DE69921220T2 - Ausrichtungsverfahren von einem Objekt mit einer Bildaufnahmevorrichtung und einer Kopplungsoptik - Google Patents

Ausrichtungsverfahren von einem Objekt mit einer Bildaufnahmevorrichtung und einer Kopplungsoptik Download PDF

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals

Description

  • Erfindungsgebiet
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren, um ein Objekt, von dem man mit einer Kopplungsoptik und einer Bilderfassungsvorrichtung eine Aufnahme von optimaler Qualität machen möchte, hinsichtlich dieser Qualitätsaufnahme auszurichten.
  • Die Erfindung kann auf allen Gebieten angewendet werden, welche die Realisierung von Bildern von optimaler Qualität betreffen, insbesondere auf dem Gebiet der Astronomie und dem Gebiet der Medizin, insbesondere für Radiographien.
  • Stand der Technik
  • Auf dem Gebiet der Bilderfassung versucht der Fachmann, Bilder der bestmöglichen Qualität zu erhalten, das heißt mit einer guten Fokussierung des Erfassungssystems und einer bestmöglichen Auflösung.
  • Um eine exzellente Bildqualität zu erhalten, muss die Bildebene (das heißt die Ebene, in der sich die Bilderfassungsvorrichtung befindet) perfekt ausgerichtet sein, einerseits mit der Kopplungsoptik und andererseits mit dem Objekt. Nun ist die Realisierung dieser Ausrichtung aber schwierig, denn man muss die Rechtwinkligkeit der Bildebene mit der optischen Achse sowie die Fokaldistanz einstellen.
  • Auch muss man, um Bilder eines Objekts in einer Bildebene zu erzeugen, eine optimale Positionierung zwischen Objekt, Optik und der Bildebene herstellen. Diese optimale Positionierung kann man mittels Einstellungen erlangen, die klassischerweise zwischen den Positionen der Optik und des Erfassungssystems (das heißt der Bildebene) erfolgen, wobei das Objekt im Allgemeinen fest positioniert ist. Dabei gibt es zwei Arten von Einstellungen:
    • – eine Einstellung – mit Hilfe von Rotationen – der Rechtwinkligkeit der Bildebene in Bezug auf die optische Achse der Optik; und
    • – eine Einstellung der Position der Bildebene (das heißt des Erfassungssystems) in Bezug auf die Optik, was der klassischen vorbereitenden Einstellung bei einem Photoapparat entspricht. Diese Einstellung erfolgt durch eine Translation entsprechend einer Achse der Optik und ermöglicht, die Ebene der Erfassungsvorrichtung – oder Bildebene – auf die Objektebene zu fokussieren.
  • Klassischerweise kann das Objekt einen variablen Abstand von der Optik haben; die Einstellung Optik/Bildebene kann folglich entweder approximativ oder visuell durch den Operator erfolgen, dank Telemetrie- oder Reflexeinrichtungen.
  • Bestimmte Bildaufnahmevorrichtungen (oder Erfassungsvorrichtungen) sind mit einem Objekt/Optik-Entfernungsmesssystem ausgestattet, das durch eine Ultraschall- oder Infrarotmethode die Entfernung zwischen dem Objekt und der Optik bestimmt; in diesem Fall erfolgt die Einstellung Optik/Bildebene automatisch.
  • Jedoch ist bei diesen klassischen Vorrichtungen der Schärfenbereich bei der Optik groß; die Einstellung Optik/Bildebene ist also nicht immer genau.
  • Außerdem gibt es Anwendungen, bei denen diese Optik/Bildebene-Einstellung schwieriger ist, was zum Beispiel auf dem Gebiet der elektronischen Mikroskopie der Fall ist. Bei der elektronischen Mikroskopie kann der Operator nämlich die Optik/Bildebene-Einstellung visuell vornehmen; er kann sie auch mit Hilfe einer "wobber focusing aid" genannten Technik realisieren. Diese Technik wird insbesondere beschrieben in dem Dokument mit dem Titel "The principles and practice of electronic microscopy", von Ian M. WATT, in Cambridge University Press, Seiten 29 bis 31. Diese Technik besteht darin, einen Lichtstrahl zwischen zwei Positionen oszillieren zu lassen, bezogen auf die Linse der Bildaufnahmevorrichtung, was eine doppelte Antwort des untersuchten Objekts in der Bildebene erzeugt, solange die Fokussierung des Systems nicht optimal ist.
