DE831474C - Process and device for generating metallic deposits by evaporation in a vacuum - Google Patents
Process and device for generating metallic deposits by evaporation in a vacuumInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Niederschlag von Metallen auf einen Träger mittels thermischer Verdampfung in einem Vakuum.The invention relates to a method and an apparatus for depositing metals on a carrier by means of thermal evaporation in a vacuum.
Das im allgemeinen verdampfte Metall ist Aluminium, und der für seine Erhitzung erforderliche Erhitzer besteht aus einem Widerstands metall, ζ. B. Wolfram, das sich als besonders geeignet hierfür herausgestellt hat.The metal generally vaporized is aluminum and that required for heating it The heater consists of a resistance metal, ζ. B. tungsten, which is particularly suitable pointed out for this.
Aluminium jedoch verbindet sich mit Wolfram bei hoher Temperatur oder löst sogar das Wolfram auf. Der Wolframerhitzer verschlechtert sich daher schnell und bricht, wenn geschmolzenes Aluminium mit ihm in Berührung bleibt.However, aluminum combines with tungsten at high temperatures or even dissolves the tungsten on. The tungsten heater therefore quickly deteriorates and breaks when the aluminum is molten stays in touch with him.
Ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Niederschlag von Aluminium auf einen Träger in einem Vakuum, wobei der Erhitzer aus Wolfram hergestellt ist, sind bereits bekannt geworden. Bei dieser bekannten Einrichtung sind Mittel vorgesehen, die das plötzliche Auflösen des Erhitzers vermeiden. Dies wird durch die Zuführung des Aluminiums in Form eines Drahtes erreicht. Die Zuführung erfolgt derart, daß ein Ende des Drahtes mit dem Erhitzer in Berührung kommt und verdampft wird, bevor eine Lache geschmolzenen Aluminiums Gelegenheit findet, sich auf dem Erhitzer zu bilden.A method and a device for depositing aluminum on a carrier in a vacuum, the heater being made of tungsten, have already become known. at this known device means are provided to prevent the sudden dissolution of the heater avoid. This is achieved by feeding the aluminum in the form of a wire. the It is fed in such a way that one end of the wire comes into contact with the heater and evaporates before a pool of molten aluminum finds an opportunity to settle on the heater to build.
Auf diese Weise kann die Lebensdauer des Wolframerhitzers bedeutend verlängert werden.In this way, the life of the tungsten heater can be extended significantly.
Bei diesem bekannten Verfahren jedoch wird das Wolfram mit der Zeit verbraucht. Der Verlust an Wolfram, verteuert das Verfahren.In this known method, however, the tungsten is consumed over time. The loss of tungsten, makes the process more expensive.
Es ist der Hauptzweck der Erfindung, bei Vorrichtungen der beschriebenen Art die erwähnten Verluste an Wolfram möglichst zu vermeiden. Weitere Zwecke der Erfindung liegen in der Vermeidung dichter Aluminiumdämpfe in der Nachbarschaft des Erhitzers sowie in der verbesserten. Zuführung des zu verdampfenden Metalls in der Form eines feinen Drahtes, wobei erreicht wird, daß dieser mit dem Wolframerhitzer über einenIt is the main purpose of the invention, in devices of the type described, that mentioned To avoid losses of tungsten as far as possible. Further purposes of the invention are avoidance denser aluminum vapors in the vicinity of the heater as well as in the improved one. Supply of the metal to be evaporated in the form of a fine wire, whereby it is achieved that this one with the tungsten heater
ίο sehr kleinen Querschnitt in Berührung gebracht wird.ίο very small cross-section brought into contact will.
Ein weiterer Zweck der Erfindung besteht darin, elektrischen Strom einem die Form eines Stabes oder einer Stange besitzenden Wolframerhitzer zuzuführen, und zwar auf solche Weise, daß bei einem Dehnen oder Zusammenziehen des Erhitzers durch Erhitzung bzw. Abkühlung desselben innere Spannungen des Erhitzers nicht aufzutreten vermögen. Another purpose of the invention is to provide electrical current in the form of a rod or a rod-equipped tungsten heater in such a way that at an expansion or contraction of the heater by heating or cooling the same interior Tensions in the heater are not able to occur.
