DE923930C

DE923930C - Object lock for corpuscular beam devices, especially electron microscopes

Info

Publication number: DE923930C
Application number: DES28786A
Authority: DE
Inventors: Henry Burmester; Manfred Eisfeldt
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1952-06-01
Filing date: 1952-06-01
Publication date: 1955-02-24

Description

Objektschleuse für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope Für das Einschleusen von in Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, zu untersuchenden Objekten ist es bekannt, das meist in einer Patrone gehalterte Objekt mit Hilfe einer von außen mechanisch verstellbaren Schleuseinrichtung in die Betriebslage innerhalb des Vakuumraumes zu bringen. Derartige Schleuseinrichtungen sind wichtig, weil man damit den Objektwechsel ohne allzu lang dauernde Betriebsunterbrechungen durchführen kann. Die für diese Zwecke benutzten Objektschleusen hat man schon in der verschiedensten Weise aufgebaut. So ist es beispielsweise bekannt, als Objektschleuse ein drehbares Halmküken zu verwenden, das eine Querbohrung zur Aufnahme der Objektpatrone besitzt. Wenn diese Ouerbohrung quer zur Strahlachse gestellt wird, kann man die Objektpatrone von außen einbringen, und durch Drehen des Kükens in eine Lage, in der sich die Ouerbohrung in Richtung der Strahlachse befindet, wird das Objekt in die Betriebsstellung übergeführt. Derartige mit Hahnküken arbeitende Schleusen beanspruchen verhältnismäßig viel Bauraum in Richtung der Mikroskopachse und müssen zusätzlich noch mit einer Einriehtung versehen werden, mit der die Objektpatrone in Richtung auf das Objektiv hin aus der Querbohrung herausbewegt werden kann. Es sind auch schon andere mit Trockendichtungen arbeitende Objektschleusen bekannt, bei denen die Objektpatrone in einen Schwenkhebel eingesetzt wird, der sie aus der Einschleuslage in die Betriebslage überführt. Auch Konstruktionen dieser Art benötigen einen verhältnismäßig großen axialen Bauraum. Diesen Nachteil weisen adere Konstruktionen, bei denen das Objekt in einen quer zur Strahlachse hnh und her beweglichen Stab eingesetzt wird, nicht auf, da man diesen Stab mit verhältnismäßig kleinem Durchmesser ausführen kann. Die zum Absuchen des Objekts notwendige Querverstellung wird bei diesen Anordnungen durch Bewegung des Schleusenstabes selbst durchgeführt.Object lock for particle beam apparatus, in particular electron microscopes For the introduction of corpuscular beam devices, for example electron microscopes, objects to be examined, it is known that mostly held in a cartridge Object with the help of a mechanically adjustable lock device in to bring the operating position within the vacuum space. Such lock devices are important because they allow you to change premises without too long business interruptions can perform. The object locks used for this purpose are already in constructed in various ways. It is known, for example, as an object lock to use a rotatable straw plug that has a transverse hole for receiving the specimen cartridge owns. If this Ouerbohr is placed transversely to the beam axis, you can Insert the specimen cartridge from the outside and turn the plug into a position in which the overbore is in the direction of the beam axis, the object is in the operating position transferred. Claim such locks that work with cocks relatively much installation space in the direction of the microscope axis and must also still be provided with a Einriehtung with which the object cartridge in the direction can be moved out of the transverse hole towards the lens. There are too other object locks working with dry seals are already known where the specimen cartridge is inserted into a swivel lever that removes it from the infeed position transferred to the operating position. Also constructions of this Need kind a relatively large axial installation space. Other constructions have this disadvantage, in which the object is in a rod that can be moved up and down transversely to the beam axis is used, not because you have this rod with a relatively small diameter can perform. The cross adjustment necessary to search for the object is carried out at these arrangements are carried out by moving the lock rod itself.

