DE602004009726T2 - Method for cooling an article by means of a cryocooler and cryocooler - Google Patents

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Description

Gebiet der ErfindungField of the invention

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kühlen eines Gegenstands unter Verwendung eines Kryokühlers, sowie einen derartigen Kryokühler.These The invention relates to a method for cooling an article under Using a cryocooler, and such a cryocooler.

Beschreibung des Standes der TechnikDescription of the state of technology

Bei einem supraleitenden Filter auf dem Gebiet der IT-Kommunikation, einem supraleitenden MRI in der Medizintechnik oder auf dem Gebiet der Grundlagenforschung ist es notwendig, ein hochpräzises Elektronenmikroskop oder ein Hochleistungs-Präzisionsinstrument, beispielsweise einen hochempfindlichen Submillimeter-Wellendetektor oder einen Infrarotstrahlendetektor zu kühlen, um thermische Störungen zu beseitigen. Bei der Kühlung eines derartigen Hochleistungs-Präzisionsinstruments wird bislang verflüssigtes Gas oder ein Kryokühler verwendet. Unlängst wurde der Kühltemperaturbereich für den Kryokühler herab auf 4 K verbessert, der einfach auf Knopfdruck zu bedienen ist und konnte in der Vergangenheit unter Verwendung eines Kühlmittels extrem niedriger Temperatur realisiert werden.at a superconducting filter in the field of IT communication, a superconducting MRI in medical technology or in the field In basic research it is necessary to have a high-precision electron microscope or a high performance precision instrument, For example, a highly sensitive submillimeter wave detector or to cool an infrared ray detector to prevent thermal disturbances remove. When cooling a such high performance precision instruments is so far liquefied Gas or a cryocooler used. Recently became the cooling temperature range for the cryocooler improved down to 4K, which is easy to operate at the touch of a button is and could in the past using a coolant extremely low temperature can be realized.

1 ist die schematische Ansicht des Aufbaus eines herkömmlichen Kryokühlers des GM-Typs (Gifford McMahon). Der Kryokühler 10 gemäß 1 weist einen Kompressor 11 und einen Kryokühler-Kältekopf 12 auf. In dem Kryokühler-Kältekopf 12 sind ein Regenerator 13 und ein Verdränger 14 angeordnet und am Boden im Kryokühler 12 ist ein kaltes Ende 16 angeordnet. Die Kombination aus Regenerator 13 und Verdränger 14 wird als Kühlzylinder bezeichnet. Ein Hochdruckgas und ein Niederdruckgas werden vom Kompressor 11 über flexible Schläuche 15 und über ein Schaltventil 17 dem Kryokühler-Kältekopf 12 zugeführt und im Kryokühler-Kältekopf 12 komprimiert und expandiert. 1 Fig. 13 is a schematic structural view of a conventional GM type cryogenic refrigerator (Gifford McMahon). The cryocooler 10 according to 1 has a compressor 11 and a cryocooler coldhead 12 on. In the cryocooler coldhead 12 are a regenerator 13 and a displacer 14 arranged and on the ground in the cryocooler 12 is a cold end 16 arranged. The combination of regenerator 13 and displacer 14 is called a cooling cylinder. A high pressure gas and a low pressure gas are from the compressor 11 via flexible hoses 15 and via a switching valve 17 the cryocooler coldhead 12 fed and in the cryocooler cold head 12 compressed and expanded.

Am Verdränger 14 wird durch Betrieb des Motors 18 Kühlleistung durch die Expansion des Gases erzeugt, und zwar synchron mit der Expansion des Gases an der nächsten Stufe. Die Kühlleistung wird wiederhol durch eine Mehrzahl von Expansionen des Gases erzeugt und die so erhaltene Kühlleistung wird im Regenerator 13 gespeichert. Im Ergebnis wird das kalte Ende 16 auf eine extrem niedrige Temperatur herunter gekühlt. Ein Gegenstand wird mit dem kalten Ende 16 in Kontakt gebracht, um gekühlt zu werden.At the displacer 14 is by operation of the engine 18 Cooling power generated by the expansion of the gas, in synchronism with the expansion of the gas at the next stage. The cooling capacity is repeatedly generated by a plurality of expansions of the gas, and the cooling performance thus obtained becomes in the regenerator 13 saved. As a result, the cold end 16 cooled down to an extremely low temperature. An object becomes with the cold end 16 brought into contact to be cooled.

