DE6803694U

DE6803694U - BODY RADIATOR, IN PARTICULAR ELECTRON MICROSCOPE, WITH A TELEVISION RECORDING DEVICE.

Info

Publication number: DE6803694U
Application number: DE19686803694
Authority: DE
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1968-04-08
Filing date: 1968-10-21
Publication date: 1972-04-27
Also published as: DE1804892A1; DE1804892B2

Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCEiIFT München, den 21. OKf. 1968SIEMENS AKTIENGESELLSCEiIFT Munich, 21st OKf. 1968

PA 68/3825PA 68/3825

Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer FernsehaufnahmeeinrichtungCorpuscular beam device, especially electron microscope, with a television recording device

In der Technik der Korpuskularstrahlgeräte ist man bestrebt, dac korpuskularstrahloptische Bild mittels einer Pernsehaufnahnoeinrichtung an von dem Gerät entfernte Stellen übertragen zu können. Dies hat nicht nur Bedeutung hinsichtlich einer Vergrößerung der Zahl der Beobachter des Bildes, sondern beispielsweise bei den wesentlichen Vertretern der Korpuskularstrahlgeräte, nämlich den Elektronenmikroskopen, auch im Hinblick auf die sofortige Beobachtung der Auswirkung von Änderungen im Kreise der den Strahl beeinflussenden Mittel, beispielsv.'cise von Änderungen der Fokussierung der ObjektivlinseIn the technique of corpuscular beam devices, efforts are made to obtain the corpuscular beam optical image by means of a Pernsehaufnahnoeinrichtung to be able to transmit to locations remote from the device. This doesn't just matter with regard to one Increase the number of observers of the picture, but for example with the main representatives of the corpuscular beam devices, namely the electron microscope, also with a view to the immediate observation of the effects of changes in the circle of the means influencing the jet, for example cise changes in the focus of the objective lens

Hu/Sdz -2-Hu / Sdz -2-

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oder der Einstellung von Stigrcatoren. Dies wird häufig erst durch die Bildverstärkung in der Fernseheinrichtung möglich.or the hiring of stigrcators. This is often only the case possible through the image intensification in the television equipment.

Eine: Fernsehübertragung hat jedoch auch bei anderen Korpuskularstrahlgeräten, beispielsweise lonenmikroskoper., Bougangseinrichtungen und auch bei Slektroner.strahl-OsjillographenOne: However, television transmission also has other corpuscular beam devices, for example ion microscopes., Bougang facilities and also with Slektroner.strahl-Osjillographen

Aus dieses Grunde ist es beispielsweise durch die holländische Patentanmeldung 6704611 bereits bekannt geworden, ein Blcktrononnikroskop mit einem aJurchsichtleuchtschirra auf ei:.er einen vakuundichten Abschluß des Gerätes bildenden Filer platte :-;it einer Fernsehaufnahir.eeinrichtung zu kombinieren, :;ie i.:it eine::: eine bildwandelnde Schicht tragenden Struhlcintrirt./bc-roich eine·:; VakuurigehliunoG auf der Piberplatto aufliegt ■ Diccc- biidv.-andolnde Schicht ist im Falle einer Via..ccnröhre ei:;c Schicht,For this reason it is, for example, by the Dutch Patent application 6704611 has already become known, a block tronon microscope with an aJ see-through lampshade on one: .er one Vacuum-tight closure of the device forming the filer plate: -; it a television recording device to combine:; ie i.:it a ::: Struhlcintrirt./bc-roich one·:; Vacuum seal rests on the Piberplatto ■ Dicccbiidv.-andolnde Layer is in the case of a Via..ccethra ei:; c layer,

V-'j, die Ui'.ter Sectrahlung ait sichtbarer c-r?.· l.::.g eloktriuch leitend wird, wahrend \z\ Paiie beicyiel:;· -i j jc einer Orth.ikcnrühre cdor eines Bildverstärkers il~ lil'.V-^-a:'.d.-lndc Schicht eine Potokathoae darstellt.- V-'j, the Ui'.ter Sectradiation ait more visible cr?. L.::.g eloctriuch is conductive, while \ z \ Paiie beicyiel:; .V- ^- a: '. D.-lndc layer represents a Potokathoae.-

lurch die Verwendung einer Piberpla^te ·^τ-.-::.:·:. i-lldfchlor bei der 'übertragung des vcis Leuchtsc*::ir::· u:.".it*:ie-r"; e-n 3ildeo ausgeschlossen, wie sie beispielsweise- i:e-i Ve-i" ^:.a.;:.j oi:.er normalen Glasplatte auftreten würden.By using a Piber plate · ^τ -.- ::.: · :. i-lldfchlor in the 'transmission of the vcis Leuchtsc * :: ir :: · u:. ". it *: ie-r"; en 3ildeo excluded, as they would occur for example- i: ei Ve-i "^ :. a.;:. j oi:. of a normal glass plate.

Der Erfindung liegt die Aufgabe r-igrundc. ^voi oi:.o:: derartigen "lorpuskularstrahlgerät Möglichkeiten zur Kalrerung der Pern- £5 sehaufnahtneeinrichtung an deri eigen-liehen Gerät ansugece::. die den hierbei auftretenden Anforderu::gen Rechnung trage.;. Pur die Güte der Übertragung der sichtbar?:: Strahlung von der Fiberplatte auf den Eingang der Fernsehaufnähmeeinrichtung entscheidend ist die Güte des Kontaktes swischtn der Strahl-The object of the invention is r-igrundc. ^v oi oi: .o :: such "lorpuscular beam device" possibilities for calibrating the Pern- £ 5 sehaufnahtneeinrichtung on the own-borrowed device ansugece ::. which take into account the requirements that arise here.;. Pur the quality of the transmission of the visible ? :: Radiation from the fiber plate to the input of the television recording device the quality of the contact between the beam