  • Diese Wobbling-Methoden sind jedoch in der Anwendung schwierig, denn es ist nicht leicht, die Lichtquelle abzulenken.
  • Auf dem Gebiet der Astronomie ist es ebenfalls nützlich, eine feine Einstellung zu haben, insbesondere wenn man eine CCD-Kamera als Ausgang eines Refraktors benutzt, wie dies beschrieben wird in dem Artikel "Une mission haute résolution au T 60", von J. DIJON et al., in der Zeitschrift Pulsar Nr. 707, März-April 1995. Dieses Dokument beschreibt nämlich eine Methode, die eine relativ sensible Optik/Bildebene-Einstellung ermöglicht. Diese Methode besteht darin, einen einzelnen Stern auszuwählen, vor dem Eingang des Refraktors eine Maske mit zwei Löchern anzubringen und die Anzahl der Lichtflecke zu verifizieren, die in der CCD-Kamera erscheinen: wenn die CCD-Kamera schlecht fokussiert ist in Bezug auf die Optik, erscheinen zwei Flecke in der Kamera; wenn hingegen die Fokussierung gut ist, erscheint nur ein einziger Fleck in der CCD-Kamera. Indem man die Projektion des Sterns über die verschiedenen Bereiche der CCD-Kamera verschiebt, kann man die Ausrichtung des Systems Optik/CCD-Kamera einstellen, das heißt die Einstellung zwischen der Optik und der Bildebene.
  • Jedoch ist diese Methode nur bei Objekten mit unendlicher Entfernung anwendbar, das heißt im Sonderfall der Astronomie.
  • Andere optische Methoden ermöglichen, die Einstellung der Rechtwinkligkeit der Bildebene zur optischen Achse zu realisieren. Eine dieser Methoden besteht darin, ein Autokollimationsfernrohr zu benutzen, angeordnet am Eingang der Optik. In diesem Fall muss die Bildebene eine Reflexion für diese Art der Einstellung liefern können. Außerdem kann es zu Schwierigkeiten kommen, wenn es andere reflektierende Ebenen gibt, die sich auf dem Weg zwischen der Optik und der Bildebene befinden, was der Fall ist, wenn man eine CCD-Kamera benutzt, die mit einem Glasfenster versehen ist.
  • Eine solche Methode erweist sich als schwierig anwendbar. Zudem liefert diese Methode nur die Einstellung der zu realisierenden Planheit; sie liefert keinesfalls die Einstellung der erforderlichen Fokussierung, um eine Ausrichtung zu erhalten.
  • Weitere Fokussierungsverfahren werden beschrieben in den Dokumenten US 4,201,456 und US 4,500,189 .
  • Darstellung der Erfindung
  • Die Erfindung hat die Aufgabe, die Nachteile der oben beschriebenen Techniken zu beseitigen. Zu diesem Zweck schlägt sie ein Verfahren vor, das ermöglicht, ein Objekt auszurichten, von dem man eine Aufnahme von optimaler Qualität machen möchte, mit Hilfe einer Bilderfassungsvorrichtung und einer optischen Kopplungsvorrichtung. Dieses Verfahren besteht darin, eine Lichtquelle zu benutzen, die anstelle des Objekts positioniert wird und Lichtpunkte durch eine opake Maske mit wenigstens zwei Löchern und eine Kopplungsoptik hindurch in Richtung der Erfassungsvorrichtung ausstrahlt, und in der Bildebene der Erfassungsvorrichtung zu verifizieren, ob die Abbildungen dieser Lichtpunkte verdoppelt sind.
  • Noch genauer betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Ausrichtung eines Objekts, aufzunehmen mit einer Bilderfassungsvorrichtung und einer Kopplungsoptik wie definiert in Anspruch 1.
  • Vorteilhafterweise umfassen die Einstellparameter einen Translationsparameter und zwei Rotationsparameter, beweglich entsprechend einer zu der optischen Achse der Kopplungsoptik parallelen Richtung.
  • Die Einstellparameter können auch einen vierten Parameter umfassen, der sich auf die globale Translation der Bildebene in der optischen Achse bezieht.
  • Nach einer Realisierungsart der Erfindung besteht das Verfahren darin, drei Lichtpunkte auszustrahlen und wenigstens vier Bilderfassungen dieser Lichtpunkte durchzuführen, für vier unterschiedliche Ausrichtungseinstellungen.
