DE625444C

DE625444C - Molecular air pump

Info

Publication number: DE625444C
Application number: DEL85419D
Authority: DE
Original assignee: E Leybolds Nachfolger AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1934-02-24
Filing date: 1934-02-24
Publication date: 1936-02-08

Description

Molekularluftpumpe Die Erfindung betrifft eine Molekularluftpump:e, die durch eine im Pumpengehäuse angeordnete Flüssigkeitsturbine angetrieben wird, und besteht darin, daß die Flüssigkeitsturbine zwischen der Molekularluftpumpeund der zugehörigen Vorvakuumpumpe derart angeordnet ist, daß sie im Vorvakuum arbeitet. Dadurch wird der besondere Vorteil erzielt, daß die Flüssigkeitsturbine in einem absoluten Druck von nahezu gleich Null und s=omit mit e=inem hohen Gefälle arbeitet, wodurch die für den Antrieb der Tuxbine, beispiel's'weise einer Wasserturbine, notwendige Wassermenge wesentlich verringert wird. Dex Umstand, daß das Turbinenwasser in den Vorvakuumraum strämt, beeinträchtigt den Vorvakuumdruck praktisch nicht. Denn dieser Druck ist ohnehin. etwa gleich dem Sättigungsdruck des Wassers bei gewöhnlicher Gebrauchstemperatur, so daß, dieses Wasser eine Verschlechterung des Vakuums nicht hervorrufen kann.Molecular air pump The invention relates to a molecular air pump: e, which is driven by a liquid turbine arranged in the pump housing, and consists in that the liquid turbine between the molecular air pump and the associated backing pump is arranged in such a way that it operates in the backing vacuum. This has the particular advantage that the liquid turbine in one absolute pressure of almost zero and s = omit works with e = a high gradient, whereby the necessary for the drive of the Tuxbine, for example a water turbine The amount of water is significantly reduced. Dex fact that the turbine water in the If the fore-vacuum chamber is flowing, it has practically no effect on the fore-vacuum pressure. Because this one There is pressure anyway. roughly equal to the saturation pressure of water at ordinary Use temperature so that, this water does not deteriorate the vacuum can cause.

Wenn zur Erzeugung des Vorvakuums eine FlüssigkeitsstraMpumpe dient, kann ein Teil der zur Speisung der Flüssigkeitsstrahlpump,e zugeführten FMsisi;gkeit abgezweigt werden und zum Antrieb der Flüssigkeitsturbine dienen. Man erhält auf diese Weisse .einen au.ßeT-ordentlich einfachen Aufbau.If a liquid flow pump is used to generate the fore-vacuum, can be a part of the FMsis; ability supplied to feed the liquid jet pump are branched off and serve to drive the liquid turbine. One receives on this white one has an extremely simple structure.

Dadurch, daß das zum Antrieb der Flüssigkeitsturbine dienende Wasser durch die Saugdüse der Vorvakuumpumpe hindurch abfließt, wird der Vorvakuumdrudk nicht beeinträchtigt, weil die von der Turbine benötigte Was=sermenge .so klein ist, äaß eine merkliche Verengung des Düsenquerschnittes nicht eintritt.Because the water used to drive the liquid turbine flows through the suction nozzle of the backing pump, the backing pressure becomes not affected because the amount of water required by the turbine is so small is that a noticeable narrowing of the nozzle cross-section does not occur.

Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der Erfindung im Längsschnitt.The drawing illustrates an embodiment of the invention in longitudinal section.

In einem zylindrischen Gehäuse i, an dem oben ein zurr Anschluß an den luftleer zu pumpenden Raum dienender Stutzen 2 - sitzt, ist der mit Schraubengängen versehene Läufex 3 einer Molekularpumpe drehbar gelagert.In a cylindrical housing i, to which at the top a back connection The connection 2 - serving the evacuated space to be pumped - is seated, is the one with screw threads provided L Laufex 3 of a molecular pump rotatably mounted.