ΰίη':ιΊ': tsboroich der Fernsehaufnahmeeinrichtung einerseits und d'..ί· Außenfläche der Fiberplatto andererseits. Es ist :.-i;:]iich erforderlich, daß sich der Strahleintrittsbereich ;::■.*;or gleichmäßigem Druck eben auf die Außenfläche der Fiberv'latö-^ auflegt, wobei es ferner nötig ist, zwischen den beiden einander zugekehrten Oberflächen eine dünne Schicht aus Immer-.·■ ions öl vorzuseher.. Weiterhin ist zu berücksichtigen, daß zumindest einzelne Teile der Feinsehaufnahmecinrichtung auf hohen elektrischen Potentialen gegenüber den eigentlichen 3".or:jusi:ularütrahlgerUt und der Umgebung liegen. Aus diesem ü-iundu nüssen isolationctechnischc Maßnahmen getroffen werden, die die Befestigung der Fernsehaufnahmeeinrichtung an dorn ci:;en';lic:;^n Gerät weiter erschweren.ΰίη ': ιΊ': tsboroich of the television recording device on the one hand and d '.. ί · outer surface of the fiber plate on the other hand. It is : .- i;:] iich required that the beam entrance area ; :: ■. *; Or even pressure on the outer surface of the fiberv'latö- ^ and it is also necessary to place a thin layer of Immer-. · ■. between the two mutually facing surfaces ions oil provided .. Furthermore, it must be taken into account that at least individual parts of the fine view recording device high electrical potentials compared to the actual 3 ".or: jusi: ularütstrahlgerUt and the environment. For this ü-iundu nuts isolation-technical measures are taken, the attachment of the television recording device to thorn ci:; en '; lic:; ^ n further complicate the device.

hin die::·. An. for α .-ι .■:..■: :·η erfüllendes und in einfacher Weise an die verschieden·..-:. An./endungsfalle anpaßbares Korpuskular-L-tr:-::lg'jrät ist eifindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die I-'jinsehaufnah-ieeinric'iitung mittels eines Gehäuses mit ihrem Strahleintrittsbereich gegen die Fiberplatte gedruckt i.;t, das ein Auflageflächen für auf die Fernsehaufnahmeeiniichtung in Richtung auf die Fiberplatte wirkende Druckfedern aufweisendes topfartiges Teil enthält, das unter Verwendung löcbarer Verbindungsmittel an dem eigeiitlichen Korpuskularztraiilgorät, die offene Seite diesem zugekehrt, in der Uragebu:-;g der Fiber-platte festgelegt ist.to the :: ·. At. for α.-ι. ■: .. ■:: · η fulfilling and in a simple way to the different · ..- :. Adaptable corpuscular L-tr for use case: - :: lg'jrät is according to the invention characterized in that the I-jinsehaufnah-ieeinric'iitung is printed with its beam entry area against the fiber plate by means of a housing, which has a support surface for acting on the television receiving device in the direction of the fiber plate having pressure springs having cup-like part, which is fixed using detachable connecting means on the specific Korpuskularztraiilgorät, the open side facing this, in the Uragebu: -; g of the fiber plate.

Dac erfindungsgemäße Gerät ist außer im Hinblick auf die !■'!-füllung der eingangs genannten Bedingungen auch im Hinblick auf die Erleichterung der Montage ausgebildet, da das topfartige Gehäuseteil unter Verwendung lösbarer Verbindungsmittel an den eigentlichen Koipuskularstrahlgerät festgelegt ist. Demgemäß ist es nicht nur möglich, das Korpuskularstrahlgerät in e_nfacher V'eise zusammenzubauen, sondern es besteht auchThe device according to the invention is except with regard to the ! ■ '! - Filling of the conditions mentioned at the beginning also with regard to designed to facilitate assembly, since the pot-like housing part using detachable connecting means is fixed to the actual Koipuskularstrahlgerät. Accordingly, it is not only possible to assemble the particle beam apparatus in a simple manner, but it also exists

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680369^27.4.72680369 ^ 27.4.72

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clic Möglichkeit, im Betrieb beispielsweise die Fernsehaufnahineröhrü auszuwechseln oder aber die Fernsohaufnahmeeinricktung abzuändern. Eine derartige Abänderung kann beispielsweise d;u-in bestehen, daß die Einrichtung ursprünglich ledig-¹J lieh eine Fernsehaufnahmeröhre enthielt und dieser Röhre nun ein bekannter elektronischer Bildverstärker vorgeschaltet wird. Dabei ist es zweckmäßig, daß auch die aufeinanderliegender Flachen von Bildverstärker und Fernsehaufnahmeröhre mit Fiberplatten ausgerüstet sind. Das Entfernen der Fernsehaufnähmeeinrichtung kann auch dasu dienen, Aufnahmen nach dem Verfahren der Kontaktfotografie herausteilen.clic possibility of changing the television recording tube during operation, for example, or changing the television recording system. Such modification may, for example d; u-in consist in that the device originally QUIRES ONLY ¹ J lent contained a television pick-up tube and this tube is now a well-known electronic image amplifier is connected upstream. It is advisable that the surfaces of the image intensifier and television pick-up tube lying on top of one another are also equipped with fiber plates. The removal of the television recording device can also serve to split out recordings using the contact photography method.

Die bevorzugte A_usführungsform der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß das Gehäuse ferner ein rohrartiges Teil enthalt, an uem das topfartige Teil koaxial durch die lösbaren Verbindungsmittel befestigt ist und das seinerseits im Bereich seines dem topfartigen Teil abgekehrten Endes an dem eigentlichen Korpuskularstrahlgerät festgelegt ist.The preferred A _u sführungsform the invention is characterized in that the housing contains further a tubular member to uem the pot-like part is coaxially secured by the releasable connecting means and which is in turn attached to the actual particle beam in the region of its side remote from the pot-like part end .

Dabei kann es zweckmäßig sein, zwecke Abbaus der Spannung innerhalb der Fernsehaufnahmeeinrichtung dieses rohrartige Teil, gegebenenfalls auch das topfartige Gehäuseteil, aus einem elektrischen Isoliermaterial herzustellen.It can be useful to reduce the tension within the television recording device, this tube-like Part, possibly also the pot-like housing part, to be produced from an electrical insulating material.

Dieses rohrartige Teil erleichtert ferner die Festlegung des topfartigen Teiles des Gehäuses am eigentlichen Gerät. Auch das topfartige Teil des Gehäuses wird man häufig aus zwei Teilen zusammensetzen, von denen das eine ein Bodenteil und das andere ein zylindrisches Teil ist; gegebenenfalls können auch mehrere zylindrische Teile Verwendung finden. Diese Zusammensetzung des topfartigen Teiles, das bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung an das rohrartige Teil lösbar angesetzt ist, bietet den Vorteil einer einfachen AnpassungThis tubular part also makes it easier to fix the pot-like part of the housing on the actual device. Even the pot-like part of the housing is often composed of two parts, one of which is a bottom part and the other is a cylindrical part; if necessary, several cylindrical parts can also be used. This composition of the pot-like part, which in the preferred embodiment of the invention is detachable from the tubular part is set, has the advantage of simple adaptation

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ΡΛ 9/ 71'3/1U - 5 - AA ΡΛ 9 / 71'3 / 1U - 5 - AA

an die verschiedenen Ausbaustufen der Fernsehaufnahmeoin-richtung. Durch Einsetzen derartiger zylindrischer Teile ist es nämlich möglich, dasselbe Gehäuse so zu verlängern, daß -js auch zur Aufnahme einer Fernsehaufnahmeeinrichtung mit einem oder mehreren Bildverstärkern geeignet ist.to the various expansion stages of the television recording device. By inserting such cylindrical parts it is possible to lengthen the same housing so that -js is also suitable for receiving a television recording device with one or more image intensifiers.

