DE8634364U1 - Adjustment device for an optical element - Google Patents

Adjustment device for an optical element

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DE8634364U1 DE19868634364 DE8634364U DE8634364U1 DE 8634364 U1 DE8634364 U1 DE 8634364U1 DE 19868634364 DE19868634364 DE 19868634364 DE 8634364 U DE8634364 U DE 8634364U DE 8634364 U1 DE8634364 U1 DE 8634364U1
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Justiereinrichtung für ein optisches ElementAdjustment device for an optical element

Die Neuerung betrifft eine Justiereinrichtung für ein optisches Element, insbesondere für einen Reflektorspiegel eines optischen Resonators, das an einem Träger angeordnet ist, der gegenüber einem eine Bezugsfläche oder ein Referenzelement aufweisenden Grundkörper mittels mindestens einer nach Art einer DifferentialscnfäüuB ausgebildeten Justierschraube verstellbar ist, die auf ihrem Schaft zwei hintereinander liegende Gewindebereiche mit unterschiedlichen Gewindesteigungen aufweist, von denen der eine Gewindebereich in den Träger und der andere Gewindebereich in den Grundkörper eingeschraubt ist.The innovation relates to an adjustment device for an optical element, in particular for a reflector mirror of an optical resonator, which is arranged on a carrier which is adjustable relative to a base body having a reference surface or a reference element by means of at least one adjustment screw designed in the manner of a differential screw, which has on its shaft two threaded areas lying one behind the other with different thread pitches, of which one threaded area is screwed into the carrier and the other threaded area is screwed into the base body.

Bei optischen Anordnungen, z. B. zur Erzeugung oder Verstärkung kohärenter Strahlung (Laser), müssen die optischen Elemente, d.h. im Falle eines Lasers die Reflektorspiegel des optischen Resonators, möglichst genau parallel zueinander justiert werden. Dabei muß eine Einstellung in sehr kleinen Winkelbereichen (Bogensekundenbereich) möglich sein und die einmal vorgenommene Justierung oder Einstellung eines optischen Elementes unabhängig von mechanischen und/oder thermischen Einflüssen über längere Zeit erhalten bleiben.In optical arrangements, e.g. for generating or amplifying coherent radiation (laser), the optical elements, i.e. in the case of a laser, the reflector mirrors of the optical resonator, must be adjusted as precisely as possible parallel to one another. Adjustment must be possible in very small angular ranges (arc second range) and the adjustment or setting of an optical element once made must be retained over a longer period of time, regardless of mechanical and/or thermal influences.

Bekannte Justiereinrichtungen sind meistens so aufgebaut, daß der Träger des optischen Elementes mit dem Grundkörper über ein elastisches Zwischenstück verbunden und mit Hilfe von im allgemeinen drei an den Ecken eines Dreiecks angeordneten, gegen den Grundkörper wirkenden Schrauben verstellbar ist. Eine derartigeKnown adjustment devices are usually constructed in such a way that the carrier of the optical element is connected to the base body via an elastic intermediate piece and can be adjusted using generally three screws arranged at the corners of a triangle and acting against the base body. Such a

Justiervorrichtung ist z.B. durch die DE-OS 31 30 420 bekannt.Adjustment device is known e.g. from DE-OS 31 30 420.

Hierbei sind zwischen den Justierschrauben noch drei Konterschrauben vorgesehen und an den Ecken eines Dreiecks angeordnet. Mit den Konterschrauben wird die Position des optischen Elementes schüttelfest fixiert. Dabei wird jedoch die einjustierte Position des optisehen Elementes unmittelbar nach dessen Einstellung wieder geringfügig verändert. Der Verzicht auf Konterung der Justierschrauben hat jedoch zur Folge, daß die einmal vorgenommene Einstellung einesThree counter screws are provided between the adjustment screws and are arranged at the corners of a triangle. The counter screws fix the position of the optical element so that it is vibration-proof. However, the adjusted position of the optical element is slightly changed immediately after it has been adjusted. However, the lack of counter screws means that the adjustment of a

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optischen Elementes zwar im Moment, jedoch nicht über längere Zeit erhalten bleibt. Dieser Nachteil tritt insbesondere bei mechanischen und/oder thermischen Einflüssen auf.optical element is retained for a moment, but not over a longer period of time. This disadvantage occurs particularly in the case of mechanical and/or thermal influences.