  • Nach einer anderen Realisierungsart der Erfindung besteht das Verfahren darin – wenn die Anzahl der Lichtpunkte höher ist als drei – im Voraus zwei der Lichtpunkte auszuwählen, die in den folgenden Schritten des erfindungsgemäßen Verfahren berücksichtigt werden müssen.
  • Kurzbeschreibung der Figuren
  • Die 1 zeigt schematisch den optischen Weg der Lichtpunkte von der Objektebene bis zur Bildebene;
  • die 2 zeigt das Ablaufdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens; und
  • die 3 zeigt das Ablaufdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens bei einer zweiten Realisierungsart.
  • Detaillierte Beschreibung von Realisierungsarten der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft zur genauen Ausrichtung eines Objekts, von dem Aufnahmen machen möchte, mit einer Bilderfassungsvorrichtung und einer Kopplungsoptik.
  • Während der gesamten nachfolgenden Beschreibung werden die Begriffe "Bildebene" und "Objektebene" verwendet:
    • – die Bildebene, in den Figuren mit Pi bezeichnet, ist die Ebene, in der sich die Abbildung des Objekts in der Aufnahmevorrichtung (oder Bilderfassungsvorrichtung) ausbildet;
    • – die Objektebene, in den Figuren mit Po bezeichnet, ist die Ebene, in der sich das Objekt zum Zeitpunkt der Aufnahme befindet. Festzustellen ist jedoch, dass das Verfahren, das die Ausrichtung dieser Elemente ermöglicht, ohne das Objekt angewendet wird. Es ist nämlich kein Objekt nötig, um die Ausrichtung zu realisieren; nur die Objektebene, das heißt die Ebene, in der sich das Objekt zum Zeitpunkt der Aufnahme befinden wird, ist zur Anwendung des Verfahrens nützlich. Während der Realisierung der Ausrichtung wird die Objektebene entweder virtuell oder materiell durch den Träger definiert, auf dem sich das Objekt später – während der Aufnahme – befinden wird.
  • Es ist außerdem festzustellen, dass während der gesamten Durchführung des Ausrichtungsverfahrens wie während der Aufnahme selbst die Kopplungsoptik (einfacher "Optik" genannt) auf die Objektebene fokussiert.
  • Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren realisiert man die Ausrichtung des Erfassungssystems (das heißt des Objekts, der Kopplungsoptik und der Erfassungsvorrichtung) sukzessive dank mehrerer Bilder der durch eine Lichtquelle abgestrahlten Lichtpunkte, durch eine opake Maske mit zwei Löchern hindurch, so wie die, welche beschrieben wurde in der dieser Tage durch den Anmelder eingereichten Patentanmeldung mit dem Titel "Système de détermination et de quantification de l'alignement d'un objet avec une optique de couplage et un dispositif de prise de vue (Verfahren zur Determination und Quantifizierung der Ausrichtung eines Objekts mit einer Kopplungsoptik und einer Aufnahmevorrichtung)". Das Bild jedes dieser Lichtpunkte ist entweder ein einziger Punkt, was bedeutet, dass die Ausrichtung des Erfassungssystems realisiert ist, oder ein verdoppelter Punkt, was bedeutet, dass das System nicht ausgerichtet ist. In diesem letzteren Fall besteht das Verfahren darin, aufgrund des diese beiden Punkte (oder Flecke) eines verdoppelten Punkts trennenden Abstands die optimale Einstellung der Elemente des Systems (nämlich der Kopplungsoptik, der Objektebene und der Bilderfassungsvorrichtung) in Bezug auf einander zu bestimmen.
  • Zum besseren Verständnis des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in der 1 der optische Weg der beiden Lichtpunkte 1a und 1b dargestellt, die von einer Lichtquelle abgestrahlt werden. Diese beiden Lichtpunkte 1a und 1b werden in 2a und 2b auf die Bildebene Pi projiziert, das heißt auf die Bilderfassungsvorrichtung, nach einem optischen Weg durch die Kopplungsoptik 3 hindurch.
