Fedampfungseinrichtung für die Erzeugung aufgedampfter Metallschichten
Bei der thermischen Metallverdampfung wird in den meisten-Fällen ein Metall so weit
erhitzt, daß genügend Dampfmengen entstehen, die dann auf dem zu metallisierenden
Träger kondensieren. Die Beheizung des die Metallschmelze enthaltenden Gefäßes kann,
wenn es aus einem leitenden Stoff gefertigt ist, durch direkten Stromdurchgang erfolgen;
es kann jedoch auch fremdbeheizt sein. Benutzt man einen direkten Stromfluß, dann
zeigt sich, daß derjenige Teil des Behälters, zu dem das- Verdampfungsgut einen
Nebenschluß bildet, kurzgeschlossen ist, so daß sehr große Energien erforderlich
sind, um die Metallschmelze auf die erforderliche Temperatur zu bringen.Spring damping device for the production of vapor-deposited metal layers
In the case of thermal metal evaporation, in most cases a metal becomes so large
heated so that sufficient amounts of steam are generated, which are then applied to the to be metallized
Condense carrier. The heating of the vessel containing the molten metal can
if it is made of a conductive material, carried out by direct current passage;
however, it can also be externally heated. If a direct current flow is used, then
shows that that part of the container to which the evaporation material one
Shunted, is short-circuited, so that very large energies are required
are to bring the molten metal to the required temperature.
Es besteht nun der Wunsch, den Energieaufwand möglichst gering zu
halten, um das Verfahren ökonomischer zu gestalten. Weiterhin ist auch aus einem
anderen Grund eine große Heizleistung unerwünscht, weil diese in irgendeiner Form
auch auf das Bedampfungsgut einwirkt, was insbesondere dann, wenn es sich um die
Bedampfung organischer Stoffe und womöglich sogar um Stoffe handelt, die bei Erwärmung
selbst Gas abgeben, untragbar ist.There is now a desire to keep the energy expenditure as low as possible
hold to make the process more economical. Furthermore is also from one
another reason a large heating output is undesirable because this in some form
also acts on the vaporized material, which is particularly important when it comes to the
Vaporization of organic substances and possibly even substances that are affected when heated
give off gas yourself is unacceptable.
Bei der Bedampfung organischer Substanzen oder sonstiger thermisch
empfindlicher Stoffe müssen außerdem alle Teile des Verdampfers, die nicht unmittelbar
an der Dampferzeugung beteiligt sind, durch Schirmflächen abgeschirmt werden, damit
jede WärmeeinvTirkung durch Strahlung verhindert wird. Es ist daher erforderlich,
die Stromzuführungen, an welche der Verdampfer angeschlossen wird, darüber hinaus
zii kühlen, wobei die Kühltemperatur jedoch aus vakuumtechnischen Gründen oberhalb
des Taupunktes liegen muß. Hierdurch wird aber
der weitere Übelstand
erzielt, daß nämlich die Metalldämpfe auch an diesen gekühlten Stellen kondensieren
und dabei in kurzer Zeit Kurzschlüsse und Nebenverbindungen hervorrufen. Es ist
also weiterhin notwendig, Dampfstrahlrichtflächen anzubringen, die eine Kondensation
an den gekühlten Stromzuführungseinrichtungen verhindern.When vaporising organic substances or other thermal processes
Sensitive substances must also include all parts of the vaporizer that are not directly
are involved in the generation of steam, are shielded by shielding surfaces so that
any effect of heat from radiation is prevented. It is therefore necessary
the power supply to which the evaporator is connected, in addition
zii cool, the cooling temperature, however, for reasons of vacuum technology, above
of the dew point. But this will
the further evil
achieved that namely the metal vapors also condense at these cooled points
and cause short circuits and secondary connections in a short time. It is
So it is still necessary to attach steam jet straightening surfaces that cause condensation
on the cooled power supply devices.