Die Erfindung betrifft eine Objektschleuse für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, bei der ein die Objektpatrone aufnehmender, quer zur Strahlachse zwischen zwei Endlagen verschiebbarer Stab verwendet wird. Erfindungsgemäß weist der Stab im Bereich der Betriebsstellung der Objektpatrone eine dem Strahldurchtritt dienende Quierbohrung auf, die auf der dem Objektiv zugekehrten Seite so groß bemessen ist, daß die Patrone mit einer in den Stab eingebauten Verstellvorrichtung aus dem Stab heraus bis in den zum Querverstellen dienenden Objekttisch zu führen ist. Eine Stabschleuse dieser Bauart kann leicht so ,gebaut werden, daß sie in axialer Richtung verhältnismäßig wenig Raum benötigt, darüber hinaus ist es. möglich, die Bedienung einer solchen Schleuse wesentlich einfacher zu .gestalten, als dies bei den bisher bekannten eingangs erwähnten Schleusen möglich isst. Insbesondere kann man die neue Schleuse so. ausbilden, daß durch geeignete mechanische Verriegelungen eine Fehlbedienung ausgeschlossen ist und daß weiterhin sämtliche für das Betätigen der Schleuse wesentliche Bewegungen mit einem einzigen, dem Schleusenstab zugeordneten Handgriff durchgeführt werden können.The invention relates to an object lock for corpuscular jet apparatus, in particular electron microscopes, in which a specimen cartridge receiving, transversely A rod that can be moved between two end positions is used for the beam axis. According to the invention the rod has a beam passage in the area of the operating position of the specimen cartridge Serving Quierbohrung, which are so large on the side facing the lens is that the cartridge with an adjustment device built into the rod from the Rod is to be led out to the specimen table used for transverse adjustment. One Rod lock of this type can easily be built so that it is in the axial direction requires relatively little space, moreover it is. possible the operation to .gestalten such a lock much easier than with the previous one known locks mentioned above possible eats. In particular, you can use the new Lock like that. train that suitable mechanical interlocks prevent incorrect operation is excluded and that all essentials for the operation of the lock continue Movements carried out with a single handle assigned to the lock rod can be.

Für die Schleuse wird mann vorzugsweise einen zylindrisch geschliffenen Stab, der mit Trockendichtungen nach außen hin abgedichtet ist, verwenden. In diesem Stab wird man die Objektpatrone an einem Halter, z. B. einer Gabel, bis zu: einem bestimmten Maß nach allen Richtungen hin frei beweiglich lagern. Auf diese Weise ist ein sicheres Einlaufen der Patrone in den Sitz des Objekttisches, gewährleistet. Der Patronenhalter kann mit einer im Stab eingebauten Verstellvorrichtung, z. B. einem doppelarmiken Hebel oder einer Geradführung, verbunden werden, die die Patrone quer zur Stabachse aus dem Stab heraus bzw. in diesen hinein zu verstellen gestattet. Diese Verstellvorrichtung wird vorzugsweise so ausgestaltet, daß sie durch einen äußeren, dem Stab zugeordneten Handgriff mit Hilfe einfies Gestänges, eines Druckknopfes, eines Zahnrades od. dgl. zu betätigen ist. Die Abdichtung des Stabes nach außen kann in der Weise geschehen, daß der Stab beiderseits aus dem zugeordneten Vakuumraumteil durch Verwendung von Gummidichtungen, vorzugsweise drei Nutringm,anschetten, herausgeführt ist. Auf diese Weise wird der Schleusenstab vom Außendruck entlastet. Der mechanische Antrieb für den im Stab befindlichen Patronenhalter wird zur Erleichterung der Bedienung vorzugsweise so ausgebildet, daß er auch zum Beschicken des Halters mit einer neu zu untersuchenden Patrone aus dem Stab herausgeführt wird.For the lock one is preferably ground cylindrically Use a rod that is sealed to the outside with dry seals. In this Rod one is the object cartridge on a holder, z. B. a fork, up to: one to a certain extent freely moveable in all directions. In this way a safe run-in of the cartridge into the seat of the stage is guaranteed. The cartridge holder can be fitted with an adjusting device built into the rod, e.g. B. a double arm lever or a straight guide, which the cartridge Allowed to be adjusted transversely to the rod axis out of the rod or into it. This adjusting device is preferably designed so that they by a outer handle assigned to the rod with the help of a single rod, a push button, of a gear or the like. Is to be operated. The sealing of the rod to the outside can be done in such a way that the rod on both sides from the associated vacuum space part using rubber seals, preferably three U-rings, cuff them out is. In this way, the lock rod is relieved of external pressure. The mechanical one The drive for the cartridge holder located in the rod is used to facilitate operation preferably designed so that it can also be used to load the holder with a new one to be examined cartridge is led out of the rod.

Durch entsprechende Ausgestaltung der Konstruktionv und Anwendung geeigneter Verriegelungen wird ein Zw-anglauf der Bewegung der Objektpatrone im Stab sichergestellt. Zu diesem Zweck wird man die Querbohrung des Stabes, durch welche die Patrone herausgeführt werden kann,. so, anordnen, daß sie erst in der Beschickungsstellung freigegeben wird. Man-wird ferner den Patronenantrieb so verriegeln, daß die zum Schleusen dienende Schubbewegung des Stabes nur durchführbar ist, wenn das Objekt sich im Stab befindet. Dem Stab wird man ferner einen Anschlag zuordnen, der ihn gegen Verdrehen sichert.Through appropriate design of the construction and application suitable locking is a compulsory movement of the specimen cartridge in the Staff ensured. For this purpose one gets the cross hole of the rod through which the cartridge can be brought out. so, arrange that they are only in the Loading position is released. One will also lock the cartridge drive so that the pushing movement of the rod used for locks can only be carried out if the object is in the bar. The staff will also be assigned a stop, which secures it against twisting.

Gemäß der weiteren Erfindung kann im Stab neben der die Patrone aufnehmenden Querbohrung noch eine zweite Prüfbohrung vorgesehen sein. Auf diese Weise ist es möglich, Justierungen des Elektronenstrahles vorzunehmen, ohne da,ß sich im Strahlengang ein Objekt befindet und ohne daß bei einem derartigen Wechsel aus der Prüf- in die Untersuchungsstellung ein erneutes Auspumpen erforderlich wäre. Den beiden Querbohrungen des Schleusenstabes wird man zur Erleichterung der Einstellung Rasten zuordnen. Die Betriebsstellung der Patrone selbst, die sehr genau festgelegt werden muß, um ein sicheres Einfahren der Patrone in den Sitz des Objekttisches zu gewährleisten, kann man durch einen verstellbaren Anschlag genau justierbar machen.According to the further invention can in the rod next to the cartridge receiving A second test bore can also be provided in the transverse bore. That way it is possible to make adjustments of the electron beam without there being in the beam path an object is located and without such a change from the test to the Examination position a renewed pumping would be necessary. The two cross bores of the lock pole will be assigned notches to facilitate the adjustment. The operating position of the cartridge itself, which must be determined very precisely in order to to ensure that the cartridge is safely inserted into the seat of the stage, can be made precisely adjustable by means of an adjustable stop.

Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung. In Fig. i ist die neue Stabschleuse in der Stellung dargestellt, in welcher sich die Objektpatrone schort in die Strahlachse hineingerückt noch innerhalb des Stabes befindet, während Fig. 2 die aus dem Stab heraus in Richtung auf das Objektiv hin in den Objekttisch eingeführte Objektpatrone zeigt.Further features essential to the invention emerge from the Embodiment of the invention shown in the figures. In Fig. I is the new rod lock shown in the position in which the object cartridge schort pushed into the beam axis still located within the rod while Fig. 2 out of the rod in the direction of the objective in the stage shows inserted object cartridge.

Die Stabschleuse besteht aus dem Stabschleusenkörper i, in dem ein Hebelmechanismus eingebaut ist, mit dem man eine Objektpatrone 2 in den Stabschleusenkörper i hereinholen und hinausschiieben kann. Dieser Mechanismus besteht aus dem Hebel 3, der an dem einen Ende als Gabel a in eine Buchse 5 nach allen Richtungen beweglich eingehängt wird. Das andere Hebelende ist als Gleitnocken 6 ausgebildet. Auf einer mit einem Exzenter versehenen Welle 7 ist ein Kugellager 8 angebracht, durch welches der Gleitnocken 6 in der Riihhtung von unten nach oben bewegt werden kann. Hierdurch führt der Hebel 3 die für das Heraus-und Hereinführen der Objektpatrone erforderliche Schwenkbewegung :um den Zapfen 9 aus. Die Zug- feder io sorgt dafür, da.ß der Gleitnocken 6 kraftschlüssig an dem Kugellager 8 anliegt und daß die Patrone 2 nur mit dem vom Druck der Feder io bestimmten Druck in den Konus i i des Objekttisches i2 eingedrückt werden; kann.The rod lock consists of the rod lock body i, in which a lever mechanism is built in, with which an object cartridge 2 can be brought in and pushed out of the rod lock body i. This mechanism consists of the lever 3, which is suspended at one end as a fork a in a socket 5 so that it can move in all directions. The other end of the lever is designed as a slide cam 6. A ball bearing 8 is mounted on a shaft 7 provided with an eccentric, by means of which the slide cam 6 can be moved in the direction from bottom to top. As a result, the lever 3 executes the pivoting movement required for inserting and removing the specimen cartridge: around the pin 9. The tension spring io ensures that the slide cam 6 rests positively on the ball bearing 8 and that the cartridge 2 is only pressed into the cone ii of the object table i2 with the pressure determined by the pressure of the spring io; can.

Der Stabschleusenkörper i soll beim Ein- und Ausschleusen nur eine ,in der Längsachse des Stabes gerichtete Bewegung, aber keine Drehbewegung ausführen. Um die Drehbewegung zu verhindern, ist am linken Ende des Körpers i eine Stiftschraube 13 eingeschraubt, die in der Gleitnut 14 der fest mit dem Mikroskop verbundenen Hülse 15 beim Hinundherführen des Schleusenstabes gleitet. Außer der der- Patrone zugeordneten Querbohrung 16 besitzt der Schleusenstab i noch eine zweite Querbohrung 17, die dazu dient, den Elektronenstrahl einzustellen, wenn kein Objekt sich im Strahlengang befindet. Zur Erleichterung der Einstellung sind der Stabschleuse zwei Raststellungen zugeordnet, von denen die eine der in Fig. i dargestellten Arbeitsstellung der Objektpatrone und die andere der Prüfstellung zugeordnet ist, in welcher die Querbohrung 17 in den-Strahlengang geführt ist. Zu diesem Zweck ist in die Hülse 15 eine durch ein Gewinde 18 in der Längsrichtung einstellbare Rast 19 eingebaut. Diese Rast i9 besitzt zwei pilzförmige Nocken 2o, die durch eine Druckfeder 21 in die den Raststellungen zugeordneten Nuten 22 bzw. 23 der Hülse 15 einrasten können.The rod lock body i should only perform a movement directed in the longitudinal axis of the rod, but not a rotary movement, when it is being introduced and discharged. In order to prevent the rotary movement, a stud screw 13 is screwed into the left end of the body i, which slides in the sliding groove 14 of the sleeve 15, which is fixedly connected to the microscope, when the sluice rod is moved back and forth. In addition to the transverse bore 16 assigned to the cartridge, the lock rod i also has a second transverse bore 17 which is used to adjust the electron beam when there is no object in the beam path. To facilitate the adjustment, two locking positions are assigned to the rod lock, one of which is assigned to the working position of the object cartridge shown in FIG. For this purpose, a detent 19 adjustable in the longitudinal direction by means of a thread 18 is built into the sleeve 15. This catch i9 has two mushroom-shaped cams 2o which, by means of a compression spring 21, can snap into the grooves 22 and 23 of the sleeve 15 assigned to the catch positions.

Um zu erreichen, daß die Objektpatrone nur dann in das Mikroskop 24 eingeschleust bzw. daraus entnommen werden kann, wenn der Hebel 4 ganz oben steht und damit die Objektpatrone 2 sich ganz im Stabschleusenkörper i befindet, ist eine besondere Kulissenführung vorgesehen, die eine Beschädigung der andernfalls aus dem Stab herausragenden Patrone mit Sicherheit verhütet. Diese Führung besitzt eine Kulissenbuchse 25, die mit mehreren Schrauben 26 an den Drehknopf 27 angeschraubt ist. Ein Führungsstift 28, der in das Führungsrohr 29 eingenietet und somit fest mit dem Mikroskop verbunden ist, greift in eine Nut 3o der Kulissenbuchse 25 ein. Diese Nut ist so ausgebildet, daß sie nur in den beiden Endstellungen der Stabschleuse (Einschleus- und 2#usschleusstellung) eine Drehung des Drehknopfes 27 zuläßt. Die Nut 30 ist nämlich an beiden Enden der Buchse 25 in Richtung des Umfanges geführt. Im Zwischenbereich ist eine Drehung des Knopfes 27 unmöglich, da die Nut 3o hier in der Längsrichtung der Kulissenbuchse 25 verläuft.In order to ensure that the specimen cartridge can only be introduced into the microscope 24 or removed from it when the lever 4 is at the top and thus the specimen cartridge 2 is located entirely in the rod lock body i, a special link guide is provided which prevents damage to the Otherwise the cartridge protruding from the rod will be prevented with certainty. This guide has a link bushing 25 which is screwed onto the rotary knob 27 with several screws 26. A guide pin 28, which is riveted into the guide tube 29 and thus firmly connected to the microscope, engages in a groove 3o in the link bushing 25. This groove is designed in such a way that it allows the rotary knob 27 to be turned only in the two end positions of the rod lock (infeed and outfeed position). The groove 30 is namely guided at both ends of the bush 25 in the direction of the circumference. Rotation of the knob 27 is impossible in the intermediate area, since the groove 3o runs in the longitudinal direction of the link bushing 25 here.

