DE4422944A1

DE4422944A1 - Mikroventil

Info

Publication number: DE4422944A1
Application number: DE19944422944
Authority: DE
Inventors: Michael Dipl Ing Dr Mettner; Gerhard Dipl Ing Stokmaier; Armin Dipl Ing Schuelke; Thanh-Hung Dip Nguyen-Schaefer; Hans-Peter Trah; Christian Dipl Ing Doering; Thomas Dipl Phys Dr Schittny; Peter Dipl Ing Deuble
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1994-06-30
Filing date: 1994-06-30
Publication date: 1996-01-04

Description

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein Mikroventil mit einem ganz oder teilweise druckausgeglichenem Ventilschließglied nach der Gattung des Hauptanspruchs.

Es ist bereits ein solches gattungsgemäßes Ventil aus der DE-OS 39 19 876 bekannt, bei dem das Ventilschließglied mittels eines elektrostatischen Antriebs von einem dichten den Ventilsitz wegbewegt werden kann. Die dichtende Aus gangsstellung wird hierbei durch eine sich in der Ruhe stellung befindliche Membran, an der das Ventilschließglied gehalten ist, bewirkt. Zur Öffnung des Ventils muß eine ausreichende Kraft aufgebracht werden um insbesondere eine Auslenkung der Membran zu bewerkstelligen, die zu einer entsprechenden Bewegung des Ventilschließgliedes führt. Auf der, der inneren Kammer gegenüberliegenden Seite der Mem bran liegt eine Antriebskavität (Druckausgleichskammer). Der Innendruck P_in in dem Eingangsraum ist durch geeignete Wahl der Arbeitsmembranfläche und des Ventiltellers des Ventilschließgliedes druckausgeglichen, so daß der Eingangs druck P_in beliebige Werte annehmen kann, ohne daß eine Be wegung des Ventilschließgliedes erfolgt. Da ein Druckaus gleich hinsichtlich des Ausgangsdrucks P_out in dem Aus gangsraum hier nicht vorgesehen ist, müssen der Druck in der Druckausgleichskammer und der Ausgangsdruck P_out nahezu gleich sein.

Dieses bekannte Mikroventil weist eine hydraulische Eigen sicherheit hinsichtlich eines Ausfalls der Antriebsenergie und beispielsweise eines Bruchs von Membranteilen auf. Da zum Beispiel bei einem Bruch der Antriebsmembran sich der Druck in der Antriebskavität (Druckausgleichskammer) ent sprechend erhöht, wirkt eine schließende Kraft auf den Ven tilsitz, womit der zu schaltende Volumenstrom sicher abge schaltet wird. Diese hydraulische Eigensicherheit ist auch bei Mikroventilen zu gewährleisten, die weiterentwickelte Gestaltungsformen der Geometrie des Ventilschließgliedes, zum Beispiel hinsichtlich eines besseren Druckausgleichs für den Ausgangsdruck P out′ aufweisen.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Mikroventil mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs ist insofern vorteilhaft, daß auch bei Druckschwankungen in der äußeren Ventilkammer und bei Druckschwankungen in der Druckausgleichskammer, bei spielsweise durch temperaturbedingte Ausdehnung des einge schlossenen Gases oder durch Bewegung der Arbeitsmembran bei einer Betätigung des Mikroventils, keine resultierenden Kräfte auf das Ventilschließglied wirken. Durch die zusätz liche Druckausgleichsmembran werden diese Kräfte kompen siert. Insbesondere bei mikromechanisch hergestellten Ventilen (in einer Dünnschicht- oder Dickschichttechnologie mit Silizium, Kunststoff oder Metall), die mit kleinen An triebskräften bei relativ großen lateralen Abmessungen und Flächen arbeiten, ergeben sich hier große Vorteile hin sichtlich störender Druckschwankungen des Ausgangsdrucks P_out oder des Drucks in der Druckausgleichskammer.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform weist das Mikroven til auch hinsichtlich des Ausgangsdrucks P_out solche Kom pensationsflächen auf, daß sowohl bezüglich des Eingangs drucks P_in als auch des Ausgangsdrucks P_out die auf das Ventilschließglied wirkenden Kräfte und Momente kompen siert sind. Auch der Druck in der Druckausgleichskammer ist hier kompensiert. Weiterhin ist das erfindungsgemäße Mi kroventil so konstruiert, daß ein Bruch der Arbeitsmembran nicht zu einem Öffnen des Ventilschließgliedes führt.