  • Das in dieser 1 dargestellte Beispiel zeigt ein ausgerichtetes Erfassungssystem, das heißt ein System, in dem die Bilderfassungsvorrichtung ausgerichtet ist mit der Optik 3 und mit der während des Verfahrens durch die Lichtquelle dargestellten Objektebene Po. Die Ausrichtung ist korrekt, da die von jedem Punkt 1a und 1b der Objektebene ausgehenden Strahlen in Richtung jeweils eines einzigen Punkts 2a und 2b in der Bildebene konvergieren. Außerdem stellt man in dieser 1 fest, dass die eintreffenden Lichtstrahlen, parallel zu der optischen Achse der Optik 3, mit durchgezogenen Strichen dargestellt, alle den Fokalpunkt Fa durchlaufen. Außerdem ist festzustellen, dass die schrägen und zueinander parallelen eintreffenden Strahlen, gestrichelt dargestellt, einen anderen einzigen Fokalpunkt Fb durchlaufen. Jedem Fokalpunkt Fa und Fb entspricht also eine Richtung von eintreffenden Strahlen.
  • Betrachten wir nun den Lichtpunkt 1a, der die Fokalpunkte Fa und Fb durchläuft. Wenn die Erfassungsvorrichtung 2 richtig angeordnet ist in Bezug auf die Kopplungsoptik 3 und die Objektebene Po, das heißt wenn diese drei Elemente ausgerichtet sind, dann ist der Punkt 2a die Abbildung des Lichtpunkts 1a. Diese Abbildung des Lichtpunkts ist ein einziger Punkt.
  • Wenn hingegen die Erfassungsvorrichtung entfokussiert ist, das heißt wenn es keine Ausrichtung zwischen diesen drei Elementen gibt, dann besteht die Abbildung des Lichtpunkts 1a auf der Erfassungsvorrichtung aus zwei Punkten (oder Flecken), das heißt einem verdoppeltem Punkt. In diesem Fall ist der Abstand zwischen den beiden Flecken des verdoppelten Punkts proportional zu der Fokussierungsdistanz bzw. Brennweite der Erfassungsvorrichtung. Aufgrund von dieser Distanz und wenigstens zwei weiteren Distanzen, für verschiedene Einstellungen des Systems auf identische Weise bestimmt, wird die optimale Einstellung des Systems bestimmt, insbesondere die optimale Fokussierungsposition der Erfassungsvorrichtung.
  • Mit anderen Worten versucht das erfindungsgemäße Verfahren, den Abstand zwischen zwei Flecken, das heißt Abbildungen eines selben Lichtpunkts in Abhängigkeit von der Fokussierung der Erfassungsvorrichtung zu charakterisieren und zu eichen, und dies, wenn die Erfassungsvorrichtung, die Kopplungsoptik und die Objektebene gut definiert sind.
  • Anders ausgedrückt erhält man – wenn man die Distanz zwischen den beiden Flecken eines verdoppelten Punkts Dpunkt nennt und die Distanz zwischen der Optik und der Erfassungsvorrichtung Doptik – die Gleichung: Dpunkt = a·Doptik + b,wobei sich diese Funktion annulliert, wenn die optimale Fokussierung der Erfassungsvorrichtung bestimmt ist.
  • Das erfindungsgemäße Ausrichtverfahren besteht zunächst aus einem Schritt 6 zur Definition einer Objektebene, indem die Stelle gewählt wird, wo in der Folge das aufzunehmende Objekt positioniert wird, und wo während der Durchführung des Verfahrens die Lichtpunktequelle positioniert werden muss.
  • Anschließend besteht das Verfahren darin, in der Objektebene Lichtpunkte abzustrahlen, in Richtung der Bildebene (Schritt 8). Die Anzahl dieser Lichtpunkte ist minimal drei. Es ist vorteilhaft, wenn die Anzahl der Lichtpunkte höher ist als drei, da dies die Genauigkeit des Verfahrens und die Geschwindigkeit der Verarbeitung verbessert.
  • Die folgenden Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens können auf zwei unterschiedliche Arten realisiert werden.
  • Die erste Realisierungsart ist in der 2 schematisch dargestellt.
  • Nach dieser ersten Realisierungsart werden die nachfolgenden Schritte des Verfahrens iterativ durchgeführt. Bei dieser Realisierungsart umfasst das Verfahren zunächst einen Schritt 10 zur Wahl einer Ausrichtungseinstellung. Eine "Ausrichtungseinstellung" betrifft einerseits die Fokussierung der Erfassungsvorrichtung und andererseits die Positionierung der Kopplungsoptik und die Positionierung der Erfassungsvorrichtung, wobei die Positionierung der Objektebene zu Beginn des Verfahrens definiert wird und in der Folge des Verfahrens sowie für die Aufnahmen des Objekts fix bleibt.
