DE3644049C2

DE3644049C2 -

Info

Publication number: DE3644049C2
Application number: DE19863644049
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Dipl.-Ing. Zapp (Fh), 8027 Neuried, De
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1986-12-22
Filing date: 1986-12-22
Publication date: 1991-04-18
Also published as: DE3644049A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Justiervorrichtung für ein optisches Element, insbesondere für einen Reflektorspiegel eines optischen Resonators, mit drei zueinander parallelen ebenen Platten, nämlich einer ersten Platte als Träger für das optische Element, einer zweiten Platte als Zwischenelement und einem stationären, die dritte Platte enthaltenden und eine Bezugsfläche oder ein Referenzelement aufweisenden oder darstellenden Grundkörper, wobei der Träger und das Zwischenelement sowie das Zwischenelement und der Grundkörper jeweils über einen elastischen Steg miteinander verbunden sind, die beiden Stege einander gegenüberliegen und senkrecht zueinander verlaufen und der Träger und das Zwischenelement mittels Justierschrauben gegen den Grundkörper verstellbar sind.The invention relates to an adjustment device for an optical Element, in particular for a reflector mirror of an optical Resonators, with three parallel flat plates, namely a first plate as a carrier for the optical element, a second plate as an intermediate element and a stationary one, the third plate containing and a reference surface or a Basic element having or representing reference element, wherein the carrier and the intermediate element and the intermediate element and the base body each via an elastic Web are connected to each other, the two webs to each other opposite and perpendicular to each other and the Carrier and the intermediate element by means of adjusting screws the base body are adjustable.

Bei optischen Anordnungen, z. B. zur Erzeugung oder Verstärkung kohärenter Strahlung (Laser), müssen die optischen Elemente, d. h. im Falle eines Lasers die Reflektorspiegel des optischen Resonators, möglichst genau zueinander justiert werden. Dabei muß eine Verstellung in sehr kleinen Winkelbereichen (Bogensekundenbereich) möglich sein und die einmal vorgenommene Justierung oder Einstellung eines optischen Elementes unabhängig von mechanischen und/oder thermischen Einflüssen über längere Zeit erhalten bleiben.In optical arrangements, e.g. B. for generation or amplification coherent radiation (laser), the optical elements, d. H. in the case of a laser, the reflector mirror of the optical Resonators, be adjusted as precisely as possible to each other. Here must be adjusted in very small angular ranges (arc second range) be possible and the once made Adjustment or adjustment of an optical element independently of mechanical and / or thermal influences remain for a long time.

Bekannte Justiereinrichtungen sind meistens so aufgebaut, daß der Träger des optischen Elementes mit einem Grundkörper über ein elastisches Zwischenstück verbunden ist, so daß der Träger mit Hilfe von im allgemeinen drei an den Ecken eines Dreiecks angeordneten, gegen den Grundkörper wirkenden Schrauben verstellbar ist. Eine derartige Justiervorrichtung ist z. B. durch die DE-OS 31 30 420 bekannt. Bei Justiervorrichtungen mit Dreipunktjustage, d. h. mit drei an den Ecken eines Dreiecks in einer Verstellebene angeordneten Stellschrauben, wird jedoch im allgemeinen beim zweiten und dritten Einstellvorgang die vorher im ersten bzw. im zweiten Einstellvorgang erreichte Position des optischen Elementes wieder geringfügig verändert, so daß unter Umständen ein langwieriges alternierendes Betätigen der einzelnen Stellschrauben erforderlich ist, um eine ausreichend genaue Position eines optischen Elementes zu einer Bezugsfläche oder einem Referenzelement zu erreichen. Außer den Justierschrauben sind bei der bekannten Justiervorrichtung noch drei Konterschrauben vorgesehen, die zwischen den Justierschrauben an den Ecken eines Dreiecks angeordnet sind. Mit den Konterschrauben wird die nach erfolg ter Justierung erreichte Position eines optischen Elementes mechanisch belastbar fixiert. Durch Konterelemente wird jedoch die eingestellte Position des optischen Elementes unmittelbar nach dessen Einstellung oder Justierung wieder geringfügig verändert. Der Verzicht auf Konterung der Justierschrauben hat jedoch zur Folge, daß die einmal vorgenommene Einstellung eines optischen Elementes zwar im Moment, jedoch nicht über längere Zeit erhalten bleibt. Dieser Nachteil tritt insbesondere bei mechani schen und/oder thermischen Einflüssen auf. Dies zeigt, daß eine ausreichend genaue, in einfacher Weise durchführbare und stabile Einstellung eines optischen Elementes mit der üblichen ggf. mit Konterung ausgestatteten Dreipunktjustage nur relativ schwierig zu erreichen ist.Known adjustment devices are usually constructed so that the Carrier of the optical element with a base body over a elastic intermediate piece is connected so that the carrier with Using generally three arranged at the corners of a triangle, adjustable screws acting against the body is. Such an adjustment device is, for. B. by the DE-OS 31 30 420 known. For adjustment devices with three-point adjustment, d. H. with three at the corners of a triangle in an adjustment plane arranged screws, but is generally in the second and third adjustment process previously in the first and in second adjustment process reached position of the optical element again slightly changed, so that under certain circumstances a lengthy alternating actuation of the individual set screws required is to a sufficiently precise position of an optical Element to a reference surface or a reference element to reach. In addition to the adjustment screws are in the known Adjustment device provided three counter screws that between the adjusting screws at the corners of a triangle are arranged. With the counter screws, the after ter adjustment reached position of an optical element fixed mechanically resilient. Through counter elements, however the set position of the optical element immediately after its adjustment or adjustment again slightly changed. There is no need to counter the adjustment screws however, the consequence is that the setting made once a optical element at the moment, but not for a long time preserved. This disadvantage occurs particularly with mechani and / or thermal influences. This shows that a sufficiently accurate, easy to carry out and stable Setting an optical element with the usual one, if necessary Counter-equipped three-point adjustment only relatively difficult can be reached.