Eine weitere Haltevorrichtung für Laserspiegel ist aus derAnother holding device for laser mirrors is from the

DE-OS 33 28 34? bekannt. Hierbei sind Grundkörper und Spiegelträger über ein elastisches Zwischenstück miteinander verbunden, wobei die wiederum an den Ecken eines Dreiecks angeordneten Justierschrauben in einen Flansch des Spiegelträgers eingesetzt und in Gewindelöcher des Grundkörpers eingeschraubt sind. Die Justierschrauben sind selbsthemmend ausgebildet und/oder angeordnet und &zgr;. &THgr;. mit Feingewinde oder selbsthaltenden Bremsmitteln versehen. Damit soll eine leicht justierbare Haltevorrichtung geschaffen werden, die eine genaue und dauerhafte Winkeleinstellung des Spiegels gegenüber dem Grundkörper ermöglichen soll. Bei Verwendung üblicher Justierschrauben ist eine in sehr kleinen Winkelbereichen genaue Feinjustierung eines optischen Elementes jedoch nicht erreichbar.DE-OS 33 28 34?. Here, the base body and mirror carrier are connected to one another via an elastic intermediate piece, whereby the adjusting screws, which are arranged at the corners of a triangle, are inserted into a flange of the mirror carrier and screwed into threaded holes in the base body. The adjusting screws are designed and/or arranged to be self-locking and are provided with a fine thread or self-holding braking means. This is intended to create an easily adjustable holding device that enables the mirror to be set at an exact and permanent angle relative to the base body. However, when using conventional adjusting screws, it is not possible to achieve precise fine adjustment of an optical element in very small angle ranges.

Ferner ist durch die DE-PS 17 64 815 eine justierbare Halterung für den Spiegel eines Gaslasers bekannt, bei der die Justierschrauben nach Art einer Differentialschraube ausgebildet sind und auf ihrem Schaft hintereinander Gewindeteile mit zwei verschiedenen Steigungen tragen, von denen der eine Teil in einen den Spiegel tragenden Justierflansch und der andere Teil in eine am Laserrohr befestigte Verschlußplatte eingeschraubt ist. Dadurch wird eine genaue Feinjustierung in sehr kleinen Winkelbereichen ermöglicht. Bei der bekannten Halterung sind jedoch keine Konterelemente vorgesehen, so daß die Gefahr der Verstellung gegeben und die Justierung nicht ausreichend rüttelsicher ist. Eine auch über längere Zeit stabile Winkeleinstellung ist also nicht gewährleistet.Furthermore, DE-PS 17 64 815 discloses an adjustable holder for the mirror of a gas laser, in which the adjusting screws are designed like a differential screw and have threaded parts with two different pitches on their shaft, one behind the other, one part of which is screwed into an adjusting flange supporting the mirror and the other part into a closure plate attached to the laser tube. This enables precise fine adjustment in very small angle ranges. However, the known holder does not have any counter elements, so there is a risk of adjustment and the adjustment is not sufficiently vibration-proof. A stable angle setting even over a long period of time is therefore not guaranteed.

Der Neuerung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Justiereinrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine möglichst genaue und spielfreie Feinjustierung eines optischen Elementes in sehr kleinen Winkelbereichen erreicht und die einmalThe innovation is therefore based on the task of designing an adjustment device of the type mentioned above in such a way that the most accurate and play-free fine adjustment of an optical element is achieved in very small angular ranges and that the

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vorgenommene Justierung sowohl unmittelbar nach der Einstellung alsadjustment made both immediately after setting and

auch über längere Zeit und unabhängig von mechanischen und/oder thermischen Einflüssen erhalten bleibt.even over a longer period of time and regardless of mechanical and/or thermal influences.