Vorteilhafte Gestaltungsmöglichkeiten für die Anordnung der Druckausgleichskammer und der mit ihr gebildeten Membranen sind den Unteransprüchen 2 bis 5 zu entnehmen. Mit der Aus führungsform nach Anspruch 5 wird durch eine hydraulische Verbindung der Druckausgleichskammer mit einem Tank für das Medium verhindert, daß hier ein Druckaufbau auf den Ein gangs- oder Ausgangsdruck beim Bruch einer der Membranen erfolgt. Die Zerstörung der verbleibenden Membran wird hierbei somit weitgehend verhindert, wodurch die Sicherheit weiter erhöht wird.

Gemäß der Ansprüche 7 bis 10 wird mit besonderen Maßnahmen insbesondere ein Bruch der Druckausgleichsmembran durch eine Anordnung von Rückschlagventilen bzw. Sicherheitsdros seln oder durch Widerlager verhindert.

Andere vorteilhafte Weiterbildungen sind mit Ausführungs formen des erfindungsgemäßen Mikroventils gemäß der weite ren Unteransprüche zu schaffen. Insbesondere eine einfache und sehr wirkungsvolle Herstellungsweise mit mikromechani schen Fertigungsverfahren in Schichtbauweise und ein Ein satz in der Mikrodosiertechnik oder als Kraftstoff- Ein spritzventil weisen erhebliche Vorteile auf.

Zeichnung

Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Mikroventils wird anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch ein bekanntes Mikroventil mit einem druckausgeglichenen Ventilschließglied;

Fig. 2 einen Schnitt durch ein Ausführungsbeispiel mit einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer zusätzli chen Membran des Ventilschließgliedes zur Kompensation von Schwankungen des Drucks in der Druckausgleichskam mer mit einer Kompensierung des Außendrucks;

Fig. 3 bis 7 weitere Ausführungsbeispiele der mög lichen Gestaltungen der Membran;

Fig. 8 eine Ausführungsform der zusätzlichen Membran des Mikroventils bei der sowohl der Innendruck, der Druck der Antriebskavität als auch der Außendruck des Mikroventils unabhängig voneinander kompensiert sind;

Fig. 9 bis 11 weitere Ausführungsformen der zusätz lichen Membran mit unterschiedlich gestalteten zusätz lichen Membranteilen;

Fig. 12 ein druckausgeglichenes Mikroventil mit einem Rückschlagventil im Bereich der Druckausgleichsmembran;

Fig. 13 eine Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 12 mit einem Widerlager für die Rückschlagventil funktion und

Fig. 14 eine weitere Fortbildung des vorangehend be schriebenen Mikroventils mit einer Sicherheitsdrossel.

Beschreibung des Ausführungsbeispiels

In der Fig. 1 ist ein Schnitt durch ein, beispielsweise aus der DE-OS 39 19 876, bekanntes Mikroventil 1 darge stellt, bei dem im Inneren ein Ventilschließglied 2 zwi schen zwei druckbeaufschlagbaren Räumen 3 und 4 angeordnet ist. In dem inneren Raum 3 ist ein Druck P_in aufgebaut, wo bei als Druckmittel vorzugsweise eine Flüssigkeit dient, die durch einen Zulauf 6 einbringbar ist. In dem äußeren Raum 4 herrscht ein Druck P_out, der vorzugsweise mittels Luft erzeugt wird. In dieser Ausführungsform ist das Ventil beispielsweise als Kraftstoff-Einspritzventil einsetzbar. Die Abdichtung zwischen den Räumen 3 und 4 erfolgt über einen hier ringförmigen Ventilsitz 5, der in der hier dar gestellten Ruhestellung geschlossen ist. Bezüglich der Schwankungen des Eingangsdrucks P_in ist des Mikroventil 1 hier in jeder Stellung druckausgeglichen. Durch Pfeile 7 ist die ausgleichende Kraftwirkung des Innendrucks P_in auf das Ventilschließglied 2 verdeutlicht, durch die ein kon stantes Dichtverhalten des Ventilsitzes 6 auch bei Schwan kungen des Innendrucks P_in gewährleistet ist.

An der Unterseite des Ventilschließgliedes 2 befindet sich eine Antriebskavität 8 (Druckausgleichskammer) mit einem Druck P₀, der im wesentlichen dem Druck P_out entsprechen muß und über die gesamte obere Fläche der Antriebskavität auf diese einwirkt. Zur Betätigung des Ventilschließgliedes 2 , d. h. zur Öffnung des Ventilsitzes 5 ist ein hier nicht näher erläuterter Antrieb vorhanden, der beispielsweise durch elektrostatische Kraftwirkung eine Bewegung der Ar beitsmembran 9 und damit des Ventilschließgliedes 2 be wirkt. Um eine einfache Montage der vorzugsweise in einer mikromechanischen Schichtbauweise hergestellten Mikroven tilteile zu erreichen ist eine oder mehrere Fügestellen 11 vorhanden, an der die separat hergestellten Schichten bei spielsweise zusammengeklebt oder in vorteilhafter Weise auch gebondet werden.

Bei einem Bruch der Antriebsmembran 9 des bekannten Mikro ventils erhöht sich somit der Druck in der Druckausgleichs kammer 8, wobei eine verbleibende Fläche 9a unter dem bie gesteifen Kern des Ventilschließgliedes 2 hinsichtlich der Kräfte und Momente auf das Ventilschließglied 2 nicht druckausgeglichen ist. Hieraus resultiert eine schließende Kraft auf das Ventilschließglied 2 , wodurch der Volumen strom sicher abgestellt wird. Bei diesem bekannten Mikro ventil treten jedoch bei Schwankungen des Außendrucks P_out sowie des Drucks P₀ durchaus Probleme hinsichtlich einer sicheren Funktionsweise in allen Betriebszuständen des Mi kroventils 1 auf.

In der Fig. 2 ist ein erstes Ausführungsbeispiel mit einer erfindungsgemäßen Ausbildung des Ventilschließgliedes 2 ge zeigt, bei der alle funktionsidentischen Teile mit den gleichen Bezugszeichen wie bei der Fig. 1 versehen worden sind. Das Ventilschließglied 2 enthält bei dieser Ausfüh rungsform eine derart gestaltete Druckausgleichskammer 8, daß als Abschluß zum äußeren Raum 4 eine Druckausgleichs membran 12 gebildet ist. Diese Druckausgleichsmembran 12 besitzt idealerweise keine Steifigkeit, so daß sie nur als Medientrennung zwischen der Druckausgleichskammer 8 und dem äußeren Raum 4 wirkt. Durch das somit gewährleistete Nach geben der Druckausgleichsmembran 12 herrscht in beiden Kam mern 4 und 8 der gleiche Druck; d. h. das Ventilschließ glied 2 erfährt keinerlei Kräfte und Momente wenn der Aus gangsdruck P_out schwankt. Schwankungen des Drucks P₀ werden hier gleichfalls abgebaut- so daß in der Antriebskavität 8 in etwa immer der Ausgangsdruck P_out herrscht.

Bei den folgenden, anhand der Fig. 3 bis 7 beschriebenen Varianten ist die Druckausgleichsmembran 12 an unterschied lichen Geometrien des Ventilschließgliedes 2 gebildet, wo bei jedoch immer sichergestellt ist, daß die in einem de finierten Bereich gebildete schlaffe Druckausgleichsmembran 12 lediglich eine Medientrennung zwischen den Räumen 4 und 8 bewirkt und druckausgleichend wirkt. In der Variante nach Fig. 3 ist die Druckausgleichsmembran 12 der innere Teil einer Ring- oder Rechteckmembran 14, wobei der äußere Teil dieser Membran die eigentliche Arbeitsmembran 13 bildet, über welche die Rückstellung nach vorangegangener Aktuie rung des Ventilschließgliedes 2 erfolgt.

Bei der Variante nach der Fig. 4 befindet sich die Druck ausgleichsmembran 12 im oberen Bereich des Ventilschließ gliedes 2 und die Arbeitsmembran 9 im unteren Bereich. Die Geometrie der Räume 3, 4 und 8 ist entsprechend gestaltet, so daß die Medientrennung und der Druckausgleich in der oben beschriebenen Weise stattfindet.

Das Mikroventil 1 nach der Variante in der Fig. 5 weist eine Druckausgleichskammer 8 auf, die der nach Fig. 2 gleicht, jedoch ist hier der Eingangsraum 3 unter das Ven tilschließglied 2 gezogen, so daß sich hier eine andere Ge staltungsform der Arbeitsmembran 9 und der Druckausgleichs membran 12 ergibt.

In der Fig. 6 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, das einen zentrale Eingangsraum 3 (vergleichbar mit Fig. 4) aufweist und bei der die Druckausgleichsmembran 12 in einem außenliegenden Bereich des Ventilschließgliedes 2 gebildet ist.

Bei der Variante nach der Fig. 7 ist in Abwandlung vom Mi kroventil nach Fig. 5 der Ausgangsraum 4 zentral nach in nen geführt, so daß die Druckausgleichsmembran 12 zu diesem Bereich des Raums 4 ausgerichtet ist. Die Druckaus gleichskammer 8 ist somit in einen oberen Teil und in einen unteren Teil aufgespaltet, wobei diese Teile durch Durch brüche 15 miteinander verbunden sind.

Das Ausführungsbeispiel nach der Fig. 8 weist eine Druck ausgleichsmembran 12 auf, die ebenso wie die Arbeitsmembran 9 einseitig am Gehäuse des Mikroventils 1 befestigt ist. Hierdurch ist gewährleistet, daß nicht nur der Druck P₀ in der Druckausgleichskammer 8 ausgeglichen ist, sondern auch der Ausgangsdruck P_out unabhängig davon schwanken kann ohne resultierende Kräfte auf das Ventilschließglied auszuüben. Dieser Druckausgleich funktioniert unabhängig von der Stei figkeit der Druckausgleichsmembran 12 und bei geeigneter Wahl der Membranflächen ist der Kern des Ventilschließglie des 2 unabhängig von sämtlichen am Mikroventil 1 anstehen den Drücken und deren Schwankungen da keine resultierenden axialen Kräfte einwirken. Es sind somit drei für sich abge schlossenen Räume gebildet, in denen die Drücke unabhängig voneinander schwanken können.

Eine erhöhte Eigensicherheit des Mikroventils nach Fig. 8 läßt sich erreichen, wenn zusätzlich eine Verbindung 16 zu einem hier nicht dargestellten Tank für ein Medium besteht. Diese Verbindung 16 verhindert, daß in der Druckausgleichs kammer 8 ein Druckaufbau auf den Eingangsdruck P_in oder den Ausgangsdruck P_out erfolgt und verhindert dadurch, daß beim Bruch einer der Membranen 9 oder 12 , die jeweils andere Membran mit einer Druckdifferenz beaufschlagt wird, die in bestimmten Fällen über ihrer auslegungsgemäßen Druckdiffe renz liegen kann. Beim Bruch der Membran, die mit dem je weils höheren Druck beaufschlagt war, bleibt somit dieser hohe Druck durch das Ausweichen des Mediums nicht erhalten. Bricht dagegen die Membran, die mit der geringeren Druck differenz beaufschlagt war, bleibt die Druckbeaufschlagung der anderen nahezu konstant. Die Wahrscheinlichkeit, daß die zweite Membran somit aus den selben Gründen bricht wie die erste wird somit deutlich gesenkt.

Die Fig. 9 und 10 weisen jeweils eine geänderte Geome trie des Ventilschließgliedes 2 und der Kammern 3, 4 und 8 auf, deren Zusammenwirken jedoch der Funktion des Ausfüh rungsbeispiels nach Fig. 8 entspricht.

Eine etwas geänderte Ausbildung der Druckausgleichskammer 8 weist die Variante nach Fig. 11 auf, bei der die Druckaus gleichskammer U-förmig, konzentrisch von außen um einen Be reich des Eingangsraumes 3 geführt ist. Der Antrieb für die Bewegung des Ventilschließgliedes 2 wirkt bei der Varianten nach der Fig. 10 auf die oben liegende Membran 12 und bei der Variante nach der Fig. 11 auf die unten liegende Arbeitsmembran 9.

