DE725434C

DE725434C - Electrical high-voltage discharge vessel for electron-optical imaging by means of at least partially electrostatic lenses, in particular a high-magnification electron microscope (over microscope)

Info

Publication number: DE725434C
Application number: DEL97211D
Authority: DE
Inventors: Dr Phil Hans Boersch
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1939-02-23
Filing date: 1939-02-23
Publication date: 1942-09-22
Also published as: CH96921A; NL96921C

Description

Elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung mittels wenigstens teilweise elektrostatisch wirkender Linsen, insbesondere Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop) Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung mit Hilfe von wenigstens teilweise elektrostatisch wirkenden Linsen. Insbesondere ist dabei an Elektronenmikroskope, vorzugsweise solche hoher Vergrößerung (-CTbermikroskope) gedacht, obwohl die Anordnung auch auf andere Entladungsgefäße mit elektronenoptischer Abbildung Anwendung finden kann. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Entladungsgefäß zu schaffen, in dem die Linsen gut zentriert und trotzdem leicht auswechselbar sind.Electric high-voltage discharge vessel for electron-optical Imaging by means of at least partially electrostatic lenses, in particular High magnification electron microscope (super microscope) The invention relates to onto an electrical high-voltage discharge vessel for electron-optical imaging with the help of at least partially electrostatic lenses. In particular is on electron microscopes, preferably those with high magnification (-CTber microscopes) thought, although the arrangement also applies to other discharge vessels with electron-optical Figure may apply. The invention is based on the object of a discharge vessel to create in which the lenses are well centered and yet easily interchangeable.

Es ist bereits bei Braunschen Röhren bekannt, die Elektroden an einem rohrförmigen, die Elektroden umgebenden, in das Gefäß eingebauten Isolierkörper zu haltern. Bei dieser bekannten Anordnung sind die Elektroden jedoch nicht verschiebbar angeordnet.It is already known from Braun tubes that the electrodes are attached to a tubular insulating body which surrounds the electrodes and is built into the vessel to hold. In this known arrangement, however, the electrodes are not displaceable arranged.

Erfindungsgemäß sind einige oder alle elektrischen Linsen in einem metallischen Rohr innerhalb des metallischen Entladungsgefäßes verschiebbar angeordnet. Die Anordnung der vorliegenden Art ist im folgenden an Hand der Figuren näher erläutert, in denen einige Ausführungsformen des Entladungsgefäßes nach der Erfindung dargestellt sind.According to the invention, some or all of the electrical lenses are in one metallic tube arranged displaceably within the metallic discharge vessel. The arrangement of the present type is explained in more detail below with reference to the figures, in which some embodiments of the discharge vessel according to the invention are shown are.

Fig. i zeigt in teilweise schematischer Darstellung ein Elektronenmikroskop, welches aus einem metallischen Rohr i besteht, in dessen Innern sich ein zweites metallisches Rohr a befindet. Es ist mit Hilfe von Isolationsstücken 3, die Durchbohrungen aufweisen oder beispielsweise aus Ringen mit drei oder mehr radialen Ansätzen bestehen, in dem äußeren Rohr befestigt. Das Wandrohr i ist an seinem unteren Ende mit Hilfe eines Leuchtschirms q. oder einer photographischen Platte o. dgl. abgeschlossen; das Rohr a ist an diesem Ende mit einer besonderen Abrundung 5 versehen, die ein überschlagen der Spannung verhindern soll. Ebenso ist auch das Rohr i mit solchen Abrundungen versehen, die am unteren Ende deutlich erkennbar gezeichnet sind. Auch an anderen Stellen weisen die Elektroden derartige Abrundungen (Wülste o. dgl.) auf, die jedoch in der Zeichnung sonst nur angedeutet sind. Das Rohr 2 enthält in seinem Innern zwei zu je einer Einheit verbundene elektrische Einzellinsen 6 und 7. jede dieser Linsen besteht, wie dies noch später erläutert werden soll, aus drei Elektroden 8, 9 und io, denen eine Blende i i vorgelagert ist und die gegeneinander durch Isolierstücke 12 abgestützt sind. Zusammen mit dem Ansatz 13 bilden alle diese Elemente eine Einheit, die in das Rohr 2 hineinpaßt, zweckmäßig so, daß eine besondere Befestigung unnötig ist, aber die gesamte Einheit, ohne zu wackeln, durch Druck oder Zug in dem Rohr verschoben werden kann. Es ist auf diese Weise sehr leicht möglich, eine Linseneinheit durch eine andere zu ersetzen und auch am fertigen Rohr noch mechanische Justierungen vorzunehmen.Fig. I shows in a partially schematic representation an electron microscope, which consists of a metallic tube i, inside of which there is a second metallic tube a is located. It is with the help of insulation pieces 3, the through holes have or consist, for example, of rings with three or more radial lugs, fixed in the outer tube. The wall pipe i is at its lower end with the help a luminescent screen q. or a photographic plate or the like; the tube a is provided at this end with a special rounding 5, which is a to prevent the voltage from overturning. Likewise the pipe i is also with such Roundings provided, which are clearly drawn at the lower end are. The electrodes also have this type of rounding (bulges o. The like.), which are otherwise only indicated in the drawing. The pipe 2 contains two individual electrical lenses connected to form a unit inside 6 and 7. Each of these lenses consists, as will be explained later, of three electrodes 8, 9 and io, which are preceded by a diaphragm i i and which are opposed to one another are supported by insulating pieces 12. Together with the approach 13 all of these form Elements a unit that fits into the tube 2, expediently so that a special Fixing is unnecessary, but the entire unit without wobbling by pressure or train can be moved in the pipe. It's very easy that way possible to replace one lens unit with another and also on the finished tube mechanical adjustments to be made.

In der oberen Verlängerung des Rohres 2 befindet sich ein weiteres Rohr 14 von gleichem Durchmesser, welches mit Hilfe eines Isolierringes 17, z. B. aus Bernstein, gegen das Kabel abgestützt ist. Im Innern dieses Ringes befindet sich eine weitere zylinderförmige Elektrode 37, in deren Innern eine Blende 15 größeren Durchmessers angebracht ist, in die «wiederum eine Blende 16 kleinerer. Durchmessers eingeklemmt ist. Zweckmäßig ist auch die Elektrode 15 in dem Zylinder 37 verschiebbar. Ein Rohr 18 führt die Spannung für den Zylinder 1q. zu. In seinem Innern verlaufen isoliert von ihm zwei weitere Zuleitungen i9 für den Zylinder 37 und 2o für die Mittelelektroden 9 der beiden Einzellinsen 6 und 7. Diese Zuleitung verläuft innerhalb des Rohres, wie durch 2i angedeutet, isoliert und zweckmäßig noch mit einem metallischen Schutz umgeben von der Zuführung 2o zu den beiden Elektroden. Die. übrigen Elektroden 8 und io der beiden Einzellinsen sowie die Blende i i stehen mit dem Rohr 2 in leitender Verbindung. Die Zuführung für das Rohr 2 kann in gleicher Weise im Innern des Zvlinders 18 verlaufen, wie dies bereits durch i9 und 2o angedeutet ist; sie kann aber überflüssig sein, wenn der Zylinder 37 mit dem Rohr 2 auf gleichem Potential liegt und etwa im Innern der Röhre mit 2 verbunden ist. Auch können 37 und 2 starr miteinander verbunden sein, wie dies die Fig.3 schematisch erkennen läßt. Eine mechanische Abstützung erfährt das Rohr 18 durch einen isolierenden Ansatz 22. Während die Isolierug 17, wie erwähnt, aus Bernstein bestehen kann, ist es möglich, für die Isolation der Zuführungen i9 und 2o gegen das Rohr 18 Glas zu verwenden, wobei für Spannungen von etwa io kV schon Glasdicken von etwa 2 mm genügen.In the upper extension of the pipe 2 there is another one Tube 14 of the same diameter, which with the help of an insulating ring 17, for. B. made of amber, against which the cable is supported. Inside this ring is located Another cylindrical electrode 37, in the interior of which a diaphragm 15 is larger Diameter is attached, in the «turn a diaphragm 16 smaller. Diameter is jammed. The electrode 15 can also expediently be displaced in the cylinder 37. A pipe 18 carries the voltage for the cylinder 1q. to. Run inside him insulated from it two further supply lines i9 for the cylinder 37 and 2o for the Center electrodes 9 of the two individual lenses 6 and 7. This lead runs inside of the pipe, as indicated by 2i, insulated and expediently still with a metallic one Protection surrounded by the feed line 2o to the two electrodes. The. remaining electrodes 8 and io of the two individual lenses and the diaphragm i i are in a conductive manner with the tube 2 Link. The feed for the pipe 2 can in the same way in the interior of the cylinder 18 run as already indicated by i9 and 2o; but it can be superfluous be when the cylinder 37 is at the same potential with the tube 2 and about connected to 2 inside the tube. 37 and 2 can also be rigidly connected to each other be connected, as can be seen schematically in FIG. A mechanical support experiences the pipe 18 through an insulating approach 22. While the Isolierug 17, As mentioned, it can be made of amber, it is possible for the isolation of the Use feeders i9 and 2o against the tube 18 glass, being for tensions of around 10 kV, glass thicknesses of around 2 mm are sufficient.

Die weitere Fortsetzung des Rohres i nach oben zeigt die Fig. 2. Hier ist gerade noch das Ende des Rohres 1q. erkennbar. Es folgen nun eine Reihe von Blenden 23, 2d., 25, die nacheinander abnehmende Durchmesser haben. Die Blende 23 hat den gleichen Innendurchmesser wie das Rohr i4.. Auf die Blende 25 folgt eine Blende 26, die die von der Kathode 29 kommende Strahlung von dem Objekt 28 zum Teil abschirmt. Die ganze Blendenanordnung ist auf einem gemeinsamen Träger 27 angeordnet; das 0,l)-jekt 28 kann auf der Blende 26 angebracht oder aber auf einem besonderen, hier nicht eingezeichneten Halter befestigt sein. Auch das Rohr 27 ist so bemessen, daß es zügig irr das Rohr i hineinpaßt, so dali die Blendenanordnung leicht verschoben und ausgewechselt werden kann. Die Anordnung zur Erzeugung des bestrahlenden Elektronenstrahls besteht aus der bereits erwähnten Kathode 29 und einem Wehnelt-Zylinder 30. der von einem Schutzzylinder 31 umgeben ist. Als Anode dient das Rohr i. Die Spannungen, mit denen ein solches Elektronenmikroskop betrieben werden kann, sind etwa die folgenden (gegenüber Kathode). An dem Rohr i liegt die höchste Spannung von etwa 5o 13'. Das Rohr -2 liegt auf wesentlich niedrigerer Spannung, nämlich auf io bis :2o kV, um eine leichtere Beeinflussung der Elektronen durch die in seinem Innern befindlichen Linsen zu ermöglichen. Die Elektroden 8 und io der Einzellinsen liegen an dem gleichen Potential : die Mittelelektrode beispielsweise auf dein Potential Null. An den Zylinder 14 kann auch dann eine mittlere Spannung gelegt werden. gegebenenfalls auch an den Zylinder 37 eine Spannung, die von. der des Rohres 2 verschieden ist.The further continuation of the tube i upwards is shown in FIG. 2. Here is just the end of the pipe 1q. recognizable. A number of now follow Orifices 23, 2d., 25, which have successively decreasing diameters. The aperture 23 has the same inner diameter as the tube i4 .. The orifice 25 is followed by a Aperture 26, which partially absorbs the radiation coming from the cathode 29 from the object 28 shields. The entire panel arrangement is arranged on a common carrier 27; the 0, l) object 28 can be attached to the screen 26 or on a special, here not shown holder be attached. The pipe 27 is also dimensioned in such a way that that it fits swiftly into the tube i, so that the diaphragm arrangement is shifted slightly and can be exchanged. The arrangement for generating the irradiating electron beam consists of the already mentioned cathode 29 and a Wehnelt cylinder 30. der is surrounded by a protective cylinder 31. The tube i serves as the anode. The tensions with which such an electron microscope can be operated are approximately as follows (opposite cathode). The highest voltage of about 50 13 'is on the tube i. That Tube -2 is at a much lower voltage, namely on io to: 2o kV, um an easier influence of the electrons by those inside it Allow lenses. The electrodes 8 and io of the individual lenses are connected to the same Potential: the center electrode, for example, at zero potential. To the cylinder 14 a medium voltage can then also be applied. possibly also to the Cylinder 37 a voltage that from. that of the pipe 2 is different.

Zum Entlüften des Gefäßes sind in den Blenden 23 bis 26 Pumplöcher 32 vorgesehen (die zum Teil recht engen Blendenöffnungen würden ein genügendes Evakuieren des Gefäßes nicht gestatten). Zum Schutz gegen Streuelektronen und Streulicht sind die Löcher 32 gegeneinander durch Scheiben 33 finit großer Mittelöffnung abgedeckt. Mit gleichem Erfolg kann man natürlich auch die Löcher gegeneinander versetzen und braucht dann die Scheiben 33 nicht. Aus dem gleichen Grunde, wie schon oben dargelegt wurde, ist auch das Rohr -a mit Pumplöchern versehen: es wurde bereits oben erwähnt, daß auch die Isolierstücke 3 entsprechende Durchgänge aufweisen.There are 23 to 26 pump holes in the diaphragms for venting the vessel 32 is provided (the aperture openings, some of which are quite narrow, would allow sufficient evacuation of the vessel). To protect against stray electrons and stray light are the holes 32 covered against each other by disks 33 finitely large central opening. With the same success you can of course move the holes against each other and then does not need the disks 33. For the same reason as explained above the pipe -a is also provided with pumping holes: it was already mentioned above, that the insulating pieces 3 also have corresponding passages.

Die Einzelheiten der Bauart der Einzellinsen 6 und 7 in Fig. i sind aus Fig. 4. ersichtlich, in der eine Einzellinse einmal zusammengesetzt und dann in ihren Einzelteilen dargestellt ist. Man erkennt die Elektroden 8, 9, io. Die Elektrode 9 liegt zwischen dem zweiteiligen Isolierstück 12. Die eigentliche Blende ist mit 34 bezeichnet. Sie liegt zwischen der Elekrode io und der nur als Halterung dienenden Blende i i. Die ganze Anordnung wird zusammengehalten durch zwei Schrauben 35, die alle Stücke durchsetzen. Das in Fig. i besonders gezeichnete Ansatzstück 13 ist bei dieser Ausführungsform mit der Elektrode e zu einer Einheit verbunden. Der Außendurchmesser dieses Führungsstücks ist etwas größer als der der Elektrode io, der Blende ii und des Isolierstückes 12, so daß beim Hineinschieben der Linse in das Rohr :2 ein Verkanten der Linse vermieden wird. Es sei erwähnt, daß der Schutzring 5 in dem dargestellten Ausführungsbeispiel abnehmbar sein muß, damit ein Einfügen und Herausnehmen der Einzellinsen aus dem Rohr 2 möglich ist. Für den Bau der Einzellinse hat es sich als zweckmäßig erwiesen, die Dicke der Elektroden und die Abstände der Elektroden voneinander gleich groß, z. B. etwa i mm, zu wählen. Die Mittelelektrode 9 ist zweckmäßig von etwas geringerer Dicke.The details of the design of the individual lenses 6 and 7 in FIG. I can be seen from FIG. 4, in which an individual lens is once assembled and then shown in its individual parts. The electrodes 8, 9, io can be seen. The electrode 9 lies between the two-part insulating piece 12. The actual screen is denoted by 34. It lies between the electrode io and the diaphragm i i, which is only used as a holder. The whole assembly is held together by two screws 35 that go through all the pieces. The extension piece 13, which is particularly drawn in FIG. I, is connected to the electrode e to form a unit in this embodiment. The outer diameter of this guide piece is slightly larger than that of the electrode io, the diaphragm ii and the insulating piece 12, so that tilting of the lens is avoided when the lens is pushed into the tube: 2. It should be mentioned that the protective ring 5 in the illustrated embodiment must be removable so that the individual lenses can be inserted and removed from the tube 2. For the construction of the single lens, it has proven to be useful for the thickness of the electrodes and the distances between the electrodes to be the same, e.g. B. about i mm to choose. The center electrode 9 is expediently of a somewhat smaller thickness.