Diese Aufgabe wird bei einer Justiereinrichtung der eingangs genannten Art gemäß der Neuerung dadurch gelöst, daß zwischen dem Gewindeloch im Träger sowie im Grundkörper und den beiden Gewindebereichen der Justierschraube jeweils ein selbsthemmend »••&bgr;&eegr;&sfgr;&EEgr;&iacgr;,&tgr;,&EEgr;&ogr;&iacgr;&bgr;&tgr; Cnwinrieeinsatz aus Draht voraesehen ist.This task is solved in an adjusting device of the type mentioned at the beginning according to the innovation in that a self-locking »••&bgr;&eegr;&sfgr;&EEgr;&iacgr;,&tgr;,&EEgr;&ogr;&iacgr;&bgr;&tgr; Cnwinring insert made of wire is provided between the threaded hole in the carrier and in the base body and the two threaded areas of the adjusting screw.

Gewindeeinsätze sind für andere Verwendungszwecke bereits bekannt. So werden Gewindeeinsätze im allgemeinen zur Herstellung verschleißfester Gewinde in metallischen und nichtmetallischen Merkstoffen sowie zur Erneuerung abgenutzter, beschädigter oder unbrauchbarer Gewinde verwendet. Bei einer neuerungsgemäßen Justiereinrichtung ist der Gewindeeinsatz jedoch nicht als Gewindereparaturmittel, sondern anstelle einer Konterung der Justierschrauben mit üblichen Kontermitteln vorgesehen. Der Gewindeeinsatz stellt also eine Art Ersatz für eine Konterung dar und ermöglicht eine spielfreie und - im Zusammenwirken mit der nach Art einer Differentialschraube ausgebildeten Justierschraube - genaue Feinjustierung des optischen Elementes in sehr kleinen Winkelbereichen. Dabei bleibt die einmal vorger nommene Justierung ohne Konterung unmittelbar nach dem Justier-Vorgang und auch über längere Zeit sowie unabhängig von mechanischen und/oder thermischen Einflüssen erhalten. Dies wird durch die selbsthemmende Ausbildung des Gewindeeinsatzes erreicht.Thread inserts are already known for other purposes. Thread inserts are generally used to produce wear-resistant threads in metallic and non-metallic materials and to renew worn, damaged or unusable threads. In an adjustment device according to the innovation, however, the thread insert is not intended as a thread repair agent, but instead of locking the adjusting screws with conventional locking agents. The thread insert is therefore a type of replacement for a locking device and enables play-free and - in conjunction with the adjusting screw designed like a differential screw - precise fine adjustment of the optical element in very small angular ranges. The adjustment once made is retained without locking immediately after the adjustment process and also over a longer period of time and regardless of mechanical and/or thermal influences. This is achieved by the self-locking design of the thread insert.

Bei einer neuerungsgemäßen Justiereinrichtung ist es von Vorteil, wenn der Gewindeeinsatz nach Art einer Spiralfeder geformt und durch mindestens ein gerades Drahtteil selbsthemmend ausgebildet ist. Die Selbsthemmung des Gewindeeinsatzes wird damit ohne zusätzliche Mittel lediglich durch zweckmäßigeIn an adjustment device according to the innovation, it is advantageous if the threaded insert is shaped like a spiral spring and is self-locking by at least one straight wire part. The self-locking of the threaded insert is thus made possible without additional means simply by appropriate

Gestaltung des Gewindeeinsatzes erreicht.Design of the threaded insert achieved. Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel einer neuerungsgemäßenAn advantageous embodiment of an innovative

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Justiereinrichtung ist im folgenden anhand der Zeichnung näher beschrieben. Dabei zeigenThe adjustment device is described in more detail below using the drawing.

FIG 1 das Prinzip der Justiereinrichtung im Schnitt, FIG 2 und 3 einen Gewindeeinsatz in Seiten- bzw. in VorderansichtFIG 1 shows the principle of the adjustment device in section, FIG 2 and 3 a threaded insert in side and front view respectively

undand

FIG 4 den Drahtquerschnitt des Gewindeeinsatzes in vergrößerter Darstellung.FIG 4 shows the wire cross-section of the threaded insert in an enlarged view.