Im Ausführungsbeispiel nach der Fig. 12 ist das Ventil schließglied 2 über die Arbeitsmembran 9 mit dem Gehäuse des Mikroventils 1 verbunden. Die Arbeitsweise entspricht im wesentlichen der Arbeitsweise der vorher beschriebenen Varianten nach den Fig. 2 bis 7, jedoch weist die Druck ausgleichsmembran 12 einen biegesteifen Kern 20 auf, der bei einem Bruch der Arbeitsmembran 9 durch den Druck P_in nach oben gedrückt wird (Pfeil 21). Wenn der Bruch der Ar beitsmembran 9 durch Druckdifferenzen hervorgerufen wird, die deutlich über der Auslegungsdruckdifferenz der Druck ausgleichsmembran 12 liegen, bricht hierbei auch die Druckausgleichsmembran 12. Ein Volumenstrom von Raum 3 nach Raum 4, entweder direkt oder über die Druckausgleichskammer 8, findet jedoch nicht statt, da der biegesteife Kern 20 eine Öffnung 22 im Ventilschließglied 2 abdichtet. Durch den nun nicht mehr vorhandenen Druckausgleich zwischen der Druckausgleichskammer 8 und dem Ausgangsraum 4 wirkt au ßerdem eine schließende Kraft auf das Ventilschließglied 2, das somit in seiner geschlossenen Ruhestellung gehalten wird.

Bei einer Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 12 weist das Ventilschließglied 2 nach Fig. 13 einen derart geformten Hohlraum 23 auf, daß dieser als Widerlager für die extrem durchgebogene Druckausgleichsmembran 12 dienen kann. Dieses Widerlager hat vorzugsweise die Form der Bie gelinie der Druckausgleichsmembran 12 bzw. weicht nur in dem Maß von ihr ab, daß die Bruchspannung der Druckaus gleichsmembran 12 an keiner Stelle erreicht wird. Die Ober fläche des Widerlagers kann glatt oder rauh sein oder so strukturiert sein, so daß eine Adhäsion der Druckausgleichs membran 12 am Widerlager vermieden wird. Die Druckaus gleichsmembran 12 kann hierbei so ausgelegt werden, daß das über der als Drossel wirkenden Öffnung 22 liegende Mittel teil eine ausreichende Festigkeit aufweist, oder die Druck ausgleichsmembran 12 besitzt - wie bei der Variante nach Fig. 12 - einen hinreichend festen biegesteifen Kern.

In der Fig. 14 ist ein Mikroventil 1 gezeigt, das in Ab wandlung von den vorher beschriebenen Ausführungsformen eine Sicherheitsdrossel 24 zwischen der Druckausgleichskam mer 8 und der Druckausgleichsmembran 12 aufweist. Bei einem Bruch der Antriebsmembran 9 und bei gleichzeitigem Bruch der Druckausgleichsmembran 12 wird der hier fließende Volumenstrom in den Ausgangsraum 4 durch diese Sicherheits drossel 24 begrenzt. Das Ventilschließglied 2 wird hierbei durch den Druckanstieg an den Ventilsitz 5 angedrückt und somit wird das Mikroventil 1 geschlossen.

Der im Fall eines Bruchs der Membranen 9 oder 12 sich ein stellende Volumenstrom vom Eingangsraum 3 zum Ausgangsraum 4 kann durch eine geeignete Auslegung der Sicherheitsdros sel 24 so dimensioniert werden, daß bei einer Verwendung des Mikroventils 1 nach Fig. 14 - beispielsweise als Vor steuerstufe eines vorgesteuerten Ventils - die Hauptstufe des Ventils trotzdem geschlossen bleibt.

