Elektronenmikroskop, dessen Vakuum mit einer elektrisch beheizten
Diffusionspumpe- aufrechterhalten wird Zur Herstellung und Aufrechterhaltung des
Vakuums bei Elektronenmikroskopen verwendet man elektrisch beheizte Diffusionspumpen.
Es hat sich nun gezeigt, daß das von der Heizwicklung ausgehende magnetische Wechselfeld
den Elektronenstrahl ungünstig beeinflußt. Insbesondere _kann sich auf diese Weise
ein Verwischen; der im Elektronenmikroskop hergestellten photographischen Aufnahme
ergeben. Um diese Nachteile zu vermeiden, wird erfindungsgemäß die zum Belichten
der photographischen Schicht dienende Vorrichtung mit einem die elektrische Heizung
der Pumpe ein= und ausschaltendken Schalter derart verriegelt, daß die. Pumpenheizung
während der Belichtung der photographischen Schicht ausgeschaltet ist. Diese Verriegelung
kann in der verschiedensten Weise durchgeführt werden. Man kann beispielsweise mechanische
oder auch elektrische Verriegelungsmittel anwenden. Eine einfache Ausführungsform
der vorliegenden Art ergibt sich, wenn man den Schalter für die Pumpenheizung mit
der zum Belichten dienenden Vorrichtung mechanisch kuppelt. Wenn man in üblicher
Weise zum Belichten einen in dem Vakuumraum befindlichen Klappschirm anwendet, der
durch einen äußeren Antrieb
betätigt werden kann, so wird man den
Schalter für die Pumpenheizung mit der Antriebsvorrichtung außerhalb des Vakuumraumes
des Elektronenmikroskops zusammenbauen. Für diese Ausführungsform der Erfindung
ist in den Figuren ein Ausführungsbeispiel dargestellt.Electron microscope, its vacuum with an electrically heated
Diffusion pump is used to produce and maintain the
Electron microscopes use electrically heated diffusion pumps in the vacuum.
It has now been shown that the alternating magnetic field emanating from the heating winding
adversely affects the electron beam. In particular, _can be done in this way
a blurring; the photograph taken in the electron microscope
result. In order to avoid these disadvantages, the method for exposure is used according to the invention
The device serving the photographic layer with an electric heater
the pump on and off the switch is locked in such a way that the. Pump heating
is switched off during the exposure of the photographic layer. This lock
can be done in a variety of ways. For example, you can use mechanical
or also use electrical locking means. A simple embodiment
of the present type results when you switch the pump heater with
the device used for exposure is mechanically coupled. If you are in usual
Way to expose a folding screen located in the vacuum chamber, which
by an external drive
can be operated, one becomes the
Switch for the pump heating with the drive device outside the vacuum space
assemble the electron microscope. For this embodiment of the invention
an embodiment is shown in the figures.
Fig. i zeigt eine teilweise im Schnitt dargestellte Ansicht des Schaltapparates;
Fig. a zeigt die zugehörige Seitenansicht; in Fig.3 ist die Federung des Schalthebels
und in Fig. d. ein Einzelteil der Schaltvorrichtung dargestellt.Fig. I shows a partially sectioned view of the switchgear;
Fig. A shows the associated side view; in Fig.3 is the suspension of the shift lever
and in Fig. d. a single part of the switching device is shown.