Um eine Ansammlung der Aluminiumdämpfe in der Nachbarschaft des Erhitzers zu vermeiden, muß der Aluminiumdraht eine solche Feinheit besitzen, daß er sehr biegsam ist, und es hat sich als praktisch unmöglich erwiesen, einen solchen Draht,In order to avoid the accumulation of aluminum fumes in the vicinity of the heater, the aluminum wire must have such a fineness that it is very flexible, and it has been found to be proved practically impossible to make such a wire,
a5 wenn dieser gerade ist, genau auf einen bestimmten, Punkt des Erhitzers zu führen. a 5 if this is straight, to lead exactly to a certain point of the heater.
Führungsmittel für einen derartigen geraden Draht können nicht unmittelbar in die Nähe des Heizstabes gebracht werden, und zwar nicht nur wegen der Hochtemperaturstrahlung, sondern auch deswegen, weil solche Mittel in der Nähe des Verdampfungspunktes mit einer anwachsenden Schicht von Aluminium belegt werden würden. Man muß daher eine Drahtlänge von 2,5 bis 5 cm frei von irgendwelchen Führungsmitteln herunterhängen lassen, und die Ablenkung dieser Drahtlänge aus der geraden Richtung kann unter Umständen etwa 5 mm betragen.Guide means for such a straight wire can not be in the immediate vicinity of the Heating rod are brought, and not only because of the high-temperature radiation, but also because such means near the point of evaporation with a growing layer would be occupied by aluminum. One must therefore have a wire length of 2.5 to 5 cm free of hang down any guide means, and the deflection of this length of wire the straight direction can possibly be about 5 mm.
Gemäß der Erfindung wird das zu verdampfende Metall dem Erhitzer in Form eines frei herabhängenden, um seine eigene Achse sich drehenden, schraubenförmig gewickelten Drahtes zugeführt, wobei der Halbmesser der Schraubenwicklung des Drahtes etwas größer als das Höchstmaß einer seitlichen Abschwenkung des freien Endes des Drahtes mit Bezug auf den Erhitzer gehalten worden ist. Vorzugsweise sind die Schraubenwicklung und der Erhitzer so aufeinander abgestimmt, daß der Durchmesser der ersteren größer als die Weite des letzteren ist. Die Schraubenwicklung kann sogar einen Durchmesser besitzen, der verschiedene Male größer ist, als die Breite des Heizstabes beträgt. According to the invention, the metal to be evaporated is given to the heater in the form of a freely hanging, around its own axis rotating, helically wound wire supplied, wherein the radius of the helical winding of the wire is slightly larger than the maximum one lateral pivoting of the free end of the wire has been kept with respect to the heater is. The helical winding and the heater are preferably matched to one another so that the diameter of the former is greater than the width of the latter. The helical winding can even Have a diameter which is several times greater than the width of the heating rod.
Es kann daher erfindungsgemäß ein feiner AIuminiumdraht einem Heizstab, beispielsweise einer Wolframstange kleinen Querschnitts zugeführt werden, und zwar ohne die Gefahr, daß bei der Zuführung der Draht mit dem Heizstab nicht in Berührung treten könnte. In der Praxis hat sich ein runder Stab aus Wolfram als die wirtschaftlichste Form des Heizstabes erwiesen, und es kann ein Stab von nur 2 mm Durchmesser verwendet werden. Die Erfindung ermöglicht daher bei der Verwendung einer derartigen Vorrichtung zum Niederschlag von Metall die Benutzung von nur einer kleinen Menge von Wolfram in seiner wirtschaftlichsten Form.According to the invention, a fine aluminum wire can therefore be used be fed to a heating rod, for example a tungsten rod with a small cross-section, and without the risk that the wire will not come into contact with the heating rod when it is fed could kick. In practice, a round rod made of tungsten has proven to be the most economical The shape of the heating rod has been proven, and a rod only 2 mm in diameter can be used. The invention therefore makes it possible to use such a device for precipitation of metal the use of only a small amount of tungsten at its most economical Shape.
Der Draht des zu verdampfenden Metalls wird von einer Vorratsspule abgezogen und einem Formteil zugeführt, mittels dessen der Draht in eine sich ständig drehende und senkrecht herabsteigende Schraubenform gewickelt wird. Das Formteil endigt im Abstand von dem Erhitzer. Hierdurch hängt das Ende des gewickelten Drahtes frei herab, und nur das untere Ende des Drahtes kommt mit dem Erhitzer in Berührung. Die Geschwindigkeit der nach unten gerichteten Bewegung des Drahtes ist der Temperatur des Erhitzers genau angepaßt, um eine beständige Verdampfung des Drahtes zu erreichen, wenn dieser mit dem Erhitzer in Berührung kommt.The wire of the metal to be vaporized is drawn off a supply reel and a molded part fed, by means of which the wire in a constantly rotating and vertically descending Helical shape is wound. The molded part ends at a distance from the heater. It depends on this End of the coiled wire comes down freely, and only the lower end of the wire comes with the heater in touch. The speed of the downward movement of the wire is the Temperature of the heater precisely adjusted to achieve constant evaporation of the wire, when it comes into contact with the heater.
Die Erfindung wird nunmehr an Hand der Zeichnung erläutert, welche ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes schematisch darstellt. The invention will now be explained with reference to the drawing, which shows an embodiment of the subject matter of the invention schematically.
Fig. ι ist eine Ansicht von unten auf die Vorrichtung, welche die Schraubenwicklung herstellt, und zwar längs der Linie A-A in Fig. 2 gesehen, wobei die Schraubenwicklung selbst fortgelassen worden ist;Fig. 1 is a view from below of the device which produces the helical winding, seen along the line AA in Figure 2, the helical winding itself has been omitted;
Fig. 2 ist eine Seitenansicht der Vorrichtung, die den Heizstab umfaßt. Ein Teil der Vorrichtung, welche die Schraubenwicklung herstellt, ist, wie durch die Linie B-B in Fig. 1 ersichtlich, im Schnitt wiedergegeben;Figure 2 is a side view of the device including the heater rod. Part of the device which produces the helical winding is shown in section, as can be seen from the line BB in FIG. 1;
Fig. 3 ist eine Seitenansicht des Heizstabes und seiner Trägermittel.Fig. 3 is a side view of the heating rod and its support means.
Feinaluminiumdraht von ungefähr 1Z2 mm Durchmesser wird zuerst schraubenförmig gewickelt, und diese Wicklung wird dann dem Erhitzer zugeführt. Dieser schraubenförmig gewickelte Draht besitzt weniger Neigung, von der geraden Linie abzugehen, als wenn er geradlinig gestaltet wäre, und der Durchmesser der Schraubenwicklung ist verschiedene Male größer als der Durchmesser des Heizstabes, so daß eine Abweichung von sogar einigen Millimetern noch erlaubt wäre.Fine aluminum wire approximately 1 Z 2 mm in diameter is first helically wound, and this winding is then fed to the heater. This helically wound wire has less tendency to deviate from the straight line than if it were made straight, and the diameter of the helical winding is several times larger than the diameter of the heating rod, so that a deviation of even a few millimeters would still be allowed.
Die schraubenbildende Vorrichtung ist an einer Platte ι montiert, die an der Wand 2 der Vakuumkammer befestigt ist. Letztere umfaßt in bekannter Weise einen Bodenteil 2", in dem ein Rohr 2* vorgesehen ist, durch welches die Kammer evakuiert wird.The screw-forming device is mounted on a plate ι which is attached to the wall 2 of the vacuum chamber. The latter comprises, in a known manner, a bottom part 2 ″ in which a tube 2 * is provided through which the chamber is evacuated.
Der Draht 3 wird von einer Spule 4 durch ein Führungsrohr 5 abgezogen. Letzteres weist ein trichterförmiges Mundstück 6 auf. Das Rohr 5 ist in einem Träger 7 an der Platte 1 befestigt.The wire 3 is drawn off from a spool 4 through a guide tube 5. The latter instructs funnel-shaped mouthpiece 6. The tube 5 is fastened to the plate 1 in a carrier 7.
Eine Spindel 8 kann sich in einer Führungsbüchse 9 drehen, die durch die Platte 1 hindurchführt. Über der Führungsbüchse 9 ist ein Kettenrad 10 mittels einer Stellschraube 11 an der Spindel 8 befestigt. Das Kettenrad 10 mit der Spindel 8 wird durch die Kette 12 von einem Triebkettenrad 13 langsam gedreht. Letzteres wird auf geeignete Weise angetrieben, beispielsweise durch das schaubildlich durch das Gehäuse 14 dargestellte Uhrwerk, das an der Platte 1 mittels der Konsole 14" befestigt ist. Ein drahtwickelnder Teil 15 auf derA spindle 8 can rotate in a guide bush 9 which passes through the plate 1. Above the guide bushing 9 is a chain wheel 10 by means of an adjusting screw 11 on the spindle 8 attached. The chain wheel 10 with the spindle 8 is driven by the chain 12 from a drive chain wheel 13 rotated slowly. The latter is driven in a suitable manner, for example by the graphical clockwork represented by the housing 14, which is attached to the plate 1 by means of the console 14 " is attached. A wire winding part 15 on the
Spindel 8 ist gerillt bzw. aufgerauht, und das Rohr 5 ist so angeordnet, daß der Draht 3 tangential an den Wicklungsteil 15 gelangt. Eine Walze 16, die in einem bei 18 an der Platte 1 gelagerten Arm 17 gehalten ist, wird gegen das gerillte bzw. aufgerauhte Teil 15 der Spindel mittels einer Feder 19 gedrückt und drückt ihrerseits den Draht 3 gegen das Teil 15. Eine Führungsspitze 20 an der Platte 1 greift in eine Nut 21 in der Spindel und dient dazu, den Draht an das untere Teil 22 der Spindel zu überführen. Dieses Teil arbeitet als eigentliches schraubenformendes Teil. Ein Träger S, der zum Niederschlag der Metalldämpfe dient, wird in einem Rahmen F, der auf dem Boden 20 befestigt ist, gehalten. The spindle 8 is grooved or roughened, and the tube 5 is arranged in such a way that the wire 3 reaches the winding part 15 tangentially. A roller 16, which is held in an arm 17 mounted at 18 on the plate 1, is pressed against the grooved or roughened part 15 of the spindle by means of a spring 19 and in turn presses the wire 3 against the part 15 the plate 1 engages in a groove 21 in the spindle and serves to transfer the wire to the lower part 22 of the spindle. This part works as the actual screw forming part. A support S, which is used to precipitate the metal vapors is held in a frame F, which is attached on the floor 2 0.
Die Arbeitsweise der Vorrichtung ist folgende: Der Draht wird von Hand durch das Rohr 5 zwischen das gerillte Teil 15 und die Walze 16 gezogen, unter die Führungsspitze 20 geleitet und dannThe operation of the device is as follows: The wire is inserted by hand through the tube 5 between the grooved part 15 and the roller 16 drawn, passed under the top management 20 and then
ao einige Male um das Formteil 22 herumgeführt. Dann wird der Draht 3, wenn die Spindel entgegen dem Uhrzeiger (von unten gesehen) gedreht wird, wie in Fig. 1 ersichtlich, von der Spule durch das Windungsteil 15 abgezogen und ständig dem Formerao passed around the molded part 22 a few times. Then the wire 3 when the spindle opposes clockwise (viewed from below) is rotated, as can be seen in Fig. 1, from the spool through the Winding part 15 withdrawn and constantly the former
»5 22 zugeführt, wo er in eine beständig sich drehende und senkrecht herabgehende Schraubenwicklung 23 von ungefähr 8 mm Durchmesser aufgewunden wird. Diese Schraubenwicklung erstreckt sich über das Formteil 22 hinaus, wodurch ein dem Erhitzer zugerichtetes, frei herabhängendes Endstück gebildet wird und nur das freie Ende des Drahtes in Berührung mit dem Erhitzer tritt. »5 22, where it is wound into a constantly rotating and vertically descending helical winding 23 of approximately 8 mm in diameter. This helical winding extends beyond the molded part 22, thereby forming a freely depending end piece which is trimmed to the heater and only the free end of the wire comes into contact with the heater.