2 ist eine schematische Ansicht, die den Aufbau eines Kryokühlers des Pulsröhrentyps zeigt. Der Kryokühler gemäß 2 enthält einen Kompressor 21 und einen Kryokühler-Kältekopf 22. In dem Kryokühler-Kältekopf 22 sind ein Regenerator 23 und eine Impulsröhre 24 angeordnet und am Boden des Kryokühler-Kältekopfes 22 ist ein kaltes Ende 26 angeordnet. Die Kombination aus Regenerator 23 und Impulsröhre 24 wird Kühlzylinder bezeichnet. Ein Hochdruckgas und ein Niederdruckgas werden dem Kryokühler-Kältekopf 22 vom Kompressor 21 über flexible Schläuche 25 und das Schaltventil 27 zugeführt und im Kryokühler-Kältekopf 22 komprimiert und expandiert. 2 Fig. 10 is a schematic view showing the structure of a pulse tube type cryocooler. The cryocooler according to 2 contains a compressor 21 and a cryocooler coldhead 22 , In the cryocooler coldhead 22 are a regenerator 23 and a pulse tube 24 arranged and at the bottom of the cryocooler cold head 22 is a cold end 26 arranged. The combination of regenerator 23 and impulse tube 24 is called cooling cylinder. A high pressure gas and a low pressure gas become the cryocooler coldhead 22 from the compressor 21 via flexible hoses 25 and the switching valve 27 fed and in the cryocooler cold head 22 compressed and expanded.

In der Impulsröhre 24 wird Kühlleistung durch die Expansion des Gases synchron mit der Expansion des Gases an der nächsten Stufe durch Betätigung des Schaltventils erzeugt. Die Gasexpansion wird durchgeführt, in dem die Einbringzeit des Gases über eine Öffnung 29 in einen Puffertank 28 gesteuert wird, der der Impulsröhre 24 nachgeschaltet ist. Die Kühlleistung wird wiederholt durch eine Mehrzahl von Expansionen des Gases erzeugt und die so erhaltene Kühlleistung wird im Regenerator 23 gespeichert. Im Ergebnis wird das kalte Ende 26 auf eine extrem niedrige Temperatur herunter gekühlt. Ein Gegenstand wird mit dem kalten Ende 26 in Kontak gebracht, um gekühlt zu werden.In the impulse tube 24 Cooling power is generated by the expansion of the gas in synchronism with the expansion of the gas at the next stage by operating the switching valve. The gas expansion is carried out in which the introduction time of the gas through an opening 29 in a buffer tank 28 is controlled, the impulse tube 24 is downstream. The cooling capacity is repeatedly generated by a plurality of expansions of the gas, and the cooling performance thus obtained becomes in the regenerator 23 saved. As a result, the cold end 26 cooled down to an extremely low temperature. An object becomes with the cold end 26 brought into contact to be cooled.

Da sowohl bei dem Kryokühler des GM-Typs als auch bei dem Kryokühler des Impulsröhrentyps das Hochdruckgas und das Niederdruckgas, die von den Kompressoren 11 und 21 geliefert werden, in den Kryokühler-Kälteköpfen 12 und 22 zirkuliert werden, vibrieren die kalten Enden 16 und 26 unvermeidlich mit einer Amplitude von ungefähr 10 μm in ihren Axialrichtungen. Der erlaubbare Vibrationsgrenzwert bei einem Hochleistungs-Präzisionsinstrument liegt im Bereich von Submikrometer, so dass, wenn eine relativ starke Vibration auf das Präzisionsinstrument wirkt, der innere Aufbau und die Steuerbarkeit des Präzisionsinstruments zerstört werden können, so dass das Präzisionsinstrument fehlerhaft arbeiten kann.Since, in both the GM type cryogenic refrigerator and the pulse tube type cryocooler, the high pressure gas and the low pressure gas discharged from the compressors 11 and 21 are delivered in the cryocooler cold heads 12 and 22 circulated, the cold ends vibrate 16 and 26 inevitably with an amplitude of about 10 microns in their axial directions. The allowable vibration limit in a high-performance precision instrument is in the submicrometer range, so that when a relatively large vibration is applied to the precision instrument, the internal structure and controllability of the precision instrument may be destroyed, so that the precision instrument may erroneously operate.