Mit i ist der zum Belichten der photographischen Platte dienende Klappschirm
bezeichnet, der in den Vakuumraum 2 des Elektronenmikroskops eingebaut ist. Mit
3 ist die Vakuumwand des Mikroskops bezeichnet. Mit Hilfe eines konischen Schliffes
d. kann der Klappschirm zur Belichtung nach oben geklappt und wieder entsprechend
gesenkt werden. Zum Bewegen des Klappschirmes dient ein Hebel 5, der den konischen
Schliff .l über eine flexible Welle 6 antreibt. Der Hebel 5 ist in einer Lockenscheibe
7 befestigt, die auf einer Welle S läuft. Diese N`'elle ist in einem Lagerbock i8
gelagert. Die Nockenscheibe ist so ausgeführt, daß ein hinter ihr angeordneter Druckschalter
g bei senkrecht nach unten liegendem Hebel (vgl. die in Fig. i gestrichelt dargestellte
Stellung, in der der Klappschirm geschlossen ist) durch Hineindrücken der Drucktaste
io eingeschaltet ist. Dieser Schalter g dient zum Ein- und Ausschalten der elektrischen
Heizung für die Quecksilberdi$usionspumpe. Durch Hochlegen des Hebels wird der Schirm
geöffnet und entsprechend der Nockenanordnung die Drucktaste io freigegeben, so
daß der Schalter während der Dauer der Belichtung ausgeschaltet ist. Die Differenz
r2 r1 entspricht dem Hub des Schalters g. Der Hebel 5 wird in den beiden Endlagen
durch Federn i i bzw. 1.2 gehalten.With i is the folding screen used to expose the photographic plate
referred to, which is built into the vacuum chamber 2 of the electron microscope. With
3 the vacuum wall of the microscope is designated. With the help of a conical cut
d. the folding screen can be folded up for exposure and again accordingly
be lowered. To move the folding umbrella is a lever 5, the conical
Schliff .l via a flexible shaft 6 drives. The lever 5 is in a curling disk
7 attached, which runs on a shaft S. This N`''elle is in a bearing block i8
stored. The cam disk is designed so that a pressure switch arranged behind it
g with the lever lying vertically downward (cf. the one shown in dashed lines in FIG
Position in which the folding umbrella is closed) by pressing the push button
io is turned on. This switch g is used to turn the electrical on and off
Heater for the mercury diffusion pump. By raising the lever, the umbrella
opened and released the push button io according to the cam arrangement, so
that the switch is off for the duration of the exposure. The difference
r2 r1 corresponds to the stroke of switch g. The lever 5 is in the two end positions
held by springs i i and 1.2.
Der Winkelweg des Klappschirmes zum Belichten beträgt go° -f- a, der
Winkel x ist etwa io bis 15° groß. Dementsprechend muß der Hebel 5 in der oberen
Lage mit dem Winkel a über die Senkrechte hinaus bewegt werden.The angular path of the folding screen for exposure is go ° -f- a, the
Angle x is about 10 to 15 °. Accordingly, the lever 5 must be in the upper
Position with the angle a can be moved beyond the vertical.
Der Schalter g muß ausgeschaltet sein, wenn die Belichtung beginnt.
Bei dem Gesamtweg des Hebels von unten nach oben läuft die Nockenscheibe 7 zunächst
frei auf der Welle und schaltet während der ersten go° nur den Schalter g aus; dann
nimmt sie die Welle S an einer Mitnehmerscheibe 13 mit. Zu diesem Zweck läuft ein
in der Nockenscheibe 7 befestigter Stift 14 in einer Eindrehung 15 der Mitnehmerscheibe,
bis er nach go= Weg gegen eine die Eindrehung verriegelnde Schraube 16 schlägt und
die Scheibe gegen den Zug der Feder 17 mitnimmt. Diese Feder 17 hat bei beendigter
Belichtung die Aufgabe, die Mitnehmerscheibe 13 bei Herabklappen des Hebels 5 in
ihre alte Lage zu -ziehen, in welcher der Klappschirm i heruntergeklappt ist. Die
flexible Welle 6 vermeidet eine doppelte mechanische Festlegung der Lage des Vakuumfettschliffes
.4.The switch g must be off when the exposure begins.
During the total travel of the lever from bottom to top, the cam disk 7 initially runs
freely on the shaft and only switches off switch g during the first go °; then
it takes the shaft S along on a drive plate 13. For this purpose runs in
pin 14 fastened in cam disk 7 in a recess 15 of the drive disk,
until it hits a screw 16 locking the screwing after go = path and
takes the disc against the train of the spring 17. This spring 17 has ended when
Exposure the task, the drive plate 13 when folding down the lever 5 in
to -pull their old position in which the folding umbrella i is down. the
flexible shaft 6 avoids a double mechanical fixing of the position of the vacuum grease joint
.4.