Mittelelektrode der Übersichtslinse 9 mit dem Anoden- bzw. Erdpotential 18 in Verbindung steht. In der anderen Stellung verbindet der Schalter 17 die Mittelelektrode der Spiegellinse mit dem Anoden- bzw. Erdpotential, während die Mittelelektrode der Übersichtslinse dann mit dem Kathodenpotential 19 verbunden ist. Das Übermikroskop ist noch mit einem Rohr 21 versehen, um das Innere mit Hilfe einer Pumpe evakuieren zu können.The subject matter of the invention is described below with reference to the exemplary embodiments shown in the drawings explained in more detail. An electron table microscope, for example, has the Fig. Ι shown shape. The microscope 22 is attached to a microscope table 5. The super microscope contains a beam generating system 1, which the cathode and the Wehnelt cylinder as well the anode comprises an objective lens 4 and a mirror lens 10. The super microscope is with an object lock 2 provided in order to be able to smuggle in the object 3 to be observed. On the The side of the objective lens 4 facing away from the beam generation system is one with a bore for the passage of the primary beam provided photo plate 6 attached through the rotatable flip-up screen 7 can be released for exposure. To the mirrored by the mirror lens 10 To be able to observe the image on the luminescent screen 7 is in the wall ^ of the microscope 22 an inspection window 8 is provided. The mirror lens 10 is expediently provided with an overview lens 9 assembled to generate a slightly enlarged overview image on the luminescent screen 11 can, if necessary, projected onto the screen 13 via the projector 12 with a plane mirror can be. In this way it is possible, on the one hand, to observe the intermediate image on the canvas 13 and on the other hand the mirrored image on the luminescent screen 7 through the viewing window 8 to be able to look at. To use the microscope either for mirror operation or for To be able to switch radiographic operation, a high-voltage switch 17 is provided which is only indicated schematically. This high voltage switch expediently consists of a vacuum switch which, in the position shown, connects the center electrode of the mirror lens 10 to the Mirror aperture potential 20 connects, while the center electrode of the overview lens 9 with the Anode or ground potential 18 is in connection. In the other position, the switch 17 connects the center electrode of the mirror lens to the Anode or earth potential, while the center electrode of the overview lens then with the cathode potential 19 is connected. The microscope is also provided with a tube 21 to To be able to evacuate the interior with the help of a pump.

Die Beobachtung des Übersichtsbildes auf dem Leuchtschirm 11 kann gegebenenfalls auch mittels einer Lupe 14 erfolgen, wie. es in der Fig. 2 angedeutet ist, wo das Auge 15 den Leuchtschirm 11 durch die Lupe 14 betrachtet. In manchen Fällen hat es sich auch als zweckmäßig erwiesen, das Ubersichtsbild auf dem Leuchtschirm 11 mittels eines Planspiegels 16 zu beobachten, wie es in der Fig. 3 angedeutet ist.The overview image on the luminescent screen 11 can optionally also be observed by means of a magnifying glass 14, such as. it is indicated in FIG is where the eye 15 touches the screen 11 viewed through the magnifying glass 14. In some cases it has also proven useful to use the To observe the overview image on the luminescent screen 11 by means of a plane mirror 16, as shown in FIG Fig. 3 is indicated.

Statt der in der Fig. 1 dargestellten elektrostatischen Hochspannungslinsen können gegebenenfalls auch magnetische Linsen benutzt werden.Instead of the electrostatic shown in FIG High voltage lenses can also be used with magnetic lenses if necessary.

Claims

PATENT REQUIREMENTS:

1. Electron microscope, especially over microscope, with a projection lens acting as an electron mirror according to patent 761663, characterized by the ability to switch to optional operation as a two-lens electron microscope without reflection of the beam path or as a lens mirror electron microscope.

2. Electron microscope according to claim 1, characterized in that the mirror lens with an overview lens is assembled, such with a high voltage, preferably Vacuum switch, are connected that either the mirror lens or the overview lens is to operate.

3. Electron microscope according to claim 1 or 2, characterized in that it is not Mirrored final image by means of projection optics (12) on a parallel to the electron microscope arranged projection screen is thrown.

4 · electron microscope according to claim ι or 2, characterized in that the non-mirrored end image by means of an over the Luminous screen (ii) arranged magnifying glass (14) too is watching.

5. Electron microscope according to claim 1 or 2, characterized in that it is not mirrored end image over a preferably arranged at 45 ° to the luminescent screen Plan mirror is to be observed.

1 sheet of drawings