Eine weitere Haltevorrichtung für Laserspiegel ist aus der DE-OS 33 28 349 bekannt. Hierbei sind Grundkörper und Spiegel träger über ein elastisches Zwischenstück miteinander verbunden, wobei die wiederum an den Ecken eines Dreiecks angeordneten Justier schrauben in einen Flansch des Spiegelträgers eingesetzt und in Ge windelöcher des Grundkörpers eingeschraubt sind. Die Justierschrau ben sind selbsthemmend ausgebildet und/oder angeordnet und z. B. mit Feingewinde oder selbsthaltenden Bremsmitteln versehen. Damit soll eine leicht justierbare Haltevorrichtung geschaffen werden, die eine genaue und dauerhafte Winkeleinstellung des Spiegels gegenüber dem Grundkörper ermöglichen soll. Bei der bekannten Haltevorrichtung wird zwar durch die selbsthemmenden Justier schrauben ein Verzicht auf eine Konterung möglich und somit das sonst bei üblicher Konterung auftretende Problem der Verstellung einer einmal eingestellten Justierung vermieden, jedoch können bei der bekannten Haltevorrichtung aufgrund der Anordnung der Justierschrauben an den Ecken eines Dreiecks wiederum die Nach teile der üblichen Dreipunktjustage auftreten. Außerdem ist bei Verwendung üblicher Justierschrauben eine in sehr kleinen Winkel bereichen genaue Feinjustierung eines optischen Elementes nicht erreichbar.Another holding device for laser mirrors is from the DE-OS 33 28 349 known. Here are the basic body and mirror beams connected to each other via an elastic intermediate piece, the adjustment in turn arranged at the corners of a triangle screwed into a flange of the mirror support and in Ge diaper holes of the base body are screwed in. The adjustment screw ben are self-locking and / or arranged and z. B. provided with fine thread or self-holding brake means. In order to an easily adjustable holding device is to be created, which is an accurate and permanent angle adjustment of the mirror compared to the base body. With the known Holding device is through the self-locking adjustment screw a waiver of countering possible and thus that otherwise the problem of adjustment occurs with normal countering Once an adjustment has been made, it can be avoided in the known holding device due to the arrangement of the Adjusting screws at the corners of a triangle turn the night parts of the usual three-point adjustment occur. In addition, at Use common adjustment screws at a very small angle areas do not precisely fine-tune an optical element reachable.

