DE4425187A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken beim Beschichten von Bauteilen.

Bei der Beschichtung von Bauteilen, insbesondere mittels thermischer Beschichtungsverfahren wie Flammspritzen, Plasmaspritzen, etc. wird in der Praxis die Dicke der aufgetragenen Schicht nach Beendigung des Beschichtungsverfahrens ermittelt. Wenn die Schichtdicke zu niedrig ist, kann diese nachgespritzt werden. Bei manchen Anwendungen muß die Beschichtung wieder von dem Bauteil entfernt und neu aufgetragen werden. Auch ist es üblich, eine Schichtdicke aufzubringen, die größer als die Sollschichtdicke ist. Diese Schicht wird dann durch nachträgliche Bearbeitung auf das Sollmaß gebracht. All diese Verfahren sind aufwendig und teuer, insbesondere wenn zum Beschichten lange Zeiten benötigt werden oder teure Spritzwerkstoffe verwendet werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken zu schaffen, welche einfacher und kostengünstiger sind.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Messen von Schichtdicken beim Beschichten von Bauteilen gelöst, bei dem ein Laserstrahl derart auf die Bauteiloberfläche gelenkt wird, daß der gestreute Laserstrahl auf einen Detektor abgebildet und dort ortsabhängig nachgewiesen wird.

Ferner wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken beim Beschichten von Bauteilen mit einem Laser, dessen Laserstrahl derart auf die Bauteiloberfläche lenkbar ist, daß mit einer Linse zum Abbilden des an der Bauteiloberfläche gestreuten Laserstrahls in einen ortsauflösenden Detektor und mit einer Beschichtungseinrichtung gelöst.

Mit einem solchen Verfahren und einer solchen Vorrichtung kann die Schichtdicke direkt beim Beschichten der Bauteile bestimmt werden. Damit kann das Beschichtungsverfahren direkt bei Erreichen der Sollschichtdicke beendet werden. Es muß weder nachträglich die Schicht nachgespritzt werden, noch das Bauteil entschichtet werden, noch ist eine Nacharbeit erforderlich. Dadurch wird die Herstellung einfacher und kostengünstiger. Durch die erfindungsgemäße Anordnung und das ortsabhängige Nachweisen des Laserstrahls ist die Entfernung von dem Detektor zu der Bauteiloberfläche bekannt. Bei einer Schichtdickenzunahme nimmt diese Entfernung ab und der Laserstrahl trifft an einem anderen Ort des Detektors auf. Abhängig von dem Ort des Detektors kann der Beschichtungsvorgang bei der gewünschten Sollschichtdicke beendet werden. Die Schichtdicke ist damit zuverlässig meßbar. Das Messen der Entfernung zwischen dem Detektor und dem Bauteil erfolgt berührungslos und rückwirkungsfrei. Daher kann eine derartige Messung während des Beschichtungsvorganges erfolgen. Für die Durchführung des Verfahrens und den Aufbau der Vorrichtung können Laser-Triangulationssensoren verwendet werden, die im Handel erhältlich sind. Dadurch werden Vorrichtung und Verfahren weitgehend vereinfacht und kostengünstiger.

Günstigerweise ist eine Signalverarbeitungseinrichtung zur elektronischen Verarbeitung der Ausgangssignale des Detektors vorgesehen, mit welcher die Entfernung von dem Detektor zu der Bauteiloberfläche bestimmbar ist. Die Entfernung von dem Detektor zu der Bauteiloberfläche bzw. die aktuelle Schichtdicke kann dann direkt auf einem Display angezeigt werden. Auch können die analogen Ausgangssignale des Detektors von der Signalverarbeitungseinrichtung weiterverarbeitet werden. Die Auswertung der Meßdaten kann kontinuierlich erfolgen. Es kann aber auch eine bestimmte Stelle des Bauteiles punktuell durch Triggerung des Meßzeitpunktes durchgeführt werden. Letzteres ist z. B. bei nicht kontinuierlich zu beschichtenden Bauteilen oder nicht kontinuierlichen Bauteilen vorteilhaft.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn der Laser, die Linse und der Detektor in einem Gehäuse angeordnet sind, da so die Einzelteile vor Verschmutzung geschützt werden. In dem Gehäuse kann ein Überdruck, insbesondere mit Preßluft erzeugt werden. Durch eine derartige Kapselung des Detektors wird erreicht, daß die Sensoren vor den bei der Beschichtung vorhandenen Temperatur- und Staubeinflüssen geschützt sind. Durch den Überdruck mit der Preßluft wird das Eindringen von Staub in den Detektor verhindert. Ferner kann das Gehäuse zur Anpassung an die Arbeitsbedingungen in der Nähe von z. B. Plasmabrennern gekühlt werden.