Im Raum 8 unterhalb des Pumpenläufers 3 wird durch eine Flüssigkeitsstrah'lpumpe 9, deren Düse 13 durch einen Stutzen io und eine Leitung i i Druckwasser zugeführt wird, .ein Vorvakuum erzeugt. Durch einen Ringkanal 14 steht die Strablpumpe 9 mit dem Raum 8 in Verbindung. Zum Antrieb des Pumpe=nläufers 3 dient eine F'lüssigkeitsiturbine 4, deren Laufrad auf der Welle 5 angeordnet ist. Die Düse 15 der Flüssigkeitsturbine steht über einen Hahn 12 mit dem Stutzen i o in Verbindung, so daß ein Teil des der Flüssigkeitsstrahlpuxnpe zugeführten Wassers abgezweigt wird und zum Antrieb der Turbine dient. Aus: dem Raum 8 fließt das Wasser durch den Ringkanal' 14 ab.In the space 8 below the pump rotor 3, a liquid jet pump 9, the nozzle 13 of which is fed through a nozzle io and a line i i pressurized water a forevacuum is created. The power pump 9 is supported by an annular channel 14 in connection with room 8. A liquid turbine is used to drive the pump rotor 3 4, the impeller of which is arranged on the shaft 5. The nozzle 15 of the liquid turbine is connected to the nozzle i o via a tap 12, so that part of the the water supplied to the liquid jet pump is diverted and to the drive serves the turbine. From: the space 8, the water flows through the annular channel 14.

Der Pump=enläufer 3 ist oben in einem Halslager 7 gelagert, während das untere Spurlager aus einem feststehenden Zapfen 6 besteht, der von der Büchse 16, die in der Kappe 2o sitzt, umfaßt wird. Der Sockel dies Zapfens 6 ist mit einer Längsbohrung 17 versehen, die in einen mit der Wasserzuleiteng i o in Verbindung stehenden Raum 18 mündet. Eine Querbohrung 19 läßt aus der Längsbohrung 17 Wasser unter die Kappe 2o treten. Das Wasser erzeugt einergeitg Flüssigkeitsreibung zwischen dem Zapfen 6 und der Büchse 16 und wirkt anderseits dem vom Gewicht des Pumpenläufers herrührenden Axialdruck :entgegen, so daß die Reibung betrIehtliich vermindert wird.' Das- dem -Spurlager zugeführte Wasser tritt durch den Ring-Spalt 21 in den Raure 8 aus und wird gemeinsam mit denn Turhinenantrieb!swasser durch den Ringkanal 14 ab geführt. Der Ringspalt 21 ist so eng bemessen, daß die durchtretende Wasser=enge @äußerst gering isft.The pump = enläufer 3 is mounted above in a neck bearing 7, while the lower thrust bearing consists of a fixed pin 6 from the bush 16, which sits in the cap 2o, is included. The base of this pin 6 is with a Longitudinal bore 17 provided, which in one with the water supply i o connecting space 18 opens. A transverse bore 19 leaves the longitudinal bore 17 Put water under the cap 2o. The water creates a smooth fluid friction between the pin 6 and the sleeve 16 and acts on the other hand from the weight of the Axial pressure originating from the pump rotor: against, so that the friction is considerable is diminished. ' The water supplied to the track bearing passes through the ring gap 21 in the hall 8 and water through it together with the turhine drive! the annular channel 14 led from. The annular gap 21 is so narrow that the penetrating Water = tight @ extremely low isft.

Statt der in der Zeichnung dargestellten Lagerung des Pump.enIiäüfers kann auch eine gleichfalls wenig Reibung aufweisende Steinlagerung verwendet werden.Instead of the bearing of the pump It is also possible to use a stone bearing that also exhibits little friction.

Dient die Pumpe zur Absaugung von Dämpfen, die auf Metallteile stark anfressend: wirken, so kann man dass Gehäuse i und den Pumpenläufer 3 aus säurefestem Stoff, beispielsweise aus organischen Preß- oder Spritzwerkstoffen, herstellen. Teile, die einem starken Verschleiß unterliegen, insbesondere die Lagerzapfen, das: Laufrad und die Spritzdüse der Turbine, werden zweckmäßig aus nichtrostendem Stahl hergestellt. Die Spritzdüse kann auch aus Glas. gefertigt sein.The pump is used to extract vapors that are strong on metal parts corrosive: act, so the housing i and the pump rotor 3 can be made of acid-proof Fabric, for example from organic molding or spraying materials, produce. Parts that are subject to heavy wear, especially the bearing journals, which: The impeller and the turbine nozzle are expediently made of stainless steel manufactured. The spray nozzle can also be made of glass. be made.

Claims

PATENT CLAIMS: 1. Molecular air pump powered by an ixe pump housing arranged liquid turbine is driven, characterized in that the Liquid turbine (q.) Between the molecular air pump (3) and the associated one Backing pump (13) - is arranged in such a way that it works in the backing pressure.

2. Mölekulax air pump according to claim i, in which the Vorvakuumpump.e .ein liquid jet pump is, characterized in that, B is a part of the supply of the liquid jet pump (13) supplied liquid is diverted and to drive the liquid turbine (q.) serves.