Zu den verschiedenen Fehlern,. welche bei elektronenoptischen Linsen
auftreten, gehören sowohl die sphärische Aberration: als auch der chromatische Fehler.
Beide Fehler bedingen eine Begrenzung des Auflösungsvermögens. Der chromatische
Fehler ist bei den üblichen Elektronenlinsen im allgemeinen :zu vernachlässigen,
obwohl auch dieser Fehler ebenso wie die sphärische Aberration, wie Scherzer zeigen
!konnte, nicht zu vermeiden ist. Eine um so höhere Bedeutung ist der sphärischen
Aberration beizumessen. Dieser letztere Fehler beruht darauf, daß die Strahlen,
welche unter verschiedenen Winkeln in die Linse eintreten, je nach der Größe des
Einfallwinkels eine mehr oder weniger starke Abweichung von der geometrischen, optisch
berechneten Bahn zeigen.About the various errors. which in electron optical lenses
occur include both the spherical aberration: and the chromatic error.
Both errors cause the resolution to be limited. The chromatic
In the case of the usual electron lenses, error is generally: negligible,
although this error as well as the spherical aberration, as Scherzer show
! could not be avoided. The spherical is all the more important
To attribute aberration. This latter error is due to the fact that the rays
which enter the lens at different angles, depending on the size of the
Incidence angle a more or less strong deviation from the geometric, optical
show calculated path.
Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahlgefäß, insbesondere Übermikroskop,
mit magnetischer Objektivlinse. Nach :der Erfindung ist bei .der Objektivlinse der
Fehler der sphärischen Aberration dadurch herabgesetzt, da3 das Ob@jelkt in einem
Raum von vorzugsweise pra'ktiseh konstantem Magnetfeld angeordnet ist, und das Feld
fällt vom Objekt an stetig und schnell auf den Wert Null ab.The invention relates to a corpuscular beam vessel, in particular a microscope,
with magnetic objective lens. According to the invention, the objective lens is the
Errors in spherical aberration are reduced by the fact that the object is in one
Space of preferably practically constant magnetic field is arranged, and the field
drops steadily and quickly from the object to the value zero.
Die bekannten magnetischen Elektronenlinsen, wie sie als Objektivlinse
in Übermikroskopen. benutzt werden, weisen einen Feldverlauf auf, wie er in der
Fig. i dargestellt ist. -DieFe@ldstärkeH steigt auf einen maximalen Wert an und
fällt :dann sofort wieder alb. Dein Gegenstand der Erfindung zugrunde liegende Untersuchungen
zeigten nun, -daß die sphärische Aberration wesentlich kleiner wird, so daß bessere
Abbildungsverhältnisse erhalten werden, wenn als Objektivlinse eine magnetische
Elektronenfinse mit einem Feldverlauf gemäß Fiig. 2 gewählt und das Objekt in einem
Raum von vorzugsweise praktisch konstantem Magnetfeld- angeordnet wird. Zur Abbildung
wird nur dasjenige Feldgebiet benutzt, in welchem die Feldstärke von dem konstantem
Wert auf den Wert Null abfällt. Mit Rücksicht .darauf, daß vor dem Objekt kein beliebig
langes "konstantes Feld vorgesehen werden kann, wird man in genügender Entfernung
vom Objekt das Feld wieder auf Null abfallen lassen.The well-known magnetic electron lenses, such as those called the objective lens
in super microscopes. are used, have a field course as it is in the
Fig. I is shown. -TheFe @ ldstarkH increases to a maximum value and
falls: then immediately again silly. Investigations underlying your subject matter of the invention
have now shown that the spherical aberration is much smaller, so that better
Imaging ratios are obtained when the objective lens is a magnetic one
Electron fin with a field profile according to Fiig. 2 chosen and the object in one
Space of preferably practically constant magnetic field is arranged. To the illustration
only that field area is used in which the field strength differs from the constant
Value drops to zero. With regard to the fact that there is no arbitrary in front of the object
long "constant field can be provided, one will be at a sufficient distance
let the field of the object drop back to zero.
' Eine praktische Ausführungsform einer Anordnang nach der Erfindung
besteht beispielsweise gemäß Fig. 3 in einer langen Spule Sp, in der das Objekt
0 angeordnet ist. ,An Stelle des Streufeldes einer langen Spule 'kann auch gemäß
Fig. ¢ ein homogenes Feld zwischen den Polschuhen eines Permanent- oder Elektromagneten
erzeugt werden. Die Polschuhe des Magneten sind mit einer Bohrung versehen, durch
die :der Elektronenstrahl geführt wird.A practical embodiment of an arrangement according to the invention
consists for example according to FIG. 3 in a long coil Sp, in which the object
0 is arranged. 'Instead of the stray field of a long coil', according to
Fig. ¢ a homogeneous field between the pole pieces of a permanent magnet or electromagnet
be generated. The pole pieces of the magnet are drilled through
which: the electron beam is guided.