DE7312037U - PUMP COMBINATION - Google Patents

PUMP COMBINATION

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DE7312037U
DE7312037U DE19737312037 DE7312037U DE7312037U DE 7312037 U DE7312037 U DE 7312037U DE 19737312037 DE19737312037 DE 19737312037 DE 7312037 U DE7312037 U DE 7312037U DE 7312037 U DE7312037 U DE 7312037U
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pump
turbo molecular
sorption
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molecular pump
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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1*1* I »1 * 1 * I »

ti ι *ti ι *

LEYBOLD-IIERAEIJS GMBH. & CO, KC, Köln-BayentalLEYBOLD-IIERAEIJS GMBH. & CO, KC, Cologne-Bayental

PumpenkombinationPump combination

Die Neuerung bezieht sich auf eine Pumpenkombination, bestehend aus einer Turbomolekularpumpe und einer mit der Ansaugseite der Turbomolekularpumpe in Verbindung stehenden Sorptionspumpe»The innovation relates to a pump combination consisting of a turbo molecular pump and one with the Suction side of the turbo molecular pump related sorption pump »

Aus der US-PS 3 625 019 ist es bekannt, eine zweistufige, mit horizontal angeordneter Rotorwelle versehene Turbomolekularpumpe mit einer Adsorptionspumpe (cold trap) und einer Getterpumpe zu kombinieren» Diese zusätzlichen Aggregate sind unterhalb des Gehäuses der Turbomolekularpumpe angeordnet, wodurch sich einerseits eine unerwünscht große Bauhöhe ergibt; andererseits sind die' Sorptionspumpen relativ weit vom oberhalb der Turbomolekularpumpe angeordneten Ansaugflansch für den Anschluß eines zu evakuierenden Behälters entfernteIt is known from US Pat. No. 3,625,019 to combine a two-stage turbo-molecular pump with a horizontally arranged rotor shaft with an adsorption pump (cold trap) and a getter pump results in a large overall height; on the other hand, the 'sorption pumps are relatively far removed from the suction flange arranged above the turbo molecular pump for the connection of a container to be evacuated

Der Neuerung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Pumpenkombination bestehend aus einer Tubomolekularpumpe und einer mit der Ansaugseite der Turbomolekularpumpe in Verbindung stehenden Sorptionspumpe zu schaffen, bei der die beschriebenen Nachteile beseitigt sind.The innovation is based on the task of a pump combination consisting of a tubomolecular pump and one with the To create suction side of the turbomolecular pump in connection with the sorption pump, in which the disadvantages described are eliminated.

Die neuerungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß die Turbomolekularpumpe eine vertikal angeordnete Rotorwelle sowie eine obenliegende Ansaugöffnung aufweist und daß die als Getterpumpe ausgebildete Sorptionspumpe seitlich neben der Turbomolekularpumpe angeordnet ist» Eine in dieser Weise ausgebildete Pumpenkombination baut sehr niedrig. Außerdem liegen die Ansaugöffnung und die Getterpumpe wesent-The innovation according to this problem is that the turbo molecular pump has a vertically arranged rotor shaft and an overhead suction opening and that the sorption pump, designed as a getter pump, is arranged to the side of the turbo-molecular pump »one in Pump combination designed in this way is very low. In addition, the suction opening and the getter pump are

lieh näher beieinander als bei der vorbekannten Pumpenkombination 0borrowed closer together than with the previously known pump combination 0

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Neuerung besteht darin, daß die Sorptionspumpe ein Gehäuse mit einem obenliegenden Ansaugflansch aufweist und daß die Turbomolekularpumpe derart von unten in dieses Gehäuse hineinragt, daß die Ansaugöffnung der Turbomolekularpumpe und der Ansaugflansch im Gehäuse der Sorptionspumpe etwa vertikal übereinanderliegen„ An advantageous development of the innovation is that the sorption pump has a housing with an overhead Has suction flange and that the turbomolecular pump protrudes from below into this housing in such a way that the suction opening the turbo molecular pump and the suction flange in the housing of the sorption pump are approximately vertically one above the other "

Weitere Einzelheiten der Neuerung sollen anhand von in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden.Further details of the innovation are to be explained with reference to the exemplary embodiments shown in FIGS. 1 and 2 will.

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist die Turbomolekularpumpe mit 1 bezeichnet» Sie weist eine vertikal angeordnete Rotorwelle 2 auf ο Die Ansaugöffnung 3 der Turbomolekularpumpe 1 liegt oben« Das Gehäuse der Turbomolekularpumpe ist mit U bezeichnet.In the exemplary embodiment according to FIG. 1, the turbo molecular pump is denoted by 1. It has a vertically arranged one Rotor shaft 2 on ο The suction opening 3 of the turbo molecular pump 1 is on top «The housing of the turbo molecular pump is labeled U.

