DE60200260T2 - Optische Vorrichtung zum Drehen der Polarisation von linear polarisiertem Licht - Google Patents

Optische Vorrichtung zum Drehen der Polarisation von linear polarisiertem Licht Download PDF

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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich eine optische Vorrichtung zum Drehen der Polarisation von linear polarisiertem Licht um 90°. Insbesondere bezieht sie sich auf eine Vorrichtung, bei der das in die Vorrichtung eintretende Strahlenbündel und das aus der Vorrichtung austretende Strahlenbündel kollinear sind.
  • Es gibt viele Anwendungen, in denen es wünschenswert ist, die Polarisationsebene von polarisiertem Licht um 90° zu drehen. Diese umfassen die Spektroskopie, wo die Polarisation Schlüsselinformationen wie etwa die Polarisierbarkeit enthält, das Weißlicht-Interferenzmessverfahren, wo es erforderlich sein kann, den Referenzstrahl um 90° zu drehen, um kreuzpolarisierte Komponenten zu sehen, und quantitative Metrologieanwendungen, wo Messungen bei 0° und bei 90° auszuführen sind.
  • Dies wurde herkömmlicherweise durch Verwendung einer Halbwellenplatte oder durch Verwendung von Fresnel-Rhomben erreicht, jedoch sind Probleme damit verbunden.
  • Eine Wellenplatte wertet die Doppelbrechung bestimmter optischer Materialien aus, um die erforderliche Phasenverschiebung zwischen den orthogonal polarisierten Komponenten des Lichts herbeizuführen. Einzelne Halbwellenplatten sind nur über einen schmalen Wellenlängenbereich wirksam, weshalb eine große Anzahl von Platten erforderlich wäre, um einen weiten Wellenlängenbereich abzudecken. Diese Wellenplatten müssen einzeln verwendet werden, so dass es nicht möglich ist, gleichzeitig einen weiten Wellenlängenbereich abzudecken.
  • Superachromatische Wellenplatten umfassen mehrere Paare von ab gestimmten Wellenplatten, die aus mehr als einem optischen Material hergestellt und so beschaffen sind, dass sich über einen größeren Wellenlängenbereich eine chromatische Korrektur ergibt. Jedoch besitzen achromatische Wellenplatten mehre Nachteile. Die konstituierenden optischen Elemente können mit optischem Kitt kontaktiert sein, was den Durchsatz von Lichtenergie begrenzt, jedoch ist die chromatische Korrektur dennoch auf einen Betrieb bei Wellenlängen unter 300 nm begrenzt.
  • Fresnel-Rhomben erreichen eine Wellenlängenverschiebung durch Auswertung der Phasendifferenz, die s- und p-polarisiertem Licht bei interner Totalreflexion auferlegt wird. Diese Phasenverschiebung ist im Vergleich zur Wirksamkeit einer Wellenplatte relativ langsam und variiert mit der Wellenlänge. Dennoch ist die Wirksamkeit nicht achromatisch; beispielsweise erzwingt ein Paar von Siliciumoxid-Fresnel-Rhomben über den Wellenlängenbereich von 200–400 nm eine Phasenverschiebung von 180 ± 8°. Die Abweichung der Phasenverschiebung von genau 180° führt dazu, dass das Licht elliptisch polarisiert wird.
  • Das US-Patent 4.822.150 beschreibt eine Vorrichtung zum Drehen der Polarisation eines Lichtstrahlenbündels um 90° unter Beibehaltung der Kollinearität, wobei die Vorrichtung mehrere rechtwinklige Prismen umfasst. Die Prismen sind so zusammengekittet, dass alle Grenzflächen senkrecht zum Weg des Lichtstrahlenbündels sind. Somit treten an den Grenzflächen große interne Reflexionsverluste auf. Diese Verluste können durch Beschichten der aneinander grenzenden Oberflächen der Prismen mit einem Anti-Reflexionsbelag verringert werden, jedoch führt dies zu einem Anstieg der Komplexität und der Kosten, wobei es außerdem schwierig ist, eine Beschichtung zu gestalten, die über einen großen Wellenlängenbereich wirksam ist. Ferner ist es auch nicht möglich, einen Breitband-Anti-Reflexionsbelag zu schaffen, der im UV-Bereich unter 260 nm wirksam ist. Durch Verwendung einer Flüssigkeit oder eines Kitts, die bzw. der im Index abgestimmt ist, können Reflexionen verringert werden, jedoch führt dies zu operationalen Schwierigkeiten unterhalb von 260 nm und ist nicht für einen Hochleistungs-Lichtdurchsatz geeignet. Es ist vorgeschlagen worden, die Vorrichtung aus einem einzigen Stück Glas zu bilden, wobei in diesem Fall keine Beschichtung erforderlich wäre, jedoch würde die Komplexität der Vorrichtung dieses Herstellungsverfahren sehr schwierig und teuer machen. Dies ist durch die Schwierigkeit beim Polieren einer Innenfläche an einer überhängenden Struktur bedingt.