Ferner ist durch die DE-PS 17 64 815 eine justierbare Halterung für den Spiegel eines Gaslasers bekannt, bei der die Justierschrauben nach Art einer Differentialschraube ausgebildet sind und auf ihrem Schaft hintereinander Gewindeteile mit zwei verschiedenen Steigungen tragen, von denen der eine Teil in einen den Spiegel tragenden Justierflansch und der andere Teil in eine am Laserrohr befestigte Verschlußplatte eingeschraubt ist. Dadurch wird eine genaue Feinjustierung in sehr kleinen Winkelbereichen ermöglicht. Abgesehen davon, daß auch derartige Justierschrauben ein gewisses Spiel aufweisen und keine Konterung der Justierschrauben vorgesehen ist, sind auch bei dieser bekannten Einrichtung drei auf einem Kreis und an den Ecken eines Dreiecks liegende Justierschrauben in einer Verstellebene vorgesehen. Damit treten aber auch bei dieser Einrichtung die Nachteile der üblichen Dreipunktjustage auf.Furthermore, by DE-PS 17 64 815 an adjustable bracket known for the mirror of a gas laser, in which the adjusting screws are designed in the manner of a differential screw and on their shaft one after the other threaded parts with two different ones Bear slopes, some of which are part of one adjustment flange carrying the mirror and the other part in one is attached to the laser tube fastened closure plate. Thereby is an exact fine adjustment in very small angular ranges enables. Apart from the fact that such adjustment screws have a certain game and no counterattack Adjustment screws are provided are also known in this Set up three on a circle and at the corners of a triangle horizontal adjustment screws provided in an adjustment plane. However, the disadvantages of this also occur with this device usual three-point adjustment.

Schließlich ist durch das DE-GM 69 39 431 eine gattungsgemäße Justiervorrichtung bekannt, bei der jedoch zur Verstellung der ersten, das optische Bauelement tragenden Platte und der Zwischenplatte gegen die dritte Platte insgesamt vier Justierschrauben erforderlich sind. Zur Verstellung der ersten Platte gegen die Zwischenplatte ist eine Druckschraube und eine Zugschraube vorgesehen. Beide hintereinander angeordneten Schrauben sind in die Zwischenplatte eingeschraubt. Die Druckschraube ist von oben her durch ein in der ersten Platte enthaltenes Loch verstellbar, legt sich mit ihrem Kopf an die untere Fläche der ersten Platte und drückt diese, wenn sie aus der Zwischenplatte herausgeschraubt wird, nach oben. Die ebenfalls in die Zwischenplatte eingeschraubte Zugschraube drückt mit ihrem Kopf auf die Oberseite der ersten Platte. Zur Verstellung und Fixierung der ersten Platte müssen beide Schrauben betätigt werden. In entsprechender Weise sind zur Verstellung der Zwischenplatte gegen die dritte Platte zwei weitere Justierschrauben vorgesehen und zu betätigen. Finally, DE-GM 69 39 431 is a generic one Adjustment device known, but for adjusting the first, the optical component-carrying plate and the Intermediate plate against the third plate a total of four Adjusting screws are required. To adjust the first Plate against the intermediate plate is a pressure screw and a Lag screw provided. Both arranged in a row Screws are screwed into the intermediate plate. The Pressure screw is from above through one in the first plate included hole adjustable, lies with her head on the bottom surface of the first panel and squeezes it when it comes out the intermediate plate is unscrewed, upwards. The also tension screw screwed into the intermediate plate presses with her head on the top of the first plate. To Both adjustment and fixation of the first plate Screws are actuated. In a corresponding manner Adjustment of the intermediate plate against the third plate two additional adjusting screws are provided and to be actuated.

Bei der bekannten Justiervorrichtung ist somit zur Durchführung der Justage ein reltiv hoher Aufwand erforderlich.In the known adjustment device is thus to be carried out adjustment requires a relatively high effort.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Nachteile der herkömmlichen Dreipunktjustage zu vermeiden und eine ausreichend sichere und genaue Einstellung eines optischen Elementes in einer wesentlich einfacher durchzuführenden Weise zu erreichen. Dabei soll eine stufenlose und spielfreie Einstellung sehr kleiner Winkel möglich und die Einstellung ohne Klemm- und Kontermaßnahmen sowohl mechanisch als auch thermisch stabil sein.The invention is therefore based on the object, the disadvantages to avoid the conventional three-point adjustment and one sufficiently safe and precise adjustment of an optical Element in a much easier way to perform to reach. It should be a stepless and play-free Adjustment of very small angles possible and adjustment without Clamping and countermeasures both mechanically and thermally be stable.

