DE69713820D1 - Kippbare Positioniervorrichtung für ein Mikropositioniergerät - Google Patents

Kippbare Positioniervorrichtung für ein Mikropositioniergerät

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tiltable positioning
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Rafael Nathan Kleiman
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    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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