Die US 2002/0134089 befasst sich mit einem Kühler, insbesondere für einen Verkaufsstand mit Glastür oder andere Typen von Verkaufsmaschinen. Eine Kühlung des Kühlraums wird durch vier Stirling-Einheiten durchgeführt, die jeweils ein kaltes Ende haben Die Stirling-Einheiten sind paarweise in unterschiedlichen Höhenlagen angeordnet und die kalten Enden sind durch einen Wärmetauscher für die kalten Enden verbunden. Die Stirling-Einheiten an gegenüberliegenden Diagonalen werden mit entgegen gesetzten Phasen betrieben, so dass die von dem Wärmetauscher auf den Verkaufsstand mit Glastüren übertragenen Vibrationen sich insgesamt größtenteils aufheben.The US 2002/0134089 deals with a radiator, especially for a glass door stall or other types of vending machines. Cooling of the cold room is performed by four Stirling units each with a cold end. The Stirling units are arranged in pairs at different elevations and the cold ends are connected by a cold end heat exchanger. The Stirling units on opposite diagonals are operated with opposite phases, so that the vibrations transmitted from the heat exchanger to the glass door stall largely cancel out altogether.

Die US-A-4,375,749 beschreibt einen mehrphasigen Kühlapparat mit Stirling-Zyklus, geeignet zum Herunterkühlen von Gegenständen auf cryogene Temperaturen. Die Kolbenzylinder des Kryokühlers werden um 180° außer Phase betrieben, wobei zwei hiervon ein erstes Kühlsystem und die anderen beiden ein zweites Kühlsystem bilden.The US-A-4,375,749 describes a multiphase Stirling cycle refrigerator suitable for chilling articles to cryogenic temperatures. The piston cylinders of the Kryoküh They are operated 180 ° out of phase, two of which form a first cooling system and the other two form a second cooling system.

Die US-A-5,056,317 betrifft einen cryogenen Kühler, bei dem die Übertragung von Vibrationen dadurch minimiert ist, dass der zu kühlende Gegenstand an einem hochstehenden Rand einer Endkappe angeordnet wird.The US-A-5,056,317 relates to a cryogenic cooler in which the transmission of vibrations is minimized by placing the object to be cooled on a raised edge of an end cap.

Die DE-A-38 36 959 betrifft eine vibrationsfreie Gaskühlmaschine des Stirling-Typs, aufweisend vier koaxial angeordnete Kolben, die in zwei Paare unterteilt sind. Die beiden Paare werden mit einer 180°-Phasendifferenz betrieben, so dass die von jedem Paar von Kolben verursachten Vibrationen sich aufheben. Die Kühlmaschine hat zwei kalte Enden, welche an einem axialen Endabschnitt der Kühlmaschine angeordnet und voneinander beabstandet sind.The DE-A-38 36 959 relates to a vibration-free gas cooling engine of the Stirling type, comprising four coaxially arranged pistons, which are divided into two pairs. The two pairs are operated with a 180 ° phase difference, so that the vibrations caused by each pair of pistons cancel each other out. The refrigerator has two cold ends which are disposed at an axial end portion of the refrigerator and spaced from each other.

Die FR-A-2 750 481 betrifft einen cryogenen Kühler zur Kühlung von Miniaturelementen. Er weist zwei Wärmetauscher auf, von denen jeder einen Kältepunkt hat, der über Regenerationen mit Gasdruckimpulsgeneratoren verbunden ist, die in wechselseitiger Gegenphase betrieben werden. Das warme Ende eines jeden Wärmetauschers ist mit einem Reservoir verbunden. Die Regeneratoren sind thermisch gekoppelt.The FR-A-2 750 481 relates to a cryogenic cooler for cooling miniature elements. It has two heat exchangers, each of which has a cold point, which is connected via regenerations with gas pressure pulse generators, which are operated in mutual antiphase. The warm end of each heat exchanger is connected to a reservoir. The regenerators are thermally coupled.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Gegenstand, beispielsweise ein Hochleistungs-Präzisionsinstrument auf extrem niedrige Temperaturen ohne Aufbringen von Vibrationen auf den Gegenstand zu kühlen.It It is an object of the present invention to provide an article, for example a high-performance precision instrument to extremely low temperatures without applying vibrations to cool on the object.

Zur Lösung der obigen Aufgabe betrifft die Erfindung ein Verfahren nach Anspruch 1 zur Kühlung eines Gegenstandes unter Verwendung eines Kryokühlers, sowie einen Kryokühler nach Anspruch 5.to solution the above object, the invention relates to a method according to claim 1 for cooling an object using a cryocooler, as well as a cryocooler Claim 5.

Die Erfinder haben intensive Studien durchgeführt, um die oben beschriebene Aufgabe zu lösen. Im Ergebnis wurde die folgende Tatsache herausgefunden:
Das kalte Ende ist in Kreisform ausgebildet und zwei Paare von Kühlzylindern sind an der Hauptfläche des kalten Endes angeordnet, so dass die Diagonallinie, die ein Paar von Kühlzylindern verbindet, senkrecht zur Diagonallinie ist, die das andere Paar von Kühlzylindern verbindet. Dann wird ein Hochdruckgas dem einen Paar von Kühlzylindern zugeführt und ein Niederdruckgas dem anderen Paar von Kühlzylindern. In diesem Fall wird die Form des kalten Endes verformt, wie in 3 gezeigt. Wie sich aus 3 ergibt, wird, obgleich sich die Form des kalten Endes über die Zeit hinweg ändert, der Abschnitt im Wesentlichen nahe bei und entlang des Durchmessers des kalten Endes, insbesondere annähernd der mittige Abschnitt des kalten Endes, nicht verformt und verbleibt ortsfest.The inventors have conducted intensive studies to solve the above-described problem. As a result, the following fact was found:
The cold end is formed in a circular shape and two pairs of cooling cylinders are arranged on the main surface of the cold end so that the diagonal line connecting a pair of cooling cylinders is perpendicular to the diagonal line connecting the other pair of cooling cylinders. Then, a high pressure gas is supplied to one pair of cooling cylinders and a low pressure gas to the other pair of cooling cylinders. In this case, the shape of the cold end is deformed as in 3 shown. As it turned out 3 , although the shape of the cold end changes over time, the portion substantially close to and along the diameter of the cold end, particularly approximately the central portion of the cold end, is not deformed and remains stationary.

Wenn daher ein ortsfester Punkt auf den ortsfesten Bereich des kalten Endes festgelegt wird, und ein bestimmter Gegenstand unter Verwendung des ortsfesten Punktes gekühlt wird, kann der Gegenstand auf eine extrem niedrige Temperatur gekühlt werden, wobei Vibrationen zu dem Gegenstand isoliert sind.If therefore a fixed point on the fixed area of the cold End is determined, and a particular object using the stationary point cooled the object can be cooled to an extremely low temperature, wherein vibrations are isolated to the object.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWING

Um die vorliegende Erfindung besser verstehen zu können, wird Bezug genommen auf die beigefügte Zeichnung, in der:Around to better understand the present invention, reference is made to the enclosed Drawing in which:

1 eine Ansicht ist, die schematisch den Aufbau eines herkömmlichen Kryokühlers des GM-Typs (Gifford McMahon) zeigt; 1 Fig. 12 is a view schematically showing the structure of a conventional GM type cryocooler (Gifford McMahon);

2 eine Ansicht ist, die schematisch den Aufbau eines herkömmlichen Kryokühlers des Impulsröhrentyps zeigt; 2 Fig. 12 is a view schematically showing the structure of a conventional pulse tube type cryocooler;

3 Darstellungen zeigt, welche die Verformung des kalten Endes des Kryokühlers der vorliegenden Erfindung zeigen; 3 Shows illustrations showing the deformation of the cold end of the cryocooler of the present invention;

4 eine Ansicht ist, die schematisch ein kaltes Ende eines Kryokühlers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; und 4 Fig. 12 is a view schematically showing a cold end of a cryocooler according to the present invention; and

5 eine Ansicht ist, die schematisch die Verbindung des Kühlzylinders des Kryokühlers gemäß 4 mit dem kalten Ende hiervon zeigt. 5 is a view schematically the connection of the cooling cylinder of the cryocooler according to 4 with the cold end pointing to it.

BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMENDESCRIPTION OF PREFERRED EMBODIMENTS

Diese Erfindung wird im Detail unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. 4 ist eine Ansicht, die den Aufbau eines kalten Endes eines Kryokühlers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt und 5 ist eine Ansicht, die die Verbindung des Kühlzylinders des Kryokühlers gemäß 4 mit dem kalten Ende hiervon zeigt. In 4 ist ein Kompressor weggelassen und nur der Kältekopf des Kryokühlers ist gezeigt.This invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 4 is a view showing the structure of a cold end of a cryocooler according to the present invention and 5 is a view showing the connection of the cooling cylinder of the cryocooler according 4 with the cold end pointing to it. In 4 a compressor is omitted and only the cold head of the cryocooler is shown.

Der Kältekopf 30 des Kryokühlers gemäß 4 enthält zwei Paare von Kühlzylindern 31, 32 und ein kaltes Ende 36, das an den Böden der Kühlzylinder 31 und 32 angeordnet ist, um mit den Kühlzylindern 31 und 32 verbunden zu sein.The cold head 30 of the cryocooler according to 4 contains two pairs of cooling cylinders 31 . 32 and a cold end 36 attached to the bottoms of the cooling cylinder 31 and 32 is arranged to with the cooling cylinders 31 and 32 to be connected.

Gemäß 5 sind die Kühlzylinder 31 und 32 mit dem kalten Ende 36 so verbunden, dass die Diagonallinie X, die die Kühlzylinder 31 verbindet, senkrecht zur Diagonallinie Y ist, die die Kühlzylinder 32 verbindet. Ein Hochdruckgas wird den Kühlzylindern 31 zugeführt und ein Niederdruckgas wird den Kühlzylindern 32 zugeführt. In diesem Fall wird der Teil des kalten Endes 36, dem das Hochdruckgas zugeführt wird, nach unten verformt und der Teil des kalten Endes 36, dem das Niederdruckgas zugeführt wird, wird nach oben verformt.According to 5 are the cooling cylinders 31 and 32 with the cold end 36 so connected that the Diagonal line X, which is the cooling cylinder 31 connects, perpendicular to the diagonal line Y, which is the cooling cylinder 32 combines. A high-pressure gas is the cooling cylinders 31 fed and a low-pressure gas is the cooling cylinders 32 fed. In this case, the part of the cold end becomes 36 to which the high-pressure gas is supplied, deformed downward and the part of the cold end 3 6, the low pressure gas is supplied, is deformed upward.

Jedoch wird der Bereich nahe und entlang des Durchmessers Z zwischen den nach oben und nach unten verformten Abschnitten des kalten Endes 36 im Wesentlichen nicht verformt und insbesondere wird die Mitte O des kalten Endes 36 praktisch nicht verformt. Damit kann ein ortsfester Punkt auf den Bereich nahe und entlang des Durchmessers Z gesetzt werden. In dem Kryokühler 30 gemäß 4 ist an der Mitte O des kalten Endes 36 als der ortsfeste Punkt ein Befestigungsschlitz 39 ausgebildet. Wenn daher ein bestimmter Gegenstand am Befestigungsschlitz 39 angeordnet wird, kann der Gegenstand gekühlt werden, wobei Vibrationen in Richtung des Artikels von diesem praktisch isoliert sind.However, the area becomes near and along the diameter Z between the upwardly and downwardly deformed portions of the cold end 36 essentially not deformed and in particular the center O of the cold end 36 practically not deformed. Thus, a stationary point can be set to the area near and along the diameter Z. In the cryocooler 30 according to 4 is at the middle O of the cold end 36 as the stationary point, a mounting slot 39 educated. Therefore, if a particular item on the mounting slot 39 can be arranged, the object can be cooled, with vibrations in the direction of the article are practically isolated from this.

Wenn der Gaszufuhrzyklus an die Kühlzylinder 31 vom Gaszufuhrzyklus an die Kühlzylinder 32 um eine Phasenverschiebung von 180° verschoben ist und das kalte Ende 36 aus einem dicken und steifen Material wie Wolframcarbid gemacht ist, kann das kalte Ende 36 selbst nicht vibrieren. In diesem Fall kann der ortsfeste Punkt auf jeglichen Abschnitt am kalten Ende 36 gesetzt werden.When the gas supply cycle to the cooling cylinder 31 from the gas supply cycle to the cooling cylinders 32 shifted by a phase shift of 180 ° and the cold end 36 Made of a thick and stiff material such as tungsten carbide, the cold end can be 36 do not vibrate by yourself. In this case, the fixed point on any section at the cold end 36 be set.

Obgleich die vorliegende Erfindung im Detail unter Bezugnahme auf die obigen Beispiele beschrieben wurde, ist diese Erfindung nicht auf die obige Beschreibung be grenzt und jede Art von Änderung und Abwandlung kann gemacht werden, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.Although the present invention in detail with reference to the above As has been described examples, this invention is not to the above Description be limited and any kind of change and modification may be made without departing from the scope of the present invention.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Gegenstand, beispielsweise ein Hochleistungs-Präzisionsinstrument auf eine extrem niedrige Temperatur gekühlt werden, wobei Vibrationen in Richtung dieses Artikels von diesem isoliert sind.According to the present The invention may be an article, for example a high performance precision instrument cooled to an extremely low temperature, with vibrations isolated from this article in the direction of this article.

Claims (8)