Günstigerweise kann ein Kompensationssensor zum Messen der Entfernung zu einer Referenzfläche vorgesehen sein, welche nicht beschichtet wird. Mit den Ausgangssignalen eines solchen Kompensationssensors können Meßfehler der Ausgangssignale des Detektors korrigiert werden. Derartige Meßfehler kommen beispielsweise aufgrund thermischer Ausdehnung des Bauteiles, bei runden Bauteilen aufgrund der Unrundheit und der Exzentrizität der Aufspannung zustande. Bei rotationssymmetrischen Bauteilen kann der Kompensationssensor an der Rückseite des Bauteils oder einer anderen Stelle, auf die keine Schicht aufgebracht wird, angeordnet werden. Während einer Messung müssen der Detektor und der Kompensationssensor sich in einem festen Abstand zueinander befinden. Dies kann durch eine Halterung realisiert werden, in welcher der Detektor und der Kompensationssensor einzeln befestigbar sind. Auch können der Detektor und der Kompensationssensor in einem Gehäuse fest eingebaut werden. Beim Beschichten eines ebenen Bauteils wird die Schichtdickenmessung mit dem Detektor entweder an einem separaten, optisch zugänglichen Referenzteil, welches mit beschichtet wird, oder an dem Bauteil selbst vermessen. Der Kompensationsdetektor kann entweder auf die Rückseite des Bauteils oder ein Referenzteil gerichtet sein. Der Sensor, welcher aus dem Laser, der Linse und dem Detektor besteht, muß dabei immer in die gleiche räumliche Position bezüglich des zu vermessenden Bauteiles gebracht werden.

Der Kompensationssensor kann einen induktiven bzw. kapazitiven Sensor umfassen. Mit diesem kann die Entfernung zu dem Bauteil bei metallischen Oberflächen auf einfache Weise gemessen werden. Solche Sensoren sind einfach und kostengünstig. Sie sind ferner dann vorteilhaft, wenn es sich um eine metallische Oberfläche handelt, die vermessen werden soll.

Auch kann der Kompensationssensor einen Laser, dessen Laserstrahl derart auf die Referenzfläche lenkbar ist, eine Linse zum Abbilden des an der Referenzfläche gestreuten Laserstrahles in einen ortsauflösenden Referenzdetektor und den Referenzdetektor umfassen. In diesem Falle kann ein im Handel erhältlicher Triangulationssensor verwendet werden. Ein solcher Sensor ist auch für die Messung an anorganischen, nicht metallischen Schichten und an organischen Schichten geeignet.

Günstigerweise beträgt der Abstand zwischen der Bauteiloberfläche und dem Detektor 30 bis 50 mm. Hierbei kann eine Auflösung von 2 µm erzielt werden. Bei der Verwendung eines Triangulationsdetektors als Kompensationssensor kann dieser ebenfalls eine Entfernung zwischen 30 bis 50 mm zu der Referenzfläche aufweisen. Für Aufgaben mit geringerer Signalauflösung könnten Triangulationssensoren mit größerem Arbeitsabstand verwendet werden.

Vorteilhafterweise ist das Bauteil relativ zu dem Detektor und dem Kompensationssensor drehbar. Dies ist bei der Verwendung eines rotationssymmetrischen Bauteils vorteilhaft. Das Bauteil wird dann zwischen dem Sensor und dem Kompensationssensor, welche sich gegenüberstehen, gedreht. Der Detektor kann dabei hinsichtlich der Beschichtungseinrichtung winklig versetzt angeordnet sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die Winkelversetzung 90°. Aufgrund dieser Anordnung wird eine Beeinflussung bzw. Beschädigung des Sensors bzw. des Kompensationssensors durch die Beschichtungseinrichtung verhindert. Dies ist insbesondere bei Plasmabrennern, die eine heiße Plasmaflamme aufweisen, vorteilhaft. Es kann auch eine sonstige für eine besondere Bauteilgeometrie angepaßte Anordnung gewählt werden.

Auch kann es vorteilhaft sein, wenn der Sensor meanderförmig relativ zu der Bauteiloberfläche bewegbar ist. Dies ist dann vorteilhaft, wenn das zu beschichtende Bauteil feststeht, und die Beschichtungseinrichtung, etwa der Plasmabrenner bzw. dessen Plasmastrahl ebenfalls über die Bauteiloberfläche bewegt wird.

Günstigerweise können mit der Signalverarbeitungseinrichtung die Ausgangssignale des Detektors mit den Ausgangssignalen des Kompensationsdetektors korrigiert werden. Dann kann die korrigierte Schichtdicke direkt angezeigt oder als Signal ausgegeben werden. Die Korrektur kann etwa durch Summenbildung der Ausgangssignale des Detektors und des Kompensationsdetektors gebildet werden. Vorteilhafterweise können mit der Signalverarbeitungseinrichtung die Ausgangssignale des Detektors bzw. des Kompensationsdetektors einem Filterverfahren unterzogen werden. Auf diese Weise wird eine bessere Auflösung erzielt, da sehr stabile Meßsignale erzeugt werden. Bei dem Filterverfahren kann eine Mittelwertbildung oder sonstige Signalglättung vorgenommen werden. Auf diese Weise kann die Schichtdicke kontinuierlich auf 0,01 mm genau bestimmt werden.

Günstigerweise kann mit der Signalverarbeitungseinrichtung durch Differentiation der gefilterten und korrigierten Detektorausgangssignale die Beschichtungsleistung bestimmt werden. Dadurch erhält man eine Kontrollgröße für das Verfahren, mit welcher die Auftragsgeschwindigkeit und deren Gleichmäßigkeit kontrolliert werden kann.

Ferner ist es günstig, wenn der Sensor, d. h. die Anordnung aus dem Detektor und dem Laserstrahl unter vorgegebenen Bedingungen, insbesondere bei Änderung des Beschichtungsmaterials oder vorgegebener Schichtdicke kalibriert wird. Dann können mit großer Genauigkeit unterschiedliche Schichten aus verschiedenen Materialien aufgetragen werden. Auch werden Ungenauigkeiten bei großen Schichtdicken vermieden. Bei verschiedenen Bedingungen können durch ein Meßprogramm jeweils verschiedene Kalibrierfaktoren zugeordnet werden, die dem Programm vorher als Daten eingegeben wurden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Messen von Schichtdicken und

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung einen Sensor 1, mit dem eine Schichtdicke einer Beschichtung 2 einer Bauteiloberfläche 3 gemessen wird. Der Sensor umfaßt einen Laser 4, eine Linse 5 und einen Detektor 6, welche in einem Gehäuse 7 angeordnet sind.

Es ist das Meßprinzip für den Fall dargestellt, daß die Bauteiloberfläche 3, die Dicke einer Beschichtung 2 und die Dicke einer Beschichtung 2′ gemessen werden. Der Laserstrahl 8 des Lasers 4 wird derart auf die Bauteiloberfläche 3 gelenkt, daß er auf der Oberfläche gestreut wird. Der Auftreffpunkt des Laserstrahls 9 auf der Oberfläche wird mit der Linse 5 und dem Detektor 6 und in der Position 10 ortsauflösend nachgewiesen. Ist auf die Oberfläche 3 eine Schicht 2 mit einer Dicke d aufgetragen, so wird der Laserstrahl 8 an der Schicht 2 an einem anderen Ort gestreut und mit der Linse 5 auf den Detektor 6 nachgewiesen, wo er an dem Ort 10′ auftrifft. Ist eine Schicht 2′ mit der Dicke d′ aufgetragen, so wird der Laserstrahl 8 an der Oberfläche der Schicht 2′ gestreut und wird mittels der Linse 5 auf die Stelle 10′′ des Detektors 6 nachgewiesen. Jedem Ort 10, 10′, 10′′, auf dem die Laserstrahlen 9, 9′, 9′′ . . . abgebildet werden, läßt sich somit eine Schichtdicke d′, d′′ . . . zuordnen. Somit kann mit der gezeigten Vorrichtung die Schichtdicke der auf die Bauteiloberfläche 3 aufgebrachten Schicht 2 zuverlässig und kontinuierlich bestimmt werden. Als Detektor 6 wird ein ortsauflösender Detektor verwendet; es kann beispielsweise eine CCD (Chart Coupled Device)-Anordnung oder ein PSD-Element (position- sensitive-device) verwendet werden. Wesentlich zu der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, daß die Oberfläche des Bauteiles 3 und der Beschichtung 2 und 2′ den Laserstrahl 8 streut, d. h. der Laserstrahl muß auf der jeweiligen Schicht sichtbar sein. Das Verfahren funktioniert bei jeder Schichtart, deren Oberfläche keine ideal schwarze oder spiegelnde Oberfläche ist.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Vorrichtung weist eine Beschichtungseinrichtung 11, einen Sensor 1 und einen Kompensationssensor 12 auf. Das Bauteil 3 ist drehbar zwischen dem Sensor 1 und dem Kompensationssensor 12 angeordnet. Der Sensor 1 und der Kompensationssensor 12 sind hinsichtlich der Beschichtungseinrichtung 11 um 90° versetzt angeordnet.

