DE883482C

DE883482C - Electron diffraction tubes

Info

Publication number: DE883482C
Application number: DES11822D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Ruska
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1944-12-01
Filing date: 1944-12-01
Publication date: 1953-07-16

Description

Elektronenbeugungsröhre Bei der Herstellung von Beugungsaufnahmen in Iiorpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenbeugungsröhren oder Elektronenmikroskopen, ist der zentrale Leuchtfleck bei der Scharfstellung des Bildes auf dem Leuchtschirm und gelegentlich auch bei der Herstellung der fotografischen Aufnahme hinderlich. Dieser Nachteil wird bei der Erfindung dadurch vermieden, daß in den Strahlengang vor dem Leuchtschirm und/oder vor der fotografischen Schicht eine Abdeckvorrichtung einfuhrbar ist, durch die der zentrale Leuchtfleck abgeschirmt wird. Diese Abdeckvorrichtung ermöglicht es also, das Beugungsbild eines Objektes auf dem Leuchtschirm zu betrachten, ohne daß der zentrale Leuchtfleck stört, was insbesondere dann der Fall ist, wenn sich die einzelnen Beugungsringe nur sehr schwach auf dem Leuchtschirm abheben. Wenn man die Abdeckvorrichtung auch bei der Herstellung der fotografischen Aufnahme verwendet, ergibt sich der Vorteil, daß man die Belichtungszeit besser als bisher den unterUmständen verhältnismäßig schwachen Beugungsringen anpassen kann, als wenn auch der zentraleLeuchtfleck mit auf der Platte fotografiert wird.Electron diffraction tube In the production of diffraction recordings in puscular beam apparatus, for example electron diffraction tubes or electron microscopes, is the central light spot when the image is focused on the fluorescent screen and occasionally also a hindrance in the production of the photographic recording. This disadvantage is avoided in the invention that in the beam path a covering device in front of the luminescent screen and / or in front of the photographic layer can be introduced, through which the central light spot is shielded. This covering device makes it possible to look at the diffraction pattern of an object on the luminescent screen, without disturbing the central light spot, which is especially the case when the individual diffraction rings stand out only very weakly on the fluorescent screen. If the covering device is also used in the production of the photographic recording is used, there is the advantage that the exposure time is better than before can adapt to the relatively weak diffraction rings under certain circumstances than if the central light spot is also photographed on the plate.

Die Vorrichtung zum Abdecken des zentralen Leuchtflecks kann beispielsweise durch einen am Rand der Belichtungsklappe angeordneten Vorsprung gebildet werden. Dabei ist es vorteilhaft, die Belichtungsklappe mit einem vorzugsweise von außen einstellbaren Anschlag zu versehen, der das Freigeben des Leuchtschirmes bzw. der Fotoschicht so begrenzt, daß der zentrale Leuchtfleck bei der Beobachtung bzw. bei der Aufnahme abgeschirmt ist. Umbei Anwendung einer mit der Belichtungsklappe kombinierten Abdeckvorrichtung das Beugungsbild auf einem Leuchtschirm beobachten zu können, wird man mit Vorteil im Strahlengang hinter der Belichtungsklappe einen Leuchtschirm anwenden, der dann zur Aufnahme aus dem Bereich der Fotoschicht, beispielsweise durch seitliches Verschieben, entfernt werden kann. Ein als Abdeckvorrichtung dienender Vorsprung kann beispielsweise durch ein abgerundetes Blech gebildet werden, dessen Rand an der dem Strahl zugekehrten Seite hochgebogen ist. Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß man ein Rohr anwendet, das nach der dem Strahl zugekehrten Seite hin offen ist. Ein solches Rohr wird man unter einem solchen Winkel am Belichtungsschirm geneigt anbringen, daß der zentrale Strahl in der durch den einstellbaren Anschlag bestimmten »Offen«-Stellung in die-Rohrachse fällt.The device for covering the central light spot can, for example are formed by a projection arranged on the edge of the exposure flap. It is advantageous to have the exposure flap preferably from the outside adjustable stop to be provided, the releasing of the luminescent screen or the Photo layer limited so that the central light spot at the observation or is shielded when recording. By using one with the exposure flap combined covering device observe the diffraction pattern on a fluorescent screen In order to be able to do so, it is advantageous to get one in the beam path behind the exposure flap Apply fluorescent screen, which is then used to record from the area of the photo layer, for example can be removed by sliding it sideways. One serving as a covering device Projection can be formed, for example, by a rounded sheet metal whose Edge is bent up on the side facing the beam. Another option consists in using a tube pointing towards the side facing the beam is open. Such a tube will be seen at such an angle on the exposure screen Install at an angle that the central beam is in the through the adjustable stop certain "open" position falls into the tube axis.

