Elektronenmikroskop Es ist bereits bekannt, Gegenstände mittels Elektro@nens.trahden
in Elelctronen@miikiroskopen umfiter Anwendung eines, Reflexions-oder Du!rchstrahlungsverfahrens
vergrößert abzubilden. Insbesondere beim Dwrchsitrahlungsverfahren werden Objekte
sehr geringer Dicke verwendet, und es, gelingt häufig nicht, diese Objekte vor Zeirstörungen
infolge des Aufpralls, der zur Abbildung dienenden Korpuskelstrahlen zu schützen.
Werden die abzubildenden Objekte aber auch, nur teilweise zerstört, kann bei ihrer
elektronenoptischen Abbildung das erstrebte Ziel nicht erreicht werden. DIe Korpuskelstrahlen
eines Elektronenmikroskops sind im wesentlichen Elektronenstrahlen, indessen fallen
gleichzeitig mit den Elektronen auch noch andere Teilchen auf das Objekt und tragen
zu dessen Zerstörung bei. Man kann neun zwar die sich in den zur Abbildung dienenden
Korpuskelstrahlen befindlichen positiven Ionen durch geeignete Mittel derart ablenken,
daß sie seitwärts am Objekt vorbeifallen. Es ist. aber gefunden worden, d'aß außer
Ionen und Elektronen auch noch ungeladene Teilchen, also Atome bzw. Moleküle, in
der Strahlenbahn vorhanden sind und durch Stöße, die sie von den Elektronen erhalten,
eine nach, dem, Objekt zu gerichtete Geschwindigkeit erhalten. Ulm das Objekt gegen
den Aufprall dieser ungeladenen Teilchen zu schützen, kann man magnetische oder
elektrostatische Ablenkmethoden: nicht anwenden. Bei den bisher bekannten Elektronenmikroskopen
konnte
daher die zusätzliche Belastung des Objektes durch Atom-
bziv. Molekularstrahlen nicht verhindert -,verden.Electron microscope It is already known to detect objects by means of Elektro@nens.trahden
In electronic microscopes, extensive use of a reflection or radiation method
to be enlarged. Particularly in the case of the dynamic radiation method, objects
very small thicknesses are used, and it is often not possible to prevent these objects from being disturbed
to protect as a result of the impact of the corpuscle rays used for imaging.
However, if the objects to be depicted are only partially destroyed, your
electron-optical imaging the desired goal can not be achieved. The corpuscle rays
of an electron microscope are essentially electron beams, while falling
at the same time as the electrons also carry other particles onto the object and carry them
contributes to its destruction. There are nine in the ones used for illustration
Use suitable means to deflect positive ions present in the body in such a way that
that they fall sideways past the object. It is. but been found, d'ass besides
Ions and electrons also still uncharged particles, i.e. atoms or molecules, in
the beam path are present and due to the impact they receive from the electrons,
obtain a speed directed towards the object. Ulm the object against
To protect the impact of these uncharged particles, one can use magnetic or
Electrostatic deflection methods: do not use. With the previously known electron microscopes
could
hence the additional load on the object by atomic
bziv. Molecular rays not prevented -, verden.
Zweck der vorliegenden Anordnung ist es daher, die schädliche Objektbelastung
dadurch weitgehend zu: vermindern:, daß die obenerwähnten Atom- bz-%v. Molekularstrahlen
von dem Objekt ferngehalten werden. Zu diesem Zweck bildet daher in einem
Elek-
tronenmikroskop, bei dem das Objekt mittels der von einer Elektronenquelle
ausgehenden Elektronenstrahlen durchstrahlt und mittels elektronenoptischer Linsen
abgebildet wird, erfindungsgemäß die Längsachse des als Elektronenquelle dienenden.