  • Die Einstellung des Systems geschieht also:
    • – durch Rotationen zur Einstellung der Planheit der Erfassungsvorrichtung in Bezug auf die Kopplungsoptik, und
    • – durch eine Translation entsprechend der Achse der Optik, um die Fokussierung einzustellen.
  • Bei der ersten Iteration wird diese Einstellung arbiträr gewählt. In der Folge erfolgt die Wahl der Einstellung in Abhängigkeit von den Iterationen, die man am Ende der vorangehenden Iterationen erhält (das heißt im Schritt 16) in Abhängigkeit von der Qualität der erlangten Ausrichtungen.
  • Das Verfahren setzt sich mit einem Schritt 12 fort, der darin besteht, die Abbildung dieser Lichtpunkte in der Bildebene zu erfassen, für die in Schritt 10 gewählte Ausrichtungseinstellung.
  • Ein Schritt 14 besteht dann darin, die Analyse der Abbildungen dieser Punkte durchzuführen. Im Laufe dieser Analyse bestimmt man, ob die Abbildung eines Lichtpunkts einfach oder doppelt ist; wenn dieser Lichtpunkt doppelt ist, wird die Distanz zwischen den beiden Abbildungen des Lichtpunkts, das heißt zwischen den beiden den verdoppelten Punkt bildenden Flecken, so berechnet, dass man daraus die Einstellung ableiten kann, die bei den Elementen vorgenommen werden müssen, um ihre Ausrichtung zu verbessern.
  • Ein Schritt 16 besteht anschließend darin, durch einen Qualitätstest die Qualität der Ausrichtung zu verifizieren, die man aufgrund des Analyseschritts 14 erlangt hat. Wenn diese Qualität korrekt ist, dann kann man annehmen, dass man die optimale Einstellung realisiert hat, das heißt die Einstellung, bei der die Distanzen zwischen den Abbildungen von Lichtpunkten minimal sind.
  • Im gegenteiligen Fall wird das Verfahren ab Schritt 10 wiederholt, während dem eine neue Ausrichtungseinstellung gewählt wird in Abhängigkeit von dem Resultat des Qualitätstests 16.
  • In der 3 ist das erfindungsgemäße Verfahren entsprechend einer zweiten Realisierungsart schematisch dargestellt. Außer dem Schritt 6 zur Definition der Objektebene und dem Schritt 8 zur Abstrahlung der Lichtpunkte in der Objektebene umfasst das erfindungsgemäße Verfahren einen Schritt 11 zur Erfassung der Abbildungen der Lichtpunkte (oder Lichtflecke) durch die Erfassungsvorrichtung. Nach dieser Realisierungsart der Erfindung wird für jede Einstellung des Systems eine Abbildung von jedem dieser Lichtpunkte realisiert. Diese Erfassungen von Abbildungen erfolgen simultan oder sukzessiv für verschiedene Ausrichtungseinstellungen.
  • Das Verfahren der Erfindung umfasst anschließend einen Schritt 13, der darin besteht, die Distanzen zwischen den Abbildungen der Lichtpunkte zu berechnen, das heißt zwischen den Auftreffflecken jedes Lichtpunkts, wenn der Fleck doppelt ist. Diese Berechnung kann auf unterschiedliche Weise durchgeführt werden; zum Beispiel kann man für jeden Lichtpunkt der Objektebene eine Teilabbildung in der Erfassungsvorrichtung definieren, in die sich die Abbildung des Lichtpunkts projiziert. Anschließend kann die Positionierung der Lichtpunkte zum Beispiel durch eine Berechnung des Schwerpunkts jedes Flecks erfolgen.