Man kann die Vorrichtung zum Abdecken des zentralen Leuchtflecks auch mit einer Belichtungsklappe verbinden, die quer zur Strahlrichtung hin und her beweglich angeordnet ist. Eine andereAusführungsmöglichkeit der Erfindung besteht darin, daß man die Abdeckvorrichtung mit einem seitlich verschiebbaren Leuchtschirm verbindet. In diesem Fall wird der Antrieb für den Leuchtschirm unabhängig steuerbar von dem Antrieb des Kassettenschiebers ausgebildet. Wenn man einen vom Leuchtschirm unabhängigen Belichtungsverschluß anwendet, kann der zum lichtdichten Abschluß der Fotokassette dienendeDeckel und derLeuchtschirm einen gemeinsam von außen zu betätigenden Antrieb zum Freilegen der Fotoschicht besitzen. Eine besonders einfache Ausführungsform hierfür ergibt sich, wenn der Leuchtschirm direkt auf dem Kassettendeckel befestigt ist.The device for covering the central light spot can also be used connect with an exposure flap that can be moved back and forth transversely to the beam direction is arranged. Another embodiment of the invention is that the cover device is connected to a laterally displaceable fluorescent screen. In this case, the drive for the fluorescent screen can be controlled independently of the Drive of the cassette slide formed. When one is independent of the fluorescent screen Applying shutter, can be used to seal the photo cassette light-tight Serving cover and the fluorescent screen have a common externally operated drive to expose the photo layer. A particularly simple embodiment this results when the fluorescent screen is attached directly to the cassette lid is.

Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus den im folgenden behandelten Ausführungsbeispielen.Further features essential to the invention emerge from the in the following treated embodiments.

Fig. i und 2 zeigt im Längs- und 'Querschnitt eine Vorrichtung zur Herstellung von Innenaufnahmen in Elektronenbeugungsgeräten. Mit i ist die Vakuumwand des Beugungsgerätes bezeichnet; bei 2 ist ein Schauglas in diese Wand eingesetzt, durch welches: hindurch der Leuchtschirm betrachtet werden kann. Im unteren Teil des Gerätes ist um eine Achse 3 schwenkbar eine Belichtungsklappe 4 angeordnet, die auf der linken Seite ein abgerundetes Blech 5 trägt, dessen Rand nach der dem Strahl zugekehrten Seite hin hochgebogen ist. Fig. 3 zeigt dieses als Abdeckvorrichtung des zentralen Leuchtflecks dienende Blech größer herausgezeichnet. Die Klappe 4 kann mit Hilfe des äußeren Handgriffes 6 hochgeklappt werden. An der Drehachse 7 der Klappe 4 ist ein von außen einstellbarer Anschlag 8 vorgesehen, der mit einem an der Vakuumwand i befestigten Gegenanschlag 9 zusammenarbeitet. Durch geeignete Einstellung dieses Anschlages 8 kann man den Winkel festlegen, bis zu dem die Klappe 4 mit Hilfe des Handgriffes 6 hochgehoben werden kann. Wenn man die Klappe 4 bis in die durch den Anschlag 8 festgelegte, in der Figur gestrichelt angedeutete Lage gehoben hat, ist auf einem unter der Klappe 4 befindlichen Leuchtschirm io das Beugungsbild in der aus der Fig. 2 ersichtlichen Weise sichtbar, wobei also der zentrale Leuchtfleck durch das abgerundete Blech 5 abgeschirmt ist. Mit i I ist die Fotokassette- bezeichnet, in welcher sich die Platte i2 befindet. Mit 13 ist der Schieber der Kassette bezeichnet: In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind dem Leuchtschirm io und dem Schieber 13 je ein besonders von außen zu bedienender Antrieb 14 bzw. 15 zugeordnet. Mit diesen Antrieben können Leuchtschirm io bzw. Schieber 13 nach der linken Seite hin aus dem Strahlengang herausgezogen werden. Man kann die Anordnung auch so durchbilden, daß für das @Queryerschieben des Leuchtschirms io und des Kassettenschiebers 13 ein gemeinsamer Antrieb verwendet wird.Fig. I and 2 show in longitudinal and 'cross-section a device for producing interior images in electron diffraction devices. The vacuum wall of the diffraction device is denoted by i; at 2 a sight glass is inserted into this wall, through which: the luminescent screen can be viewed. In the lower part of the device, an exposure flap 4 is pivotable about an axis 3 and carries a rounded metal sheet 5 on the left, the edge of which is bent up towards the side facing the beam. Fig. 3 shows this serving as a cover device for the central light spot sheet drawn out larger. The flap 4 can be folded up using the outer handle 6. On the axis of rotation 7 of the flap 4, an externally adjustable stop 8 is provided, which works together with a counter-stop 9 attached to the vacuum wall i. By suitably setting this stop 8, the angle up to which the flap 4 can be lifted with the aid of the handle 6 can be determined. When the flap 4 has been lifted into the position defined by the stop 8 and indicated by dashed lines in the figure, the diffraction pattern is visible on a fluorescent screen located under the flap 4 in the manner shown in FIG The light spot is shielded by the rounded sheet metal 5. The photo cassette in which the disk i2 is located is denoted by i I. The slide of the cassette is denoted by 13: In the exemplary embodiment shown, the luminous screen 10 and the slide 13 are each assigned a drive 14 and 15, respectively, which can be operated from the outside. With these drives, the luminescent screen or slide 13 can be pulled out of the beam path to the left. The arrangement can also be designed in such a way that a common drive is used for the @query pushing of the fluorescent screen io and the cassette slide 13.