Mit der Beschichtungseinrichtung 11 wird eine Beschichtung 2 auf die Oberfläche des Bauteiles 3 aufgebracht. Üblicherweise wird ein thermisches Beschichtungsverfahren, wie Flammspritzen, Plasmaspritzen, durchgeführt, so daß es sich bei der Beschichtungseinrichtung 11 beispielsweise um einen Plasmabrenner handelt. Bei dem gezeigten Bauteil 3 handelt es sich um ein rotationssymmetrisches Bauteil, welches um seinen Mittelpunkt M in Richtung des Pfeiles A gedreht wird. Somit können die Beschichtungseinrichtung 11, der Sensor 1 und der Kompensationssensor 12 an einem festen Ort angeordnet sein. Die Schicht 2 wird kontinuierlich durch Drehen des Bauteiles 3 und eventuell durch eine Auf-/Abbewegung des von der Beschichtungseinrichtung ausgehenden Plasmastrahles 13 kontinuierlich in verschiedenen Lagen aufgebracht. Durch die Drehbewegung des Bauteiles 3 in Richtung des Pfeiles A durchläuft das frisch beschichtete Bauteil den Sensor und den Kompensationssensor 12. Dort wird jede zusätzliche neue Lage der Beschichtung 2 vermessen. Der Sensor 1 ist wie im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben aufgebaut. Er umfaßt den Laser 4, die Linse 5 und den ortsauflösenden Detektor 6, welche in das Gehäuse 7 eingebaut sind. Die Entfernung zwischen der Oberfläche des Bauteiles 3 und dem Detektor 6 beträgt typischerweise 30 bis 50 mm. Mit dieser Anordnung kann eine Auflösung von etwa 2 µm erreicht werden. Der Kompensationssensor 12 ist etwa spiegelsymmetrisch zu dem Sensor 1 angeordnet. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel umfaßt der Sensor 12 ebenfalls einen Laser 4′, eine Linse 5′, welche den gestreuten Laserstrahl in einen ortsauflösenden Detektor 6′ abgebildet. Der Laser 4′, die Linse 5′ und der Detektor 6′ sind in einem Gehäuse 7′ angeordnet. In dem Gehäuse 7 des Sensors 1 und dem Gehäuse 7′ des Sensors 12 kann zusätzlich ein Überdruck, insbesondere mit Preßluft, erzeugt werden, so daß das Eindringen von Staub in die Sensoren zuverlässig verhindert wird. Durch die um 90° versetzte Anordnung des Sensors 1 und des Sensors 12 hinsichtlich der Beschichtungseinrichtung 11 ist zusätzlich eine Beeinträchtigung oder Beschädigung der Sensoren aufgrund der Erwärmung durch die Beschichtungseinrichtung 11 verhindert. Die hier gezeigten Sensoren 1 und 12 sind als sogenannte Triangulationssensoren im Handel erhältlich. Anstelle des Kompensationssensors 12 können auch andere Abstandssensoren verwendet werden, die auf induktiver oder kapazitiver Basis den Abstand von dem Bauteil und damit die Beschichtungsdicke bestimmen können. Derartige Sensoren haben den Vorteil, daß sie kostengünstiger sind. Bei höheren Anforderungen an die Genauigkeit oder bei der Verwendung besonderer Materialien kann ein Triangulationssensor vorteilhaft sein. Wesentlich für die Entfernungsmessung von dem Sensor zu der Bauteiloberfläche ist, daß sich der entsprechende Sensor bzw. dessen Detektor 6 immer in einer festen Position befindet, so daß sich nur der Abstand d ändert. Der Kompensationssensor dient zum Ausgleich von Wärmeausdehnungen des Bauteils und bei rotationssymmetrischen Bauteilen zusätzlich zur Ausgleichung von dessen Unrundheit und der Exzentrizität der Aufspannung.