Als lösbare Verbindungsmittel können an sich bekannte Schraubverbindungen, die leicht aufhebbar sind, Verwendung finden, v/enn man entsprechende flanschartige Angriffsstellen an dem topfart igen Gehäuseteil vorsieht. Besonders zweckmäßig sind aber Spannverbindungen, die in Rillen oder Vorsprüngen an dem topfart igen Teil und an dem eigentlichen Korpuskularstrahlgerät bzw. dem rohrartigen Gehäuseteil, das fest mit den eigentlichen Gerät verbunden ist, angreifen. Besteht daß topfartige Gehäuseteil aus einem Bodenteil und zylindri-Known screw connections, which can be easily canceled, are used if one has appropriate flange-like attack points on the provides pot-like housing part. Are particularly useful but clamping connections in grooves or projections on the pot-like part and on the actual corpuscular beam device or attack the tubular housing part that is firmly connected to the actual device. Consists that pot-like housing part consists of a bottom part and cylindrical

1'3 Gehen Teilen, so ist es zweckmäßig, die zylindrischen Teile von den Spannverschlüssen übergreifen su lassen, so daß alle Gehiiuscteilc durch diese Spannverschlüsse koaxial aufeinandersitzend zusammengehalten werden.1'3 go parts, so it is convenient to use the cylindrical parts Let the latches overlap so that all Gehiiuscteilc sit coaxially one on top of the other through these latches be held together.

Diese losbaren Verbindungsmittel müssen so dimensioniert und ausgebildet sein, daß sie auch den Druck der Druckfedern und das Gewicht der Fernsehaufnahmeeinrichtung, die sich über die Druckfedern auf das topfartige Gehäuseteil abstützt, aufneh- I men können.These detachable lanyards must be dimensioned and be designed that they also the pressure of the compression springs and the weight of the television recording device, which is on the Compression springs supported on the pot-like housing part, can receive.

Diese und weitere Merkmale der Erfindung, insbesondere solche, die sich auf den Hochspannungsabbau beziehen, worden im folgenden anhand der figürlich dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert. Dabei zeigen die Figuren 1 und 2 jeweils zwei Ausführungsbeispiele im Schnitt, während Figur 4 eine Variante der Ausführungsform nach Figur 5 darstellt.These and other features of the invention, particularly those relating to high voltage breakdown, have been discussed hereinafter explained on the basis of the exemplary embodiments shown in the figures. Figures 1 and 2 each show two Exemplary embodiments in section, while FIG. 4 shows a variant of the embodiment according to FIG.

i_n allen Figuren ist angenommen, daß das Korpuskularstrahl-i _n all the figures is assumed that the corpuscular beam

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PA 9/ 7 1 j/ 1 O -6 -PA 9/7 1 j / 1 O -6 -

geriit ci:i Elektronenmikroskop mit eine") Durchs^-: oht 1 <..-.» oh t-Gchiin. einer Fiberplatte und einer gegen diese Fiber platte ieäoxnd gepreßten Fernsehaufnahmeeinrichtung ist. Ve:, der:: eigentlichen Gerät ist _tieweiis nur der Bereich der Piattenkammer ii.i i'r.dbilcitubus des Mikroskops wiedergegeben, da der 'a;xbau der Mikroskope an sich bekannt lot und iür die Erfindung keine Bedeutung hat.geriit ci: i electron microscope with a ") Durchs ^-: oht 1 <..-.» oh t-Gchiin. a fiber plate and a plate pressed against the fiber ieäoxnd TV equipment is. :, Ve of the actual device is :: _t reproduced ieweiis only the region of Piattenkammer ii.i i'r.dbilcitubus of the microscope, as the 'a The construction of microscopes is known per se and has no significance for the invention.

In allen Figuren ist der Vakiuu:<rar-:i 1 des Elektronenmikroskops a..i AuftrefxOrt des Elektronenstrahls 2 auf das Vakuumgehäuscvakuundich.t durch, die Piberplatte -v ab£esch.lossen» Gegen die Außenfläche der Fiberylatte v/ird die 5tranleir.trit^sflache 5 der Pernsehauinahrneeinrichtung fedei:xl in noch, zn beschreibender V.'eisc gedrückt.In all figures the Vakiuu: <rar-: i 1 of the electron microscope a..i the location of the electron beam 2 hits the vacuum housing vacuum, the Piberplatte -v closed off »Against the outer surface of the Fiberylatte v / is the 5tranleir Step 5 of the television viewing device fedei: xl pressed into a descriptive V.'eisc.

Eei den in Figur 1 dargestellter! Ausfühxungsbeispielen ist "'''-■ die Fornschaufnahneeinrichtung aub eine:ri Bildverstärker 6 und einer an dessen ausgangsseitige I'iberplatte 7 mittels der vreiteren Piberflatte S angekoppelten FernsehauinahraeröhrG zusiumnengGsctzt. Das Zusatnraensetaen erfolgt mittels der beiden Spannringe 10 und 11 unter Verwendung von Schrauben 12. Der weitere Aufbau der Fernsehaufnahaeeinrichtung interessiert ii:i Rahmen der Erfindung nicht; en sei lediglich bemerkt, daß über den Kais des Vakuumgefäßes der Fernsehaufnahr.nerohre 9 ublichorv;eiso Ablenkspulen 13 geschoben sind.Eei the one shown in Figure 1! Embodiments are """- ■ the front view device also a: ri image intensifier 6 and a television viewing tube coupled to its output side by means of the wider viewing panel S by means of the wider viewing tube S. The additional setting is made by means of the two clamping rings 10 and 11 using screws 12. The further structure of the television recording device is not of interest within the scope of the invention; it should only be noted that deflection coils 13 are usually pushed over the quays of the vacuum vessel of the television recording tubes 9.

