DE60030193D1 - Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Fehlern auf der Oberfläche eines Werkstücks - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Fehlern auf der Oberfläche eines Werkstücks

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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7181097B2 (en) * 2001-03-15 2007-02-20 Massachusetts Institute Of Technology Methods of achieving optimal communications performance
US6781688B2 (en) * 2002-10-02 2004-08-24 Kla-Tencor Technologies Corporation Process for identifying defects in a substrate having non-uniform surface properties
WO2004105087A2 (en) * 2003-05-19 2004-12-02 Kla-Tencor Technologies Corporation Apparatus and methods for enabling robust separation between signals of interest and noise
US7539584B2 (en) * 2003-10-24 2009-05-26 Kla-Tencor Corporation Volume based extended defect sizing system
WO2006066205A2 (en) 2004-12-19 2006-06-22 Ade Corporation System and method for inspection of a workpiece surface using multiple scattered light collectors
US7623427B2 (en) * 2006-01-18 2009-11-24 Seagate Technology Llc Surface inspection by amplitude modulated specular light detection
JP4765667B2 (ja) * 2006-02-27 2011-09-07 ブラザー工業株式会社 画像処理プログラムおよび画像処理装置
US20070247617A1 (en) * 2006-04-19 2007-10-25 Maxtor Corporation Surface inspection by scattered light detection using dithered illumination spot
JP4875936B2 (ja) * 2006-07-07 2012-02-15 株式会社日立ハイテクノロジーズ 異物・欠陥検出方法および異物・欠陥検査装置
JP5319876B2 (ja) * 2006-07-31 2013-10-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面検査装置及び表面検査方法
US7751612B2 (en) * 2006-10-10 2010-07-06 Usnr/Kockums Cancar Company Occlusionless scanner for workpieces
WO2008082411A1 (en) * 2007-01-03 2008-07-10 General Electric Company Method for examining molds and apparatus for accomplishing the same
JP5213765B2 (ja) * 2009-03-06 2013-06-19 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面検査装置及び表面検査方法
JP5463943B2 (ja) * 2010-02-08 2014-04-09 株式会社Ｓｕｍｃｏ 画像データ処理方法および画像作成方法
US8885158B2 (en) 2011-03-10 2014-11-11 Kla-Tencor Corporation Surface scanning inspection system with adjustable scan pitch
DE102011082793A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtungen zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads und/oder zur Schichtdickenbestimmung eines Bandes
CN104412079B (zh) 2012-05-09 2018-03-27 希捷科技有限公司 表面特征映射
US9212900B2 (en) 2012-08-11 2015-12-15 Seagate Technology Llc Surface features characterization
US9297759B2 (en) 2012-10-05 2016-03-29 Seagate Technology Llc Classification of surface features using fluorescence
US9297751B2 (en) 2012-10-05 2016-03-29 Seagate Technology Llc Chemical characterization of surface features
US9377394B2 (en) 2012-10-16 2016-06-28 Seagate Technology Llc Distinguishing foreign surface features from native surface features
US9217714B2 (en) 2012-12-06 2015-12-22 Seagate Technology Llc Reflective surfaces for surface features of an article
US9201019B2 (en) 2013-05-30 2015-12-01 Seagate Technology Llc Article edge inspection
US9274064B2 (en) 2013-05-30 2016-03-01 Seagate Technology Llc Surface feature manager
US9217715B2 (en) * 2013-05-30 2015-12-22 Seagate Technology Llc Apparatuses and methods for magnetic features of articles
US9513215B2 (en) * 2013-05-30 2016-12-06 Seagate Technology Llc Surface features by azimuthal angle
FR3034868A1 (fr) * 2015-04-13 2016-10-14 Airbus Defence & Space Sas Procede et dispositif de controle laser d'une surface
JP6266574B2 (ja) * 2015-09-10 2018-01-24 株式会社日立ハイテクサイエンス Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置
US10324045B2 (en) 2016-08-05 2019-06-18 Kla-Tencor Corporation Surface defect inspection with large particle monitoring and laser power control
US11703460B2 (en) 2019-07-09 2023-07-18 Kla Corporation Methods and systems for optical surface defect material characterization
CN114937041B (zh) * 2022-07-25 2022-10-25 聊城市博源节能科技有限公司 一种汽车发动机油路铜套缺陷检测方法及系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06258250A (ja) 1993-03-09 1994-09-16 Toshiba Corp 表面検査装置
DE4400868A1 (de) 1994-01-14 1995-07-20 Jenoptik Jena Gmbh Verfahren zur quantitativen Bewertung des Streuverhaltens von Defekten an Oberflächen mit optischen Qualitätsanforderungen
US5864394A (en) 1994-06-20 1999-01-26 Kla-Tencor Corporation Surface inspection system
US5712701A (en) 1995-03-06 1998-01-27 Ade Optical Systems Corporation Surface inspection system and method of inspecting surface of workpiece
US5715051A (en) * 1996-10-21 1998-02-03 Medar, Inc. Method and system for detecting defects in optically transmissive coatings formed on optical media substrates

Also Published As

Publication number Publication date
EP1041379A3 (de) 2001-11-28
US6529270B1 (en) 2003-03-04
EP1041379B1 (de) 2006-08-23
JP2000329709A (ja) 2000-11-30
EP1041379A2 (de) 2000-10-04
JP3290643B2 (ja) 2002-06-10
DE60030193T2 (de) 2007-07-19

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