Mit der Verdampfereinrichtung, wie sie in der vorliegenden Erfindung
beschrieben wird, sind sämtliche Nachteile vermieden, gleichzeitig aber alle Bedingungen,
die an einen Verdampfer, insbesondere für die Bedampfung thermisch empfindlicher
Stoffe, zu stellen sind, erfüllt. Erfindungsgemäß sind die am Verdampfergefäß angebrachten
oder mit diesem sogar aus einem Stück bestehenden Stromanschlußbleche so dimensioniert
und angeordnet, daß sie als Strahlungsquelle für die Beheizung des Bedampfergutes
dienen und gleichzeitig eine federnde Aufhängung des Verdampfers bedingen und die
Stromzuführungen, an welche die Stromanschlußbleche des Verdampfers angebracht werden,
starr befestigt und auf eine Temperatur oberhalb des Taupunktes gekühlt ausgeführt
und an den Stromzuführungen weiterhin noch frei stehende Strahlungsschutzbleche
so angebracht, daß eine Einwirkung der Strahlungsgeneratoren auf das Bedampfungsgut
verhindert und ein Kondensieren von Metalldampf an den gekühlten Stromzuführungen
vermieden ist. Mit dieser Verdampfungseinrichtung wird zunächst rreicht, daß das
Verdampfungsgut in sehr einfacher Weise durch Strahlung erwärmt wird. Weiterhin
sind besondere Strahlungsgeneratoren nicht erforderlich, da diese durch die Stromschlußbleche
selbst dargestellt werden. Weiterhin bedingt die Anordnung der Stromanschlußbleche
als Strahlungsgenerator gleichzeitig eine federnde Aufhängung des Verdampfers, so
daß die gekühlten Stromzuführungen starr ausgeführt werden können, leas wesentliche
Bedeutung wegen der dort erforderlichen Kühlung hat. Schließlich wirken die Strahlungsschutzbleche
durch ihre Anbringung an den gekühlten Stromzuführungen nicht nur als Strahlungsschutz,
sondern gleichzeitig, da ihr freies Ende nahezu die Temperatur der Metallschmelze
annimmt, als Dampfstrahlrichtfläche, so daß eine Kondensation von Metalldampf an
den Stromzuleitungen vermieden wird.With the vaporizer device as used in the present invention
is described, all disadvantages are avoided, but at the same time all conditions
which are thermally sensitive to an evaporator, especially for steaming
Substances to be asked are fulfilled. According to the invention are attached to the evaporator vessel
or with this one-piece power connection plate so dimensioned
and arranged that it is used as a radiation source for heating the material to be vaporized
serve and at the same time a resilient suspension of the evaporator and the
Power supply lines to which the power connection plates of the evaporator are attached,
rigidly attached and cooled to a temperature above the dew point
and radiation protection plates still free standing on the power supply lines
attached so that an action of the radiation generators on the vaporized
prevents condensation of metal vapor on the cooled power supply lines
is avoided. With this evaporation device it is first achieved that the
Evaporation material is heated in a very simple manner by radiation. Farther
special radiation generators are not required, as these are caused by the current baffle plates
be represented by yourself. Furthermore, the arrangement of the power connection plates determines
as a radiation generator at the same time a resilient suspension of the evaporator, see above
that the cooled power supply can be made rigid, leas essential
Has meaning because of the cooling required there. Finally, the radiation protection plates work
by attaching them to the cooled power supply lines not only as radiation protection,
but at the same time, since its free end is almost the same as the temperature of the molten metal
adopts as a steam jet directing surface, so that a condensation of metal vapor occurs
the power supply lines is avoided.
In einer besonders einfachen Ausgestaltung der Verdampfereinrichtung
bestehen der Verdampferbehälter, die Stromschlußbleche und die Strahlungsschutzbleche
sämtlich aus einem Stück.In a particularly simple embodiment of the evaporator device
consist of the evaporator tank, the current connection plates and the radiation protection plates
all from one piece.
