DE4411759C2 - Position sensor - Google Patents

Position sensor

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Positionssensor nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a position sensor according to the preamble of claim 1.

Grundsätzlich sind Verfahren zur Registrierung magnetischer Markierungen unter Verwendung von Spulen bekannt. Dazu werden z. B. drahtgewickelte Spulen verwendet. So sind beispielsweise Verfahren bekannt, die unter Verwendung mehrerer Spulen einen dazwischen eingebrachten Träger (Skalenscheibe) vermessen, auf dem die magnetischen Markierungen angebracht sind. Auch Anordnungen, die mit nur einer Spule Induktivitäts­ änderungen anzeigen, gehören zum Stand der Technik. Nachteilig bei allen vorhergenannten Meßvorrichtungen und -verfahren ist, daß sie oft nur eine schwache Ortsauflösung der zu registrierenden Magnetfelder zulassen und schwierig zu handhaben sind. Dies ist in der Geometrie der Meßanordnun­ gen und den verwendeten Bauteilen begründet. Die verwendeten Meßverfah­ ren beispielsweise lassen oft nur Temperaturen von max. 150°C zu, da schon unterhalb der Curie-Temperatur die Magnetisierung mit der Zeit schwächer wird.Basically there are procedures for the registration of magnetic markings known using coils. For this, z. B. wire wound Coils used. For example, methods are known which are under Using several coils with a carrier inserted between them (Dial) on which the magnetic markings are attached. Also arrangements using only one coil of inductance Displaying changes are part of the state of the art. A disadvantage for everyone The aforementioned measuring devices and methods is that they are often only one allow weak spatial resolution of the magnetic fields to be registered and are difficult to handle. This is in the geometry of the measuring arrangement conditions and the components used. The measurement procedure used Ren, for example, often only allow temperatures of max. 150 ° C too, there magnetization with time even below the Curie temperature is getting weaker.

Aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 24 07 240 A1, von der die Erfindung ausgeht, ist bekannt, eine Sendespule mit magnetisierbarem, U-förmigem Kern und einen ebenfalls U-förmigen, magnetisierbaren Empfangskern spiegelsymmetrisch zueinander anzuordnen und in der Symmetrieebenen eine Zahnscheibe mit magneti­ schen Zähnen drehbar zu lagern, wobei der Empfangskern bei Durchgang eines Zahns der Scheibe gegenüber dem Sendekern in der Hauptsache abgeschirmt wird. Eine Auswerteschaltung mißt die Induktionsänderungen im Empfangskern und wandelt sie in Impulse um, welche einem Zähler zugeführt werden. Die Zähne auf der Scheibe sind vorzugsweise aus ferromagnetischem Material.From the German patent application DE 24 07 240 A1, of which the invention is known, a transmitter coil with a magnetizable, U-shaped core and a likewise U-shaped, magnetizable receiving core mirror-symmetrical to arrange each other and a toothed washer with magneti in the plane of symmetry to rotatably support teeth, the receiving core when a The tooth of the disk is mainly shielded from the transmitter core becomes. An evaluation circuit measures the changes in induction in the receiving core and converts them into pulses which are fed to a counter. Teeth on the disc are preferably made of ferromagnetic material.

Aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 42 05 957 A1 ist ein Spulenaufbau für induktive Sensoren bekannt, bei dem auf einen Träger aus magnetischem Material eine Lage eines sich spiralförmig erstreckenden Feinstleiters oder mehrere jeweils durch eine Isolierschicht gegeneinander isolierte Lagen solcher Feinstleiter über­ einander in Dünnschicht- oder Dickschichttechnik aufgebracht sind. Die Feinstleiter dieser Lagen sind durch Isolierschichten hindurch seriell durchkontaktiert. Dieser Spulenaufbau wird als Weg- oder Winkelsensor eingesetzt. Beim Abtasten eines Geberlineals aus Flächen elektrisch leitendem und elektrisch nicht leitendem Ma­ terial entstehen Induktivitätsänderungen im Spulenfeld. Der Geber ist für die Ver­ wendung als Winkelmeßgerät in Sektoren eingeteilt, wobei die elektrisch leitenden Flächen gleiche oder verschiedene Winkel überstreichen. Unter anderem wird auch der Gray-Code verwendet.From the German patent application DE 42 05 957 A1 is a coil structure for Inductive sensors known in the case of a carrier made of magnetic material one layer of a spirally extending fine conductor or several each layers of such fine conductors insulated from one another by an insulating layer are applied to each other using thin-film or thick-film technology. The fine ladder these layers are serially plated through through insulating layers. This Coil assembly is used as a displacement or angle sensor. When scanning a Encoder rulers made of surfaces of electrically conductive and electrically non-conductive dimensions Changes in inductance occur in the coil field. The giver is for the Ver divided into sectors as an angle measuring device, the electrically conductive Cover surfaces of the same or different angles. Among other things, too uses the Gray code.

Aus der Buchveröffentlichung "Die numerische Steuerung von Werkzeugma­ schinen" von Dr.-Ing. Wilhelm Simon, München, 1963, S. 113 bis 115, ist ein gattungsgemäßer magnetischer Sensor als Wegmeßsystem bekannt. Dieses Meßsystem beruht auf einem induktiven Differentialabtaster, welcher als Dreischenkelmagnet ausgebildet ist. In die Primärspule auf dem mittleren Schenkel wird eine Wechselspannung eingespeist, welche bei symmetrischer Stellung von ferromagnetischen Meßklötzchen infolge der gegensinnigen Schaltung der Sekundärwicklungen keine Spannung abgibt. From the book publication "The numerical control of tool ma schinen "by Dr.-Ing. Wilhelm Simon, Munich, 1963, pp. 113 to 115 a generic magnetic sensor known as a displacement measuring system. This measuring system is based on an inductive differential scanner, which is designed as a three-legged magnet. In the primary coil on the an alternating voltage is fed into the middle leg, which at symmetrical position of ferromagnetic measuring blocks as a result of opposing switching of the secondary windings gives no voltage.  

Mit diesem System sind Wegunterschiede in der Größenordnung von 2 bis 5 µm feststellbar. Der Nachteil dieser Meßmethode besteht darin, daß die Abstände der ferromagnetischen Meßklötzchen von dem Differentialtrans­ formator ebenfalls unterhalb von 5 µm liegen müssen. Ein so geringer Abstand ist jedoch nur mittels eines mechanisch präzise geführten Vorschubs der als Marken dienenden Meßklötzchen zu realisieren.With this system, path differences are of the order of 2 to 5 µm noticeable. The disadvantage of this method of measurement is that the Distances of the ferromagnetic measuring blocks from the differential trans formator must also be below 5 µm. So little However, distance is only guided by means of a mechanically precise one To realize feeds of the measuring blocks serving as brands.

Der Erfindung liegt demnach die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung zu schaffen, die einfach in der Anwendung ist und gleichzeitig eine hohe Auflösung der zu vermessenden Strecken oder Winkel zuläßt. Weiter wird gefordert, daß die Meßanordnung in staubhaltiger Umgebung und Tempera­ turen auch oberhalb von 100°C zuverlässig arbeitet.The invention is therefore based on the object of a measuring arrangement create that is easy to use and at the same time high Allow resolution of the distances or angles to be measured. Will continue required that the measuring arrangement in a dusty environment and tempera tures also works reliably above 100 ° C.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 aufgeführten Merkmale gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.This object is achieved according to the invention by the in the characteristics of Features listed claim 1 solved. Developments of the invention are in the Subclaims included.

Die besonderen Vorteile der Erfindung werden dadurch erreicht, daß eine Meßvorrichtung geschaffen wird, die das Mehrspulenverfahren aufgreift und die Spulen erfindungsgemäß in Schichten auf einem Substrat aufbaut. Die Spulenschichten werden in einem bevorzugten Verfahren mit der Photo­ lithographietechnik auf einem Träger erzeugt.The particular advantages of the invention are achieved in that a Measuring device is created, which picks up the multi-coil method and builds up the coils according to the invention in layers on a substrate. The Coil layers are in a preferred process with the photo lithography technology generated on a support.

In einer weiteren bevorzugten Ausführung werden die beiden Spulen als konzentrische Spiralen auf dem Substrat angeordnet.In another preferred The two coils are designed as concentric spirals on the execution Arranged substrate.

Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Abbildungen.Features and advantages of the invention result from the description of the embodiments in connection with the Illustrations.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 den Antriebsmechanismus der Skalenscheibe eines Ausführungs­ beispiels, Fig. 1 shows the driving mechanism of the dial plate of an execution example,

Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform der Skalenscheibe; Fig. 2 shows a preferred embodiment of the dial plate;

Fig. 3 eine bevorzugte Meßanordnung im Schnitt; Fig. 3 shows a preferred measuring assembly in section;

Fig. 4 die schematische Darstellung der elektronischen Auswerteschal­ tung; Fig. 4 shows the schematic representation of the electronic evaluation circuit;

Fig. 5 eine bevorzugte Ausführung einer Detektoranordnung; Fig. 5 shows a preferred embodiment of a detector assembly;

Fig. 6 eine Detaildarstellung der Spulen im Schnitt und Fig. 7 eine mehrlagige Spule in Draufsicht. Fig. 6 is a detailed representation of the coils in section and Fig. 7 is a multi-layer coil in plan view.

Üblicherweise wird eine Drehbewegung dadurch detektiert, daß eine Codierscheibe 1 gegenüber einem ortsfesten Detektorträger 2 angetrieben wird (s. Fig. 1 und 2). Der Antriebsmechanismus 3 wandelt über ein Zahnsegment und ein Zahnrad eine lineare Bewegung in eine Drehbewegung um. Es kann aber ebensogut auch eine lineare Skalenbewegung detektiert werden.Usually, a rotary movement is detected in that an encoder disk 1 is driven relative to a stationary detector carrier 2 (see FIGS. 1 and 2). The drive mechanism 3 converts a linear movement into a rotary movement via a toothed segment and a toothed wheel. However, a linear scale movement can also be detected.

Die Erfindung besteht in einer Detektorvorrichtung und -anordnung, in der zwei Spulen auf einem Träger aufgebracht und relativ zu einer mit Markierungen versehenen Skalenscheibe bewegbar sind. Fig. 3 zeigt den prinzipiellen Aufbau eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. Wie zu ersehen, besteht der feststehende Teil der Anordnung aus einem Träger 2 und den Spulenanordnungen D1, D2 und D3. Diesem gegenübergestellt befindet sich eine Skalenscheibe 1 mit Markierungen auf Spuren S1 bis S3. Der Träger 2 besteht vorzugsweise aus einer Scheibe, auf welche eine Siliziumscheibe aufgekittet ist. Auf dieser Siliziumscheibe befinden sich die vorzugsweise mit einer Maskentechnik hergestellten Spulenanordnungen D1, D2 und D3.The invention consists in a detector device and arrangement in which two coils are applied to a carrier and can be moved relative to a dial with markings. Fig. 3 shows the basic structure of a preferred embodiment. As can be seen, the fixed part of the arrangement consists of a carrier 2 and the coil arrangements D1, D2 and D3. Opposite this is a dial 1 with markings on tracks S1 to S3. The carrier 2 preferably consists of a pane on which a silicon pane is cemented. The coil arrangements D1, D2 and D3, which are preferably produced using a mask technique, are located on this silicon wafer.

Andere Materialien wie z. B. Isolatoren können anwendungsspezifisch gemäß ihren Eigenschaften, z. B. speziellen mechanischen oder thermischen Eigenschaften, alternativ zum Siliziumträger verwendet werden.Other materials such as B. Isolators can be application specific their properties, e.g. B. special mechanical or thermal Properties can be used as an alternative to silicon substrates.

Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung befinden sich die Spulen 6 und 7 als Schichten auf dem Träger 2. According to a preferred embodiment of the invention, the coils 6 and 7 are located as layers on the carrier 2 .

Sendespule 7 und Empfangsspule 6 bestehen aus leitenden Materialien, wie sie üblicherweise aus der Halbleiter-, Supraleiter- oder Elektrotechnik für photolithographische Verfahren in Verbindung mit Aufdampfen, Sputtern u. ä. bekannt sind. Auch Aufkleben der Leiterbahnen auf den Träger stellt eine Alternative dar. Die Spulenmaterialien werden nach ihren elektrischen und verfahrenstechnischen Eigenschaften ausgewählt und können u. a. reine Metalle, Supraleiter oder Halbleiter umfassen.Transmitter coil 7 and receiver coil 6 consist of conductive materials, such as those usually used in semiconductor, superconductor or electrical engineering for photolithographic processes in connection with vapor deposition, sputtering and the like. are known. Gluing the conductor tracks to the carrier is also an alternative. The coil materials are selected on the basis of their electrical and process engineering properties and can include pure metals, superconductors or semiconductors.

Die Spulen werden in einem bevorzugten Verfahren mit Hilfe der Photo­ lithographietechnik erzeugt. Man stellt die Schichtdicke der Spulen auf unter 100 µm, vorzugsweise unter 30 µm, vorzugsweise auf etwa 1 µm ein. Durch das beschriebene Produktionsverfahren ist eine außergewöhnlich geringe Schwankung in den Schichtdicken möglich. Das wiederum er­ möglicht es, daß die Proben sehr nahe an die Meßanordnung herangebracht werden können.The coils are in a preferred process using the photo lithography technology generated. The layer thickness of the coils is set up less than 100 µm, preferably less than 30 µm, preferably to about 1 µm. Due to the production process described, one is exceptional slight fluctuation in the layer thickness possible. That in turn he it is possible that the samples are brought very close to the measuring arrangement can be.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß bei der so aufge­ bauten, hochempfindlichen Detektoranordnung die zu detektierende Struktur problemlos an der dem Träger 1 gegenüberliegenden Seite angeordnet werden kann. Dies ist besonders dann der Fall, wenn die zu detektierenden Strukturen auf einem ebenen Träger aufgebracht sind, welcher sich als Skalen- bzw. Codierscheibe gegenüber der Spulenanordnung bewegt.Another advantage is that in the so constructed, highly sensitive detector arrangement, the structure to be detected can be easily arranged on the side opposite the support 1 . This is particularly the case if the structures to be detected are applied to a flat carrier, which moves as a dial or coding disk with respect to the coil arrangement.

Bei der Messung kann davon ausgegangen werden, daß jede Meßspule annähernd den gleichen Abstand vom Meßobjekt aufweist. Der Abstand der Doppelspule von der Codierscheibe ist dabei von gleicher Größenordnung wie der Abstand der Marken auf der Skalenscheibe.When measuring, it can be assumed that each measuring coil has approximately the same distance from the measurement object. The distance of the Double coil from the coding disk is of the same order of magnitude like the distance between the marks on the dial.

Ein weiterer Vorteil der Meßanordnungen liegt darin, daß keine umständlichen Justiervorgänge nötig sind. Mit der Produktion ist die räumliche Beziehung der Spulenpaare 6, 7 zueinander sowie der verschiedenen Spulenpaare untereinander und zu den Markierungen M1 und M2 auf der Spur S1 (s. Fig. 3 und 5) festgelegt. Damit ist nur eine einmalige Kalibrierung nötig, da die Bauteile in ihren geometrischen Beziehungen festliegen. Another advantage of the measuring arrangements is that no complicated adjustment processes are necessary. With the production, the spatial relationship of the coil pairs 6 , 7 to one another and the different coil pairs to one another and to the markings M1 and M2 on the track S1 (see FIGS. 3 and 5) is fixed. This means that only a one-time calibration is necessary, since the components are fixed in their geometric relationships.

Die beschriebenen Meßanordnungen lassen auf extrem einfache Weise außerordentlich exakte und hochauflösende Messungen zu. Die Dimen­ sionierung der Spulen läßt sich stark variieren und die einzelnen Spulen­ paare können, wie in Fig. 6 gezeigt, dicht gepackt werden. Je nach gewünschter Empfindlichkeit und Ortsauflösung können die Spulen in ihrer Dimensionierung und der Anzahl ihrer Windungen gewählt werden. Die einzelnen Spulen oder Spulenpaare können einschichtig oder mehrschichtig aufgebaut sein. Der mehrschichtige Aufbau ist insbesondere dann vorteil­ haft, wenn die Anzahl der Windungen erhöht werden soll ohne die geometrischen Abmessungen zu vergrößern.The measuring arrangements described allow extremely precise and high-resolution measurements in an extremely simple manner. The dimensioning of the coils can vary widely and the individual coils can be packed tightly, as shown in Fig. 6. Depending on the desired sensitivity and spatial resolution, the dimensions of the coils and the number of their turns can be selected. The individual coils or pairs of coils can be constructed in one or more layers. The multilayer structure is particularly advantageous when the number of turns is to be increased without increasing the geometric dimensions.

Es wurden in Experimenten verschiedene Dimensionierungen erprobt. Bei Versuchen mit einer Ortsauflösung von 0,5 bis 5 mm Abstand der Codemar­ ken hatten die Spulen eine Breite von etwa 0,2 bis 2,5 mm und wiesen einen Abstand von ca. 0,2 bis 2,5 mm gegeneinander auf. Die Breite der Leiterbahnen der Spulen variierte von 30 bis 100 µm.Different dimensions were tried out in experiments. At Try the Codemar with a spatial resolution of 0.5 to 5 mm The coils had a width of about 0.2 to 2.5 mm and showed a distance of about 0.2 to 2.5 mm from each other. The width of the Conductor paths of the coils varied from 30 to 100 µm.

Für die Messungen wurde ein Lock-in-Verstärker mit beispielsweise 100 kHz nach Fig. 4 verwendet. In den Versuchen wurden Ergebnisse erzielt, die eine weitere Steigerung der Ortsauflösung bei einer Verminderung der Größe von Sende- und Empfangsspule erwarten läßt.A lock-in amplifier with, for example, 100 kHz according to FIG. 4 was used for the measurements. In the experiments, results were obtained which would allow a further increase in the spatial resolution with a reduction in the size of the transmitting and receiving coils.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die in Fig. 3 im Schnitt dargestellten Spuren S1, S2 und S3 auf einer beweglichen Scheibe 1 als leitfähige Spuren nach Fig. 2 so angeordnet, daß die Winkelstellung der Codierscheibe 1 nach dem Graycode absolut festgestellt werden kann. Durch Vermehrung der Spuren kann die Winkelauflösung beliebig gesteigert werden. Außerdem kann eine Spur mit festen Marken vorgesehen sein, welche eine inkrementale Messung ermöglicht. Die leitfähigen Spuren bewirken unterhalb der Sendespule 7, daß die in der leitfähigen Schicht induzierten Ströme nach der Lenzschen Regel das erzeugende Wechselfeld schwächen. Daher wird in der Empfängerspule 6 ein schwächeres Signal beobachtet, wenn sich diese Spule über einer leitfähigen Stelle der Spur befindet. Nach Fig. 4 wird das vom Oszillator O erzeugte Signal einerseits der Sendespule 7 zugeführt, andererseits auch dem phasenempfindlichen Gleichrichter G als Signal R. In a preferred embodiment of the invention, the tracks S1, S2 and S3 shown in Fig. 3 in section are arranged on a movable plate 1 as the conductive traces of Fig. 2 so that the angular position of the encoder 1 according to the Gray code can be absolutely detected. The angular resolution can be increased as desired by increasing the number of tracks. In addition, a track with fixed marks can be provided, which enables an incremental measurement. The conductive traces below the transmitter coil 7 cause the currents induced in the conductive layer to weaken the alternating field according to Lenz's rule. Therefore, a weaker signal is observed in the receiver coil 6 when this coil is over a conductive point on the track. According to FIG. 4, the signal generated by the oscillator O is on one hand supplied to the transmission coil 7, on the other hand the phase-sensitive rectifier G as signal R.