  • Eine andere Berechungsmethode besteht darin, auf jedem Fleck eine Gaußsche Glockenkurve zu ermitteln, was ermöglicht, am besten die Verteilung der Graupegel in der die Abbildungen enthaltenden Teilabbildung zu modellieren. Diese Ermittlung kann mit Hilfe eines Algorithmus des Typs Expectation Maximisation erfolgen, definiert zum Beispiel in dem Artikel "Parameter Estimation and Tissue Segmentation from Multispectral MR Images", von Z. LIANG et al., IEEE Trans. Med. Im, Vol. 13, Nr. 3, September 1994.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren kann anschließend einen Schritt 15 zur Verifizierung der Qualität der gemessenen Abbildungen umfassen. Dieser Schritt ist für die gute Realisierung des Verfahrens nicht notwendig, aber er ermöglicht, die Qualität des Resultats zu verbessern. Dieser Schritt besteht darin, zu verifizieren, dass das Verhalten der verschiedenen Lichtpunkte kohärent ist. Wenn man zum Beispiel in dem Schritt 11 zwei oder drei Translationseinstellungen ausführt, besteht der Schritt 15 darin, sicherzustellen, dass das Verhalten für alle Lichtpunkte dasselbe ist; so werden die Lichtpunkte, die während dieses Schritts abweichend erscheinen könnten, eliminiert und in den folgenden Schritten nicht verwendet.
  • Das Verfahren besteht anschließend aus einem Eichschritt 17 für jeden der Lichtpunkte. Dieser Schritt 17 liefert die Informationen, die notwendig sind, um in dem Schritt 19 die optimale Ausrichtungseinstellung des Systems zu bestimmen. Die Berechnung der optimalen Einstellung entspricht tatsächlich einer Minimierung aller Distanzen zwischen den Abbildungen der Lichtpunkte in Bezug auf die Ausrichtungseinstellparameter der Bildebene.
  • Die Schritte 17 und 19 können durch mathematische Methoden realisiert werden, die später beschrieben werden. Insbesondere entspricht jeder der Schritte 17 und 19 der Auflösung eines inversen Systems.
  • Festzustellen ist, dass die Bildebene der Erfassungsvorrichtung durch eine durch drei Einstellungspunkte definierte Ebene gebildet wird. Die optimale Fokussierung dieser Erfassungsvorrichtung erhält man, wenn einerseits diese Ebene senkrecht zur optischen Achse ist und andererseits die Fokussierungsdistanz gut ist. Die Einstellung der Position der Ebene erfolgt also durch die Positionierung drei Einstellpunkte, die sie definieren.
  • Die Position dieser drei Einstellpunkte definiert also die zur Einstellung des Systems nützliche Transformation, was darauf hinausläuft, dass diese drei Punkte die Translation und die Rotationen parametrieren, die zur Ausrichtung des Systems nützlich sind. Vorzugsweise sind diese drei Punkte beweglich in einer zu der optischen Achse parallelen Richtung, und die Parametrierung dieser Punkte erfolgt durch Definition der Position auf der Evolutionsgeraden des Systems; diese Evolutionsgerade ist vorteilhafterweise parallel zu der optischen Achse der Linse. Auf jeder der Geraden wird in arbiträrer Weise ein während der Ausrichtung fix bleibender Nullpunkt definiert.
  • Für jeden Lichtpunkt der Lichtquelle definiert man ein Distanz der Punkte, welche die Distanz zwischen den beiden Flecken, das heißt Abbildungen der Lichtpunkte auf der Erfassungsvorrichtung ist; man bezeichnet die Positionen der Einstellpunkte auf der Verschiebungsachse des Systems mit D1, D2 und D3; es existiert dann eine lineare Relation: Dpunkt = a1·D1 + a2·D2 + a3·D3 + b.
  • Man kann also für jeden Lichtpunkt die Eichung der Distanzfunktion Dpunkt in Abhängigkeit von den Werten D1, D2 und D3 berechnen. Dazu benutzt man die verschiedenen Abbildungserfassungen, die man für die verschiedenen Einstellungen erhalten hat, wobei mit jeder dieser Einstellungen eine Distanz Dpunkt; verbunden ist. Man erhält also folgendes Gleichungssystem: Dpunkt1 = a1·D11 + a2·D21 + a3·D31 + b Dpunkt2 = a1·D12 + a2·D22 + a3·D32 + b... Dpunktn = a1·D1n + a2·D2n + a3·D3n + b,in dem die Unbekannten a1, a2, a3 und b sind.
  • Dieses System kann invertiert werden durch bekannte mathematische Methoden, zum Beispiel die pseudo-inverse Funktion des Computerprogramms MATHEMATICA® oder durch Methoden, die beschrieben werden in "Numerical Recipes, The Art of Scientific Computing", W.H. PRESS et al., Cambridge University Press, Seiten 52-60. Festzustellen ist jedoch, dass es, um eine Lösung für dieses System zu finden, notwendig ist, dass die Einstellungsserie wenigstens drei unabhängige lineare Einstellungen umfasst.