Es war bereits erwähnt worden, daß die Blende 23 zweckmäßig denr'gleichen Innendurchmesser haben soll wie das Rohr 14, während die folgenden Blenden 24 und 25 abnehmende Durchmesser haben (alle Blenden zusammen können auch durch eine kegelförmige Blende ersetzt werden). Es ergibt sich dann ein - Mikroskopaufbau, bei dem enge Blenden nur dort sind, wo keine oder eine geringe Feldstärke herrscht (Bildfeldblende 16, Aperturblende ii bzw. 34), während weitere Öffnungen sich überall dort befinden, wo sich das Potential wesentlich ändert (vgl. 23 und 14, 14 und 37, 37 und 2 sowie die Einzellinsen 6 und 7). Man erreicht dadurch eine gewisse Freiheit in der Justierung, da offensichtlich eine geringe Verschiebung einer Elektrode großen Durchmessers das Potential in Achsennähe nicht so stark beeinflußt. Ferner wird den engen Blenden zweckmäßig eine geringe Wandstärke gegeben, insbesondere der Bildfeldblende, so daß die Blende durch Auftreffen der Elektronen erwärmt wird und etwa in der Blendenöffnung befindliches .Fett, welches den Strahlengang stören könnte, verdampft.It has already been mentioned that the diaphragm 23 is expediently the same Internal diameter should have like the pipe 14, while the following diaphragms 24 and 25 have decreasing diameters (all diaphragms together can also be replaced by a conical Bezel replaced). The result is a microscope setup that is tight Only stop apertures where there is little or no field strength (field stop 16, aperture diaphragm ii or 34), while further openings are everywhere there, where the potential changes significantly (cf. 23 and 14, 14 and 37, 37 and 2 as well as the single lenses 6 and 7). This gives you a certain freedom in adjustment, there apparently a small displacement of a large diameter electrode does not affect the potential near the axis as much. Furthermore, the narrow bezels expediently given a small wall thickness, in particular the field stop, see above that the aperture is heated by the impact of the electrons and approximately in the aperture Any fat that could interfere with the beam path evaporates.