Die schraubenbildende Vorrichtung befindet sich etwa 20 cm oder noch höher über der Verdampfungsstelle, um zu vermeiden, daß sie einen dicken Überzug des verdampften Metalls erhält. Die Schraube 23 fällt von sich aus senkrecht in gerader Linie auf die Verdampfungsstelle herab, kann aber auch durch einen Stab 24 geführt werden, der eine Verlängerung der Spindel bis auf eine Entfernung von 2,5 bis 5 cm von der Verdampfungsstelle bildet. Der Heizstab besteht aus einer dünnen Wolframstange 22 von ungefähr 2 mm Durchmesser und bietet dem schraubenförmig gewickelten Draht einen verhältnismäßig geringen Querschnitt, d. h. Weite. Die Schraubenwicklung hat, wie gesagt, einen Durchmesser von 8 mm. Die Erfindung umfaßt ebenfalls verbesserte Mittel, um einen solchen Erhitzer zu lagern. An seinem Ende wird der Erhitzer zwischen Kupferblöcken 26 gehaltein, die auf Pfosten 26° abgestützt sind. Letztere gehen durch die Grundplatte 2" hindurch und sind von dieser isoliert. Die Blöcke 26 werden durch kupferne Träger 27 gestützt, die teilweise aus Streifenteilen bestehen. Letztere sind genügend dünn, um nachzugeben und eine Ausdehnung bzw. Zusammenziehung des Wolframstabes 25 zu gestatten. Die Träger 27 sind je mit einem Leiter 29 durch eine an dem Pfosten 26" angeordnete Stange 30 elektrisch verbunden und sind jeder in der Stange 30 montiert, wobei der Leiter an jedem Pfosten mittels einer Mutter 31 angedrückt wird.The screw-forming device is located about 20 cm or even higher above the evaporation point in order to avoid that it receives a thick coating of the evaporated metal. The screw 23 by itself falls vertically in a straight line onto the evaporation point, but can also be passed through a rod 24 which forms an extension of the spindle up to a distance of 2.5 to 5 cm from the evaporation point. The heating rod consists of a thin tungsten rod 22 approximately 2 mm in diameter and offers the helically wound wire a relatively small cross section, ie width. As I said, the helical winding has a diameter of 8 mm. The invention also encompasses improved means for storing such a heater. At its end, the heater is held between copper blocks 26 which are supported on posts 26 °. The latter pass through and are isolated from the base plate 2 " . The blocks 26 are supported by copper supports 27, some of which consist of strips. The latter are sufficiently thin to yield and allow expansion or contraction of the tungsten rod 25. The Carriers 27 are each electrically connected to a conductor 29 by a rod 30 arranged on the post 26 ″ and are each mounted in the rod 30, the conductor being pressed onto each post by means of a nut 31.
Bei der Benutzung wird der Stab 2 5 in seinem mittleren Teil auf eine Temperatur von ungefähr 20000 C erhitzt. Der gewickelte Draht 23 wird in einem bestimmten Verhältnis zur Temperatur des Erhitzers zugeführt, so daß das Ende des Drahtes schmilzt und verdampft wird, sobald es mit dem Stab 25 in Berührung kommt. Es besteht keine Gefahr, daß die Schraubenwicklung so weit aus der geraden Richtung abschwenkt, daß sie eine Berührung mit dem Heizstab vermeiden könnte.In use, the rod is heated for 2 5 in its central part to a temperature of about 2000 0 C. The wound wire 23 is fed in a certain proportion to the temperature of the heater, so that the end of the wire melts and is vaporized as soon as it comes into contact with the rod 25. There is no risk of the helical winding pivoting so far from the straight direction that it could avoid contact with the heating rod.
Claims (3)
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| GB2928046A GB612093A (en) | 1946-10-01 | 1946-10-01 | Improvements in or relating to processes of and apparatus for depositing metals on asupport by thermal evaporation in a vacuum |
Publications (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1078403B (en) * | 1954-10-29 | 1960-03-24 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Process for feeding an evaporator for the production of metal coatings |
| DE1265541B (en) * | 1955-02-09 | 1968-04-04 | Pratt & Whitney Company Inc | Device for setting a machine tool shaft in a specific position |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1078403B (en) * | 1954-10-29 | 1960-03-24 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Process for feeding an evaporator for the production of metal coatings |
| DE1265541B (en) * | 1955-02-09 | 1968-04-04 | Pratt & Whitney Company Inc | Device for setting a machine tool shaft in a specific position |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| CH274249A (en) | 1951-03-31 |
| FR953300A (en) | 1949-12-02 |
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| GB612093A (en) | 1948-11-08 |
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