DE68919081D1 - Einkristallscheibe mit darauf geformter supraleitender keramischer Dünnschicht. - Google Patents
Einkristallscheibe mit darauf geformter supraleitender keramischer Dünnschicht.Info
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Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1187153A JPH0350195A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 半導体素子製造用超電導セラミック薄膜形成単結晶ウエハー材 |
| EP19890114897 EP0412199B1 (de) | 1988-06-03 | 1989-08-11 | Einkristallscheibe mit darauf geformter supraleitender keramischer Dünnschicht |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE68919081D1 true DE68919081D1 (de) | 1994-12-01 |
| DE68919081T2 DE68919081T2 (de) | 1995-04-06 |
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ID=26120464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE68919081T Expired - Fee Related DE68919081T2 (de) | 1989-07-19 | 1989-08-11 | Einkristallscheibe mit darauf geformter supraleitender keramischer Dünnschicht. |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| DE (1) | DE68919081T2 (de) |
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1989
- 1989-08-11 DE DE68919081T patent/DE68919081T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68919081T2 (de) | 1995-04-06 |
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