Das Objekt 28, dessen Halterung nicht besonders dargestellt ist, ist zweckmäßig in Richtung der Achse und in einer Ebene senkrecht zur Achse verschiebbar. Durch die vor ihm angeordneten Blenden 23 bis 25 wird erreicht, daß der Durchgriff des zwischen i (und damit dem Objekt) und 14 liegenden Feldes auf das Objekt selber praktisch vermieden wird. Zwischen dem Rohr 2 und der äußeren Gefäßwand bilden sich im allgemeinen zwei Linsen aus. Die eine entsteht an der Stelle, wo der Strahl in das Rohr 2 eintritt; sie wird bei. dem Ausführungsbeispiel zerlegt in eine zwischen i und 14 und eine zwischen 14 und 37 sowie gegebenenfalls noch eine zwischen 37 und 2 herrschende Linse. Außerdem entsteht aber eine Linsenwirkung unmittelbar vor der Bildebene 4, also beim Austritt des Strahles aus dem Rohr. Diese letzte Linse bewirkt eine Verkleinerung des Bildes, die natürlich nicht erwünscht ist. Man kann sie dadurch vermeiden, daß man das Rohr 2 möglichst nahe an die Bildebene 4 heranbringt. Dieser Maßnahme sind aber wegen der hohen an i und 2 liegenden Spannungen Grenzen gesetzt. Es ist zwar möglich, das Rohr 2 näher an den Schirm heranzubringen als der Größe seines Durchmessers entspricht, also z. B. auf i cm hei 3 cm Kabeldurchmesser und einer Spannung von 2o kV zwischen dem Kabel und der Gefäßwand, damit wird aber die unerwünschte Bildverkleinerung nicht immer völlig vermieden. Um die die Verkleinerung bewirkende Linse auszuschalten, kann man das Rohr 2 beispielsweise durch eine Lenardfolie oder ein Netz, wie es durch 36 angedeutet ist, abschließen. Als Lenardfolie kann beispielsweise ein metallisiertes Zelluloidfenster dienen. Durch dieses Lenardfensterwird ein Felddurchgriff in das Innere des Kabels vermieden, so daß sich eine Linse dort nicht ausbilden kann.The object 28, the holder of which is not specifically shown, is expediently displaceable in the direction of the axis and in a plane perpendicular to the axis. The aperture 23 to 25 arranged in front of it ensures that the penetration is achieved of the field between i (and thus the object) and 14 on the object itself is practically avoided. Form between the tube 2 and the outer vessel wall generally two lenses. One arises at the point where the beam enters the tube 2 enters; she will at. the embodiment broken down into an intermediate i and 14 and one between 14 and 37 and possibly another between 37 and 2 ruling lens. In addition, however, a lens effect arises immediately in front of it the image plane 4, i.e. when the beam emerges from the tube. That last lens causes a reduction in the size of the image, which of course is undesirable. One can avoid them by bringing the tube 2 as close as possible to the image plane 4. However, because of the high voltages at i and 2, there are limits to this measure set. It is possible to bring the tube 2 closer to the screen than corresponds to the size of its diameter, so z. B. to 1 cm by 3 cm cable diameter and a voltage of 2o kV between the cable and the vessel wall, but this is the undesired image reduction is not always completely avoided. To the the downsizing To turn off causing lens, the tube 2 can for example by a Lenard sheet or a network, as indicated by 36, terminate. Can be used as lenard film for example, a metallized celluloid window can be used. Through this lenard window A field penetration into the interior of the cable is avoided, so that a lens is there can not train.

Die Ausbildung der Gefäßwand aus Metall gestattet in besonders einfacher Weise eine Kühlung, insbesondere in der Nähe des Objektes, von außen her vorzunehmen. Es können auch außer den beschriebenen elektrostatischen Linsen noch magnetische Linsen vorgesehen sein, die im Innern des Rohres oder aber außerhalb desselben angeordnet sind, wobei dann natürlich darauf zu achten ist, daß das Metallrohr das Magnetfeld nicht abschirmt. Wie bereits eingangs erwähnt, ist die vorliegende Anordnung nicht auf Elektronenmikroskope beschränkt, sondern kann allgemein für Entladungsgefäße mit elektronenoptischer Abbildung unter Zuhilfenahme von wenigstens teilweise elektrostatisch wirkenden Linsen, insbesondere solche Entladungsgefäße, die mit Hochspannung zu betreiben sind, Verwendung finden. Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel entsteht im Innern der Röhre mindestens ein Zwischenbild, es kann daher z. B. die Eingangsblende i i der Einzellinse 6 als Bildfeldblende dienen. Zur Einstellung des gewünschten Bildausschnitts ist es zweckmäßig, eine oder mehrere der Elek- i troden, z. B. die Blende 16, auf der den ankommenden Elektronen zugewandten Seite mit Leuchtmasse zu versehen und zur Beobachtung dieses Bildes Fenster anzubringen.The formation of the vessel wall from metal is particularly simple Way to make a cooling, especially in the vicinity of the object, from the outside. In addition to the electrostatic lenses described, magnetic lenses can also be used Lenses can be provided which are arranged inside the tube or outside the same are, in which case, of course, it is important to ensure that the metal tube is exposed to the magnetic field does not shield. As already mentioned at the beginning, the present arrangement is not limited to electron microscopes, but can be general to discharge vessels with electron-optical imaging with the aid of at least partially electrostatic acting lenses, especially those discharge vessels that operate with high voltage operate, find use. In the embodiment described arises inside the tube at least one intermediate image. B. the entrance panel i i of the single lens 6 serve as an image field stop. To set the desired In the image section, it is expedient to place one or more of the electrodes, e.g. B. the Aperture 16, on the side facing the incoming electrons with To provide luminous material and to attach windows to observe this image.