Erfindungsgemäß ist die beschriebene Fernsehauinahineeinrichtung in einem allgemein mit 14 bezeichneten Gehäuse angeordnet uiiu mittels Druckfedern mit der durch die weitere Fiberplatte 15 gebildeten Strahleintrittsfläche 5 der Anordnung gegen die Außenfläche der Fiberplatte 4 des eigentlichen Elektronenmikroskops federnd gedruckt. Das Gehäuse 14 besteht Z-O in diesen Ausfuhrungsbeispiel aus drei Einzelteilen, von denen das Bodenteil 16 zusammen, mit dem zvlindrisehen Teil 17 -^uAccording to the invention, the television installation device described is arranged in a housing generally designated 14 uiiu resiliently pressed against the outer surface of the fiber plate 4 of the actual electron microscope by means of compression springs with the beam entry surface 5 of the arrangement formed by the further fiber plate 15. The housing 14 consists ZO in this exemplary embodiment of three individual parts, of which the bottom part 16 together with the zvlindrisehen part 17 - ^ u

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einem topfartigen Gehäuseteil mittels Schrauben 18 zusammengesetzt ist, während das rohrartige Teil 19 bzw. 26 in diesen Ausführungsbeispielen mittels Schrauben 20 an dem eigentlichen Elektronenmikroskop festgelegt ist. In dera oberhalb dercomposed of a pot-like housing part by means of screws 18 is, while the tubular part 19 or 26 in these exemplary embodiments by means of screws 20 on the actual Electron microscope is set. In dera above the

'}■ Achse dargestellten Ausführungsbeispiel nach Figur 1 besteht das rohrartige Gehäuseteil 19 aus einem Isoliermaterial, z.B. Gießharz, um den Spannungsabbau zwischen auf Hochspannung befindlichen Teilen des Bildverstärkers 6 einerseits und der Umgebung des Gerätes sowie dem eigentlichen Gerät selber andererseits sicherzustellen. Zur Verhinderung elektrostatischer Aufladungen ist die Reflexschicht des Leuchtschirmes 21, der auf der Fiberplatte 4 angeordnet ist, über die Federanordnung 22 mit dem Metallgehäuse des Mikroskops und damit mit Ilasse verbunden. Ferner sind hohlkehlenartig gestaltete '} ■ axis embodiment illustrated by Figure 1, the tubular housing part 19 of an insulating material, for example cast resin to the stress relief between is at high voltage portions of the image intensifier 6 on the one hand and the area of the device and the actual device to ensure itself the other hand. To prevent electrostatic charges, the reflective layer of the luminescent screen 21, which is arranged on the fiber plate 4, is connected to the metal housing of the microscope and thus to Ilasse via the spring arrangement 22. Furthermore, they are designed in the manner of coves

Z ;-iot:iliisierungen 22a zum Potentialabbau auf gegenüberliegende Flachen des Glasringes 23 aufgebracht. Z ; -iot: iliizations 22a applied to opposing surfaces of the glass ring 23 to reduce potential.

IL:. Fib'_rplatte 4 ist in dem im oberen Teil der Figur 1 dar-,.·;■;■ full tun Ausführungsbeispiel in den Glasring 23 eingeschmolzen, der unter Zwischenlage von Dichtungen mittels der Schrau-•0 bon 20, d.h. zusammen mit dem rohrartigen Gehäuseteil 19, vakuumdicht an dem eigentlichen Elektronenmikroskop befestigt i.^;t. E.-i-iit bildet die Fiberplattc 4 also den im Bereich des .'.ui tr ■._■:." .Jens des Elektronenstrahls 2 liegenden Teil des Vakuum- C'jhi'-.v.-ij;·. ':', dos Mikroskops. IL :. Fib'_rplatte 4 is in the embodiment shown in the upper part of FIG Housing part 19, attached in a vacuum-tight manner to the actual electron microscope i. ^; t. E.-i-iit, the fiber plate 4 thus forms that part of the vacuum C'jhi '-. V.-ij; ·. ':', dos microscope.

■__ r:otrac:i^:;ot man nun die untcre.'-Iülfte der Figur 1, so ist die -.-'ib■...·:. pi- t tu .·; nicht in einem angeschmolzenen Glasring, sonuji:. i:i oin-jm herumgegossenen Gießharzring 24 vakuumdicht gehalt·:·:;. Dieser Ring 24, der ebenso wie der Glasring 23 zur vakuumaichter. Festlegung der Fiberplatte 4 dient, trägt den ■ __ r: otrac: ^i:; now it ot the untcre .'- Iülfte the figure 1, the -.- 'ib ■ is ... · :. pit tu. ·; not in a melted glass ring, sonuji :. i: i oin-jm cast resin ring 24 vacuum-tight content ·: ·:;. This ring 24, which, like the glass ring 23, is used for vacuum sealing. Fixing the fiber plate 4 is used, carries the

O kl..., ;:.ai ·:igen Ansatz 25, der in diesem Ausführungsbeispiel /υ-.· V'.-jri;.-ingerung des elektrischen Kriechweges gerillt ausge-^η' ^:'" ^;'-■'·. In diesem AusfUVirungsbeispiel kann demgemäß dasO kl ...,;:. Ai ·: igen approach 25, which in this exemplary embodiment /υ-.· V '.- jri; .- reduction of the electrical leakage path grooved out- ^η ' ^: '"^;' - ■ ' In this exemplary embodiment, the

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rohrartige Gehäuseteil 26 ebenso v/ie das topfartige Gehäuseteil aus Metall bestehen. Mit 25a sind wiederum leitende Beläge zur Potentialsteuerung bezeichnet.tubular housing part 26 also v / ie the pot-like housing part made of metal. Conductive coatings for potential control are in turn denoted by 25a.

Im übrigen sind die in Figur 1 dargestellten beiden Ausführungsbeispiele weitgehend identisch. Die federnde Anpressung der Strahleintrittsfläche 5 kann daher für beide Ausführungsbeispicle gemeinsam beschrieben werden.Otherwise, the two exemplary embodiments shown in FIG. 1 are largely identical. The resilient contact pressure of the jet entry surface 5 can therefore be used for both exemplary embodiments are described together.