  • Nach einer Eichung für die Gesamtheit dieser Punkte erhält man also die folgenden Gleichungen: Dpunktpt1 = a1pt1·D1 + a2pt1·D2 + a3pt1·D3 + bpt1 Dpunktpt2 = a1pt2·D1 + a2pt2·D2 + a3pt2·D3 + bpt1 ... Dpunktptn = a1ptn·D1 + a2ptn·D2 + a3ptn·D3 + bpt1
  • In diesem System sind die Variablen Dpunkt, D1, D2 und D3.
  • Die optimale Lösung dieses Systems entspricht einer Distanz Dpunkt gleich 0 für alle bei der Durchführung des Verfahrens benutzten Lichtpunkte (Dpunkt=0 entspricht bzw. heißt: keine Verdoppelung der Abbildungen der Lichtpunkte).
  • Wie man oben gesehen hat, erfolgt die Einstellung des Systems durch Rotationen, um die Planheit der Erfassungsvorrichtung in Bezug auf die Kopplungsoptik einzustellen, und durch eine Translation entsprechend der Achse der Kopplungsoptik, um die Fokussierung der Erfassungsoptik einzustellen. Jedoch – bei einer zweiten Realisierungsart der Erfindung – wird dieses System aus Rotationen und einer Translation durch die Position der drei die Bildebene definierenden Einstellpunkte parametriert. So ermöglicht eine identische Bewegung der drei Einstellpunkte, eine Translation zu realisieren, und unterschiedliche Einstellungen entsprechend den drei Einstellpunkten ermöglichen, Rotationen zu realisieren.
  • Nach einer Variante der Erfindung kann die Positionierung der Erfassungsvorrichtung definiert werden durch einen vierten Parameter; dieser Parameter ist eine globale Translation der Bildebene entsprechend der optischen Achse, was in Wirklichkeit einer direkten Fokussiereinstellung der Optik entspricht. Bei dieser Variante wird der vierte Parameter mit D4 bezeichnet und die lineare Funktion hat die folgende Form: Dpunkt1 = a1·D1 + a2·D2 + a3·D3 + a4·D4 + b.
  • Die Methode zur Suche der optimalen Einstellung entspricht der oben beschriebenen Realisierungsart, mit jedoch fünf Bilderfassungen für fünf unterschiedliche Einstellungen.
  • Wenn die Anzahl der durch die Lichtquelle abgestrahlten Lichtpunkte groß ist, kann das erfindungsgemäße Verfahren einen zusätzlichen Schritt umfassen, der darin besteht, unter diesen Lichtpunkten diejenigen auszuwählen, die zur Durchführung des Verfahrens benutzt werden. Dieser Schritt wird direkt nach dem Lichtpunkteabstrahlungsschritt 8 ausgeführt.
  • Um eine bessere Auflösung der Systeme zu gewährleisten, kann in dem Optimaleinstellungs-Berechnungsschritt 19 eine zusätzliche Verarbeitung durchgeführt werden:
    • – bei den in Schritt 11 realisierten Bilderfassungen wird eine "SP" genannte Bilderfassungsserie für "VD" genannte identische Einstellungsveränderungen bei bzw. mit allen Einstellungskoeffizienten D1, D2 und D3 durchgeführt, was Translationen in der optischen Achse entspricht;
    • – in einem zwischen Schritt 11 und Schritt 13 vorgesehenen Unterschritt verifiziert man, ob alle Abstandsänderungen der Flecke bei der Bilderfassungsserie SP klein sind. Für die Lichtpunkte, die kleinen Abstandsänderungen entsprechen, berechnet man eine mittlere Abstandsänderung ΔD für jede Einstellungsveränderung VD, nämlich: const = Mittelwert(ΔD/CD);
    • – man kann dann bei der Auflösung des Systems die folgende Beschränkung hinzufügen: a1 + a2 + a3 = const.

