Glühkathodenhochvakuumventil mit teilweise äus Metall bestehender
Gefäßwand Gegenstand der Erfindung ist ein Glühkathoäienhochvakuumventil mit teilweise
aus Metall bestehender Gefäßwand, das sich von den bekannten dadurch unterscheidet,
daß die ringförmige., vorzugsweise aus Molybdän oder Tantal bestehende Anode auf
ihrer der Kathode abgewandten Außenseite eine Getterschicht, vorzugsweise aus Zirkon,
trägt und von einem metallischen Teil der Gefäßwand in solchem Abstand umgeben ist,
dafi ein Zwischenraum entsteht, in dem die Getterung stattfindet. Bei dem erfindungsgemäßen
Glühkathodenhochvakuumventil bildet also die Anode nicht einen Teil der Außenwand,
sie nimmt daher eine verhältnismäßig hohe Temperatur an, so daß die auf ihrer Außenseite
angebrachte Getterschicht, vorzugsweise aus Zimkon, eine Getter-Wirkung in dem sie
umgebenden Raum ausüben kann. Die an der Anode frei werdtnde Wärme wird dem sie
umgebenden metallischen Teil der Gefäßwand durch Strahlung zugeführt.Hot cathode high vacuum valve with some existing metal
Vessel wall The subject of the invention is a hot cathode high vacuum valve with partial
The wall of the vessel made of metal, which differs from the known ones in that
that the ring-shaped anode, preferably made of molybdenum or tantalum
its outside facing away from the cathode has a gettering layer, preferably made of zirconium,
and is surrounded by a metallic part of the vessel wall at such a distance,
that a gap is created in which gettering takes place. In the inventive
Hot cathode high vacuum valve so the anode does not form part of the outer wall,
it therefore assumes a relatively high temperature, so that on its outside
attached getter layer, preferably made of cinnamon, a getter effect in which it
surrounding space. The heat released at the anode becomes it
surrounding metallic part of the vessel wall supplied by radiation.
Es ist zweckmäßig, die Anode durch einen ringförmigen Körper, der
die Verschmelzungsstelle zwischen .dem aus Glasbestehenden Teil der Gefäßwand und
dem aus Metall bestehenden Teil elektrostatisch abschirmt, einerseits und durch
den metallischen Teil der Gefäßwand andererseits formschlüssig zu halten.It is convenient to the anode by an annular body, the
the fusion point between .the part of the vessel wall made of glass and
the part made of metal electrostatically shields, on the one hand and through
on the other hand, to hold the metallic part of the vessel wall in a form-fitting manner.
Die Fig. -i bis 3 zeigen in zum Teil schematischer Darstellung Ausführungsbeispiele
des erfindungsgemäßen Glühkathodenhochvakuumventi:ls.FIGS. 1 to 3 show exemplary embodiments in a partially schematic representation
of the hot cathode high vacuum valve according to the invention: ls.
Die beispielsweise aus Wolfram -hergestellte Kathode i ist in der
Achse der ringförmigen
Anode z, die vorzugsweise aus Molybdän oder
Tontal besteht, angebracht. Die Anode 2 trägt auf ihrer Außenseite eine Getterschicht,
vorzugsweise aus Zirkon, die nur sehr dünn ist.- Sie ist deshalb in der Figur nicht
besonders dargestellt. Es sind vielmehr zur -Andeutung ihrer Lage die dem Querschnitt
durch die zylindrische Anode außen begrenzenden Striche dicker ausgeführt. Die Anode
2 ist mit einem solchen Abstand von dem metallischen Teil 3 der Gefäßwand umgeben,
daB zwischen beiden Teilen ein Zwischenraum i15 entsteht, in dem die Getterung stattfindet.
Die Anode 2 ist durch den ringförmigen Körper 4, beispielsweise aus Kupfer, der
die Verschmelzungsstelle zwischen dem aus Glas bestehenden Teil 5 der Gefäßwand
und dem beispielsweise aus einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung =bestehenden Teil
6 der Gefäßwand elektrostatisch abschirmt, einerseits und dem metallischen Teil
3 der Gefäßwand andererseits formschlüssig gehalten. Die Halterung an der Gefüßwandseite
ist bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 .durch eine in der Wand 3 vorgesehene
Rille io noch verbessert. Der innere Abschirmkörper 4, der zugleich zur Halterung
der Anode dient, und ein beispielsweise aus Kupfer oder Eisen bestehender Ring 7,
der die Verbindung zwischen dem mit dem Glas verschmolzenen Metallteil 6 und dem
metallischen Tei13 der Gefäßwand herstellt, sowie ein etwa vorhandener äußerer elektrostatischer
Abschirmkörper8 für die Verschmelzungsstelle sind mit dem metallischen Teil 3 der
Gefäßwand verlötet. Die Verbindungen zwischen. dem Teil 7 und den Teilen 3, und
6 müssen selbstverständlich vakuumdicht ausgeführt werden, Der Teil 8 kann auch
abnehmbar ausgebildet werden. Der Raum 15 steht durch die Öffnungen 9 in dem inneren
Abschirmzylinder 4 mit dem übrigen Vakuumraum in Verbindung.The cathode i, made for example from tungsten, is in the
Axis of the annular
Anode z, which is preferably made of molybdenum or
Tontal consists, appropriate. The anode 2 has a getter layer on its outside,
preferably made of zircon, which is only very thin - it is therefore not in the figure
specially shown. Rather, they are used to indicate their position in relation to the cross-section
The lines delimiting the outside of the cylindrical anode are made thicker. The anode
2 is surrounded by the metallic part 3 of the vessel wall at such a distance that
that there is a gap between the two parts, in which the gettering takes place.