Das topfartige Gehäuseteil 16,17 weist im Zuge seiner Seitenwand die bundartige Durchmesserverringerung 27 auf» Dadurch wird eine Auflage für die als Spiralfeder ausgebildete starke Druckfeder 28 geschaffen. Diese "bundartige Durchraesserverringerung wird im Falle der Figur 1 durch die obere Abochlußflüchc bzw. den Rand des topfartigen Gehäuseteiles 16,17 dargestellt, indem das rohrartigo Gehäuseteil 19 in de:.! cl:rc:i Teil der Figur 1 die Aufnahme 29 für die Druckfeder aufweist, während bei dem im unteren Teil der Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel das rohrartige Gehäuseteil 26 durchgehend einen größeren Durchmesser als das topfartige Gehäuseteil besitzt.The pot-like housing part 16, 17 has in the course of its side wall the collar-like diameter reduction 27 to »This creates a support for the strong Compression spring 28 created. This "collar-like diameter reduction is in the case of Figure 1 through the upper Abochlußflüchc or the edge of the pot-like housing part 16,17 shown by the tubular housing part 19 in de:.! cl: rc: i part of Figure 1, the receptacle 29 for the compression spring has, while in the lower part of Figure 1 illustrated embodiment, the tubular housing part 26 has a larger diameter throughout than the pot-like Has housing part.

Das in der Figur obere Ende der Druckfeder liegt auf demThe upper end of the compression spring in the figure lies on the

flanschartigen Isolierteil 30 auf, das seinerseits die Federüber die gummiartige Umhüllung 31 des Bildverstärkersflange-like insulating part 30, which in turn, the spring over the rubbery envelope 31 of the image intensifier

1 - τ ·;1 - τ ·;

iax τ iax τ

auf diesen überträft.on this surpasses.

O 'O '

Die Verwendung einer die Fernsehaufnahmeeinrichtung konzentrisch umgebenden Spiralfeder hat den Vorteil, daß die Federkräfte rotationssymmetrisch zur Achse verlaufen, so daß alle Bereiche der Strahleintrittsfläche 5 gleichmäßig gegen die Außenfläche der Fiberplatte 4 gedrückt werden.The use of a concentric television recording device surrounding spiral spring has the advantage that the spring forces are rotationally symmetrical to the axis, so that all Areas of the beam entry surface 5 are pressed evenly against the outer surface of the fiber plate 4.

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ASAS

Sas Bodenteil 16 des Gehäuses besitzt ferner Auflageflächen für rotationssymmetrisch angeordnete weitere Druckfedern 32, die lediglich daau dienen, die Ablenkspulenanoränung 15 su haiton. Denselben Zweck verfolgen die seitlich angeordneten I-^:edein 33 und 54. Im Hinblick auf diese Aufgabe sind die !•Odern 32 erheblich schv/ächer als die Jeder 28 ausgebildet, denn sie sollen lediglich die auf den Hals des Yakuurcgcfäßes der Fernsehaufnahmeröhre 9 geschobene Spulenanordnung 13 abstützen. The bottom part 16 of the housing also has bearing surfaces for further compression springs 32 which are arranged rotationally symmetrically and which only serve to prevent the deflection coil arrangement 15. The laterally arranged I- ^: edein 33 and 54 serve the same purpose. With a view to this task, the! • Odern 32 are made considerably slimmer than the Each 28, because they are only intended to push the coil arrangement onto the neck of the Yakuurcgcgcfäßes of the television tube 9 13 support.

Ss kann aus Isolationsgründen zweckmäßig sein, auch einen Teil der Fernsehaufnahmeröhre 9 mit einem gumciiartigen Stoff zu umhüllen, wie dies bei 55 angedeutet ist.Ss can be useful for insulation reasons, including one Part of the television pick-up tube 9 with a rubber-like material to encase, as indicated at 55.

In den beiden in Figur 2 dargestellten Ausführungsboispielen ist mit 40 die Fernsehaufnahraerchre und mit 41 ihre Ablenk-',5 cpulcnc.nordnung bezeichnet. In diesen Ausführungsbeispiel bestellt die Fernsehaufnahmeeinrichtung also lediglich aus der Rühre, Han kann auch hier das Gehäuse nach Figur 1 verwenden, wenn man den dort mit 17 bezeichneten zylindrischen Gehäuseteil entfernt. Demgemäß besteht das Gehäuse in denIn the two exemplary embodiments shown in FIG cpulcnc.order called. In this embodiment so orders the television recording device only from the mixer, Han can also use the housing according to Figure 1 here, if the cylindrical housing part designated there by 17 is removed. Accordingly, the housing consists in the

2Q beiden Ausführungsformen nach Figur 2 aus den topfartigen ■I'cil 42 und einem rohrartigen Teil, das unmittelbar wiederum mittels Schrauben 45 an dem Elektronenmikroskop befestigt ist, Dieses rohrartige Teil ist in dem in der rechten Hälfte der Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel aus Isoliermaterial hergestellt und trägt das 3eaugsseichen 44. während das rohrartige Teil 45 im linken Bereich der Figur 2 aus Metall gefertigt ist. Man erkennt ferner, daß, analog den Ausführungsbeispielen nach Figur 1, das rohrartige Gehäuseteil 44 die Druckfeder 46 mittels einer Aufnahme 47 aufnimmt, so daß sie2Q two embodiments according to Figure 2 from the pot-like ■ I'cil 42 and a tubular part, which in turn immediately is attached to the electron microscope by means of screws 45. This tubular part is in the one in the right half of the Figure 2 shown embodiment made of insulating material and carries the 3eaugsseichen 44th while the tubular Part 45 in the left area of Figure 2 is made of metal. It can also be seen that, analogously to the embodiments of Figure 1, the tubular housing part 44 the Compression spring 46 receives by means of a receptacle 47, so that they

3Q sich auf die Auflagefläche 48 am oberen Rand des topfartigen Teiles 42 abstützen kann, während das rohrartige Gehäuse-3Q on the support surface 48 at the upper edge of the pot-like Part 42 can support, while the tubular housing

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I³A 9/715/10 - 10 -I ³ A 9/715/10 - 10 -

teil 4l> bei äcui in der linken. Hälfte der Figur 2 curves teilten Ausfuhr u-ngsbcispicl eur Erzielung der Auflagefläche für die Feder durchgehend einen größeren !Durchmesser als das top: artige !eil 42 aufv.-c-ist. 45a ist eins Hubbegrenzung für diepart 4l> at äcui in the left. Half of the figure 2 curves shared Export u-ngsbcispicl eur achieving the support surface for the spring consistently has a larger diameter than the top: good! eil 42 aufv.-c-ist. 45a is a stroke limiter for the