Es empfiehlt sich, die Objektpatrone 2 nach dem Einführen in den Konus des Objekttisches 12 vom Hebeldruck wieder zu entlasten, so daß sie frei von jeglichen äußeren Kräften im Objekttisch sitzt. Erst auf diese Weise ist es möglich, daß der Objekttisch 12 unbehindert hin und her gefahren werden kann. Um diese Druckentlastung zu erreichen, wird der Hebel 3 nach dem Einführen der Patrone wieder um einen geringen Betrag angehoben, und da die Buchse 5 mit zwei kleinen Längsnuten 31 versehen ist, in denen die beiden Führungszapfen 32 der Gabel 4 mit großem Spiel nach allen Richtungen eingreifen, ist das gewünschte Loslösen des Hebels von der Objektpatrone 2 erreicht. Dieses Wiederhochheben des Hebels 3 für die Patronenentlastung geschieht dadurch, daß das Kugellager 8 nicht in der obersten Stellung gelassen wird, sondern über diese Stellung hinweg so weit durch die Exzenterwelle 7 gedreht wird, bis die notwendige Entlastung stattgefunden hat. In dieser Stellung rastet der federnde Stift 33 in die Nut 34 des Führungsrohres 29 ein und sorgt dafür, daß kein Verstellen des Hebels 3 durch die Zugfeder 1o von selbst wieder möglich ist. Durch Anwendung der Schrauben 35 im Drehknopf 27 ist dieser einstellbar gemacht.It is advisable to insert the object cartridge 2 into the cone of the stage 12 to relieve the lever pressure again, so that they are free of any external forces sitting in the stage. Only in this way is it possible for the Object table 12 can be moved back and forth unhindered. To this pressure relief to achieve, the lever 3 after inserting the cartridge again by a small amount Amount raised, and since the socket 5 is provided with two small longitudinal grooves 31, in which the two guide pins 32 of the fork 4 with large play in all directions intervene, the desired detachment of the lever from the specimen cartridge 2 is achieved. This lifting of the lever 3 for the cartridge relief is done by that the ball bearing 8 is not left in the uppermost position, but over this position is rotated away by the eccentric shaft 7 until the necessary Discharge has taken place. In this position, the resilient pin 33 engages the groove 34 of the guide tube 29 and ensures that no adjustment of the lever 3 is possible again by itself by the tension spring 1o. By using the screws 35 in the rotary knob 27 this is made adjustable.