Claims (5)

  1. Ausrichtungsverfahren eines mit einer Bilderfassungsvorrichtung und einer Kopplungsoptik abzubildenden Objekts, wobei das Verfahren ohne das Objekt durchgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht: – eine Objektebene (6) zu definieren; – wenigstens drei Lichtpunkten (1a, 1b) in die Objektebene (Po) zu senden; – eine opake Maske mit wenigstens zwei Löchern in dem optischen Weg zu platzieren; – eine Vielzahl Bilderfassungen dieser Lichtpunkte durchzuführen (10-12), wobei jede Bilderfassung mit einer anderen bzw. unterschiedlichen Ausrichtungseinstellung durchgeführt wird, deren Einstellungsparameter bekannt sind; – eine jeden Lichtpunkt und jede Ausrichtungseinstellung umfassende Liste der durch die Erfassungsvorrichtung definierten Abstände zwischen den Bildern der Lichtpunkte in der Bildebene zu erstellen; – für jeden Lichtpunkt und für jede Ausrichtungseinstellung eine Entwicklungsfunktion des Abstands zwischen Lichtpunkten zu bestimmen; und – aufgrund aller für die unterschiedlichen Ausrichtungseinstellungen bestimmten Entwicklungsfunktionen eine besondere Einstellung zu bestimmen, bei der die Abstände zwischen den Bildern der Lichtpunkte minimal sind und der Fokussierungs- und Rechtwinkligkeitseinstellung der Bildebene in Bezug auf die optische Achse der Kopplungsoptik entsprechen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellungsparameter einen Translationsparameter und zwei Rotationsparameter umfassen, mobil in einer zu der optischen Achse der Kopplungsoptik parallelen Richtung.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellungsparameter einen die globale Translation der Bildebene entsprechend der optischen Achse betreffenden vierten Parameter umfassen.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, drei Lichtpunkte auszusenden und wenigstens vier Bilderfassungen dieser Lichtpunkte mit unterschiedlichen Ausrichtungseinstellungen durchzuführen.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es, wenn die Anzahl der Lichtpunkte groß ist, darin besteht, im Voraus diejenigen der Lichtpunkte auszuwählen, die in den nachfolgenden Schritten berücksichtigt werden.
DE69921220T 1998-03-16 1999-03-12 Ausrichtungsverfahren von einem Objekt mit einer Bildaufnahmevorrichtung und einer Kopplungsoptik Expired - Lifetime DE69921220T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9803185 1998-03-16
FR9803185A FR2776068B1 (fr) 1998-03-16 1998-03-16 Procede d'alignement d'un objet avec un dispositif d'acquisition d'images et une optique de couplage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69921220D1 DE69921220D1 (de) 2004-11-25
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DE69921220T Expired - Lifetime DE69921220T2 (de) 1998-03-16 1999-03-12 Ausrichtungsverfahren von einem Objekt mit einer Bildaufnahmevorrichtung und einer Kopplungsoptik

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US (1) US6449388B1 (de)
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DE (1) DE69921220T2 (de)
FR (1) FR2776068B1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2429363C (en) 2000-11-28 2007-08-14 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of and apparatus for adjusting optical component, and optical unit
CN102494872B (zh) * 2011-11-15 2014-08-06 中国科学院紫金山天文台 实时测定天文望远镜指向误差的方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4201456A (en) * 1976-04-22 1980-05-06 Wolbarsht Myron L Method and apparatus for detecting the focusing condition of an optical system
JPS5915208A (ja) * 1982-06-17 1984-01-26 Olympus Optical Co Ltd 合焦検出装置
JPS5962809A (ja) * 1982-10-04 1984-04-10 Olympus Optical Co Ltd 焦点検出装置
JPH07174549A (ja) * 1993-11-24 1995-07-14 Olympus Optical Co Ltd 測距装置
US5673334A (en) * 1995-11-30 1997-09-30 Cognex Corporation Method and apparatus for inspection of characteristics on non-rigid packages
DE19730976C2 (de) * 1996-07-19 2003-12-24 Pentax Corp Einrichtung zum Scharfstellen des Objektivs einer Kamera
US5978521A (en) * 1997-09-25 1999-11-02 Cognex Corporation Machine vision methods using feedback to determine calibration locations of multiple cameras that image a common object

Also Published As

Publication number Publication date
EP0943948A1 (de) 1999-09-22
FR2776068A1 (fr) 1999-09-17
US20020024657A1 (en) 2002-02-28
DE69921220D1 (de) 2004-11-25
FR2776068B1 (fr) 2000-06-23
EP0943948B1 (de) 2004-10-20
US6449388B1 (en) 2002-09-10

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