Es ist auch möglich, mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Schichtdicke von ebenen Bauteilen beim Beschichten zu messen. Es kann entweder ein separates, optisch zugängliches Referenzteil mit beschichtet und vermessen werden oder das Bauteil selbst vermessen werden. Wesentlich ist, daß der Sensor bezüglich des zu messenden Bauteiles immer in die gleiche räumliche Position gebracht wird. Der Referenzsensor kann ebenfalls auf der Rückseite des Bauteiles angeordnet werden oder ein zusätzliches Referenzteil vermessen. Die Beschichtungseinrichtung 11 und der Sensor 1 können etwa meanderförmig relativ zu der Oberfläche des Bauteiles 3 bewegt werden.

Die Ausgangssignale des Detektors 6 können auf einem in der Figur nicht gezeigten Display dargestellt werden. Die Ausgangssignale der Detektoren 6 bzw. 6′ können auch mit einer nicht gezeigten Signalverarbeitungseinrichtung weiterverarbeitet werden. Dabei können die Ausgangssignale des Detektors 6 mit den Ausgangssignalen des Kompensationssensors 6′ korrigiert werden. Dies ist zum Beispiel durch Summenbildung der Signale möglich. Auch können die Ausgangssignale des Detektors 6 und des Kompensationsdetektors 6′ einem Filterverfahren, einer Mittelwertbildung oder einem Signalglättungsverfahren unterzogen werden. Somit erhält man ein stabiles Signal, welches zuverlässig die aktuelle Schichtdicke anzeigt. Auf dem Display kann sowohl die aktuelle als auch die Gesamtschichtdicke dargestellt werden. Ferner kann durch Differentiation der gefilterten und korrigierten Detektorausgangssignale die Beschichtungsleistung bestimmt werden. Auch diese kann kontinuierlich dargestellt und überprüft werden. Die Beschichtungsleistung dient zur Regelung der Beschichtungsbedingungen, da das Aufbringen der Schicht 2 somit kontrollierbar ist.

Die dargestellte Meßvorrichtung zum Schichtdickenmessen beim thermischen Spritzen hat den Vorteil, daß sie berührungslos arbeitet, ein ausreichender Arbeitsabstand möglich ist, so daß die Detektoren nicht von den hohen Temperaturen beeinflußt werden. Sie ist zudem bei allen Schichtwerkstoffen anwendbar; es ist eine direkte Prozeßkontrolle während des Beschichtens möglich und die Beschichtung kann auf das Sollmaß hergestellt werden, ohne daß der Beschichtungsprozeß unterbrochen werden muß.

Mit der Signalverarbeitungseinrichtung können die Meßdaten bei einem kontinuierlichen Beschichtungsverfahren kontinuierlich ausgewertet werden. Wenn Bauteile beschichtet werden, deren Beschichtung nicht kontinuierlich möglich ist, z. B. da sie nicht kontinuierlich beschichtet werden sollen oder Unterbrechungen aufweisen, kann die Beschichtung auch punktuell durch Triggerung des Meßzeitpunktes erfolgen.

Das erfindungsgemäße Beschichtungsverfahren findet seine Anwendung insbesondere im Rahmen der Erprobung und Serienfertigung von Triebwerksteilen mit Maßkorrekturschichten, Verschleißschutzschichten, Wärmedämmschichten, Einlaufbelägen, Anlaufbelägen, Haftschichten etc. Bei diesen Beschichtungsverfahren ist eine kurze Beschichtungszeit und das Einsparen von Materialien sehr vorteilhaft, da so Kosten gespart werden können.

Typische Schichten, die mit dem Verfahren zuverlässig vermessen werden können, bestehen aus Al₂O₃, NiC, ZrO₂, Al₂O₃, NiAl etc. Eine typische Temperatur nach dem Schichtauftrag, bei der die Dicke an der Oberfläche des Bauteils gemessen wird, beträgt 500 °C.