Diese Aufgabe wird bei einer Justiervorrichtung der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß zwei nach Art einer Differentialschaube ausgebildete, selbsthemmende Justierschrauben vorgesehen sind, die auf ihrem Schaft zwei hintereinanderliegende Gewindebereiche mit unterschiedlichen Gewindesteigungen aufweisen, daß die erste Justierschraube etwa diametral zu dem Steg zwischen dem Träger und dem Zwischenelement angeordnet und mit dem einen Gewindebereich in den Träger und mit dem anderen Gewindebereich in das Zwischenelement eingeschraubt ist und daß die zweite Justierschraube etwa diametral zu dem Steg zwischen dem Zwischenelement und dem Grundkörper angeordnet und mit dem einen Gewindebereich in das Zwischenelement und mit dem anderen Gewindebereich in den Grundkörper eingeschraubt ist. This object is achieved in an adjustment device of the type mentioned Kind solved according to the invention in that two after Kind of a differential screw trained, self-locking Adjusting screws are provided, the two on their shaft successive thread areas with different Thread pitches have that the first adjusting screw about diametrically to the web between the carrier and the intermediate element arranged and with a threaded area in the Carrier and with the other threaded area in the intermediate element is screwed in and that the second adjusting screw about diametrically to the web between the intermediate element and the Base body arranged and with a threaded area in the Intermediate element and with the other thread area in the Basic body is screwed in.

Bei einer derartigen Justiervorrichtung sind zur Einstellung eines optischen Elementes in zwei zueinander senkrechten Achsen zwei hintereinandergeschaltete, selbsthemmende und nach Art einer Differentialschraube ausgebildete Justierschrauben mit unterschiedlicher Gewindesteigung vorgesehen und mit einem Gewindebereich in das Zwischenelement eingeschraubt, während der eine andere Gewindesteigung aufweisende zweite Gewindebe reich der beiden Justierschrauben mit dem Träger des optischen Elementes bzw. mit dem Grundkörper zusammenwirkt. Auf diese Weise ist es möglich, das optische Element spielfrei und stufenlos, also ohne ruckartige Verstellung, in sehr kleinen Winkelbereichen einzustellen. Dabei läßt sich die Einstellung eines optischen Elementes gegenüber einer üblichen Dreipunktjustage wesentlich einfacher durchführen. Beim Einstellvorgang wird das optische Element zunächst mit der einen Justierschraube in einer ersten Richtung und sodann mit der anderen Justierschraube in einer zur ersten Richtung senkrechten Richtung eingestellt. Da beim zweiten Einstellvorgang die vorher im ersten Einstellvorgang erreichte Position des optischen Elementes nicht wieder ver ändert wird, sind bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung anders als bei der üblichen Dreipunktjustage nicht mehrere Einstellvor gänge mit einem langwierigen alternierenden Betätigen der einzel nen Stellschrauben, sondern nur mehr zwei Einstellvorgänge erfor derlich, um eine ausreichend genaue Position des optischen Elemen tes zu erreichen. Im eingestellten Zustand, also nach dem zweiten Einstellvorgang, ist die endgültig justierte Position des opti schen Elementes erreicht, wobei diese Position aufgrund der Ver wendung selbsthemmender Differentialschrauben als Justierschrau ben ohne Klemm- und Kontermaßnahmen sicher und sowohl mechanisch bei auftretenden mechanischen Belastungen und/oder im mobilen Einsatz als auch thermisch auf Dauer stabil gewährleistet ist. With such an adjustment device are for adjustment an optical element in two mutually perpendicular axes two series-connected, self-locking and according to Art with a differential screw different thread pitch provided and with a Threaded area screwed into the intermediate element while the second thread having a different thread pitch range of the two adjusting screws with the support of the optical Interacts element or with the base body. In this way it is possible to play the optical element without play and continuously, So without jerky adjustment, in very small angular ranges adjust. The setting of an optical Element compared to a conventional three-point adjustment essential perform easier. During the setting process, the optical Element first with the one adjusting screw in a first Direction and then with the other adjusting screw in one direction perpendicular to the first direction. Since at second setting process that previously in the first setting process ver reached position of the optical element changes are different in the device according to the invention than with the usual three-point adjustment not more than one setting gears with a tedious alternating actuation of the individual Ness adjusting screws, but only two adjustment processes necessary to a sufficiently precise position of the optical element to achieve it. In the set state, i.e. after the second Adjustment process is the finally adjusted position of the opti reached element, this position due to Ver use of self-locking differential screws as adjusting screw ben without clamping and countermeasures safely and mechanically when mechanical loads occur and / or in the mobile Use as well as thermally is guaranteed in the long term.

