DE69007433D1 - Vakuum-Aufdampfungsgerät und Verfahren zum Herstellen von Folie mittels Vakuum-Aufdampfung. - Google Patents
Vakuum-Aufdampfungsgerät und Verfahren zum Herstellen von Folie mittels Vakuum-Aufdampfung.Info
- Publication number
- DE69007433D1 DE69007433D1 DE90122752T DE69007433T DE69007433D1 DE 69007433 D1 DE69007433 D1 DE 69007433D1 DE 90122752 T DE90122752 T DE 90122752T DE 69007433 T DE69007433 T DE 69007433T DE 69007433 D1 DE69007433 D1 DE 69007433D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vacuum evaporation
- producing film
- evaporation device
- producing
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30968189A JPH03170662A (ja) | 1989-11-29 | 1989-11-29 | 蒸着装置および蒸着方法 |
JP18080690A JP2502792B2 (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 真空蒸着源及びその真空蒸着源を用いて蒸着した磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69007433D1 true DE69007433D1 (de) | 1994-04-21 |
DE69007433T2 DE69007433T2 (de) | 1994-11-24 |
Family
ID=26500198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1990607433 Expired - Fee Related DE69007433T2 (de) | 1989-11-29 | 1990-11-28 | Vakuum-Aufdampfungsgerät und Verfahren zum Herstellen von Folie mittels Vakuum-Aufdampfung. |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0430210B1 (de) |
DE (1) | DE69007433T2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5182567A (en) * | 1990-10-12 | 1993-01-26 | Custom Metallizing Services, Inc. | Retrofittable vapor source for vacuum metallizing utilizing spatter reduction means |
DE10200909A1 (de) * | 2002-01-12 | 2003-07-24 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3467058A (en) * | 1965-12-03 | 1969-09-16 | United States Steel Corp | Apparatus for vaporizing metal |
US3432335A (en) * | 1966-03-15 | 1969-03-11 | Lokomotivbau Elektrotech | Cyclically moving electron beam for uniform vapor deposited coating |
FR1527305A (fr) * | 1967-06-13 | 1968-05-31 | Hermsdorf Keramik Veb | Dispositif pour la vaporisation de matières sous vide |
JPS58185030A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-10-28 | Hitachi Condenser Co Ltd | 磁気記録媒体の製造装置 |
-
1990
- 1990-11-28 EP EP19900122752 patent/EP0430210B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-11-28 DE DE1990607433 patent/DE69007433T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0430210A3 (en) | 1991-09-04 |
DE69007433T2 (de) | 1994-11-24 |
EP0430210B1 (de) | 1994-03-16 |
EP0430210A2 (de) | 1991-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69827310D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Dünnschichten mittels reaktiver Kathodenzerstäubung | |
AT357499B (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von schraubverbindungen | |
DE68928851D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Informationssträgern | |
DE59006888D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Papierstapeln. | |
DE2910432A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von zementplatten | |
DE69022664T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung von funktionellen aufgedampften Filmen grosser Oberfläche mittels Mikrowellen-Plasma CVD. | |
DE3751736D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von beschichteten Muttern | |
AT372975B (de) | Verfahren zum herstellen von monacolin k | |
AT365396B (de) | Verfahren und vorrichtung zum maschinellen herstellen von saat- oder pflanzrillen | |
DE69001860T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von metallischen Faltenbalgen. | |
DE69004297D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Zigaretten. | |
DE3667353D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestrahlung von bestrahlungsgut mittels ionisierender strahlung. | |
DE59007137D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von (Zigaretten-) Packungen. | |
DE59003188D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von (Zigaretten-) Packungen. | |
DE69131297D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum herstellen von glasfasern | |
DE69110396T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von grünen Reifen. | |
DE69004040T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von irdenen Blöcken. | |
DE3771777D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von hohlbloecken. | |
DE69007433T2 (de) | Vakuum-Aufdampfungsgerät und Verfahren zum Herstellen von Folie mittels Vakuum-Aufdampfung. | |
DE69026473T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Folien | |
DE69122714T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Vulkanisierbälgen | |
ATA554578A (de) | Original eines informationstraegers und verfahren zum herstellen des orginals | |
DE59006653D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Flüssigkristallzellen. | |
ATA1590A (de) | Verfahren zum herstellen von armierten stuetzpfosten | |
DE3888975D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von verstärkter lage. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |