DE50101710D1 - Verfahren zum abscheiden einer polymerschicht - Google Patents

Verfahren zum abscheiden einer polymerschicht

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Rudolf Thyen
Niklas Steen
Katrin Jacob
Claus-Peter Klages
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    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers

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