The anode 2 is through the annular body 4, for example made of copper, the
the fusion point between the glass part 5 of the vessel wall
and the part consisting, for example, of an iron-nickel-cobalt alloy =
6 electrostatically shields the vessel wall, on the one hand and the metallic part
3 on the other hand, the vessel wall is held in a form-fitting manner. The bracket on the side of the vessel wall
is in the embodiment of FIG. 2 .by one provided in the wall 3
Groove io still improved. The inner shielding body 4, which is also used for holding
the anode is used, and a ring 7 made of copper or iron, for example,
the connection between the metal part 6 fused to the glass and the
metallic part of the vessel wall, as well as any external electrostatic
Shielding bodies 8 for the fusion point are with the metallic part 3 of the
Soldered vessel wall. The connections between. part 7 and parts 3, and
6 must of course be made vacuum-tight, part 8 can also
be designed to be removable. The space 15 stands through the openings 9 in the interior
Shielding cylinder 4 in connection with the rest of the vacuum space.
Beidem Ausführungsbeispiel nach Fng. 3 wird die Anode, 2 durch den
inneren Abschirmkörper r2 an ihrem einen Ende gehalten. Dieser Abschirmzylinder
und der mit dem aus Glas bestehenden Teil der Gefäßwand verbundene Tei16 sind "mit
einem starkwandigen Kurzschlußring verbunden, der eine allzu starke Erhitzung des
Teiles 6 durch Streufelder verhindert, wenn zur Herstellung von Verlötungen oder
zum Entgasen der untere- Teil 3 der Gefäßwand unter Anwendung von Hochfrequenzströmen
erhitzt wird. Der Teil i i muß vakuumdicht mit den Teilen 3 und 6 verlötet sein.
Der äußere Abschirmzylin.der 1:3 wird zweckmäßig ebenfalls mit dem Ring ia verlötet
oder abnehmbar an ihm befestigt. Zur Herstellung,der Verbindung zwischen .dem Raum
15 und dem übrigen Vakuumraum des Gefäßes dienen den Ring ii durchsetzende Bohrungen
14.In both the exemplary embodiment according to Fig. 3 becomes the anode, 2 through the
inner shielding body r2 held at one end. This shielding cylinder
and the part connected to the part of the vessel wall made of glass are "with
connected to a thick-walled short-circuit ring, which causes excessive heating of the
Part 6 prevented by stray fields if for the production of soldering or
for degassing the lower part 3 of the vessel wall using high frequency currents
is heated. Part i i must be soldered to parts 3 and 6 in a vacuum-tight manner.
The outer shielding cylinder 1: 3 is expediently also soldered to the ring in general
or detachably attached to it. To create the connection between .the space
15 and the rest of the vacuum space of the vessel serve the ring ii penetrating holes
14th
Das Ventil ist für den Betrieb unter 01 oder in Luft geeignet. Beim
Betrieb unter Öl geschieht die Wärmeabgabe durch den Teil 3, der in das Öl eintaucht
oder mit einem - von Öl durchflossenen Kühlmantel umgeben ist. An Stelle:,des.:
Öls kann auch eine andere Kühlflüssigkeit verwendet werden. Bei der Kühlung mit
Luft empfiehlt es sieh, entsprechend dein in Fi@g.4 dargestellten Ausführungsbeispiel
auf .den. Teil 3 einen Rippenkühler aufzusetzen, um .die WäTmeübergangsfläehe zu
vergrößern. Zur Erzielung eines guten Wärmeüberganges ist es zweckmäßig, in diesem
Fall .den Teil 3 der Gefäßwandung konisch auszubilden und seiner Außenfläche die
Innenfläche des zentralen Teiles 16, an dein -die Rippen 17 des Kühlers befestigt
sind, dieser konischen Fläche möglichst anzupassen. Zur Erzielung des für die Sicherung
eines guten Wärmeüberganges notwendigen Kontaktdruckes dient bei dem dargestellten
Ausführungsbeispiel die auf dem mit Gewinde versehenen Stift i8 aufgeschraubte Mutter
i9, die vorzugsweise unter Vermittlung einer Feder 2o auf den Teil 16 .den erforderlichen
Druck ausübt.The valve is suitable for operation under 01 or in air. At the
Operation under oil, the heat is emitted through part 3, which is immersed in the oil
or with a - is surrounded by a cooling jacket through which oil flows. Instead of.:
Another coolant can also be used for the oil. When cooling with
Luft recommends it see, according to your embodiment shown in Fi@g.4
on .den. Part 3 to put on a finned cooler to .the heat transition area
enlarge. To achieve good heat transfer, it is useful in this
Case. To form the part 3 of the vessel wall conically and its outer surface
Inner surface of the central part 16, attached to the ribs 17 of the cooler
are to be adapted to this conical surface as much as possible. To achieve the for the backup
a good heat transfer necessary contact pressure is used in the case of the one shown
Embodiment the nut screwed onto the threaded pin i8
i9, which is preferably with the mediation of a spring 2o on the part 16 .den required
Exerting pressure.