nt — et L nt — et L

ISJ.B LAlISJ.B LAl

Inrichtursg nach Figur 1 umfa@t einen plattenförmigen TrägerThe device according to Figure 1 comprises a plate-shaped support

für <5in optisches Element 2, insbesondere fur einen beispielsweise durch Kleben oder Festklemmen befestigten Reflektorspiegel eines Laserresonators, sowie einen ebenfalls plattenförmigen Grundkörper 3, der mit dem Träger lediglich Ober einen elastischen Zwischensteg 4 verbunden ist und eine Bezugsfläche 5 aufweist, auf die das optische Element einjustiert wird. Der Grundkörper 3 ist hier stationär angeordnet und kann r. B. eine AbschluQplatte eines Gas- Laserrohres bilden, deren Bezugsfläche 5 zu dem anderen Reflektorspiegel des Laserresonators parallel verläuft. Als Justierschraube ist eine nach Art einer Differentialschraube ausgebildete Schraube 6 vorgesehen, die zweckmäßigerweise aus dem gleichen Material wie Träger und Grundkörper, z. B. aus nichtrostendem Stahl besteht und in den dem Zwischensteg 4- etwa diagonal gegenüberliegenden Bereich des Trägers 1 und des Grundkörpers 3 eingeschraubt ist. Hierzu weist die Justierschraube 6 auf ihrem Schaft zwei hintereinander liegende Gewindebereiche 7 bzw. 8 mit unterschiedlichen Gewindesteigungen auf, von denen der Gewindebereich mit dem kleineren Durchmesser und der kleineren Steigung z. B. air, M4-Gewinde ausgebildet und in eine verdrehgesichert im Träger 1 angeordnete, aus dem gleichen Material wie Träger, Grundkörper und Justierschraube bestehende und ein Innengewinde 18 aufweisende Gewindebuchse 9 eingeschraubt ist, während der andere Gewindebereich 8 mit dem größeren Durchmesser und der größeren Steigung z. B. als M5-Gewinde ausgebildet und in ein Gewindeloch 10 des Grundkörpers 3 eingeschraubt ist» Zwischen den beiden Gewindebereichen 7 und 8 ist der Schaft der Justierschraube 6 als im Querschnitt gegenüber den Gewindedurchmessern wesentlich verjüngter Hals 11 ausgebildet, der die auftretende Biegung bei Winkelände-for an optical element 2, in particular for a reflector mirror of a laser resonator, for example fastened by gluing or clamping, and a base body 3, which is also plate-shaped and is connected to the carrier only via an elastic intermediate web 4 and has a reference surface 5 to which the optical element is adjusted. The base body 3 is arranged stationary here and can, for example, form an end plate of a gas laser tube, the reference surface 5 of which runs parallel to the other reflector mirror of the laser resonator. A screw 6 designed in the manner of a differential screw is provided as an adjusting screw, which is expediently made of the same material as the carrier and base body, e.g. of stainless steel, and is screwed into the area of the carrier 1 and the base body 3 which is approximately diagonally opposite the intermediate web 4. For this purpose, the adjusting screw 6 has two threaded areas 7 and 8 on its shaft, one behind the other, with different thread pitches, of which the threaded area with the smaller diameter and the smaller pitch is designed, for example , as an M4 thread and is screwed into a threaded bushing 9 arranged in the carrier 1 in a rotationally secured manner, made of the same material as the carrier, base body and adjusting screw and having an internal thread 18, while the other threaded area 8 with the larger diameter and the larger pitch is designed, for example, as an M5 thread and is screwed into a threaded hole 10 in the base body 3. Between the two threaded areas 7 and 8, the shaft of the adjusting screw 6 is designed as a neck 11 with a cross-section that is significantly tapered compared to the thread diameters, which compensates for the bending that occurs when the angle changes.