Die Sorptionspumpe 5 besteht aus den Titanverdampfern 6 und den von den Kühlschlangen 7 gekühlten Wandteilen„ Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 sind diese Wandteile ein Teil des Gehäuses 8 der Sorptionspumpe ο Die Titanverdampfer 6 sind auf jeweils einem Blindflansch 9 gehaltert, denen am Gehäuse der Sorptionspumpe 5 die Flanschanschlüsse 10 zugeordnet sind. In der oberen Seite des Gehäuses 8 der Sorptionspumpe 5 ist der Ansaugflansch 11 vorgesehen, an dem der zu evakuierende BehälterCnicht dargestellt)angeschlossen wird0 Die Turbomolekularpumpe 1 ragt mit ihrem Gehäuse 4 derart von unten in das Gehäuse 8 der Sorptionspumpe 5 hinein, daß die Ansaugöffnung 3 der Turbomolekularpumpe 1 und der Ansaugflansch 11 im Gehäuse 8 der Sorptionspumpe 5 etwa vertikal übereinanderliegen,The sorption pump 5 consists of the titanium evaporators 6 and the wall parts cooled by the cooling coils 7 "In the exemplary embodiment according to FIG the flange connections 10 are assigned. In the upper side of the housing 8 of the sorption pump 5, the suction flange 11 is provided, is connected to 0 at which the) shown to be evacuated BehälterCnicht The turbo molecular pump 1 projects with its housing 4 in such a manner from below into the housing 8 of the sorption pump 5 in that the suction opening 3 of the turbo molecular pump 1 and the suction flange 11 in the housing 8 of the sorption pump 5 are approximately vertically one above the other,

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 2 ist nur ein Titanverdampfer 6 dargestellt« Die gekühlten Wandteile sind mit bezeichnet« Sie sind unabhängig vom Gehäuse 8 der Sorptionspumpe. Zusätzlich ist noch ein gekühltes Blech 13 vorgesehen, wodurch verhindert werden soll, daß Titandämpfe in das Innere der Turbomolekularpumpe gelangen. Auch bei dieser Ausführungsform ist der Titanverdampfer 6 auf den Blindflansch 9 gehaltert, was die Durchführung von Reparatur- und Wartungsarbeiten an der Sorptionspumpe in einfacher Weise ermöglicht.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, only one titanium evaporator 6 is shown labeled «They are independent of the housing 8 of the sorption pump. In addition, a cooled sheet 13 is also provided, this is to prevent titanium vapors from entering the interior of the turbo molecular pump. Even with this one Embodiment is the titanium evaporator 6 on the blind flange 9 supported what the implementation of repair and maintenance work on the sorption pump in a simple manner enables.

Claims (1)

HH imHH in S ο h u t ζ a η s ρ r Ü c h eS ο h u t ζ a η s ρ r Ü c h e In Pumpenkombination bestehend aus einer Turbomolekularpumpe und einer mit der Ansaugseite der Turbomolekularpumpe in Verbindung stehenden Sorptionspumpe, dadurch gekennzeichnet, daß die Turbomolekularpumpe (1) eine vertikale Rotorwelle (2) sowie eine obenliegende Ansaugöffnung (3) aufweist und daß die als Getterpumpe ausgebildete Sorptionspumpe (5) seitlich neben der Turbomolekularpumpe angeordnet ist«In a pump combination consisting of a turbo molecular pump and a sorption pump communicating with the suction side of the turbo molecular pump, thereby characterized in that the turbo molecular pump (1) has a vertical rotor shaft (2) and an overhead suction opening (3) and that the sorption pump (5) designed as a getter pump is laterally next to the turbo molecular pump is arranged « Pumpenkombination nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sorptionspumpe (5) ein Gehäuse (8) mit einem obenliegenden Ansaugflansch (11) aufweist und daß die Turbomolekularpumpe (1) derart von unten in das Gehäuse (8) hineinragt, daß die Ansaugöffnung (3) der Turbomolekularpumpe (1) und der Anschlußflansch (11) etwa vertikal übereinanderliegen οPump combination according to Claim 1, characterized in that the sorption pump (5) has a housing (8) with a has overhead suction flange (11) and that the turbo molecular pump (1) so from below into the housing (8) protrudes so that the suction opening (3) of the turbo molecular pump (1) and the connecting flange (11) are approximately vertical are on top of each other ο e Pumpenkombination nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Titan-Verdampfer (6) vorgesehen sind»e pump combination according to claim 1 or 2, characterized in that that several titanium evaporators (6) are provided » 4. Pumpenkombination nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (8) mindestens einen weiteren seitlichen Flanschanschluß (10) aufweist und daß der bzw0 die Verdampfer (6) der Sorptionspumpe (5) auf einem mit diesem Flanschanschluß (10) verbindbaren Blindflansch (9) gehaltert sind»4. Pump combination according to one of the preceding claims, characterized in that the housing (8) has at least one further lateral flange connection (10) and that the or 0 the evaporator (6) of the sorption pump (5) on one with this flange connection (10) connectable blind flange (9) are held »
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0332107A1 (en) * 1988-03-07 1989-09-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Turbomolecular pump and method of operating the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0332107A1 (en) * 1988-03-07 1989-09-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Turbomolecular pump and method of operating the same

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