Vfahrend die Halterang für die Fiberplntte 4 und auch die Anordnung der zusätzlichen, schwächeren jedem :ur Stützung de: Ablenhspulen 41 dieselbe ist v;ie in den in Figur '! dargectell ten Aurführungsbeispielen und demgemäß nicht mohr beschriebe:Vfahrend the holding ring for the Fiberplntte 4 and also the arrangement the additional, weaker each: ur support de: Detection coils 41 is the same as in the in Figure '! dargectell th execution examples and accordingly not described in more detail:

¹T'" O '"¹I^Λ "i "'I T i"i~TI ^>'>γΪΓ¹'''' "-¹ "ΐ ~!:"'"^> 1 ^Pf¹I¹¹T''" Γ*""·'³· π ·~- -^ T<.-;^~ - r-.~-- -. ' .'.Cl ¹ T '" O '" ¹ I ^Λ "i"'IT i "i ~ TI ^> '> γΪΓ ¹ ''''" - ¹ "ΐ ~ !:"'"^> 1 ^ Pf ¹ I ¹¹ T''"Γ*""·' ³ · π · ~ - - ^ T <.-; ^ ~ - r-. ~ - -. '.'. Cl

dus den Isolierter! 50 in Figur 1 entspricht, sich nicht unyou the isolated one! 50 in Figure 1 corresponds to not un

mittelbar auf die gur^iiartige Umhüllung 50 -^~r R'Jhre 40 aui-— C:^"- . ecnciery. cia^ ccvZ"..*iscrien em e^ir ^o!/._ i. _r .o.:^ ci — unenceoindirectly on the belt-like covering 50 - ^ ~ r age 40 au-— C: ^ "-. Ecnciery. Cia ^ ccvZ" .. * iscrien em e ^ ir ^ o! /._ i. _r .o.: ^ ci - unenceo

• Li::rcnu cci cien oisner' bo.^ch.rierer.r" .■.uri. ■ ι..'"...'.cr'crr^sn der Hrfiiid'.'.n-τ die ?i"'~erOlatte -'- pitt^ls der 'ei i."·-.. ^sfesti.'"^u:":~^• Li :: rcnu cci cien oisner 'bo. ^ Ch.rierer.r ". ■ .uri. ■ ι ..'" ... '. cr'crr ^ sn the Hrfiiid '.'. n-τ the? i "'~ erOlatte -'- pitt ^ ls the' ei i." · - .. ^ sfesti. '"^ u:": ~ ^

^ COyio...^> 2^ .:»^ COyio ... ^> 2 ^.: »

iiienc-n. sind m derj Ausiührung^beis: icl nach I-'ig.;r ; zusätzliche 3ef est igungsi:;ittel CC hierf^:.-.r vcrh.: r. ion .· '.'."■;-1 - :i hi., besteht ein Unterschied bezüglich der ,'.Umbildung d-^s die ?ibcrplatte 4 umgebenden Isolierteiles -c'. . "'."ährend aie e::tsprechen— den xoile in den Ausiiihrungsier:::3n r.:.ch den ligurm '. .:nd 2 ringartig ausgebildet sind, setct sich das Isoliertjil c' iniiienc-n. are in the execution up to: icl after I-'ig.;r; additional 3f est igungsi:; ittel CC heref ^: .-. r vcrh .: r. ion. · '.'. "■; -1 - : i hi., there is a difference with regard to the, '. transformation of the insulating part surrounding the cover plate 4 -c' .."'."while aie e: : tsprechen- the xoile the ligurm in the Ausiiihrungsier ::: 3n r.:.ch ':.. nd are formed like a ring 2, the setct Isoliertjil c' in

s zv/eis zv / ei

de~ Ausführungsbeispiel nach Figur 5 i:::· v/esentliehen au -¹CxIe:' susa.^**ojen "¹On ds^'c" d⁰**** *~y~ i^^Q^." sehe Ie-.- c2 i"~ 3erc"-C.i seines in der Figur re:hten Endes d.u Fiberplatte ·- vakuur,-'0 dicht u::-'g_bt ur.d der andere 2eil 65 den :u"! SpannungsabbauThe embodiment according to FIG. 5 i ::: · v / esentliehen au - ¹ CxIe: 'susa. ^ ** ojen " ¹ On ds ^'c" d ⁰ **** * ~ y ~ i ^^ Q ^. "see Ie -.- c2 i" ~ 3erc "-Ci of its right end in the figure you fiberboard · - vacuur, - '0 tight u :: -' g_bt ur.d the other 2eil 65 den: u"! Stress relief

ü -M-ü -M-

.'.uc:! in dc-i:; Ausführ irngsbcispicl nach Figur 3 "besteht die ■•'vi:..-.:o:;:LU.fr.ahi.:ieei:irichtung sowohl aas dom Bildvers Garter 64 :il:: aoo;: dor ;:iit den Bildverstärker i:i bekannter V/eisc über i-'l. :j~ r plai.';. ο:. ϋΠ und 66 gekoppelten Ferrisohaufnahmerohre 67» Α',;:ο:::^ findet wiederum ein drei Teile aufweisendes Gehäuse Vo-r wandung, von denen das rohrartige Teil 63 aus Isolier- :: κ:orial booteht ι:ηά mittels Schraube:¹. 69 an dem eigentlichen illektronerir.'.ikroskop festgelegt ist, während sich das topfartige Teil v/iederun aus dea Bodenteil 70 und dem zylindrisch, cn Teil 71 ^uGanmensetzt. Bei dieser Variante der Erfindung oi:.-Λ die lösbaren Verbindungsmittel durch Spannverschlüsse gebildet, die vor::ugsv;eise rotationssymmetrisch um die Achse de" Gerätes heruri angeordnet sind und mit ihren in i-'igur 3 1 :::.·■;:. :;'J:c:ii'ür::iige:i Lnden in eine Rille 73 ah dem Boden- ::■-! '.'C ;:■:·..·ic mit ihrer, in Figur 3 linken hakenförmigen Enden "■'- 1:. ·:■!;-.■.- Kille Ί5 an dem rohrartigen Teil 68 eingreifen« 11: ;li:·-.: :.verschlüsse künnen, wie ohne weiteres aus Pigur 3 ·..r."· -C:.':I i0'::. in an sich bekannter Weise durch Heben des Hebels .'·.'· ;e^;.'i"Jr.·:.·; v.-erden, Dadurch, daß die Spannverschlüsse das ./li::clrische i'eil 71 des topfartigen Gehäuseteiles übergreii^:.d :.u;sgebildct sind, ergibt sich der Vorteil, daß zusätzliche Vc-rbinuurigselenente awischen den Seilen 70 und 71 überfl'J.::;:lg werden= Es ist auch möglich, die Sparmverschlüsse ■.:.. .roro derart ige L:ylir.drische Seile übergreifen au lassen.. '. uc :! in dc-i :; Execution irngsbcispicl according to Figure 3 "consists of the ■ • 'vi: ..- .: o:;: LU.fr.ahi.:ieei:irichtung both aas dom Bildvers Garter 64: il :: aoo ;: dor;: iit den Image intensifier i: i known V / eisc about i-'l.: J ~ r plai. ';. ο :. ϋΠ and 66 coupled Ferrisohaufnahmerrohre 67 »Α',;: ο ::: ^ again finds a three-part housing In front of the wall, from which the tubular part 63 is made of insulating :: κ: orial booteht ι: ηά by means of screw: ^1. 69 on the actual illegible microscope, while the pot-like part extends from dea Bottom part 70 and the cylindrical, cn part 71 ^ uGanmensetzt. In this variant of the invention oi: .- Λ the releasable connecting means are formed by tension locks, which are arranged rotationally symmetrical about the axis of the device and with their in i-'igur 3 1 :::. · ■;:. :; 'J: c: ii'for :: iige: i land in a groove 73 on the ground- :: ■ -! '.'C;: ■: · .. · ic with their, in Figure 3 left hook-shaped ends "■' - 1:. ·: ■ !; -. ■ .- Kille Ί5 engage the tubular part 68« 11: ; li: · - .::. closures can, as without further ado from Pigur 3 · ..r. "· -C:. ': I i0' ::. in a known manner by lifting the lever. '·.'·; e ^; .'i "Jr Advantage that additional Vc-rbinuurigselenente awischen the ropes 70 and 71 are overfl'J. ::;: lg = It is also possible to let the economy locks overlap such lyrical ropes.

In dor Ausführungsfoin nach Figur 3 ist die Bodenfläche 77 des Bodenteiios 70 der Träger für die Auflageflächen für Druckfedern Vo^::, dio über den Druckring 79 auf die Ablenlcspulen-L;nord:.-.::;g oO v,-irker_td die gesamte !''ernsehaufnahmeeinrichtung i:i Richtung nach oben drücken, so daß das satte Aufliegen der Ctrahieintrittsflächc 81 der Einrichtung auf der Außenfläche dor i-'iboiyliitto 4 sichergestellt ist.G oO v, -irker _t; .- ^:::;: In dor Ausführungsfoin of Figure 3, the bottom surface 77 of the Bodenteiios 70 of the carrier for the bearing surfaces for the compression springs Vo: dio via the pressure ring 79 on the Ablenlcspulen-L nord. d press the entire viewing receptacle device i: i in the upward direction, so that the traction surface 81 of the device rests snugly on the outer surface of the device 4.

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PA 9/7113/10 - 12 -PA 9/7113/10 - 12 -

Zur nachgiebigen seitlichen Führung sind auf der Innenfläche der Seitenwand das· !Teile« 70 ferner Führungen 82 und 83 angeordnet, die unter Zv/ischenlage von elastischem Material und 85 eine seitliche Zentrierung der Einrichtung im Bereich ■j der Ablenkspulen 80 sicherstellen.For flexible lateral guiding of the side wall are the · Share "70 also guides 82 and 83 disposed on the inner surface under Zv / ischenlage of elastic material 85 and a lateral centering of the device in the region of the deflection coils 80 ■ j ensure.

In Figur 3 ist angenommen, daß mindestens zwei Federn 78 in rotationssyinmetrischer Anordnung vorhanden sind; ferner sind Führungen 86 für die Druckplatte 79 vorhanden.In Figure 3 it is assumed that at least two springs 78 in rotationally symmetrical arrangement are available; furthermore are Guides 86 for the pressure plate 79 are available.

Auch in der in Figur 4 angedeuteten Abänderung der Ausführungsfern nach Figur 3 finden Spannverschlüsse 90 Verwendung. Die-Ger; Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem in Figur dargestellten in wesentlichen dadurch, daß die Fiberplatte in ein Icolierteil 91 aus Glas eingeschmolzen ist, das nicht nur einen kragenartigen Fortsatz 92 für den Potentialabbau Ii) tragt, sondern an dessen äußerem Umfang auch der Ketallflansch 93 vakuumdicht festgelegt ist. Demgemäß dienen wiederum dieselben Schrauben 94 sowohl zur Festlegung des hier aus Metall bestehenden rohrartigen Gehäuseteiles 95 als auch zur vakuumdichten Halterung des Isolierteiles 91 mit der Fiberplatte 4. Wiederum sind zur Erzielung des vakuumdichten Abschlusses Dichtungen an sich bekannter Form verwendet.Also in the modification of the execution remote indicated in FIG According to FIG. 3, tension locks 90 are used. The-Ger; Embodiment differs from that in Figure represented essentially by the fact that the fiber plate is melted into an Icolier part 91 made of glass, which is not only one collar-like extension 92 for the potential reduction Ii) carries, but also the ketallflansch on its outer circumference 93 is set vacuum-tight. Accordingly, the same screws 94 again serve both to fix the here Metal existing tubular housing part 95 as well as for vacuum-tight mounting of the insulating part 91 with the fiber board 4. Again to achieve the vacuum tight seal Seals known per se used.

Verständlicherweise kann das Gehäuse auch lediglich aus einem topfartigen Teil bestehen, das unmittelbar mittels lösbarer \^rerbindungselemente an dem eigentlichen Korpuskularstrahlgerät befestigt ist, Weiterhin ist die Erfindung unabhängig von der Art der Fernsehröhre und ebenso von dem Aufbau der Fernseheinrichtung verwendbar. Ein besonderer Vorteil der Erfindung ist gerade darin zu erblicken, daß das Gehäuse in einfacher Weise, beispielsweise durch Zufügen von zylindrisehen 'Teilen, so erweitert v/erden kann, daß auch einen größeren Platzbedarf in axialer Richtung aufweisende Fernsehauf-Understandably, the housing may also consist only of a pot-like part which ^r Getting Connected elements directly by means of releasable \ is attached to the actual charged particle beam device, Furthermore, the invention is useful regardless of the type of the television tube, and also of the structure of the television apparatus. A particular advantage of the invention can be seen in the fact that the housing can be expanded in a simple manner, for example by adding cylindrical parts, in such a way that a larger space requirement in the axial direction is required for television recordings.

