DE8630925U1 - Druckmeßelement - Google Patents
DruckmeßelementInfo
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
- G01L13/026—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms involving double diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
Landscapes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
K'aus Fischer Meß- und RegeLtechnik
GmbH u. Co KommanditgeseLLschaft BieLefeLder Straße. 37«, ^9<)^'Bad SaLzufLen
■ · · · t ■
Die Neuerung betrifft ein Druck-Di fferenzdruckmeßelement,
bestehend aus einem gekapselten, piezoresistiven Druck-Differenzdrucksensor
in einem zweiteiligen Gehäuse, wobei innerhaLb des Gehäuses nach außen durch elastische
Membranen abgetrennte, mit einem Übertragungsmedium
gefülLte und mit dem Druck-Differenzdrucksensor in Berührung stehende Druckräume ausgebildet sind.
Piezoresistive Drucksensoren eignen sich normaLerweise
aufgrund ihres Aufbaus und der für ihren Aufbau verwendeten Materialien nur für Messungen in neutralen, sauberen
Medien. Der piezoresistive Druck-Differenzdrucksensor
besteht aus einer SiLizium-Membran mit einer eindiffundierten
Dehnungsmeßstreifen-Brücke, die bei Druckeinwirkung verstimmt wird, wobei das so entstehende
elektrische Signal ein Maß für die Druck-Di ffenrenzdruckeinwirkung
ist.
Obwohl die Silizium-Membran im allgemeinen gekapselt und
damit unempfindlicher gegen äußere Einflüsse ist,
sind bei Messungen in aggressiven, verschmutzten Medien die S'Lizium-Membran und die elektrischen Anschlüsse
insbesondere auf der Brückenden te gefährdet. Um die Sensoren jedoch uneingeschränkt einsetzen zu könne.v
müssen sie vom Meßmedium abgeschirmt sein, dann können sie trotzdem rcit dem zu messenden Druck oder
Differenzdruck beaufschlagt werden.
Dies geschieht in der Regel durch eine Übertragungsflüssigkeit, insbesondere Silikonöl, die den Druck
oder Differenzdruck unverfälscht auf den Druck-Di
ff ersnzdrucksensor weiterleitet, und Trennwände
welche die Übertragungsflüssigkeit in den sogenannten
Druckräumen einschließt und die Verbindung zum Medium herstellt.
Diese Trennwände sind, normalerweise als elastische
Membranen aus Stahl oder elastischen Kunststoffen ausgebildet.
Solche Druckmeßelemente sind beispielsweise in der
EP-OS 135 653 und in der DE-OS 33 44 799 beschrieben. Nachteilig sind bei diesen Druckmeßelementen vor allem
ihr komplizierter Aufbau, verbunden mit hohen Fertigungskosten,
insbesondere für die Membran,und das Verschweißen
der Membran mit dem Gehäuse.
Es war daher Aufgabe der vorliegenden Neuerung, ein möglichst einfach aufgebautes,einfach zu fertigendes
Druck-Di fferenzdruckmeßelement zu schaffen, bestehend
aus einem gekapselten, piezoresistiven Druck-Differenzdrucksensor
in einem zweiteiligen Gehäuse, wobei innerhalb des Gehäuses nach außen durch elastische Membranen
abgetrennte, mit einem Übertragungsmedium gefüllte und
mit dem Druck-Differenzdrucksensor in Berührung stehende
Drurkräume ausgebildet sind.
daß die Druckräume durch zwei zylindrische Bohrungen in den Gehäusehälften gebildet werden,
daß der gekapselte Druckmesser in den Gehäusehälften
gehalten und die Druckraumbohrungen über 0-ringe nach
außen abgedichtet sind.
daß der Drucksensor über zwei weitere, engere Bohrungen
mit den Druckraumbohrungen in Verbindung steht, daß die elastischen Membranen aus einem flexiblen
Material bestehen
und daß die Membranen mittels Druckringen und Druckschrauben innerhalb der Anschlußbohrung befestigt sind.