Gasentladungs-oder Glühkathodenrohres mit der Längsachse des das Objekt enthaltenden
Teiles des. Mikroskops einen spitzen Winkel, und es sind an sich bekannte elektronenoptische
_ Mittel, vorzugsweise ein permnanenter Magnet, vorgesehen, die die schräg zur Längsachse
des Mikroskops einfallenden Elektronenstrahlen derart in diese zurücklenken, daß
sie das Objekt durchstrahlen. Es hat sich gezeigt, d;aß eine Schiefstellung des
Entladungsrohres gegenüber der Mikroskopachse um etwa 5 bis io° günstige Verhältnisse
schafft.The purpose of the present arrangement is therefore to largely reduce the harmful pollution of the object: that the above-mentioned atomic or% v. Molecular beams are kept away from the object. For this purpose, therefore, in an electron microscope in which the object is irradiated by means of the electron beams emanating from an electron source and is imaged by means of electron-optical lenses, the longitudinal axis of the electron source serving as the electron source is formed according to the invention. Gas discharge tube or hot cathode tube with the longitudinal axis of the part of the microscope containing the object, and electron-optical means known per se, preferably a permanent magnet, are provided, which deflect the electron beams incident obliquely to the longitudinal axis of the microscope back into it, that they radiate through the object. It has been shown that an inclined position of the discharge tube in relation to the microscope axis by about 5 to 10 ° creates favorable conditions.
Es ist bereits bekannt, zur elektronenoptischen Abbildung der Oberfläche
eines Objektes einen Ve@rtikalillumin!ato@r zu verwenden, bei dem der bestrahlende
und der abbildende Strahlengang durch ein magnetisches Querfeld voneinander getrennt
werden,. Hier handelt es sich also nicht um das Problem" die mit Durchstrahlung
des Objektes airbe:itenden Elektronenmikroskope hinsichtlich der Objektivbelastung
zu verbessern.It is already known for the electron-optical imaging of the surface
to use a vertical illuminator of an object, in which the irradiating
and the imaging beam path separated from one another by a magnetic transverse field
will,. So this is not about the problem "those with irradiation
of the object airbe: iting electron microscopes with regard to the lens load
to improve.
In der Abbildung ist ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung schematisch
dargestellt. Das Entladungsrohr ist mit i bezeichnet, die Kathode ist bei 2 und
die Anode bei 3 angedeutet. Die Achse des, Entladungsrohres i ist um etwa io° gegen
die Längsachse des eigentlichen Mikroskops 4 geneigt. Die aus dem Entladungsrohr
austretenden Korpuskelstrahlen fallen daher schräg in das Innere des Mikroskops..
Durch die Anordnung von an sich bekannten elektrischen oder magnetischen Ablenkmitteln,
beispielsweise eines permanenten Magneten, müssen nun die zur Abbildung dienenden
Elektronenstrahlen in die Gefäßachse zurückgelenkt werden. Die ungeladenen Teilchen
werden aber gegen die Wandung des Elektronenmikroskops fliegen, auf jeden Fall jedoch
das bei 5 angeordnete Objekt nicht treffen können. Die Elektronenstrahlen durchfliegen
nach dem Durchstrahlen des bei 5 angeordneten Objektes in bekannter Weise die Objektivspule
6 und die ProjektiOnssPule 7 und treffen schließlich auf den am unteren Teil des
Bodenkörpers 8 befindlichen Leuchtschirm 9.In the figure, an embodiment according to the invention is schematically
shown. The discharge tube is labeled i, the cathode is at 2 and
the anode indicated at 3. The axis of the discharge tube i is opposite by about io °
the longitudinal axis of the actual microscope 4 is inclined. The one from the discharge tube
exiting corpuscle rays fall obliquely into the interior of the microscope.
Through the arrangement of known electrical or magnetic deflection means,
a permanent magnet, for example, must now be used for imaging
Electron beams are deflected back into the vessel axis. The uncharged particles
but will fly against the wall of the electron microscope, but definitely
cannot hit the object located at 5. The electron beams fly through
after irradiating through the object located at 5 in a known manner, the objective coil
6 and the projection coil 7 and finally meet the one on the lower part of the
The fluorescent screen 9 located in the bottom body 8.