Unter besonderen Bedingungen wird der Sensor 1 kalibriert. Solche Bedingungen sind insbesondere die Änderung des Beschichtungsmaterials oder eine vorgegebene Schichtdicke. Es können somit mehrlagige verschiedene Schichten, z. B. NiAl/NiC-Schichten aufgebracht werden und jeweils die einzelnen Schichtdicken genau vermessen und bestimmt werden. Bei sehr großen Schichtdicken ist eine Kalibrierung bei vorgegebenen Schichtdicken zur Genauigkeit der Schichtdickenbestimmung vorteilhaft. Die einzelnen Kalibrierfaktoren können in ein Programm eingegeben und unter den vorgegebenen Bedingungen den jeweiligen Sensoren zugeordnet werden.

Claims (20)

1. Verfahren zum Messen von Schichtdicken beim Beschichten von Bauteilen (3), bei dem ein Laserstrahl (8) derart auf die Oberfläche des Bauteiles (3) gelenkt wird, daß der gestreute Laserstrahl (9) auf einem Detektor (6) abgebildet und dort ortsabhängig nachgewiesen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale des Detektors (6) elektronisch verarbeitet und eine Entfernung von dem Detektor (6) zu der Oberfläche des Bauteiles (3) bestimmt wird.

3. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kompensationsmessung durchgeführt wird, bei welcher die Entfernung eines Kompensationssensors (12) zu einer Referenzfläche durchgeführt wird, die nicht beschichtet wird, und die Ausgangssignale des Detektors (6) mit den Ausgangssignalen des Kompensationssensors (12) korrigiert werden.

4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale des Detektors (6) bzw. des Kompensationsdetektors (6′) einem Filterverfahren unterzogen werden.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch Differentiation der gefilterten und korrigierten Ausgangssignale des Detektors (6) die Beschichtungsleistung ermittelt wird.

6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung aus dem Detektor (6) und dem Laserstrahl (8) unter vorgegebenen Bedingungen, insbesondere bei Änderung des Beschichtungsmaterials oder vorgegebener Schichtdicke kalibriert wird.

7. Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken beim Beschichten von Bauteilen mit einem Laser (4), dessen Laserstrahl (8) derart auf die Oberfläche des Bauteiles (3) lenkbar ist, mit einer Linse (5) zum Abbilden des an der Bauteiloberfläche gestreuten Laserstrahls (9) in einen ortsauflösenden Detektor (6) und mit einer Beschichtungseinrichtung (11).

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Signalverarbeitungseinrichtung zur elektronischen Verarbeitung der Ausgangssignale des Detektors (6), mit welcher die Entfernung von dem Detektor (6) zu der Oberfläche des Bauteiles (3) bestimmbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (4), die Linse (5) und der Detektor (6) in einem Gehäuse (7) angeordnet sind.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gehäuse (7) ein Überdruck, insbesondere mit Preßluft, erzeugt wird.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kompensationssensor (12) zum Messen der Entfernung zu einer Referenzfläche vorgesehen ist, welche nicht beschichtet wird.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Kompensationssensor (12) einen induktiven bzw. kapazitiven Sensor umfaßt.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Kompensationssensor (12) einen Laser (4′) umfaßt, dessen Laserstrahl (8′) derart auf die Referenzfläche lenkbar ist, daß eine Linse (5′) den gestreuten Laserstrahl (8′) in einem ortsauflösenden Referenzdetektor (6′) abbildet.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Entfernung zwischen der Oberfläche des Bauteiles (3) und dem Detektor (6) 30 bis 50 mm beträgt.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauteil (3) relativ zu dem Detektor (6) und dem Kompensationssensor (11) drehbar ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (6) hinsichtlich der Beschichtungseinrichtung (11) um 90° versetzt angeordnet ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung aus dem Detektor (6), der Linse (5) und dem Laser (4) relativ zu der Oberfläche des Bauteiles (3) bewegbar ist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Signalverarbeitungseinrichtung die Ausgangssignale des Detektors (6) mit den Ausgangssignalen des Kompensationsdetektors (6′) korrigiert werden.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Signalverarbeitungseinrichtung die Ausgangssignale des Detektors (6) bzw. des Kompensationsdetektors (6′) einem Filterverfahren unterzogen werden.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Signalverarbeitungseinrichtung durch Differentiation der gefilterten und korrigierten Detektorausgangssignale die Beschichtungsleistung bestimmt wird.