Es sei erwähnt, daß, wenn auch bei den Zeichnungen Maßstäbe nicht genau eingehalten wurden, die Zeichnungen doch. die Größenordnung der relativen Entfernung und Dimensionen richtig wiedergeben.It should be mentioned that, even if the drawings do not have scales the drawings were adhered to exactly. the order of magnitude of the relative Correctly reproduce distance and dimensions.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Electric high-voltage discharge vessel for electron-optical imaging by means of at least partially electrostatically acting Lenses, especially high magnification electron microscope (super microscope), thereby characterized by having some or all of the electrical lenses in a metallic tube (2) are arranged displaceably within the metallic discharge vessel (i).

2. Electrical high-voltage discharge vessel according to claim i, characterized in that that the lens electrodes with the interposition of insulating spacers (12) Assembled to form a unit which can be displaced in the tube (2), in particular a removable unit are.

3. Electrical high-voltage discharge vessel according to claim 2, characterized in that that the spacers are formed in two parts. .I.

Electric high voltage discharge vessel according to claim i or the following, characterized by achieving one or more Lenses with the help of extensions of the tube (2) attached to the tube insulated are.

5. Electrical high-voltage discharge vessel according to claim q., Characterized in that that in the lenses formed by the tube (2) and extensions a possibly used with displaceable, in particular removable, diaphragms provided cylinder is.

6. Electrical high-voltage discharge vessel according to claim i or the following, characterized in that the diameter of the lens electrodes there, w o considerable Field strengths prevail, are large and, where there are no fields, are low (Aperture).

7. Electrical high-voltage discharge vessel according to claim i, characterized characterized in that the tube 2 is at a lower potential than the metallic Tube of the vessel wall.

Electrical high-voltage discharge vessel according to Claim 7, characterized characterized in that the distance of the tube from the end containing the image plane the vessel wall is smaller than the diameter of the tube.

9. High voltage electrical discharge vessel according to claim 7 or 8, characterized in that the tube (2) on that of the image plane facing end is terminated by a conductive film or a mesh. ok

Electrical high-voltage discharge vessel according to Claim i or the following, characterized characterized in that the diaphragms with small openings, such as the image field or aperture diaphragm, are of small thickness. i i.

Electron microscope for imaging irradiated objects according to claim i or the following, in particular according to claim 7, characterized. that the holder carrying the moving object is in front of the tube (2) on the vessel wall attached or conductively connected to it.

12. Electron microscope according to claim ii, characterized in that between the tube (2) and the slide a number of End with a diameter that decreases according to the object or with an aperture appropriately directed conical opening is attached.

13. Electron microscope according to claim 12, characterized in that the inner diameter of the pipe adjacent diaphragm or diaphragms is of the same size as that of the pipe. i-.

Electron microscope according to Claim 12 or 13, characterized in that the object carrier and diaphragm or diaphragms together displaceable in the vessel tube, in particular removable, are appropriate.

15. Electron microscope according to claim i or the following, characterized characterized in that pump holes are provided in the electrodes and their holders are.

16. Electron microscope according to claim 12 and 15, characterized in that the pump holes in the diaphragms in front of the object through disks with a large inner diameter against each other = - r are covered or offset against each other.