Zur näheren Erläuterung sei die Zeichnung herangezogen. In dieser
ist in Fig, i im Quer= j schnitt eine Verdampfereinrichtung nach der Erfindung dargestellt.
Der -#Jerdampferbehälter wird durch das nach oben offene Kästchen a gebildet, die
Stromanschlußbleche b treten aus dem oberen Rand des Verdampferbehälters a aus und
sind dicht, beispielsweise im Abstand von o,i mm, an den Seitenflächen des Behälters
a heruntergeführt, darauf senkrecht abgewinkelt und an diesem Teil mit den Stromzuführungen
c in Verbindung gebracht. Wenn man die Stromanschlußbleche b übe: die zu ihrer Aufhängung
notwendige Länge hinaus verlängert, kann man den überstehenden Teil in der in der
Zeichnung dargestellten Weise, mit d angedeutet, ausbilden, wobei die Teile d dann
Strahlungsschutz für die Strahlungsgeneratoren b sind, gleichzeitig aber, da ihr
eines Ende auf der Temperatur der gekühlten Stromzuführungen c, ihr freies Ende
jedoch nahezu die Temperatur des siedenden Metalls besitzt, Metalldampfstrahlrichtflächen,
die ein Kondensieren auf den Stromzuführungen c verhindern. Der in der Fig. i dargestellte
Verdampfer kann aus einem einzigen Blechstück gefertigt werden, dessen Aufriß in
der Fig. a angegeben ist.The drawing is used for a more detailed explanation. In this
is shown in Fig, i in cross = j section an evaporator device according to the invention.
The - # Jerdampferbehälter is formed by the open top box a, the
Power connection plates b emerge from the upper edge of the evaporator container a and
are tight, for example at a distance of 0.1 mm, on the side surfaces of the container
a, angled vertically on it and on this part with the power supply lines
c. If you practice the power connection plates: the ones to hang them up
necessary length extended beyond, you can the protruding part in the in the
Drawing illustrated manner, indicated by d, train, the parts d then
Radiation protection for the radiation generators b are, but at the same time because you
one end at the temperature of the cooled power supply leads c, their free end
but has almost the same temperature as the boiling metal.
which prevent condensation on the power supply cables c. The one shown in Fig. I
Evaporator can be made from a single piece of sheet metal, the elevation in
of Fig. a is indicated.
Bei der Ausbildung eines solchen @rerdatnpfers muß naturgemäß darauf
gesehen werden, daß der Stoff für den Verdampfer keine Legierung mit dem Verdampfungsgut
eingeht, wie es an sich bekannt ist. Benutzt man also als Verdampfungsgut Silber,
dann empfiehlt es sich, den Verdampfer aus Molybdän auszubilden. Als besonders zweckmäßig
für die Größenordnung eines solchen Verdampfers bei der Metallisierung thermisch
empfindlicher Stoffe, beispielsweise Kondensatorenpapier, Schallplattenwachsen u.
dgl., hat sich eine Größe folgender Abmessung gezeigt: Aus einem Molybdänblech von
o.2 bis 0,3 mm Stärke wird ein Verdampferkästchen von i6-16-8 mm gebogen.
Der Abstand der Strahlungsgeneratoren vom Kästchen beträgt o, i mm.In the construction of such a @rerdatnpfers it must of course be ensured that the substance for the evaporator does not form an alloy with the evaporation material, as is known per se. So if silver is used as the material to be evaporated, it is advisable to make the evaporator from molybdenum. ., To be particularly appropriate u for the magnitude of such an evaporator in the metallization of thermally sensitive materials, for example capacitors paper, records waxes like, a size of the following dimensions has shown that is formed from a molybdenum sheet from o.2 to 0.3 mm thickness, an evaporator box of i6-16-8 mm curved. The distance between the radiation generators and the box is 0.1 mm.