-13--13-

PA 9/71?/10 - 13 - ^/ -' PA 9/71? / 10 - 13 - ^/ - '

nnVv-iecinrichtungen in dem Gehäuse Plats finden. Dies in Verbindung mit der leichten Aufhebbarkeit der Verbindungen zwischen dem topfartigen Gehäuseteil und den eigentlichen Korpuskularstrahlgerät sichein der Erfindung einen groi3en Anv;entlun gab er e i ch.Find nnVv devices in the housing Plats. This in conjunction with the easy removal of the connections between the pot-like housing part and the actual corpuscular beam device Develop a great idea in the invention he gave it.

Die Erfindung erstreckt sich auch auf Kombinationen von in verschiedenen Ansprüchen enthaltenen Merkmalen.The invention also extends to combinations of in various claims contained features.

4 Piguren
22 Ansprüche4 Piguren
22 claims

-H--H-

Claims

ΡΛ 9/715/10 - 14 -

Claims

1. Corpuscular beam device, especially electron microscope, nit a translucent screen on top of a vacuum-tight r. Completion of the device forming fiber plate so; ie a rcrr.Eehaufnahneeinrichtung, which with an image converting Layer-bearing beam entry area of a vacuum housing rests on the fiberboard, characterized in that the camera view device (Fig. 1: 6,9) by means of a housing (14) with its beam entry area (5) against the Fibor plate (4) is pressed, which has a support surface (27) for on the television recording device (6,9) in the direction of the fiber plate (4) pot-like part (16, 17) having v / acting compression springs (28) contains> the using detachable connection means to the actual corpuscular beam device (3), the open side of this sugekehxt, in the vicinity of the fiberboard (4) is fixed y

2. Corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that that the housing (14) also contains a tubular part (19) to which the pot-like part (16,17) coaxially through the releasable connecting means is attached and that in turn fixed to the actual corpuscular beam device (3) in the area of its indes facing away from the pot-like part (16, 17) (20)

3. Corpuscular beam device according to claim 1 or 2, characterized in that the fiber plate (4) is vacuum-tight from a Icoliertoil (23,24) is enclosed. ^

4. corpuscular beam device according to claim 3, characterized in that that the insulating part (23) is made of glass and is fused to the fiber plate (4).

ΡΛ 0/715/10 -15 -

5. corpuscular beam device according to claim 3, characterized in that that the IsoT.ierteil (24) consists of "cast resin" and is cast onto the fiber plate (4).

G. corpuscular beam device according to one of claims 1 "to 5, characterized in that the insulating part (24) has a creeping; c ^ lengthening, Parts of the television recording facility g (6.9) within the housing (14) surrounding approach (25) aufv / eist.

'/. Corpuscular beam device according to one of claims 3 to 6, characterized in that the insulating part (23,24) in its area surrounding the fiber plate (4) has the shape of a Ring has. . ■

8. Corpuscular beam gcrl · / :. according to one of claims 3 to 3 G, characterized in that dai3 cac insulating part (Fig. 3: (31) a cylindrical area (62) aufv.-eist, in which the Ferr.3ehaufnahneeinrichtuiig (^ 4,67) facing Indo is the fiber plate (4).

9. corpuscular beam device according to one of claims 3 to 8, characterized in that the insulating part (Fig. 3: 61) by the fastening means (69) for the housing (70, 71, 60) independent j3c testing means (60) vacuum-tight to actual Corpuscular beam device (3) is attached. ^.

10. Corpuscular beam device according to claim 2 and one of the Claims 3 to 8, characterized in that the insulating part (Fig. 1: 23) with a flange-like area with the addition of seals between a support surface on the actual corpuscular beam device (3) and the tubular Part (19) is located and the means (20) for fixing this part (19) at the same time for fastening the insulating part (23) to serve.

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ΡΛ 9/715/10 - 16 -

11. Corpuscular beam device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the housing (14) is at least partially (19) consists of insulating material ".

12. corpuckular beam device according to one of claims 2 "bio 10, cit a tubular housing part and claim 11, characterized characterized in that the tubular part (19) is made of insulating material consists.

13 x beam apparatus according to one of claims 1 to 12, characterized in that the releasable Yerbindungsnittel to the pot-like part (Pig.2: 42) engaging the screw connections (48) are _v

14. Corpuscular beam device according to one of claims 1 to 12, ULcuich marked that the releasable connecting means at the, pot-like part (Pig. 3 «70,71) attacking tension lock so (72) are

1Ϊ /. Corpuscular beam device according to claim 14, characterized in that that with one of a bottom part (Pig.3 '· 70) and ; ■ ;: serving coaxially attached cylindrical parts (71) be - .; maddening pot-like part the latches (72) the cylindrical. Parts (71) overlapping on the base part (70)

attack.
ν

IC. Corpuscular beam device according to one of claims 1 bio 15, characterized in that the bearing surfaces for the compression springs (Pig. 3: 78) Areas of the bottom surface (77) of the topfar ~ igo: i Part (70, 71) are ..

17. Corpuscular beam device according to one of claims 1 to 15, characterized in that the support flat (Pig.1: 27) for the compression springs (28) through a collar-like diameter

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? Λ 9/715/10 - 17 -

Reduction formed in the course of the side wall of the housing (H) are ^.

18. Charged particle beam device according to claim 16 or 17 "characterized in that the Fernsehaufnahraeeinrichtung is (6,9) concentrically surrounding the coil spring as compression spring. ^

19. K ^ orpuskularstrahlgorät according to claim 17 or the claims 17 and 18, characterized in that weaker further compression springs (32) for supporting deflection coils (13) the television recording device (6,9) on the floor area dec the puddle-like part (16, 17).

20. Corpuscular beam device according to one of claims 1 to 19, characterized in that the housing (H) in the course of its Crosswinds yielding side supports (33,34) for the i'ernsehaufnahrneeinrichtung (6,9) carries.

21. Korpuckuiarstrahlgerät according to one of claims 1 to 20, characterized in that the television recording device facing ends of the compression springs (28) on a support the insulating elastic sheath (31) from parts (6) of the device (6,9). ,

22. Corpuscular beam device according to claim 21, characterized in that a flange-like T _G il (30) made of hard insulating material is arranged between the spring ends and the sheath (31).