Claims

1. Mikroventil, mit

- einem axial bewegbaren, weitgehend druckausgeglichenem Ventilschließglied (2), das zwischen zwei mit Druckmittel beaufschlagbaren Räumen (3, 4) in einem Ventilgehäuse ange ordnet ist und über einen Ventilsitz (5) an einer gemeinsa men Wand der Räume (3, 4) dichtend anlegbar ist und mit
- einer, im Ventilgehäuse angeordneten, Antriebskavität (Druckausgleichskammer (8)),

dadurch gekennzeichnet, daß

- die Druckausgleichskammer (8) sich in weitgehend druck ausgeglichenem Zustand befindet und sich derart in den Kör per des Ventilschließgliedes (2) und/oder des Gehäuses des Mikroventils (1) erstreckt, daß mit dem Ausgangsraum (4) eine zusätzliche Druckausgleichsmembran (12) gebildet ist.

2. Mikroventil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß

- die Druckausgleichskammer (8) aus zwei vollständig oder über Kanäle (15) miteinander verbundenen Teilkammern be steht, von denen jeweils eine, mindestens in einem Teilbe reich, eine gemeinsame Wand (Druckausgleichsmembran 12) mit dem Ausgangsraum (4) und die jeweils andere Teilkammer, mindestens in einem Teilbereich, eine gemeinsame Wand (Arbeitsmembran 9) mit dem Eingangsraum (3) bildet.

3. Mikroventil nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß

- beide Teilkammern der Druckausgleichskammer (8) im Kern bereich des Ventilschließgliedes (2) angeordnet sind.

4. Mikroventil nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß

- beide Teilkammern der Druckausgleichskammer (8) im Ge häuse des Mikroventils (1), jeweils dem Ventilschließglied (2) zugewandt, angeordnet sind.

5. Mikroventil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß

- sich die Druckausgleichskammer (8) radial, scheibenförmig im Gehäuse des Mikroventils (1) erstreckt und daß
- der radial äußere Teil eine Membran (9, 12) und der radial innenliegende Teil die jeweils andere Membran (9, 12) bil det.

6. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Druckausgleichsmembran (12) einen biegesteifen Kern (20) aufweist, der sich bei einem Bruch der Druckaus gleichsmembran (12) dichtend an eine Öffnung (22) zum Aus gangsraum (4) anlegt.

7. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß

- an der zum Ausgangsraum (4) hingewandten Seite der Druck ausgleichsmembran (12) ein Hohlraum (23) im Ventilschließ glied (2) gebildet ist, dessen Kontur weitgehend der Biege linie der Druckausgleichsmembran (12) entspricht und dieser bei einem Bruch der Arbeitsmembran (9) als Widerlager dient.

8. Mikroventil nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß

- die Oberfläche des Hohlraums (23) so strukturiert ist, daß eine Adhäsion beim Anliegen der Druckausgleichskammer (12) vermieden ist.

9. Mikroventil nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß

- die Druckausgleichskammer (8) konzentrisch um das zentral angeordnete Ventilschließglied (2) angeordnet ist, wobei sich in das Zentrum des Ventilschließgliedes (2) entweder der Eingangsraum (3) oder der Ausgangsraum (4) erstreckt und daß
- die so gebildete Druckausgleichsmembran (12) und die Ar beitsmembran (9) lediglich einseitig, an verschiedenen Stellen am Ventilgehäuse gehalten ist und hinsichtlich der aufgrund von Druckschwankungen in den Räumen (3, 3, 8) ent stehenden Kräfte und Momente so gestaltet sind, daß keine resultierenden Kräfte wirksam sind.

10. Mikroventil nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß

- die Druckausgleichskammer (8) über einen Anschluß (16) mit einem Tank für ein Medium in der Druckausgleichskammer (8) verbunden ist.

11. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß

- zwischen der Druckausgleichskammer (8) und der Druckaus gleichsmembran (12) ein als Sicherheitsdrossel (24) wirken der Strömungskanal angeordnet ist.

12. Mikroventil nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

- das Mikroventil in Mehrschichtenstruktur hergestellt ist, wobei
- die einzelnen Schichten nach einer entsprechenden Formge bung in Silizium-, Dünnschicht- oder Dickschicht-Technolo gie, bzw. aus Kunststoff oder Metall hergestellt, miteinan der verbunden werden.

13. Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch seine Verwendung in der Mikrodosier technik oder insbesonders als Kraftstoff- Einspritzventile oder Servoventile.