Bei einer erfindungsgemäßen Justiervorrichtung wird die Selbst hemmung der Justierschrauben in vorteilhafter Weise dadurch erreicht, daß zwischen den beiden Gewindebereichen jeder Justier schraube und dem hierfür vorgesehenen Einschraubgewinde im Träger, Zwischenelement und Grundkörper jeweils ein selbsthemmend ausge bildeter Gewindeeinsatz aus Draht vorgesehen ist. Derartige Ge windeeinsätze sind für andere Verwendungszwecke bereits bekannt und werden im allgemeinen zur Herstellung verschleißfester Gewin de in metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen sowie zur Erneuerung abgenutzter, beschädigter oder unbrauchbarer Gewinde verwendet. Hier ist der Gewindeeinsatz jedoch nicht als Gewinde reparaturmittel, sondern anstelle einer Konterung der Justier schrauben mit üblichen Kontermitteln vorgesehen. Der Gewindeein satz stellt also eine Art Ersatz für eine Konterung dar und er möglicht eine spielfreie und - im Zusammenwirken mit den nach Art einer Differentialschraube ausgebildeten Justierschrauben - genaue Feinjustierung des optischen Elementes in sehr kleinen Winkelbe reichen. Dabei bleibt die einmal vorgenommene Justierung ohne Konterung unmittelbar nach dem Justiervorgang und auch über längere Zeit erhalten.In an adjusting device according to the invention, the self inhibition of the adjusting screws in an advantageous manner achieved that between the two thread areas of each adjustment screw and the screw thread provided in the carrier, Intermediate element and base body each made a self-locking formed thread insert made of wire is provided. Such Ge winch operations are already known for other uses and are generally used to make wear resistant threads de in metallic and non-metallic materials as well as for Renewal of worn, damaged or unusable threads used. Here, however, the thread insert is not a thread repairs, but instead of countering the adjustment screws provided with common countermeasures. The thread So sentence is a kind of substitute for a counterattack and he possible a play-free and - in cooperation with the according to Art a differential screw trained adjustment screws - accurate Fine adjustment of the optical element in very small angles pass. The adjustment once made remains without Countering immediately after the adjustment process and also over longer ones Get time.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstandes des Patent anspruchs 1 sind in den übrigen Unteransprüchen angegeben.Further advantageous refinements of the subject matter of the patent claim 1 are specified in the remaining subclaims.

Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Justiervorrichtung ist im folgenden anhand der Zeichnung näher beschrieben. Dabei zeigt die einzige Figur die Justiervorrich tung in perspektivischer Darstellung.An advantageous embodiment of an inventive Adjustment device is in the following with reference to the drawing described. The only figure shows the adjustment device tion in perspective.