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rungen bzw. Verspannungen beim Verstellen der Justierschraube aufnimmt. Das aus dem Grundkörper 3 herausragende freie Ende 12 der Justierschraube 6 ist so ausgebildet, daß die Verstellung der Justierschraube in möglichst einfacher Weise vorgenommen werden kann. Hier ist die Justierschraube mit einem Loch 13 versehen. Anstelle einer Konterung ist in beiden Gewindebereichen 7 und 8 der Justierschraube jeweils ein Gewindeeinsatz 14 bzw. 15 aus Draht vorgesehen, d. h. zwischen dem Innengewinde 18 der Gewindebuchse 9 und dem Gewindebereich 7 der Justierschraube 6 ist ein z. B. einem M4-Gewinde angepaßter Gewindeeinsatz 14 und zwischen dem Gewindeloch 10 des Grundkörpers 3 und dem Gewindebereich 8 der Justierschraube ist ein z. B. einem M5-Gewinde angepaßter Gewindeeinsatz 15 vorgesehen. Die Gewindeeinsätze 14, 15 sind nach Art einer Spiralfeder geformt (Figur 2) und durch mindestens ein gerades Drahtteil 16 (Figur 3) selbsthemmend ausgebildet. Im Querschnitt ist der verwendete Draht 17 (Figur 4) der Gewindeform angepaßt. Durch die Verwendung einer Differentialschraube als Justierschraube mit selbsthemmenden Gewindeeinsatzen ermöglicht die dargestellte und beschriebene Justiereinrichtung eine genaue und in jeder Stellung spiel- und konterfreie Feinjustierung eines optischen Elementes.tensions or stresses when adjusting the adjusting screw. The free end 12 of the adjusting screw 6 protruding from the base body 3 is designed so that the adjustment of the adjusting screw can be carried out as easily as possible. Here, the adjusting screw is provided with a hole 13. Instead of a counter, a threaded insert 14 or 15 made of wire is provided in both thread areas 7 and 8 of the adjusting screw, i.e. between the internal thread 18 of the threaded bush 9 and the thread area 7 of the adjusting screw 6 there is a threaded insert 14 adapted to an M4 thread, for example, and between the threaded hole 10 of the base body 3 and the thread area 8 of the adjusting screw there is a threaded insert 15 adapted to an M5 thread, for example. The thread inserts 14, 15 are shaped like a spiral spring (Figure 2) and are self-locking by at least one straight wire part 16 (Figure 3). The cross-section of the wire 17 used (Figure 4) is adapted to the shape of the thread. By using a differential screw as an adjusting screw with self-locking thread inserts, the adjusting device shown and described enables precise fine adjustment of an optical element in every position without play or jamming.

In Fig. 1 ist das Prinzip der Verstellung fur eine Achse dargestellt. Eine Verstellung um eine zweite Achse kann durch eine Reihenschaltung der Anordnung nach Fig. 1 erreicht werden. Bei einer derartigen Anordnung ist dann anstelle des Grundkörpers eine Zwischenplatte vorzusehen, die ihrerseits wiederum über einen elastischen zweiten Zwischensteg und eine zweite Justierschraube mit dem ihr nachgeschalteten Grundkörper zu verbinden ist.The principle of adjustment for one axis is shown in Fig. 1. An adjustment about a second axis can be achieved by connecting the arrangement according to Fig. 1 in series. In such an arrangement, an intermediate plate is to be provided instead of the base body, which in turn is to be connected to the base body downstream of it via an elastic second intermediate web and a second adjusting screw.

Dabei sind die beiden Zwischenstege in einander gegenüberliegenden Randbereichen des Trägers und der Zwischenplatte bzw. der Zwischenplatte und des Grundkörpers senkrecht zueinander verlaufend vorgesehen, während die entsprechende ^-.tierschraube dem jeweiligen Zwischensteg etwa diagonal gegenüberliegt.The two intermediate webs are provided in opposite edge areas of the support and the intermediate plate or the intermediate plate and the base body, running perpendicular to each other, while the corresponding ^-tier screw is located approximately diagonally opposite the respective intermediate web.

Bei der in Fig. 1· dargestellten Anordnung sind der Träger 1 und der Grundkörper 3 über einen Zwischensteg 4 miteinander verbun-In the arrangement shown in Fig. 1·, the carrier 1 and the base body 3 are connected to each other via an intermediate web 4.

&bull; t t · · · I I I < I I I I I I I&bull; t t · · · III < IIIIIII

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l den. Stattdessen ist auch eine Verbindung des Tragers mit dem Grundkorper z. B. über drei Justierschrauben oder andere den Zwischensteg ersetzende Verbindungselemente möglich.l den. Instead, it is also possible to connect the support to the base body, e.g. using three adjusting screws or other connecting elements that replace the intermediate bar.