Dieser Gleichrichter fungiert außerdem als sogenannter lock-in-Verstärker, welcher über einen Diskriminator einen Zähler oder eine Anzeige Z versorgt, welche auch die Decodierung der Spuren vornimmt. Jedesmal wenn eine Detektorspule ein Signal erzeugt, welches unterhalb einer vor­ gegebenen Schwellenspannung liegt, wird eine logische 0 erzeugt, jedesmal wenn das Signal diese Schwelle überschreitet, wird auf der zugehörigen Spur eine logische 1 angezeigt.This rectifier also acts as a so-called lock-in amplifier, which via a discriminator a counter or a display Z which also decodes the tracks. Whenever a detector coil generates a signal which is below one in front Given the given threshold voltage, a logical 0 is generated each time if the signal exceeds this threshold, it will be on the associated A logical 1 track is displayed.

Durch das Verfahren der Photolithographie können leicht Spulen mit mehr als 10 Windungen hergestellt und die Empfindlich­ keit bei rel. niedriger Bauhöhe weiter gesteigert werden.Through the process of photolithography you can easily made coils with more than 10 turns and the sensitive speed at rel. low height can be further increased.

Die Erfindung wird vorzugsweise in den Fällen eingesetzt, wo hohe Verschmutzungsgrade und hohe Temperaturen den Einsatz herkömmlicher Detektorsysteme mit permanent magnetischen Markierungen unmöglich machen. Beispielsweise ist bei Anwendung von optischen Auslesevorrichtun­ gen vorausgesetzt, daß die umgebende Atmosphäre bestimmten Reinheitser­ fordernissen genügt. Im Kraftfahrzeug beispielsweise treten im Motorraum sowohl höhere Temperaturen auf, als auch größere Mengen von Staub und Feuchtigkeit, welche zur Verschmutzung von Teilen führen, die dieser Atmosphäre ausgesetzt sind. Beispielsweise ist ein Sensor für die Stellung des Gaspedals oder der Drosselklappe mit optischen Mitteln ungünstig, da er einen hohen Aufwand für eine staubdichte Kapselung erfordert.The invention is preferably used in cases where high Pollution levels and high temperatures use conventional Detector systems with permanent magnetic markings impossible do. For example, when using optical readout devices conditions provided that the surrounding atmosphere has certain purities requirements are sufficient. In motor vehicles, for example, occur in the engine compartment both at higher temperatures as well as larger amounts of dust and Moisture, which lead to contamination of parts of this Exposed to the atmosphere. For example, a position sensor the accelerator pedal or the throttle valve with optical means unfavorable because it requires a lot of effort for dust-tight encapsulation.

Falls man die Lagerung der Codierscheibe sorgfältig ausführt, sind Abstände zwischen Detektorspule und Codierspur von unter 50 µm möglich. Falls die Breite der Detektorspule ebenfalls unter 50 µm gewählt wird, sind Wegauflösungen von ca. 10 µm möglich. Damit können auch Winkel in der Größenordnung von 1° und weniger detektiert werden. If you carry out the storage of the coding disc carefully Distances between detector coil and coding track of less than 50 µm possible. If the width of the detector coil is also chosen to be less than 50 µm Path resolutions of approx. 10 µm possible. This also allows angles in the Order of magnitude of 1 ° and less can be detected.  

Durch Verminderung des Abstandes zwischen den Spulen und der Skalen­ scheibe läßt sich die Auflösung steigern, insbesondere wenn die Höhen der Spulen H1 und H2, sowie die Stärke der Isolierschicht 8 genügend klein sind, was durch fotolithographische Methoden ohne weiteres erreichbar ist.By reducing the distance between the coils and the scale disc, the resolution can be increased, especially if the heights of the coils H1 and H2, and the thickness of the insulating layer 8 are sufficiently small, which can easily be achieved by photolithographic methods.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der Erfindung ist sowohl die Sendespule 7 als auch die Empfängerspulen 6 mit einem magnetisierbaren Material gefüllt. Auf diese Weise kann eine weitere Steigerung der Ortsauflösung erreicht werden.In a further advantageous embodiment of the invention, both the transmitter coil 7 and the receiver coils 6 are filled with a magnetizable material. In this way, a further increase in the spatial resolution can be achieved.

Claims (7)

1. Positionssensor mit einem Detektor mit Sende- und Empfangsspule zur Ab­ tastung von elektrisch leitfähigen Markierungen auf einer Scheibe (1), wel­ che Informationen zur Stellung der Scheibe enthalten, wobei die Sendespule (7) ein hochfrequentes Wechselfeld erzeugt und die Empfangsspule (6) das durch die Markierungen verzerrte elektromagnetische Feld empfängt wobei durch einen phasenempfindlichen Gleichrichter (G) und einen Diskriminator das Eintreffen und Verschwinden einer Markierung aus dem Nachweisbe­ reich der Empfangsspule (6) detektiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungen auf der Scheibe (1) einen Code zur Bestimmung der Winkelstellung der Scheibe (1) enthalten, daß die Sende- und Empfangsspu­ le zu einer Doppelspule (D) koaxial übereinanderliegend angeordnet sind und daß deren Windungen aus dünnschichtigen Leiterbahnen bestehen.1. Position sensor with a detector with transmitting and receiving coil for scanning from electrically conductive markings on a disc ( 1 ), which contains information on the position of the disc, the transmitting coil ( 7 ) generating a high-frequency alternating field and the receiving coil ( 6 ) the electromagnetic field distorted by the markings is received, the arrival and disappearance of a mark from the detection region of the receiving coil ( 6 ) being detected by a phase-sensitive rectifier (G) and a discriminator, characterized in that the markings on the disc ( 1 ) unite Code for determining the angular position of the disc ( 1 ) contain that the transmitting and receiving coil le to a double coil (D) are arranged coaxially one above the other and that their windings consist of thin-layer conductor tracks. 2. Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (1) eine isolierende Schicht mit darin eingebetteten leitfähi­ gen Markierungen (M1, M2) aufweist.2. Position sensor according to claim 1, characterized in that the disc ( 1 ) has an insulating layer with embedded conductive markings (M1, M2). 3. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (1) Markierungen auf verschiedene Spuren aufweist, und daß Spuren vorgesehen sind, welche eine Lageinformation nach dem Graycode enthalten.3. Position sensor according to one of claims 1 to 2, characterized in that the disc ( 1 ) has markings on different tracks, and that tracks are provided which contain position information according to the gray code. 4. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände der Empfangsspule (6) von der Sendespule (7) und der Empfangsspule (6) von der Oberfläche der Scheibe (1) 10 bis 100 µm betra­ gen. 4. Position sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the distances of the receiving coil ( 6 ) from the transmitting coil ( 7 ) and the receiving coil ( 6 ) from the surface of the disc ( 1 ) 10 to 100 microns gene. 5. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die gemeinsame Achse der Sendespule (7) und der Empfangsspule (6) auf der Scheibe (1) senkrecht steht.5. Position sensor according to one of claims 1 to 4, characterized in that the common axis of the transmitting coil ( 7 ) and the receiving coil ( 6 ) on the disc ( 1 ) is perpendicular. 6. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in einem mittleren Bereich der Sendespule (7) und der Empfangsspule (6) ein magnetisierbares Material angeordnet ist.6. Position sensor according to one of claims 1 to 5, characterized in that a magnetizable material is arranged in a central region of the transmitting coil ( 7 ) and the receiving coil ( 6 ). 7. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Empfangsspule (6) und der Sendespule (7) 20 bis 30 µm beträgt.7. Position sensor according to one of claims 1 to 6, characterized in that the width of the receiving coil ( 6 ) and the transmitting coil ( 7 ) is 20 to 30 µm.
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