Die Justiervorrichtung umfaßt einen plattenförmigen Träger 1 für ein hier nicht näher dargestelltes optisches Element, insbeson dere für einen Reflektorspiegel eines Laserresonators, der beispielsweise durch Kleben oder Festklemmen an der vorderen Trägerfläche 2 befestigt ist oder durch die entsprechend ausge bildete Trägerfläche 2 selbst gebildet wird. Das optische Element ist auf eine Bezugsfläche 3 eines plattenförmigen Grundkörpers 4 einzujustieren. Der Grundkörper 4 ist hier stationär angeordnet und kann z. B. eine Abschlußplatte eines Gas-Laserrohres bilden, deren Bezugsfläche 3 zu dem anderen Reflektorspiegel des Laser resonators parallel verläuft. Zwischen dem Grundkörper 4 und dem Träger 1 ist ein ebenfalls plattenförmiges Zwischenelement 5 vorgesehen, wobei der Träger 1 und das Zwischenelement 5 sowie das Zwischenelement 5 und der Grundkörper 4 jeweils über einen schmalen elastischen Steg 6 bzw. 7 miteinander verbunden sind. Auf diese Weise sind der Träger 1, das Zwischenelement 5 und der Grundkörper 4 in einer Reihe hintereinander angeordnet und ledig lich durch die beiden Stege 6, 7 zusammengeschaltet. Hierbei sind die Stege 6 und 7 in einander gegenüberliegenden Randbereichen des Trägers und des Zwischenelementes bzw. des Zwischenelementes und des Grundkörpers mit den einander zugekehrten Schrägflächen 8 bzw. 9 senkrecht zueinander verlaufend angeordnet. Jeweils diametral gegenüberliegend zu dem Steg 6 bzw. 7 ist in den Träger 1 und das Zwischenelement 5 bzw. in das Zwischenele ment 5 und den Grundkörper 4 eine erste bzw. eine zweite Justier schraube 10 bzw. 11 eingeschraubt. Damit sind die Stege 6, 7 und die Justierschrauben 10, 11 derart angeordnet, daß eine von der Mittelachse der jeweiligen Justierschraube ausgehende und zu einer Fläche 8 bzw. 9 des Steges 6 bzw. 7, die der Justier schraube 10 bzw. 11 zugewandt ist, führende Verbindungslinie senkrecht zu dieser Fläche verläuft. Die Justierschrauben 10, 11 liegen also am oberen Bereich der Platten einander ebenfalls gegenüber und sind selbsthemmend und nach Art einer Differential schraube ausgebildet. Dabei bestehen die Justierschrauben 10, 11 sowie der Träger 1, das Zwischenelement 5 und der Grundkörper 4 zweckmäßigerweise aus dem gleichen Material, z. B. aus nicht rostendem Stahl. Die erste Justierschraube 10 ist in eine ein Innengewinde 12 und ein Außensechskant 13 aufweisende Gewinde buchse 14 des Trägers 1 und in ein Gewindeloch 15 des Zwischen elementes 5 eingeschraubt, während die zweite Justierschraube in eine ein Innengewinde 16 und ein Außensechskant 17 aufweisen de Gewindebuchse 18 des Zwischenelementes 5 und in ein Gewinde loch 19 des Grundkörpers 4 eingeschraubt ist. Da die Justier schrauben 10, 11 nach Art einer Differentialschraube ausgebil det sind, weisen sie auf ihrem Schaft zwei hintereinanderliegende Gewindebereiche 20, 21 bei der ersten Justierschraube 10 bzw. Gewindebereiche 22, 23 bei der zweiten Justierschraube 11 mit unterschiedlichen Gewindesteigungen auf, von denen der Gewinde bereich 20 der ersten Justierschraube 10 und der Gewindebereich 22 der zweiten Justierschraube 11 mit dem kleineren Durchmesser und der kleineren Steigung z. B. als M4-Gewinde ausgebildet und in die verdrehgesichert im Träger 1 bzw. im Zwischenelement 5 angeordnete, aus dem gleichen Material wie Träger, Zwischen element, Grundkörper und Justierschrauben bestehende Gewinde buchse 14 bzw. 18 eingeschraubt ist, während der andere Gewinde bereich 21 der ersten Justierschraube 10 und der Gewindebereich 23 der zweiten Justierschraube 11 mit dem größeren Durchmesser und der größeren Steigung z. B. als M5-Gewinde ausgebildet und in die Gewindelöcher 15 bzw. 19 eingeschraubt ist. Zwischen den beiden Gewindebereichen 20, 21 bzw. 22, 23 der Justierschrauben 10, 11 ist der Schraubenschaft jeweils als im Querschnitt gegen über den Gewindedurchmessern wesentlich verjüngter Hals 24 bzw. 25 ausgebildet, der die auftretende Biegung bei Winkeländerungen bzw. Verspannungen beim Verstellen der Justierschrauben aufnimmt. Das aus dem Grundkörper 4 herausragende freie Ende 27 der zweiten Justierschraube 11 ist wie auch das aus dem Zwischenelement 5 heraus und in eine Aussparung 28 des Plattenecks des Grundkörpers 4 hineinragende freie Ende 26 der ersten Justierschraube 10 so ausgebildet, daß die Verstellung der Justierschrauben in möglichst einfacher Weise vorgenommen werden kann. Hier sind die freien Enden 26, 27 der Justierschrauben jeweils mit einem Loch 29 bzw. 30 versehen. Entsprechend der Aussparung 28 des Grundkörpers 4 für die zweite Justierschraube ist auch