DE69900557D1 - Vorrichtung zur Kontrolle und/oder Bearbeitung eines Musters - Google Patents
Vorrichtung zur Kontrolle und/oder Bearbeitung eines MustersInfo
- Publication number
- DE69900557D1 DE69900557D1 DE69900557T DE69900557T DE69900557D1 DE 69900557 D1 DE69900557 D1 DE 69900557D1 DE 69900557 T DE69900557 T DE 69900557T DE 69900557 T DE69900557 T DE 69900557T DE 69900557 D1 DE69900557 D1 DE 69900557D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- checking
- pattern
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37134—Gyroscope
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/872—Positioner
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP99116065A EP1085294B1 (de) | 1999-08-16 | 1999-08-16 | Vorrichtung zur Kontrolle und/oder Bearbeitung eines Musters |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69900557D1 true DE69900557D1 (de) | 2002-01-17 |
DE69900557T2 DE69900557T2 (de) | 2002-05-23 |
Family
ID=8238785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69900557T Expired - Fee Related DE69900557T2 (de) | 1999-08-16 | 1999-08-16 | Vorrichtung zur Kontrolle und/oder Bearbeitung eines Musters |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6509969B1 (de) |
EP (1) | EP1085294B1 (de) |
JP (1) | JP2001116869A (de) |
DE (1) | DE69900557T2 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004538443A (ja) * | 2000-08-15 | 2004-12-24 | バイオフォース ナノサイエンシズ インコーポレイテッド | ナノスケール分子配列装置 |
TW527526B (en) * | 2000-08-24 | 2003-04-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
US7561270B2 (en) | 2000-08-24 | 2009-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
US6941823B1 (en) * | 2001-11-07 | 2005-09-13 | Veeco Instruments Inc. | Apparatus and method to compensate for stress in a microcantilever |
ATE390562T1 (de) * | 2004-11-19 | 2008-04-15 | Ebm Papst St Georgen Gmbh & Co | Anordnung mit einem luefter und einer pumpe |
WO2008077048A2 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Kla-Tencor Corporation | Substrate processing apparatus and method |
DE102007046927A1 (de) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Carl Zeiss Smt Ag | Kalibrierung einer Positionsmesseinrichtung einer optischen Einrichtung |
US8089637B2 (en) * | 2008-12-26 | 2012-01-03 | Hermes Microvision, Inc. | Apparatus for detecting a sample |
JP5384412B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-01-08 | 日置電機株式会社 | 検査装置および検査方法 |
CN102393610B (zh) * | 2011-11-12 | 2014-02-12 | 哈尔滨工业大学 | 光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置 |
CN102402134A (zh) * | 2011-11-12 | 2012-04-04 | 哈尔滨工业大学 | 光刻机工件台陀螺定轴式稳定装置 |
US9529280B2 (en) | 2013-12-06 | 2016-12-27 | Kla-Tencor Corporation | Stage apparatus for semiconductor inspection and lithography systems |
US9625421B2 (en) * | 2014-04-16 | 2017-04-18 | U.S. Department Of Energy | Manually operated small envelope scanner system |
DE102018210098B4 (de) * | 2018-06-21 | 2022-02-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen und/oder zum Bearbeiten einer Probe |
IL301222A (en) * | 2020-09-28 | 2023-05-01 | Asml Netherlands Bv | Metrology tool with position control of projection system |
WO2023170054A1 (de) * | 2022-03-08 | 2023-09-14 | Quantum Technologies Gmbh | Quantencomputersystem und verfahren zum betrieb eines verlegbaren quantencomputers |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3936716A (en) * | 1970-11-24 | 1976-02-03 | U.S. Philips Corporation | Stabilisation system |
GB2252845B (en) * | 1985-04-17 | 1993-01-20 | Ferranti Plc | Electro-mechanical position servo means |
US5368271A (en) * | 1992-03-02 | 1994-11-29 | Hughes Aircraft Company | Gimbal vibration isolation system |
US5426302A (en) * | 1993-04-28 | 1995-06-20 | Board Of Regents, University Of Texas | Optically guided macroscopic-scan-range/nanometer resolution probing system |
US5557156A (en) * | 1994-12-02 | 1996-09-17 | Digital Instruments, Inc. | Scan control for scanning probe microscopes |
-
1999
- 1999-08-16 DE DE69900557T patent/DE69900557T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-08-16 EP EP99116065A patent/EP1085294B1/de not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-04 JP JP2000237794A patent/JP2001116869A/ja not_active Withdrawn
- 2000-08-11 US US09/637,393 patent/US6509969B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001116869A (ja) | 2001-04-27 |
EP1085294B1 (de) | 2001-12-05 |
US6509969B1 (en) | 2003-01-21 |
DE69900557T2 (de) | 2002-05-23 |
EP1085294A1 (de) | 2001-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69934893D1 (de) | Vorrichtung zur erstellung eines strahlungsbehandlungsplanes | |
DE69900557T2 (de) | Vorrichtung zur Kontrolle und/oder Bearbeitung eines Musters | |
DE60032481D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur threadumschaltung in einem multithreadprozessor | |
DE50008357D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur oberflächenbehandlung eines bauteils | |
DE60036163D1 (de) | System zum Einteilen von Gegenständen und Vorrichtung zur Messung der Abmessungen eines Gegenstandes | |
DE60030658D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung von Gegenständen | |
DE69610479D1 (de) | Vorrichtung und gerät zur standortsbestimmung eines werkzeugs | |
DE59915054D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Gefäßzugangs | |
DE60038638D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Verrohrung eines Bohrloches | |
DE69939436D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur durchführung eines gesichtfeldtestes und computerprogramm zum verarbeiten der resultate davon | |
DE60034652D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Positionsmessung | |
DE50004671D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur dosierung eines reduktionsmittels | |
DE60036064D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten einer Kolonne | |
DE60029348D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bearbeitung eines lebensmittels | |
DE69532014D1 (de) | Vorrichtung und Methode zur Feststellung eines Punktes | |
DE69906605D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Gestalten eines Pflanzenteils | |
DE69903937T2 (de) | Vorrichtung und verfahren zur reduzierung der einschaltzeit eines kristalloszillators | |
DE69925556D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur eines Platinenmodells | |
DE60025878D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines Resistmusters | |
ATE286637T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur gewährleistung der integrität und der authentizität eines datensatzes | |
DE50103176D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines transparenten Objekts | |
DE50214316D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung eines drehwinkels oder weges | |
DE50001615D1 (de) | Vorrichtung zum verdampfen und/oder überhitzen eines kohlenwasserstoffs | |
DE59802801D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur durchführung eines härtetests an prüfkörpern, insbesondere tabletten oder pillen | |
DE60039439D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur arbitrierung eines gemeinsamen betriebsmittels |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |