DE4416826A1 - Neuartiges Ultraschallsystem zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in Gasen und Flüssigkeiten - Google Patents
Neuartiges Ultraschallsystem zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in Gasen und FlüssigkeitenInfo
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Description
Ultraschallmeßverfahren finden bei der Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit
von flüssigen und gasförmigen Medien breite Anwendung.
Ausgenutzt wird dabei entweder der Dopplereffekt- Frequenzverschiebung bei
Reflexion des Ultraschalles an bewegten Teilchen-, oder die Differenz in der
Ausbreitungsgeschwindigkeit mit und gegen die Strömung.
Neben der direkten Laufzeitmessung über eine definierte Meßstrecke wird die Zeit
differenz in Phasen- oder Frequenzsignale umgewandelt (Phasendifferenzmessung,
Lambda-locked-loop-Verfahren). Dabei werden stets getrennte Sender- und
Empfängerelemente benötigt.
Die vorliegende Erfindung beschreibt ein neues Meßverfahren, das auf dem Effekt
der Verschleppung des Ultraschalles durch die Strömung basiert. Ein Ultraschall
signal, das senkrecht in ein strömendes Medium gesandt wird, trifft nach Reflexion
an der gegenüberliegenden Rohrwand versetzt zum Sender auf. Der Versatz ist
proportional zur Strömungsgeschwindigkeit. Die Größe des Versatzes ist abhängig
vom Durchmesser des durchströmten Rohres, der Ausbreitungsgeschwindigkeit des
Schalles im Strömungsmediums und der Strömungsgeschwindigkeit des Mediums.
Für eine konkrete Anordnung sind die Meßstrecke (Rohrdurchmesser) und das
strömende Medium bekannt, so daß aus dem Versatz die Strömungsgeschwindigkeit
ermittelt werden kann.
Die genaue Bestimmung des Versatzes erfordert eine hohe örtliche Auflösung des
Empfängers und einen fokussierten Ultraschallstrahl. Herkömmliche Sender und
Empfänger können diese Forderungen nicht erfüllen.
Erfindungsgemäß werden die nötigen Eigenschaften von Sender und Empfänger
durch mikrostrukturierte Wandlerelemente realisiert. Das Senderelement ist ein
piezoelektrischer Dickenschwinger-Größe, Form und Sendefrequenz werden unter
Berücksichtigung folgender Randbedingungen ausgewählt
- - der reflektierte Strahl soll nicht auf dem Sender auftreffen, darum muß der Sender in einer Koordinatenrichtung möglichst geringe laterale Abmessungen haben.
- - entsprechend der Rohrdicke und dem Strömungsmedium muß eine Leistung abgestrahlt werden, die unter Berücksichtigung der Dämpfung ein auswertbares Signal am Empfänger erzeugt.
- - eine hohe örtliche Auflösung am Empfänger erfordert geringe Abmessungen des Strahles und eine Fokussierung auf den Empfänger.
Der Sender wird so in die Rohrwand eingebracht, daß er mit der ausgewählten
Frequenz angeregt, einen Ultraschallstrahl senkrecht zur Strömungsrichtung des
Mediums abstrahlt. Durch Dimensionierung des Senders bei der gewählten
Frequenz wird der erforderliche kleine Öffnungswinkel erreicht.
Bedingt durch die geringen Abmaße des mikrostrukturierten Senders trifft der mit
der Strömung verschleppte Strahl nach Reflexion an der Gegenseite neben dem
Sender auf. Sind auf Grund der zu erwartenden Strömungsverhältnisse sehr große
Strahldriften abzusehen, kann die Laufstrecke des Strahls im Strom und damit die
Drift durch ein zusätzlich eingebrachtes Reflektorelement verkürzt werden.
Erfindungsgemäß wird im zu erwartenden Auftreffbereich ein mikrostrukturiertes
Multiwandlerelement bestehend aus piezoelektrischen Dickenschwingern plaziert.
Dieses Multiwandlerelement stellt ein eindimensionales Array von Streifen aus
piezoelektrischem Material dar. An der Auftreffstelle des Strahles regt dieser
einzelne Streifen des Empfängerarrays an. Da der Ultraschallstrahl trotz Bündelung
eine endliche Breite hat, werden gegebenenfalls mehrere Streifen angeregt. Durch
Intensitätsschwellen für die Signale der einzelnen Schwingerelemente wird das
Intensitätsmaximum ermittelt und die genaue Strahldrift bezüglich des Senders
bestimmt.
Die Genauigkeit der Ermittlung der Strahldrift wird bestimmt durch den Abstand von
jeweils zwei piezoelektrischen Streifenempfängern.
Lithographische Verfahren, die in der Mikrotechnik Anwendung finden, ermöglichen
Abstände zwischen zwei Schwingern von einigen Mikrometern.
Vorteil des neuen Meßprinzipes ist, daß Sender und Empfänger erfindungsgemäß
auf einem Substrat mittels Mikrostrukturtechnik kostengünstig herzustellen sind.
Auf einem Silizium- oder keramischen Substrat wird eine piezoelektrische Schicht
über einer Elektrodenschicht abgeschieden. Aus dieser Schicht werden mit einem
fotolithographischen Schritt mit anschließendem Ätzprozeß der Sender und das
Empfängerarray strukturiert. Eine zweite Elektrodenschicht ermöglicht die Anregung
des Dickenschwingers. Isolations- und Anpassungsschichten schließen den
vertikalen Aufbau ab. Anpassungsschichten sollen die Einkopplung des Schalls in
das Strömungsmedium mit möglichst geringen Verlusten ermöglichen
Impedanzanpassung. Die rückseitige Anpassung zum Substrat muß die
umgekehrte Aufgabe erfüllen, da eine Übertragung der Schallschwingung in das
Substrat unerwünscht ist. Schallfortpflanzung im Substrat führt zur Anregung der
Empfänger und verschlechtert das Signal/Rauschverhältnis.
Ein besonderer Vorteil des neuen Meßprinzipes ist es, daß durch das feste Raster
des Empfängerarrays ein wertdiskretes Meßsignal entsteht. Mit Hilfe einer
getakteten Abfrage kann dieses Signal in einen digitalen Ausgang umgewandelt
werden. Komplizierte Messungen extrem kurzer Zeiten bzw. geringer Phasen- und
Frequenzänderungen sind nicht erforderlich.
Eine Anordnung von zwei Empfängerarrays rechts und links des Senders
ermöglicht die Messung von Strömungen in beide Richtungen.
In Ausgestaltung der Erfindung lassen sich mehrere Empfängerarrays um den
Sender anordnen, bzw. mehrere Sender um einen Empfänger.
Die lokale Auflösung läßt sich erhöhen, wenn mehrere Empfängerarrays parallel,
aber versetzt angeordnet werden. Dabei kann der gleiche Sender benutzt werden. In
diesem Fall ist die Aufbereitung der Signale umfangreicher.
Durch eine Anordnung von 4 Empfängern um den Sender jeweils um 90 Grad
versetzt, können Strömungen unter beliebigem Winkel detektiert werden.
Eine analoge Auswertung der Signale an den einzelnen Empfängerelementen
ermöglicht es, eine durch die Strahlverwehung beeinflußte Intensitätsverteilung des
Ultraschalles am Empfängerarray aufzunehmen. Hinterlegt man eine Eichkurve von
Zuständen, läßt sich durch elektronischen Vergleich des aktuellen Intensitäts
verteilungszustandes mit den Eichzuständen eine Strömungsgeschwindigkeit
zuordnen. Um die Strömungsrichtung zu bestimmen, kann auch eine Anordnung von
mehreren Sendern um einen Empfänger gewählt werden.
Die folgende Zeichnung soll eine Variante der möglichen Anordnungen von Sender
und Empfänger dieser Erfindung näher erläutern:
Der Aufbau des Strömungsmeßelementes erfolgt auf einem Silizium- oder Keramiksubstrat (1). Piezoelektrische Dickenschwinger, eingebettet in zwei Metallschichten, bilden den Sender (2). Im gleichen technologischen Zyklus werden die Empfängerarrays (Multiwandlerelemente) (3, 4) rechts und links neben dem Sender (2) angeordnet. Mittels hybrider oder monolithischer Integration wird auf dem Substrat (1) eine Schaltung (5) zur Anregung des Senders (2) sowie der Aufbereitung der empfangenen Meßsignale realisiert. Das zu bewertende Medium (6) strömt zwischen Substrat (1) und dem Reflektor (7) hindurch. Der Reflektor (7) kann vorzugsweise durch die Rohrwand gebildet werden. Zur Eliminierung von Druck- und Temperaturabhängigkeit von Schallgeschwindigkeit und Dichte des strömenden Mediums wird auf das Substrat (1) zusätzlich ein Druck- und Temperaturaufnehmer integriert. Der Sender (2) erzeugt einen senkrecht in das Medium gerichteten gebündelten Ultraschallstrahl (9). Dieser wird vom Reflektor (7) (Rohrwand) in Richtung Substrat (1) reflektiert (10). Bedingt durch die Strömung (6) driftet der Strahl in Richtung Empfängerarray (4) ab und regt einzelne Elemente an. Durch Aufbereitung des Signales in einer speziellen elektronischen Schaltung (5) wird der Auftreffpunkt des reflektierten Strahles (10) bestimmt und aus der Drift die Strömungsgeschwindigkeit ermittelt. Die Kenntnis der Dichte des Mediums ermöglicht die Bestimmung des Massestromes. - Eine Korrektur der verwendeten physikalischen Größen bei Druck- und Temperaturschwankungen erfolgt auf der Basis einer Druck- Temperaturmessung mittels Meßwertaufnehmer (8).
Der Aufbau des Strömungsmeßelementes erfolgt auf einem Silizium- oder Keramiksubstrat (1). Piezoelektrische Dickenschwinger, eingebettet in zwei Metallschichten, bilden den Sender (2). Im gleichen technologischen Zyklus werden die Empfängerarrays (Multiwandlerelemente) (3, 4) rechts und links neben dem Sender (2) angeordnet. Mittels hybrider oder monolithischer Integration wird auf dem Substrat (1) eine Schaltung (5) zur Anregung des Senders (2) sowie der Aufbereitung der empfangenen Meßsignale realisiert. Das zu bewertende Medium (6) strömt zwischen Substrat (1) und dem Reflektor (7) hindurch. Der Reflektor (7) kann vorzugsweise durch die Rohrwand gebildet werden. Zur Eliminierung von Druck- und Temperaturabhängigkeit von Schallgeschwindigkeit und Dichte des strömenden Mediums wird auf das Substrat (1) zusätzlich ein Druck- und Temperaturaufnehmer integriert. Der Sender (2) erzeugt einen senkrecht in das Medium gerichteten gebündelten Ultraschallstrahl (9). Dieser wird vom Reflektor (7) (Rohrwand) in Richtung Substrat (1) reflektiert (10). Bedingt durch die Strömung (6) driftet der Strahl in Richtung Empfängerarray (4) ab und regt einzelne Elemente an. Durch Aufbereitung des Signales in einer speziellen elektronischen Schaltung (5) wird der Auftreffpunkt des reflektierten Strahles (10) bestimmt und aus der Drift die Strömungsgeschwindigkeit ermittelt. Die Kenntnis der Dichte des Mediums ermöglicht die Bestimmung des Massestromes. - Eine Korrektur der verwendeten physikalischen Größen bei Druck- und Temperaturschwankungen erfolgt auf der Basis einer Druck- Temperaturmessung mittels Meßwertaufnehmer (8).
Claims (8)
1. Verfahren- und Vorrichtung zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit von
flüssigen und gasförmigen Medien,
wobei mikrostrukturierte Sender, die einen gebündelten Ultraschallstrahl erzeugen,
und mikrostrukturierte Empfängerarrays verwendet werden,
dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens ein mikrostrukturierter Ultraschallsender (2) aufgebracht auf ein
Silizium- oder Keramiksubstrat (1) angeregt wird und einen gebündelten
Ultraschallstrahl (9) senkrecht in das strömende Medium sendet.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß der
Ultraschallstrahl an einem speziellen Reflektorelement, welches in die Strömung
eingebracht wird, reflektiert wird.
3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1-2 dadurch gekennzeichnet, daß rechts und links
neben dem Sender (2) je ein mikrostrukturiertes Empfängerarray angeordnet ist,
das mit hoher lateraler Auflösung den Auftreffpunkt des reflektierten, mit der
Strömung abgedrifteten Strahles bestimmen und eine Berechnung der
Strömungsgeschwindigkeit aus der Drift ermöglichen.
4. Vorrichtung gemäß Anspruch 1-3 dadurch gekennzeichnet, daß neben der
Strömungsgeschwindigkeit auch die Strömungsrichtung ermittelt werden kann.
5. Vorrichtung gemäß Anspruch 1-4 dadurch gekennzeichnet, daß das
Empfängerarray ein wertdiskretes Signal liefert welches durch getaktete Abfrage in
ein digitales Ausgangssignal proportional zur Strömungsgeschwindigkeit
umgewandelt werden kann.
6. dadurch gekennzeichnet, daß alle Module: Sender und Empfängerarrays, Steuer-
und Auswerteelektronik, Druck- und Temperaturaufnehmer hybrid oder monolithisch
auf einem Substrat integriert werden können.
7. dadurch gekennzeichnet, daß eine analoge Aufzeichnung der Empfängersignale
eine strömungsabhängige Intensitätsverteilung liefert, die bei Vergleich mit
Eichzuständen eine Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit ermöglicht.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich
zwischen zwei mikrostrukturierten Ultraschallsendern ein Empfängerarray befindet,
das durch Signalauswertung nach Anspruch 5 oder nach Anspruch 7 die
Bestimmung der Strömungsrichtung und -geschwindigkeit ermöglicht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944416826 DE4416826A1 (de) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | Neuartiges Ultraschallsystem zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in Gasen und Flüssigkeiten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944416826 DE4416826A1 (de) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | Neuartiges Ultraschallsystem zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in Gasen und Flüssigkeiten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4416826A1 true DE4416826A1 (de) | 1995-11-23 |
Family
ID=6517998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944416826 Withdrawn DE4416826A1 (de) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | Neuartiges Ultraschallsystem zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in Gasen und Flüssigkeiten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4416826A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-05-16 DE DE19944416826 patent/DE4416826A1/de not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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