der Träger 1 am schräg gegenüberliegenden Platteneck mit einer Aussparung 31 für die zweite Justierschraube 11 ausgebildet.The adjusting device comprises a plate-shaped carrier 1 for an optical element, not shown here, in particular for a reflector mirror of a laser resonator, which is attached, for example, by gluing or clamping to the front carrier surface 2 or is formed by the correspondingly formed carrier surface 2 itself. The optical element is to be adjusted to a reference surface 3 of a plate-shaped base body 4 . The base body 4 is arranged stationary and can, for. B. form an end plate of a gas laser tube, the reference surface 3 is parallel to the other reflector mirror of the laser resonator. A likewise plate-shaped intermediate element 5 is provided between the base body 4 and the carrier 1 , the carrier 1 and the intermediate element 5 as well as the intermediate element 5 and the base body 4 each being connected to one another via a narrow elastic web 6 or 7 . In this way, the carrier 1 , the intermediate element 5 and the base body 4 are arranged in a row one behind the other and single Lich interconnected by the two webs 6 , 7 . Here, the webs 6 and 7 are arranged in mutually opposite edge regions of the carrier and of the intermediate element or of the intermediate element and of the base body with the inclined surfaces 8 and 9 facing one another, running perpendicular to one another. In each case diametrically opposite to the web 6 or 7 , a first or a second adjusting screw 10 or 11 is screwed into the carrier 1 and the intermediate element 5 or into the intermediate element 5 and the base body 4 . So that the webs 6 , 7 and the adjusting screws 10 , 11 are arranged such that one starting from the central axis of the respective adjusting screw and to a surface 8 or 9 of the web 6 or 7 , the adjusting screw 10 or 11 facing , leading connecting line runs perpendicular to this surface. The adjusting screws 10 , 11 are therefore also opposite each other at the upper region of the plates and are self-locking and designed in the manner of a differential screw. The adjusting screws 10 , 11 and the carrier 1 , the intermediate element 5 and the base body 4 are expediently made of the same material, for. B. made of stainless steel. The first adjusting screw 10 is screwed into an internal thread 12 and an external hexagon 13 threaded bush 14 of the carrier 1 and into a threaded hole 15 of the intermediate element 5 , while the second adjusting screw has an internal thread 16 and an external hexagon 17 de threaded bushing 18 Intermediate element 5 and in a threaded hole 19 of the base body 4 is screwed. Since the adjustment screws 10 , 11 are ausgebil det in the manner of a differential screw, they have on their shank two thread areas 20 , 21 one behind the other in the first adjustment screw 10 or thread areas 22 , 23 in the second adjustment screw 11 with different thread pitches, one of which Thread area 20 of the first adjusting screw 10 and the threaded area 22 of the second adjusting screw 11 with the smaller diameter and the smaller pitch z. B. formed as an M4 thread and in the non-rotatably arranged in the carrier 1 or in the intermediate element 5 , made of the same material as the carrier, intermediate element, base body and adjusting screws, threaded socket 14 or 18 is screwed in, while the other thread area 21st the first adjusting screw 10 and the threaded portion 23 of the second adjusting screw 11 with the larger diameter and the larger pitch z. B. is formed as an M5 thread and screwed into the threaded holes 15 and 19 . Between the two thread areas 20 , 21 and 22 , 23 of the adjusting screws 10 , 11 , the screw shank is designed as a neck 24 or 25 , which is substantially tapered in cross-section with respect to the thread diameters and which bends when there are changes in angle or tension when adjusting the adjusting screws records. The free end 27 of the second adjusting screw 11 protruding from the base body 4 , like the free end 26 of the first adjusting screw 10 protruding out of the intermediate element 5 and into a recess 28 in the plate corner of the base body 4, is designed in such a way that the adjustment screws can be adjusted as much as possible can be made easily. Here, the free ends 26 , 27 of the adjusting screws are each provided with a hole 29 and 30 , respectively. Corresponding to the recess 28 of the base body 4 for the second adjusting screw, the carrier 1 is also formed on the obliquely opposite plate corner with a recess 31 for the second adjusting screw 11 .