5 6 Schutzanspruche 4 Figuren5 6 Protection claims 4 Figures

Claims (5)

&bull; &igr;« a ···»·■ &bull; · <· »it· 7 86 6 18 8 9 OE Schutzansprüche&bull;&igr;« a ···»·■ &bull; · <· »it· 7 86 6 18 8 9 OE Protection claims 1. Justiereinrichtung fur ein optisches Element, insbesondere für einen Reflektorspiegel eines optischen Resonators, das an einem Träger angeordnet ist, der gegenüber einem eine Bezugsflache oder ein Referenzelement aufweisenden Grundkörper mittels mindestens einer nach Art einer Differentialschraube ausgebildeten Justierschraube verstellbar istr die auf ihrem Schaft zwei hintereinander liegende Gewindebereiche mit unterschiedlichen Gewindesteigungen aufweist, von denen der eine Gewindebereich in den Träger und der andere Gewindebereich in den Grundkörper eingeschraubt ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gewindeloch (18 bzw. 10) im Träger (1) sowie im Grundkörper (3) und den beiden Gewindebereichen (7 bzw. 8) der Justierschraube (6) jeweils ein selbsthemmend ausgebildeter Gewindeeinsatz (14 bzw. 15) aus Draht vorgesehen ist.1. Adjustment device for an optical element, in particular for a reflector mirror of an optical resonator, which is arranged on a carrier which is adjustable relative to a base body having a reference surface or a reference element by means of at least one adjusting screw designed in the manner of a differential screw, which has on its shaft two threaded areas lying one behind the other with different thread pitches, of which one threaded area is screwed into the carrier and the other threaded area is screwed into the base body, characterized in that a self-locking threaded insert (14 or 15) made of wire is provided between the threaded hole (18 or 10) in the carrier (1) and in the base body (3) and the two threaded areas (7 or 8) of the adjusting screw (6). 2. Justiereinricht ing nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der Gewindeeinsatz (14, 15) nach Art einer Spiralfeder geformt und durch mindestens ein gerades Drahtteil (16) selbsthemmend ausgebildet ist.2. Adjusting device according to claim 1, characterized in that the threaded insert (14, 15) is shaped like a spiral spring and is self-locking by at least one straight wire part (16). 3. Justiereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß der in den Träger (1) eingeschraubte Gewindebereich· (7) ein M4-Gewinde und der in den Grundlkörper eingeschraubte Gewindebereich (8) ein M5-Gewinde aufweist und der Gewindeeinsatz (14 bzw. 15) jeweils diesen GewindegroGen entsprechend ausgebildet ist.3. Adjustment device according to claim 1 or 2, characterized in that the threaded area (7) screwed into the carrier (1) has an M4 thread and the threaded area (8) screwed into the base body has an M5 thread and the threaded insert (14 or 15) is designed to correspond to these thread sizes. 4. Justiereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (1) und der Grundkörper (3) über einen elastischen Zwischensteg (4) miteinander verbunden sind.4. Adjustment device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the carrier (1) and the base body (3) are connected to one another via an elastic intermediate web (4). 5. Justiereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn zeichnet, daß der Zwischensteg (4) und die Justierschraube (6) in einander etwa diagonal gegenüberliegenden Bereichen des5. Adjustment device according to claim 4, characterized in that the intermediate web (4) and the adjusting screw (6) are arranged in approximately diagonally opposite regions of the Il P · »I · I ·Il P · »I · I · .::..::.* .!..;:, 1S1-JBOS 1 8 8 9 OE.::..::.* .!..;:, 1 S 1 -JBOS 1 8 8 9 OE . &igr; &bgr;. &igr;&bgr; Trägers (1) und des Grundkörpers (3) angeordnet sind.carrier (1) and the base body (3). % 6. Justiereinrichtung nach Anspruch 5,dadurch gekenn zeichnet, daß der Zwischensteg (4) derart ausgebildet und 5 angeordnet ist, daß eine Verbindungslinie von der Mittelachse der Justierschraube (6) zu einer der Justierschraube zugewandten Fläche des Zwischensteges (4) senkrecht zu dieser Fläche verläuft % 6. Adjustment device according to claim 5, characterized in that the intermediate web (4) is designed and arranged in such a way that a connecting line from the central axis of the adjusting screw (6) to a surface of the intermediate web (4) facing the adjusting screw runs perpendicular to this surface
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