  • Das US-Patent 5.751.482 beschreibt eine prismatische Vorrichtung zum Drehen der Polarisation eines Lichtstrahlenbündels. Wie beim US-Patent 4.822.150 sind die Grenzflächen zwischen den Prismen senkrecht zum Weg des Lichtstrahlenbündels, so dass die durch interne Reflexionen verursachten Beschränkungen und die mit geeigneten Beschichtungen verbundenen Probleme ebenso gegeben sind.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung umfasst eine optische Vorrichtung zum Drehen der Polarisation eines linear polarisierten Breitband-Eingangslichtstrahlenbündels Prismenmittel, wobei das Eingangsstrahlenbündel senkrecht zu einer ersten Fläche der Prismenmittel einfällt und senkrecht zu einer zweiten Fläche der Prismenmittel austritt, wobei die Prismenmittel Lichtdurchlassmaterial mit mehreren intern totalreflektierenden Oberflächen und einer oder mehreren Grenzflächen umfasst, wobei die intern totalreflektierenden Oberflächen so angeordnet sind, dass die Polarisation des Austrittsstrahlenbündels in Bezug auf das Eingangsstrahlenbündel um 90° gedreht ist, wobei jede Grenzfläche ein paar paralleler Oberflächen, die durch einen Spalt getrennt sind, umfasst, wobei die parallelen Oberflächen annähernd so angeordnet sind, dass sie die Brewster-Bedingung über den weiten Bereich von Wellenlängen im Eingangslichtstrahlenbündel erfüllen, so dass die Oberflächenreflexionsverluste minimiert sind, und wobei die Prismenmittel eine gerade Anzahl von Grenzflächen und eine ungerade Anzahl von Prismen besitzen und so angeordnet sind, dass die Eingangs- und Austrittsstrahlenbündel im Wesentlichen kollinear sind.
  • Um die Brewster-Bedingung zu erfüllen, wird die Anordnung der parallelen Oberflächen wie folgt hergeleitet:
  • Die Brechung eines Lichtstrahls, der von einem Medium mit dem Brechungskoeffizienten ni durch eine Grenzfläche mit einem Medium mit dem Brechungskoeffizienten nt geht, wird durch das Snellsche Gesetz bestimmt: nisinθi = ntsinθt (1)wobei θi und θt der Einfallwinkel des Eingangsstrahls bzw. der Winkel des gebrochenen Strahls sind.
  • Die Reflektion des einfallenden Strahls für beispielsweise p-polarisiertes Licht wird durch den Fresnelschen Reflexionskoeffizienten bestimmt:
  • Figure 00040001
  • Nach Gleichung (2) ist der Reflexionskoeffizient gleich null, wenn θi + θt = 90°. Die Substitution in Gleichung (1) ergibt die Brewster-Be dingung: tgθi = ni/nt (3)
  • Bei diesem Wert von θi erfolgt an der Grenzfläche keine Reflexion von p-polarisiertem Licht.
  • Das Anordnen der parallelen Oberflächen in der Weise, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist, und das Sicherstellen, dass alle intern reflektierenden Oberflächen totalreflektierend sind, bedeutet, dass die einzigen größeren Reflektionsverluste in der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung jene an der ersten Einfallfläche und der zweiten Austrittsfläche der Prismenmittel sind. Dies führt zu einer wesentlichen Verringerung der Gesamtverluste im Vergleich zu Vorrichtungen des Standes der Technik. Die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung kann unter Anwendung herkömmlicher Schleif- und Poliertechniken hergestellt werden. Ferner erfordert sie keine Verwendung von Anti-Reflexionsbelägen, wodurch ein Betrieb im UV-Bereich unter 260 nm möglich wird.
  • Der Übergang des Lichtstrahls über eine Grenzfläche führt eine Seitenverschiebung in den Strahlenweg ein, die von der Wellenlänge des Lichts abhängt.
  • Die Grenzflächen sind so angeordnet, dass sich eine Seitenverschiebung des Strahlenbündels gegenseitig aufhebt. Dies stellt sicher, dass das Eingangsstrahlenbündel und das Austrittsstrahlenbündel kollinear sind.
  • Vorzugsweise umfassen die Prismenmittel drei Prismenabschnitte und zwei Grenzflächen. Diese Anordnung ermöglicht eine einfache Herstellung der Vorrichtung, jedoch können selbstverständlich alter native Anordnungen aufgebaut werden. Diese können Anordnungen mit einer ungeraden Anzahl von Grenzflächen umfassen, wenn keine genaue Kollinearität erforderlich ist.
  • Zweckmäßigerweise umfasst das Lichtdurchlassmaterial geschmolzenes Siliciumoxid. Dies ermöglicht die Konstruktion einer Vorrichtung, die für einen Betrieb von 200–2000 nm geeignet ist.
  • Vorzugsweise ist der Spalt, der die parallelen Oberflächen trennt, mit Luft gefüllt.
  • Vorzugsweise besitzt das Eingangslichtstrahlenbündel eine Wellenlänge im Bereich von 200–700 nm.
  • Vorzugsweise ist das Eingangslichtstrahlenbündel parallel gerichtet.
  • Vorzugsweise ist das Eingangslichtstrahlenbündel linear polarisiert, so dass das an internen Oberflächen gebrochene Licht p-polarisiert ist.
  • Der Brewster-Winkel ist wellenlängenabhängig, so dass Nullreflexion bei einem gegebenen Winkel nur für eine bestimmte Wellenlänge erfüllt ist. Um einen Breitbandbetrieb zu ermöglichen, muss für die Grenzflächen ein Kompromisswinkel gewählt werden, der über den geforderten Spektralbereich eine minimale Reflexion ergibt.
  • Wenn Lichtdurchlassmaterial, das geschmolzenes Siliciumoxid umfasst, verwendet wird, ein Betrieb zwischen 200–700 nm gewählt wird und vorzugsweise ein luftgefüllter Spalt vorhanden ist, werden die parallelen Oberflächen so festgelegt, dass der Winkel zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündels in dem Lichtdurchlassmaterial und einer Normalen zu den parallelen Oberflächen im Bereich von 32° bis 35° liegt, wobei die parallelen Oberflächen noch bevorzugter so festgelegt werden, dass der Winkel im Bereich von 33,26° bis 33,76° liegt, und die parallelen Oberflächen Idealerweise so festgelegt werden, dass der Winkel 33,51° beträgt.
  • Bei einem Lichtdurchlassmaterial, das sich von geschmolzenem Siliciumoxid unterscheidet, wie etwa Magnesiumfluorid oder bei einem anderen Medium, das den Spalt zwischen den parallelen Oberflächen füllt, wie etwa einer Flüssigkeit würde ein anderer Winkelbereich spezifiziert, um die Reflexionsverluste zu minimieren.
  • Die Erfindung wird nun lediglich beispielhalber und mit Bezug auf die folgende Zeichnung beschrieben, worin:
  • 1 eine Darstellung der Seitenverschiebung zeigt, die ein Lichtstrahlenbündel erfährt, das eine Grenzfläche zwischen zwei parallelen Oberflächen durchquert, die so festgelegt sind, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist;
  • 2 eine Darstellung zweier Grenzflächen zeigt, die parallele Oberflächen umfassen, die so festgelegt sind, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist;
  • 3 die Herleitung des Winkels zeigt, bei dem die parallelen Oberflächen so angeordnet sind, dass Reflexionsverluste minimiert sind;
  • 4 ein Beispiel einer optischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5 eine Skizze des Verlaufs der optischen Achse für die optische Vorrichtung von 4 zeigt;
  • 6 ein zweites Beispiel einer optischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; und
  • 7 eine Skizze des Verlaufs der optischen Achse für die optische Vorrichtung von 6 zeigt.
  • In 1 sind zwei Prismenabschnitte 1, 10 und eine Grenzfläche 2 gezeigt. Ein Breitband-p-polarisiertes Lichtstrahlenbündel 3 verlässt den Prismenabschnitt 1 an der Oberfläche 6 und durchquert die Grenzfläche 2. Die Grenzfläche 2 umfasst zwei parallele Oberflächen 6, 7 und einen Spalt 8. Die parallelen Oberflächen sind so angeordnet, dass zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündels in den Prismenabschnitten und einer Normalen 9 zu den parallelen Oberflächen ein Winkel 5 gebildet wird, so dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist. Wenn die Brewster-Bedingung erfüllt ist, ergibt sich im Wesentlichen keine Reflexion des Strahlenbündels 3 an den parallelen Oberflächen 6 und 7. Da der Brewster-Winkel von der Wellenlänge abhängt, wird eine Seitenverschiebung beobachtet, wenn das Eingangsstrahlenbündel breitbandig ist. Dies ist in 1 als Lichtstrahlenbündel 4 gezeigt. Die Größe dieser Verschiebung Δ hängt außerdem von der Breite der Grenzfläche 2 ab. Beispielsweise ist Δ = 1 mm für Licht mit einer Wellenlänge im Bereich 200–700 nm, bei optischen Elementen aus geschmolzenem Siliciumoxid und einem luftgefüllten Spalt einer Breite von 10 mm.
  • 2 zeigt, wie die Verwendung zweier Grenzflächen eingesetzt wer den kann, um die einem Breitband-Strahlenbündel inhärente Seitenverschiebung gegenseitig aufzuheben und ein kollineares System zu erzeugen. In 2 sind drei Prismenabschnitte 18, 19, 20 und zwei Grenzflächen 12, 13 gezeigt, die parallele Oberflächen 14, 15 und einen Spalt 21 bzw. parallele Oberflächen 16, 17 und einen Spalt 22 umfassen. An der Oberfläche 14 des Prismenabschnitts 18 tritt übereinstimmend mit dem Lichtweg 11 ein polarisiertes Breitband-Eingangsstrahlenbündel 3 aus und durchquert die Grenzfläche 12, wo sie auf die Oberfläche 15 des Prismenabschnitts 19 auftrifft. Die parallelen Oberflächen 14 und 15 sind so festgelegt, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist und somit Reflexionsverluste minimiert sind. Jedoch wird, wie oben in 1 beschrieben ist, eine Seitenverschiebung Δ eingeführt. Dies ist als Strahlenbündel 4 gezeigt. An der Oberfläche 16 des Prismenabschnitts 19 treten die Strahlenbündel 3 und 4 aus, durchqueren die Grenzfläche 13 und treffen auf die Oberfläche 17 des Prismenabschnitts 20 auf. Die parallelen Oberflächen 16 und 17 sind ebenfalls so festgelegt, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist. Die Grenzfläche 13 ruft eine Seitenverschiebung hervor, die der Größe nach gleich, jedoch der Wirkung nach jener, die durch die Grenzfläche 12 hervorgerufen wird, entgegengesetzt ist. Die Strahlenbündel 3 und 4 vereinigen sich deshalb an der Fläche 17 und setzen sich längs des Lichtweges 11 fort.
  • 3 zeigt die Herleitung des Winkels (Winkel 5 in den 1 und 2) zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündel in dem Lichtdurchlassmaterial und einer Normalen zu den parallelen Oberflächen, der erforderlich ist, um sicherzustellen, dass die Brewster-Bedingung erfüllt ist und Reflexionsverluste minimiert sind. In den 3b3d ist der Reflexionskoeffizient über der Wellenlänge für ein Lichtstrahlenbündel, das eine Grenze zwischen Luft und geschmol zenem Siliciumoxid überquert, aufgezeichnet. Diese Grenze ist in 3a gezeigt: ein Lichtstrahlenbündel 23 trifft auf eine Oberfläche 28 zwischen Luft 25 und geschmolzenem Siliciumoxid 26 auf und bildet mit einer Normalen 27 zur Oberfläche einen Winkel 24. In den 3b und 3d ist der Winkel 24 auf 33,76° bzw. 33,26° festgelegt. Wie gezeigt ist, beträgt der maximale Reflexionskoeffizient etwa 0,05 % über einen Wellenlängenbereich 200–700 nm. Die ideale Anordnung ist in 3c gezeigt: der Winkel 24 ist auf 33,51° festgelegt, was einen maximalen Reflexionskoeffizienten von etwa 0,03 % über den Wellenlängenbereich 200–700 nm ergibt.
  • Ein Beispiel einer optischen Vorrichtung 29 gemäß der vorliegenden Erfindung ist in 4 gezeigt. Es sind drei Prismenabschnitte 30, 37, 43 gezeigt. Auf die Fläche 31 des Prismenabschnitts 30 trifft ein Strahlenbündel aus polarisiertem Licht 3 auf. Das Strahlenbündel erfährt drei Reflexionen von den intern totalreflektierenden Oberflächen 32, 33, 34 und tritt an der Oberfläche 35 des Prismenabschnitts 30 aus. Das Strahlenbündel 3 trifft dann auf die Oberfläche 39 des Prismenabschnitts 37 auf. Die parallelen Oberflächen 35 und 39 sind durch einen Spalt 36 getrennt und in einem solchen Winkel angeordnet, dass die Brewster-Bedingung im Wesentlichen erfüllt ist und sich somit, wie oben beschrieben worden ist, ein minimaler Reflexionsverlust ergibt. Sobald sich das Strahlenbündel innerhalb des Prismenabschnitts 37 befindet, erfährt es von den intern totalreflektierenden Oberflächen 40, 41 zwei Reflexionen und tritt an der Oberfläche 42 aus. Das Strahlenbündel trifft dann auf die Oberfläche 44 des Prismenabschnitts 43 auf. Die parallelen Oberflächen 42 und 44 sind durch einen Spalt 38 getrennt und ebenso in einem solchen Winkel angeordnet, dass die Brewster-Bedingung im Wesentlichen erfüllt ist, wodurch Reflexionsverluste minimiert sind. Das Strahlen bündel erfährt dann von den intern totalreflektierenden Oberflächen 45, 46 zwei weitere Reflexionen, bevor es senkrecht zur Fläche 47 austritt.
  • Das Prisma 30 dient dazu, die Polarisation des an der Oberfläche 31 einfallenden Lichts zu drehen. Das die Oberfläche 35 verlassende Licht wird um 90° in Bezug auf das Licht an der Oberfläche 31 gedreht. Die Polarisation des an der Oberfläche 31 einfallenden Lichts ist derart, dass das Licht an der Oberfläche 35 p-polarisiert ist. Das die Oberfläche 35 verlassende Licht ist in Bezug auf das einfallende Licht 3 verschoben.
  • Die Prismen 37 und 43 drehen die Lichtpolarisation nicht. Ihr Zweck besteht darin, das Lichtstrahlenbündel so zu verschieben, dass das die Oberfläche 47 verlassende Licht mit dem an der Oberfläche 31 eintretenden Licht kollinear ist.
  • Wie in den 1 und 2 beschrieben ist, ergibt sich eine von der Wellenlänge abhängige Seitenverschiebung, wenn das Strahlenbündel von einem Prismenabschnitt zum anderen übergeht, jedoch ist dies zwecks Klarheit in 4 weggelassen. Die Grenzflächen zwischen den parallelen Oberflächen 35 und 39 sowie den parallelen Oberflächen 42 und 44 haben, wie in 2 beschrieben ist, gleiche und entgegengesetzte Wirkungen, weshalb das Ausgangslichtstrahlenbündel von der Vorrichtung von 4 mit dem Eingangslichtstrahlenbündel kollinear ist.
  • 5 zeigt, wie bei der Vorrichtung von 4 die Polarisation des Austrittsstrahlenbündels in Bezug auf das Eintrittsstrahlenbündel um 90° gedreht wird. Zwecks Klarheit sind die Bezugszeichen für die Flächen der Prismenabschnitte 30, 37 und 43 beibehalten worden, jedoch die Eingangs- und Austrittsflächen 31, 47 durch Kreuze, die intern totalreflektierenden Oberflächen 3234, 40, 41, 45 und 46 durch volle Kreise und die parallelen Oberflächen 35, 39, 42 und 44 durch leere Kreise wiedergegeben. Die Polarisationsrichtung des Lichtstrahlenbündels 3 ist durch die zweiseitigen Pfeile 51 in Bezug auf die orthogonalen Achsen 48, 49 und 50 angegeben. Ein auf die Fläche 31 auftreffendes Lichtstrahlenbündel 3 wird parallel zur Achse 48 polarisiert und verlässt die Fläche 47 parallel zur Achse 49 polarisiert. Die Polarisation ist somit um 90° gedreht worden. Die Polarisation von Licht an jeder der Reflexionsoberflächen ist ausschließlich p- oder s-polarisiert. Dies stellt sicher, dass das Licht eine lineare Polarisation bewahrt. Die Reflexionsoberflächen sind so orientiert, dass sich das Licht stets parallel zu einer der orthogonalen Achsen 48, 49, 50, jedoch jeweils innerhalb der Prismen 30, 37 und 43 ausbreitet.
  • Die Drehung der Polarisation wird in dem Prisma 30 dadurch erreicht, dass das Licht drei 90°-Reflexionsvorgängen unterliegt, wovon jeder in einer orthogonalen Ebene vor sich geht. Die Prismen 37 und 43 dienen zur Umwandlung des Lichtstrahlenbündels in der Weise, dass es wieder zur Kollinearität mit dem an dem Prisma 30 einfallenden Licht gebracht wird. In jedem Prisma erfolgen zwei 90°-Reflexionen. Die zwei Reflexionen in dem Prisma 37 wie auch die zwei Reflexionen in dem Prisma 43 erfolgen in derselben Ebene.
  • Ein zweites Beispiel einer optischen Vorrichtung 52 gemäß der vorliegenden Erfindung ist in 6 gezeigt. Es sind drei Prismenabschnitte 53, 54 und 55 gezeigt. Ein Strahlenbündel aus polarisiertem Licht 3 trifft auf die Fläche 56 des Prismenabschnitts 53 auf. Das Strahlenbündel erfährt an den parallelen Oberflächen 57, 58 zwei interne Totalreflexionen und tritt an der Oberfläche 59 des Prismenabschnitts 53 aus. Das Strahlenbündel 3 trifft dann auf die Oberfläche 61 des Prismenabschnitts 54 auf. Die parallelen Oberflächen 59 und 61 sind durch einen Spalt 60 getrennt und in einem solchen Winkel festgelegt, dass die Brewster-Bedingung im Wesentlichen erfüllt ist und sich somit, wie oben beschrieben worden ist, ein minimaler Reflexionsverlust ergibt. Sobald sich das Strahlenbündel 3 innerhalb des Prismenabschnitts 54 befindet, erfährt es von den intern totalreflektierenden Oberflächen 62, 63 und 64 drei Reflexionen und tritt an der Oberfläche 65 aus. Das Strahlenbündel trifft dann auf die Oberfläche 67 des Prismenabschnitts 55 auf. Die parallelen Oberflächen 65 und 67 sind durch einen Spalt 66 getrennt und ebenso in einem solchen Winkel angeordnet, dass die Brewster-Bedingung im Wesentlichen erfüllt ist, wodurch Reflexionsverluste minimiert sind. Das Strahlenbündel erfährt dann von den intern totalreflektierenden Oberflächen 68 und 69 zwei weitere Reflexionen, bevor es senkrecht zur Fläche 70 austritt.
  • Das Prisma 54 dient dazu, die Polarisation des an der Oberfläche 61 einfallenden Lichts zu drehen. Das die Oberfläche 65 verlassende Licht wird um 90° in Bezug auf das Licht an der Oberfläche 61 gedreht. Die Polarisation des an der Oberfläche 56 einfallenden Lichts ist derart, dass das Licht an den Oberflächen 59, 61, 65 und 67 p-polarisiert ist.
  • Die Prismen 53 und 55 drehen die Lichtpolarisation nicht. Ihr Zweck besteht darin, das Lichtstrahlenbündel 3 so zu verschieben, dass das durch die Oberfläche 70 austretende Licht mit dem durch die Oberfläche 56 eintretenden Licht kollinear ist. Die Prismen 53 und 55 ver schieben das Licht jeweils in zueinander senkrechte Richtungen.
  • 7 zeigt, wie bei der Vorrichtung von 6 die Polarisation des Austrittsstrahlenbündels in Bezug auf das Eintrittsstrahlenbündel um 90° gedreht wird. Zwecks Klarheit sind die Bezugszeichen für die Flächen der Prismenabschnitte 53, 54 und 55 beibehalten worden, jedoch die Eingangs- und Austrittsflächen 56, 70 durch Kreuze, die intern totalreflektierenden Oberflächen 57, 58, 62, 63, 64, 68 und 69 durch volle Kreise und die parallelen Oberflächen 59, 61, 65 und 67 durch leere Kreise wiedergegeben. Die Polarisationsrichtung des Lichtstrahlenbündels 3 ist durch die zweiseitigen Pfeile 51 in Bezug auf die orthogonalen Achsen 48, 49 und 50 angegeben. Ein auf die Fläche 56 auftreffendes Lichtstrahlenbündel 3 wird parallel zur Achse 48 polarisiert und verlässt die Fläche 70 parallel zur Achse 49 polarisiert. Die Polarisation ist somit um 90° gedreht worden. Die Polarisation von Licht an jeder der Reflexionsoberflächen ist ausschließlich p- oder s-polarisiert. Dies stellt sicher, dass das Licht eine lineare Polarisation bewahrt. Die Reflexionsoberflächen sind so orientiert, dass sich das Licht stets parallel zu einer der orthogonalen Achsen 48, 49, 50, jedoch jeweils innerhalb der Prismenabschnitte 53, 54 und 55 ausbreitet.

Claims (9)

  1. Optische Vorrichtung (29; 52) zum Drehen der Polarisation eines linear polarisierten Breitband-Eingangslichtstrahlenbündels, wobei die Vorrichtung Prismenmittel (30, 37, 43; 53, 54, 55) umfasst; wobei das Eingangsstrahlenbündel senkrecht zu einer ersten Fläche (31; 56) der Prismenmittel einfällt und senkrecht zu einer zweiten Fläche (47; 70) der Prismenmittel austritt; wobei die Prismenmittel Lichtdurchlassmaterial mit mehreren intern totalreflektierenden Oberflächen (32, 33, 34; 57, 58) und einer oder mehreren Grenzflächen (35, 36, 39, 42, 38, 44; 59, 60, 61, 65, 66, 67) umfasst; wobei die intern totalreflektierenden Oberflächen so angeordnet sind, dass die Polarisation des Austrittsstrahlenbündels in Bezug auf das Eingangsstrahlenbündel um 90° gedreht ist; dadurch gekennzeichnet, dass jede Grenzfläche ein paar paralleler Oberflächen (35, 39, 42, 44; 59, 61, 65, 67), die durch einen Spalt (36, 38; 60, 66) getrennt sind, umfasst; wobei die parallelen Oberflächen im wesentlichen so angeordnet sind, dass sie die Brewster-Bedingung über den weiten Bereich von Wellenlängen im Eingangslichtstrahlenbündel erfüllen, so dass die Oberflächenreflexionsverluste minimiert sind, und dass die Prismenmittel eine gerade Anzahl von Grenzflächen und eine ungerade Anzahl von Prismenmitteln besitzen und so angeordnet sind, dass die Eingangs- und Austrittsstrahlenbündel im Wesentlichen kollinear sind.
  2. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Prismenmittel drei Prismenabschnitte und zwei Grenzflächen umfassen.
  3. Optische Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Grenzflächen so angeordnet sind, dass sich eine Seitenverschiebung des Strahlenbündels gegenseitig aufhebt.
  4. Optische Vorrichtung nach einem vorhergehenden Anspruch, bei der das Lichtdurchlassmaterial geschmolzenes Siliciumoxid umfasst.
  5. Optische Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der der Spalt, der die parallelen Oberflächen trennt, mit Luft gefüllt ist.
  6. Optische Vorrichtung nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, bei der das Eingangslichtstrahlenbündel eine Wellenlänge im Bereich von 200–700 nm besitzt.
  7. Optische Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 bis 6, bei der die parallelen Oberflächen so gesetzt sind, dass der Winkel zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündels in dem Lichtdurchlassmaterial und einer Normalen zu den parallelen Oberflächen im Bereich von 32° bis 35° liegt.
  8. Optische Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der die parallelen Oberflächen so gesetzt sind, dass der Winkel zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündels in dem Lichtdurchlassmaterial und einer Normalen zu den parallelen Oberflächen im Bereich von 33,26° bis 33,76° liegt.
  9. Optische Vorrichtung nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, bei der die parallelen Oberflächen so gesetzt sind, dass der Winkel zwischen der Ausbreitungsrichtung des Lichtstrahlenbündels in dem Licht durchlassmaterial und einer Normalen zu den parallelen Oberflächen 33,51° beträgt.
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