Um die Objektpatrone 2 sicher in den Konus des Objekttisches 12 einführen zu können, ist wegen der erwähnten notwendigen Beweglichkeit der Patrone 2 ein Führungsstück 36 in dem Stabschleusenkörper i eingebaut. Zur Abdichtung des Schleusenkörpers i gegen den Vakuumraum 24 des Mikroskops sind drei Nutringmanschetten aus Gummi 37, 38, 39 vorgesehen. An der Ausschleusseite (rechts) sind die beiden Manschetten 37 und 38 hintereinanderliegend vorgesehen, die dafür sorgen, daß die Außenluft nicht voll in denn Vakuumraum eindringt, wenn eine Öffnung des Schleusenstabes i auf eine Manschette zu stehen kommt. Wenn eine der Öffnungen unter der Manschette 37 liegt, kann nämlich nur Luft von außen in den Raum 4o zwischen den Manschetten eindringen, d. h. nur ein verhältnismäßig geringes Volumen. Wenn eine der Öffnungen unter der Manschette 38 liegt, kann nur das geringe, in dieser Zwischenkammer 40 befindliche Luftvolumen in den Vakuumraum eindringen. Auf der linken Stabschleusenseite genügt eine einzige Nutringmanschette 39, weil an dieser Stelle keine Öffnungen des Stabes hindurchgeschoben werden. Da beide freien Enden des Schleusenstabes sich außerhalb des Vakuumraumes befinden, ist die Schleuse leicht beweglich, da beim Schleusvorgang nicht gegen den atmosphärischen Drücke gearbeitet werden muß.To insert the specimen cartridge 2 securely into the cone of the specimen table 12 to be able to, because of the aforementioned necessary mobility of the cartridge 2 is a guide piece 36 built into the rod lock body i. To seal the lock body i against the vacuum space 24 of the microscope are three U-ring seals made of rubber 37, 38, 39 provided. The two cuffs 37 are on the discharge side (right) and 38 provided one behind the other, which ensure that the outside air does not fully penetrates into the vacuum space when an opening of the lock rod i on a Cuff comes to a standstill. If one of the openings is under the cuff 37, only air from the outside can penetrate into space 4o between the cuffs, d. H. only a relatively small volume. If one of the openings is under the Cuff 38 is located, can only the small, located in this intermediate chamber 40 Air volume penetrate into the vacuum space. On the left side of the security lock is sufficient a single U-ring collar 39, because there are no openings in the rod at this point be pushed through. Since both free ends of the lock rod are outside of the vacuum space, the lock is easy to move, as it is during the lock process it is not necessary to work against atmospheric pressures.

Die Betätigung der Stabschleuse geschieht mit Hilfe des einen Drehknopfes 27. Zum Einschleusen der Patrone 2 muß der Drehknopf 27 bis an den rechten Anschlag gedreht werden. Erst dann kann der Stabschleusenkörper i herausgezogen werden. Danach wird der Drehknopf 27 ganz nach links gedreht, wodurch sich die Gabel des Hebels 3 senkt, und die Patrone kann nunmehr durch die Öffnung 41 in dien Stabschleusenkörper i eingeführt und an die Buchse 5 angeschraubt werden. Danach wird der Drehknopf 27 bis an den rechten Anschlag gedreht, wodurch die Patrone 2 in den Schleusenstab eingeführt wird. Erst nach Erreichen der Endstellung des DreIrlmopfes 27 kann der Körper i wieder in die Mikroskopröhre eingebracht werden. Nach Erreichen der durch den Nocken 20, 22 bedingten Betriebslage wird der Drehknopf 27 wieder nach links bis zum Anschlag gedreht. Dadurch wird die Patrone 2 auf den Objekttisch 12 gesenkt und anschließend der Hebel 3 von der Patrone 2 gelöst.The rod lock is actuated with the aid of a rotary knob 27. To insert the cartridge 2, the rotary knob 27 must all the way to the right stop to be turned around. Only then can the rod lock body i be pulled out. Thereafter the knob 27 is turned all the way to the left, which causes the fork of the lever 3 lowers, and the cartridge can now through the opening 41 in the rod lock body i inserted and screwed to the socket 5. After that, the rotary knob 27 turned to the right stop, whereby the cartridge 2 in the sluice rod is introduced. Only after reaching the end position of DreIrlmopfes 27 can the Body i can be reinserted into the microscope tube. After reaching the through The operating position dependent on the cams 20, 22, the rotary knob 27 is again to the left turned to the stop. The cartridge 2 is thereby lowered onto the object table 12 and then the lever 3 released from the cartridge 2.