An Stelle des in Fig. i bis 3 dargestellten abgerundeten Bleches 5 kann man als Abdeckvorrichtung auch gemäß Fig. 4 ein Rohr 16 anwenden, das an der Belichtungsklappe 4 befestigt ist. Das Rohr wird dabei unter einem solchen Winkel geneigt angebracht, daß der zentrale Strahl in der durch die Anschläge 8, 9 bestimmten »Offen«-Stellung gerade in die Bohrung des Rohres 16 fällt und so gut abgeschirmt wird.Instead of the rounded metal sheet 5 shown in FIGS you can use a tube 16 as a covering device according to FIG. 4, which is attached to the Exposure flap 4 is attached. The tube is at such an angle Mounted inclined, that the central beam in the determined by the stops 8, 9 "Open" position just falls into the bore of the pipe 16 and so well shielded will.

Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ist in Fig.5 bis 7 dargestellt. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. i und 2 übereinstimmen, sind hier die gleichen Bezugszeichen verwendet. Auf den rechten Rand des Leuchtschirmes io ist in diesem Fall ein Ring 2,1 aufgesetzt, der gemäß Fig. 7 einen nach oben gebogenen Rand 22 besitzt. Dieser Ring dient hier als Abdeckvorrichtung für den zentralen Leuchtfleck. Wenn man den Leuchtschirm io, wie es in Fig. 6 dargestellt ist, mit Hilfe des Triebes 14 nach links verstellt, bis der zentrale Leuchtfleck auf den Ring 2i fällt, dann kann man auf dem Leuchtschirm io das halbe Beugungsbild in der aus Figg.6 ersichtlichen Weise sehen. Nach Scharfstellung des Beugungsbildes wird der Strahlengang durch Betätigen des elektromagnetischen Auslösers 23 abgeschirmt und dann der Kassettenschieber 13 mit Hilfe des Triebes 15 geöffnet. Danach kann die Aufnahme durch Betätigen des Auslösers 23 gemacht werden.Another possible embodiment of the invention is shown in FIGS. As far as the individual parts correspond to those in Fig. I and 2, the same reference numerals are used here. In this case, a ring 2, 1 is placed on the right edge of the luminescent screen io, which ring 2, as shown in FIG. 7, has an edge 22 which is bent upwards. This ring serves here as a covering device for the central light spot. If the fluorescent screen io, as shown in FIG. 6, is adjusted to the left with the aid of the drive 14 until the central light spot falls on the ring 2i, then one can see half the diffraction pattern on the fluorescent screen io in the form shown in FIG see any apparent way. After focusing the diffraction image, the beam path is screened by actuating the electromagnetic trigger 23 and then the cassette slide 13 is opened with the aid of the drive 15. The picture can then be taken by pressing the shutter release button 23.

Eine Ausführungsform der Erfindung, bei welcher eine quer zum Strahl verschiebbare Belichtungsklappe angewendet wird, ist in Fig.8 bis i i schematisch dargestellt. Mit 31 ist hier eine quer zur Achse bewegliche Absperrplatte für den Strahlengang bezeichnet: Auf der linken Seite trägt diese Platte eine Nase 32, die als Abdeckvorrichtüng für den zentralen Leuchtfleck dient. Der äußere Anschlag 33 an der Betätigungsstange 34 der Platte 31 begrenzt die Bewegung dieser Platte nach links in der Sperrichtung des Strahles. Mit 35 ist ein einstellbarer Anschlag bezeichnet, der mit dem feststehenden Gegenanschlag 36 zusammenarbeitet und die Bewegung der Platte nach der rechten Seite hin begrenzt. Durch geeignetes Einstellen des Anschlages 35 kann man also die Nase 32 so justieren, daß der zentrale Leuchtfleck bei der Beobachtung des Beugungsbildes auf dem Leuchtschirm 37 und auch bei der später erfolgenden Aufnahme auf der fotografischen Platte 38 nicht stört. In diesem Fall sind dem Leuchtschirm 37 und dem Schieber 39 der Kassette 4.o ein gemeinsamer, von außen zu betätigender Antrieb ,I1 zugeordnet.An embodiment of the invention, in which an exposure flap displaceable transversely to the beam is used, is shown schematically in FIGS. 8 to ii. A blocking plate for the beam path that is movable transversely to the axis is denoted here by 31 : on the left side this plate has a nose 32 which serves as a covering device for the central light spot. The outer stop 33 on the actuating rod 34 of the plate 31 limits the movement of this plate to the left in the blocking direction of the beam. 35 with an adjustable stop is referred to, which cooperates with the fixed counter-stop 36 and limits the movement of the plate to the right. By appropriately setting the stop 35, the nose 32 can be adjusted so that the central light spot does not interfere with the observation of the diffraction image on the fluorescent screen 37 and also with the subsequent recording on the photographic plate 38. In this case, the luminescent screen 37 and the slide 39 of the cassette 4.o are assigned a common drive I1 which can be actuated from the outside.

Die Anordnung kann, wie die Fig. io und ii zeigen, auch so durchgebildet werden, daß der Schieber der Kassette ,4o gleichzeitig den Endbildleuchtschirm 4.2 trägt.As FIGS. 10 and 11 show, the arrangement can also be implemented in this way be that the slide of the cassette, 4o at the same time the end screen 4.2 wearing.

Claims

PATENT CLAIMS: i.Electron diffraction tube, characterized in that that in the beam path in front of the luminescent screen and / or in front of the photographic layer a cover device can be introduced by means of which the central light spot is shielded will. a. Arrangement according to claim i, characterized in that the covering device is formed by a projection arranged on the edge of the exposure flap. 3. Arrangement according to claim i, characterized in that the exposure flap has a preferably externally adjustable stop that enables the release of the Luminous screen or the photo layer so limited that the central light spot at the observation or the recording is shielded. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized by the use of a in the beam path luminescent screen lying behind the exposure flap, which is used for recording from the Area of the photo layer, e.g. B. can be removed by moving it sideways. 5. Arrangement according to claim 2, characterized in that the projection by a rounded sheet metal is formed, the edge of which is on the side facing the beam is bent up. 6. Arrangement according to claim 2, characterized in that the projection is formed by a tube which is open on the side facing the beam is. 7. Arrangement according to claim 6, characterized in that the tube under a such an angle on the exposure screen is inclined that the central beam in the »open« position determined by the adjustable stop in the pipe axis falls. B. Arrangement according to claim i, characterized in that the covering device is connected to a laterally displaceable fluorescent screen. G. Arrangement after a of the preceding claims, in particular according to claim 2, with one of the fluorescent screen independent exposure shutter, characterized in that the luminescent screen and the cover, which serves to seal off the photo cassette in a light-tight manner, has a common, have externally operated drive for exposing the photo layer. ok arrangement according to claim 6, characterized in that the luminescent screen is on the cassette cover is located.