Die Abbildung zeigt schematisch ein beispielhaftes
AijRführijngshpisnipl rip R npuprungsgpmäßpn Drurk-Differenzdruckmeße
lements im Längsschnitt. Der gekapselte
Drucksensor (1) befindet sich innerhalb der beiden Gehäusehälften (6, 10) die vorzugsweise aus Stahl
bestehen. Beide Gehäusehälften (6, 10) sind mit
zylindrischen Bohrungen (8) versehen, die mit einem
Übertragungsmedium gefüllt sind und die Druckräume darstellen. Durch zwei engere Bohrungen (7) in der
Kapsel steht der Drucksensor (1) direkt mit dem Übertragungsmedium
in Verbindung. Die Druckraumbohrungen (8) sind nach außen über 0-ringe (2) zwischen den
Gehäusehälften (6,. 10) abgedichtet. Die Gehäusehälften
(6) sind mit Anschlußbohrungen (9) mit Innengewinde versehen, in denen die elastische Membranen, die
neuerungsgemäß aus einem flexiblen Material, wie z.B. Gummi besteht, mittels Druckringen (4) und Druckschrauben
(5) befestigt sind. Die Anschlußleitungen (11) sind
seitlich aus dem Gehäuse (6, 10) herausgeführt.
Das neuerungsgemäße Druck-Di fferenzdruckmeßelement ist
sehr einfach aufgebaut und daher kostengünstig zu fertigen. Da die Membranen aus einem flexiblen Werkstoff bestehen
(Gummi, flexible Kunststoffe u.a.), nehmen sie die durch Temperaturänderungen hervorgerufenen Volumenänderungen
der übertragungsflüssigkeit ohne Meßdruckverfälschung auf,
ebenso Volumenänderungen durch Gaseinschlüsse in der
Flüssigkeit. Dadurch ist ein absolutes Entgasen der übertragungsflüssigkeit und das absolute Vermeiden von
« &igr; · 11
Gaseinschlüssen beim Einbringen der Übertragungsflüssigkeit in die Druckräume nicht erforderlich,
Claims (1)
- Klaus Fischer Meß- und Regeltechnik GmbH u. Co.' Kommandi tgesel Lschaf t Bielefelder St-^a ßet;37#, D,-*4?p·? Bad SalzuflenIII 11 ■ · · ■ · ■Druckmeßelement
Schutzanspruch:Druck-Di fferenzdruckmeßelerne nt, bestehend aus einemgekapselten, piezoresistiven Sensor in einem zylindei— förmigen, zweiteiligen Gehäuse, wobei innerhalb desGehäuses ein oder zwei nach außen durch elastischeMembranen abgetrennte, mit einem Übertragungsmediumgefüllte und mit dem Druck-Differenzdrucksensor inBerührung stehende Druckräume ausgebildet sind,dadurch gekennzeichnet,daß die Gehäusehälften (6,10) mit Anschlußbohrungen(9) versehen sind,daß die Druckräume durch zwei zylindrische Bohrungen (8) in den Gehäusehälften (6, 10) gebildet werden, daß der gekapselte Drucksensor (1) in den Gehäusehälften (6, 10) gehalten und die Druckraumbohrungen (8) über 0-ringe (2) nach außen abgedichtet sind, daß der Drucksensor (1) über zwei weitere, engere Bohrungen(7) mit den Druckraumbohrungen (8) in Verbindung steht, daß die elastischen Membranen (3) aus einen flexibtenMaterial bestehen,und daß die Membranen (3) mittels Druckringen (A) undDruckschrauben (5) innerhalb der Anschlußbohrungen (9)befestigt sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19868630925 DE8630925U1 (de) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Druckmeßelement |
Applications Claiming Priority (1)
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DE19868630925 DE8630925U1 (de) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Druckmeßelement |
Publications (1)
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DE8630925U1 true DE8630925U1 (de) | 1987-02-12 |
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ID=6800335
Family Applications (1)
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DE19868630925 Expired DE8630925U1 (de) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Druckmeßelement |
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DE (1) | DE8630925U1 (de) |
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1986
- 1986-11-18 DE DE19868630925 patent/DE8630925U1/de not_active Expired
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