Anstelle einer Konterung ist zwischen beiden Gewindebereichen 20, 21 bzw. 22, 23 der Justierschraube 10 bzw. 11 und dem hierfür vorgesehenen Einschraubgewinde in den Gewindebuchsen 14, 18 und in den Gewindelöchern 15, 19 im Träger 1 bzw. im Zwischenelement 5 bzw. im Grundkörper 4 jeweils ein hier nicht näher dargestell ter Gewindeeinsatz aus Draht vorgesehen. Die Gewindeeinsätze sind den jeweiligen Gewinden der Justierschrauben bzw. den Einschraub gewinden entsprechend angepaßt, nach Art einer Spiralfeder ge formt und durch mindestens ein gerades Drahtteil selbsthemmend ausgebildet.Instead of a counter is between the two threaded areas 20 , 21 and 22 , 23 of the adjusting screw 10 and 11 and the screw thread provided for this purpose in the threaded bushes 14 , 18 and in the threaded holes 15 , 19 in the carrier 1 or in the intermediate element 5 or in Base body 4 each provided a threaded insert made of wire, not shown here. The threaded inserts are adapted to the respective threads of the adjusting screws or the screw-in threads, shaped in the manner of a spiral spring and designed to be self-locking by at least one straight wire part.

Bei der erfindungsgemäßen Justiervorrichtung erfolgt die Justie rung eines optischen Elementes in lediglich zwei Einstellvor gängen. Zunächst wird in einem ersten Einstellvorgang mit der zweiten in das Zwischenelement 5 und den Grundkörper 4 einge schraubten Justierschraube 11 das optische Element in einer ersten Richtung eingestellt, indem beim Drehen der zweiten Justierschraube 11 das Zwischenelement 5 und der mit ihm direkt verbundene Träger 1 als Paket um den Steg 7 gegenüber dem Grundkörper 4 verstellt werden. Sodann wird in einem zweiten Einstellvorgang mit der ersten, in den Träger 1 und das Zwischen element 5 eingeschraubten Justierschraube 10 das optische Element in einer zu der ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung ein gestellt, bis es in der endgültigen Position einjustiert ist, in dem bei Drehung der ersten Justierschraube 10 jetzt nur noch der Träger 1 um den Steg 6 gegenüber dem Zwischenelement 5 verstellt wird.In the adjusting device according to the invention, the adjustment of an optical element takes place in only two settings. First, the optical element is adjusted in a first direction in a first setting operation with the second adjusting screw 11 screwed into the intermediate element 5 and the base body 4 , by turning the second adjusting screw 11, the intermediate element 5 and the carrier 1 directly connected to it as a package can be adjusted around the web 7 relative to the base body 4 . Then, in a second setting process with the first, in the carrier 1 and the intermediate element 5 screwed adjusting screw 10, the optical element in a second direction perpendicular to the first direction until it is adjusted in the final position, in the rotation the first adjusting screw 10, only the support 1 is now adjusted around the web 6 relative to the intermediate element 5 .

Damit ist bei der erfindungsgemäßen Justiervorrichtung das optische Element nach nur zwei Verstellungen spiel- und konter frei einjustiert, während bei der herkömmlichen Dreipunktjustage öfter eingestellt werden muß, bis der endgültige Justagezustand erreicht ist.This is the adjustment device according to the invention Optical element play and counter after only two adjustments freely adjusted, while with the conventional three-point adjustment must be adjusted more often until the final adjustment state is reached.

Claims

1. Adjusting device for an optical element, in particular for a reflector mirror of an optical resonator, with three mutually parallel flat plates, namely a first plate as a carrier ( 1 ) for the optical element, a second plate as an intermediate element ( 5 ) and a stationary one third plate containing and a reference surface or a reference element having or representing base body ( 4 ), the carrier ( 1 ) and the intermediate element ( 5 ) and the intermediate element ( 5 ) and the base body ( 4 ) each via an elastic web ( 6 or 7 ) are connected to one another, the two webs ( 6, 7 ) lie opposite one another and run perpendicular to one another and the carrier ( 1 ) and the intermediate element ( 5 ) can be adjusted against the base body ( 4 ) by means of adjusting screws ( 10, 11 ),
characterized,
that two self-locking adjusting screws ( 10, 11 ) designed in the manner of a differential screw are provided, which have two threaded areas ( 20, 21 or 22, 23 ) with different thread pitches on their shafts,
that the first adjusting screw ( 10 ) is arranged approximately diametrically to the web ( 6 ) between the carrier ( 1 ) and the intermediate element ( 5 ) and with the one threaded region ( 20 ) in the carrier ( 1 ) and with the other threaded region ( 21 ) is screwed into the intermediate element ( 5 ) and
that the second adjusting screw ( 11 ) is arranged approximately diametrically to the web ( 7 ) between the intermediate element ( 5 ) and the base body ( 4 ) and with one threaded area ( 22 ) in the intermediate element ( 5 ) and with the other threaded area ( 23 ) is screwed into the base body ( 4 ).

2. Adjusting device according to claim 1, characterized in that the webs ( 6 , 7 ) and the adjusting screws ( 10 , 11 ) are arranged such that one of the center axis of the respective adjusting screw ( 10 and 11 ) outgoing and to a surface ( 8 or 9 ) of the web ( 6 or 7 ) facing the adjusting screw ( 10 or 11 ), leading connecting line runs perpendicular to this surface.

3. Adjusting device according to claim 1 or 2, characterized in that the first adjusting screw ( 10 ) in an internal thread ( 12 ) having a threaded bush ( 14 ) of the carrier ( 1 ) and in a threaded hole ( 15 ) of the intermediate element ( 5 ) and second adjusting screw ( 11 ) is screwed into an internal thread ( 16 ) having a threaded bushing ( 18 ) of the intermediate element ( 5 ) and into a threaded hole ( 19 ) of the base body ( 4 ).

4. Adjusting device according to one of claims 1 to 3, characterized in that between the two threaded areas ( 20 , 21 or 22 , 23 ) each adjusting screw be ( 10 or 11 ) and the screw thread provided for this purpose in the carrier ( 1 ), intermediate element ( 5 ) and base body ( 4 ) each have a self-locking threaded insert made of wire.

5. Adjusting device according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier ( 1 ) at the point opposite the second adjusting screw ( 11 ) and the base body ( 4 ) at the point opposite the first adjusting screw ( 10 ) each with a recess ( 31 or 28 ) are provided.