Ein Verfahren zum Kryokühlen eines vibrationsempfindlichen Gegenstands unter Verwendung eines regenerativen Kryokühlers (30), gekennzeichnet durch die Schritte von: Bereitstellen eines regenerativen Kryokühlers (30), der wenigstens zwei Paare von Kühlzylindern (31, 32) hat, die an einer einzelnen Hauptfläche eines kalten Endes (36) des Kryokühlers (30) angeordnet und hiermit verbunden sind, wobei besagte zwei Paare von Kühlzylindern derart angeordnet sind, dass eine ein Paar von Kühlzylindern (31) verbindenden Diagonallinie senkrecht zu einer anderen Diagonallinie ist, die das andere Paar von Kühlzylindern (32) verbindet, wobei der Kryokühler zyklisch ein Hochdruckgas zu dem einen Paar von Kühlzylindern (31) und ein Niederdruckgas zu dem anderen Paar von Kühlzylindern (32) führt, wobei die beiden Paare von Kühlzylindern eine Druck-Phasenverschiebung zueinander zeigen, so dass ein vibrationsfreier Abschnitt an der Hauptfläche des kalten Endes (36) des Kryokühlers (30) gebildet wird, und Anordnen des vibrationsempfindlichen Gegenstands an dem vibrationsfreien Abschnitt des kalten Endes (36):A method of cryocooling a vibration sensitive article using a regenerative cryocooler ( 30 characterized by the steps of: providing a regenerative cryocooler ( 30 ) containing at least two pairs of cooling cylinders ( 31 . 32 ) located on a single major surface of a cold end ( 36 ) of the cryocooler ( 30 ) are arranged and connected to one another, wherein said two pairs of cooling cylinders are arranged such that one pair of cooling cylinders ( 31 ) connecting diagonal line is perpendicular to another diagonal line, the other pair of cooling cylinders ( 32 ), wherein the cryocooler cyclically high pressure gas to the one pair of cooling cylinders ( 31 ) and a low-pressure gas to the other pair of cooling cylinders ( 32 ), wherein the two pairs of cooling cylinders show a pressure phase shift to each other, so that a vibration-free portion on the main surface of the cold end ( 36 ) of the cryocooler ( 30 ) and arranging the vibration-sensitive article on the vibration-free portion of the cold end ( 36 ): Das Kryokühlverfahren nach Anspruch 1, bei dem die Hauptfläche des kalten Endes (36) in Kreisform ausgebildet ist und der vibrationsfreie Abschnitt in einem Bereich im Wesentlichen nahe an und entlang eines Durchmessers der Hauptfläche des kalten Endes (36) gebildet wird.The cryocooling method according to claim 1, wherein the main surface of the cold end ( 36 ) is formed in a circular shape and the vibration-free portion in a region substantially close to and along a diameter of the main surface of the cold end ( 36 ) is formed. Das Kryokühlverfahren nach Anspruch 2, bei dem der vibrationsfreie Abschnitt in der Mitte der Hauptfläche des kalten Endes gebildet wird.The cryocooling process according to claim 2, wherein the vibration-free portion in the middle the main surface the cold end is formed. Das Kryokühlverfahren nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend die Schritte des Verschiebens eines Zufuhrzyklus des Hochdruckgases gegenüber einem anderen Zufuhrzyklus des Niederdruckgases um eine Phasenverschiebung von 180° und des Ausbildens des kalten Endes aus steifem Material, wodurch das kalte Ende (26) nicht vibriert und der vibrationsfreie Abschnitt über die Hauptfläche des kalten Endes (36) hinweg gebildet wird.The cryocooling method of claim 1, further comprising the steps of shifting a supply cycle of the high pressure gas relative to another supply cycle of the low pressure gas by a 180 ° phase shift and forming the cold end of rigid material, thereby 26 ) and the vibration-free section over the main surface of the cold end ( 36 ) is formed away. Ein regenerativer Kryokühler, aufweisend: wenigstens zwei Paare von Kühlzylindern (31, 32), die an einer einzelnen Hauptfläche eines kalten Endes (36) des Kryokühlers (30) angeordnet und hiermit verbunden sind, so dass eine ein Paar von Kühlzylindern (31) verbindende Diagonallinie senkrecht zu einer anderen Diagonallinie ist, die das andere Paar von Kühlzylindern (32) verbindet, wobei im Gebrauch ein Hochdruckgas zyklisch zu dem einen Paar von Kühlzylindern (31) und ein Niederdruckgas zyklisch zu dem anderen Paar von Kühlzylindern (32) geführt wird, und wobei die beiden Paare von Kühlzylindern eine Druck-Phasenverschiebung zueinander zeigen, so dass ein vibrationsfreier Abschnitt an der Hauptfläche des kalten Endes (36) gebildet wird.A regenerative cryocooler, comprising: at least two pairs of cooling cylinders ( 31 . 32 ) attached to a single major surface of a cold end ( 36 ) of the cryocooler ( 30 ) and are connected thereto so that a pair of cooling cylinders ( 31 ) connecting diagonal line is perpendicular to another diagonal line, the other pair of cooling cylinders ( 32 In use, a high-pressure gas cyclically to the one pair of cooling cylinders ( 31 ) and a low-pressure gas cyclically to the other pair of cooling cylinders ( 32 ), and wherein the two pairs of cooling cylinders show a pressure phase shift relative to each other, so that a vibration-free section on the main surface of the cold end ( 36 ) is formed. Der Kryokühler nach Anspruch 5, bei dem die Hauptfläche des kalten Endes (36) in Kreisform ausgebildet ist und der vibrationsfreie Abschnitt in einem Bereich im Wesentlichen nahe an und entlang eines Durchmessers der Hauptfläche des kalten Endes (36) gebildet ist.The cryocooler according to claim 5, wherein the main surface of the cold end ( 36 ) is formed in a circular shape and the vibration-free portion in a region substantially close to and along a diameter of the main surface of the cold end ( 36 ) is formed. Der Kryokühler nach Anspruch 6, bei dem der vibrationsfreie Abschnitt in der Mitte der Hauptfläche des kalten Endes gebildet ist.The cryocooler according to claim 6, wherein the vibration-free portion in the middle the main surface of the cold end is formed. Der Kryokühler nach Anspruch 7, bei dem das kalte Ende aus steifem Material gebildet ist, und ein Zufuhrzyklus des Hochdruckgases gegenüber einem anderen Zufuhrzyklus des Niederdruckgases um eine Phasenverschiebung von 180° verschoben ist, so dass der vibrationsfreie Abschnitt über die Hauptfläche des kalten Endes (36) hinweg gebildet ist.The cryocooler of claim 7, wherein the cold end is formed of rigid material, and a high pressure gas supply cycle is offset from another supply cycle of the low pressure gas by a 180 ° phase shift such that the vibration free section extends over the main surface of the cold end ( 36 ) is formed away.
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