Zum Ausschleusen wird der Drehknopf 27 durch Rechtsdrehung ganz an den rechten Anschlag gebracht, und durch Ziehen an dem gleichen Drehknopf 27 wird der Stab herausgezogen und anschließend durch Linksdrehen die Patrone griffbereit zum Abschrauben aus dem Schleusenkörper i herausgeführt. Die Lage der Objektpatrone 2 zum Konus ii des Tisches 12, wird einmalig eingestellt. Hierzu wird die Rast i9 an der Schraube i8 verstellt, die dann durch eine Gegenmutter 42 gesichert wird. Ferner wird die Anschlagschraube 43 so eingestellt, daß der Körper i hier seinen festen Anschlag findet. Die Kulisse läßt für diese Feineinstellung ein entsprechendes. Spiel zu dadurch, daß die Teile der Nut 34,breiter sind als der darin geführte Stift 28.For outward transfer, the rotary knob 27 is turned all the way to the right brought the right stop, and by pulling the same knob 27 is the rod is pulled out and then the cartridge is ready to hand by turning it to the left to unscrew from the lock body i led out. The location the object cartridge 2 to the cone ii of the table 12 is set once. For this the notch i9 is adjusted on the screw i8, which is then secured by a counter nut 42 is secured. Furthermore, the stop screw 43 is adjusted so that the body i finds its firm stop here. The setting allows for this fine adjustment a corresponding. Game to by the fact that the parts of the groove 34 are wider than the pin guided in it 28.

Beim Umstellen des Schleusenstabes aus der in den Figuren dargestellten Gebrauchsstellung (Objekt im Strahlengang) in die durch die Querbohrung 17 gegebene Prüfstellung wird der Stab von der einen Raststellung 22 in die andere, 23, geschoben.When changing the lock rod from the one shown in the figures Use position (object in the beam path) in the given by the transverse bore 17 In the test position, the rod is pushed from one latching position 22 into the other, 23.

Da die Bauhöhe der vorstehend beschriebenen Schleuse sehr .gering ist, ist es bei ihr möglich, eine Zentrierblende fest im Strahlengang vor dem Gehäuse der Stabschleuse anzubringen.Since the height of the lock described above is very .gering it is possible to fix a centering diaphragm in the beam path in front of the housing to be attached to the rod lock.

Bei dem bisher beschriebenen Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen Schleusenstab, mit dem eine Objektpatrone ein- und ausgeschleust werden kann. Man kann die Erfindung auch so ausgestalten, daß mit Hilfe eines Stabes zwei Patronen wahlweise durch den Stab ein- und ausgeschleust werden können, so daß man die fortlaufende Untersuchung von Objekten entsprechend beschleunigen kann. Zu diesem Zweck wird die Anordnung so ausgebildet, daß der Schleusenstab zwei Querbohrungen besitzt und quer durch die Vakuumwand nach beiden Seiten hindurchgeführt ist, so daß sich jeweils die eine Querbohrung in der Betriebslage befindet, wenn die andere in der Beschickungsstellung steht. Ein Ausführungsbeispiel für eine derartige Stabschleuse ist in Fig. 3 schematisch dargestellt. Der Schleusenstab 51 besitzt in diesem Falle zwei Aufnahmequerbohrungen für die beiden Objektpatronen 52 und 53. Die Patrone 53 befindet sich in der dargestellten Lage der Schleuse gerade in der Betriebslage, während die Patrone 52 in der Beschickungsstellung steht, in welcher sie von außen her durch eine untere Öffnung in dem linken Führungsrohr 54 entnommen werden kann. Auf der rechten Seite ist dem Schleusenstab ein entsprechendes Führungsrohr 55 zugeordnet. Die Abdichtung des Schleusenstabes nach außen hin erfolgt mit Hilfe der Dichtungen 56 bis 59. Mit 6o und 61 sind die beiden dem Schleusenstab zugeordneten Kulissenbuchsen bezeichnet, die für die zwangläufige Führung der Patronen aus der Beschickungsstellung in die Betriebslage und umgekehrt sorgen.The embodiment described so far is a sluice rod with which a specimen cartridge can be fed in and out. The invention can also be designed so that two cartridges with the help of a rod can optionally be introduced and discharged through the rod, so that the continuous Examination of objects can accelerate accordingly. To this end, will the arrangement is designed so that the lock rod has two transverse bores and is passed across the vacuum wall on both sides, so that each one cross hole is in the operating position when the other is in the loading position stands. An exemplary embodiment for such a rod lock is shown schematically in FIG. 3 shown. In this case, the lock rod 51 has two receiving transverse bores for the two object cartridges 52 and 53. The cartridge 53 is shown in FIG Position of the lock in the operating position, while the cartridge 52 is in the loading position stands in which it is seen from the outside through a lower opening in the left guide tube 54 can be seen. On the right side there is a corresponding lock pole Guide tube 55 assigned. The lock rod is sealed to the outside with the help of the seals 56 to 59. With 6o and 61 the two are the lock rod assigned link bushes designated for the positive guidance of the cartridges from the loading position to the operating position and vice versa.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Object lock for corpuscular beam devices, in particular electron microscopes., with the use of a rod that can be moved transversely to the straw axis between two end positions; characterized, that the rod in the area of the operating position of the specimen cartridge one of the beam passage The cross hole serving as large on the side facing the lens is dimensioned that the cartridge with an adjustment device built into the rod out of the rod into the specimen table used for cross-adjustment is.

2. Arrangement according to claim i, characterized in that the cartridge on one holder located in the rod, e.g. B. a fork, to a certain extent is freely movable in all directions.

3. Arrangement according to claim 2, characterized characterized that the cartridge holder with an adjustment device built into the rod, z. B. a double-armed lever or a straight line, connected ntst that the To adjust the cartridge transversely to the rod axis out of the rod or into it permitted, and that this adjusting device by means of an external handle Linkage, push button, gear wheel or the like. Is to be operated.

4. Arrangement according to claim i, characterized ge @ indicates that the rod on both sides from the associated vacuum space part through the use of rubber seals, preferably three U-ring collars, led out is.

5. Arrangement according to claim i or one of the following ,, characterized by such a design of the adjustment device for the cartridge holder that this is also to lead out of the rod for loading.

6. Arrangement according to claim 5, characterized in that the transverse bore of the rod through which the cartridge is led out, is arranged so that it is only in the loading position is exposed.

7. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that that the cartridge drive is locked so that the thrust movement used for sluicing of the rod is only feasible if the object is in the rod. B.

arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that in the operating position Relative movement between table and rod is possible without additional loading is, the relief of the table preferably by the adjustable overtravel Fork or straight guide is changeable.

9. Arrangement according to claim i or one the following, characterized in that a stop is assigned to the rod, which secures it against twisting. ok

Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that in the rod next to the transverse bore receiving the cartridge a second test hole is also provided. ii.

Arrangement according to claim io, characterized marked that the two holes for ease of adjustment detents assigned. .

12. The arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the operating position of the cartridge by a adjustable stop is precisely justY. achievable.

13. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that a centering diaphragm above the sluice bar is arranged.

14 .. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized characterized in that such a double-armed lever for raising and lowering the cartridge is to be used in which the end carrying the cartridge is relatively long, in order to carry out the lowering movement on as straight a path as possible, while the short end is designed as a cam on which the movement mechanism engages.

15. The arrangement according to claim 1.4, characterized in that the lever by a Cam, an eccentric, an eccentrically mounted rod or the like. To move which is frictionally connected to the cam of the lever.

16. Arrangement according to claim 14 or 15, characterized in that a tension or compression spring pushes the lever on the drive mechanism, which is arranged to remove the cartridge only to be pressed into the specimen stage with the pressure force determined by the spring, while it can be pulled out with any force.

17. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the cartridge by a link arrangement is to be controlled, the one in the inward and outward transfer position transversely to the axis of the link body has lying guide groove to only raise or lower in these positions to allow the cartridge, while the guide groove in the intermediate positions longitudinal the link axis and thereby a movement of the lever and thus the cartridge prevents, but releases the inward and outward movement. 18 ,.

Arrangement according to Claim 17, characterized in that for actuating the cartridge movement and only one control button is provided to move the rod back and forth, which is mechanical with both the drive mechanism and the Kul; i, ssenkbody connected is. i9.

Arrangement according to claim 17 or 18, characterized in that a protective tube attached to the housing is assigned to the lock rod, from which the tubular link body is to be pulled out telescopically, with a complete Pulling out is prevented by a stop. 2o.

Arrangement according to claim 6 and 17, characterized in that for changing the cartridge in the guide tube intended opening is only exposed in the discharge position through the link body.

21. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that that the lock rod has two transverse bores for receiving one cartridge each and is passed through the vacuum wall on both sides, so that each one of the transverse holes is in the operating position when the other is in the Loading position is up.