DE4325351A1

DE4325351A1 - Vorrichtung zur Bestimmung und Steuerung der relativen Position und des Durchmessers des Brennfleckes einer Röntgenröhre

Info

Publication number: DE4325351A1
Application number: DE4325351A
Authority: DE
Inventors: Michael Maisl; Detlef Loock; Rudolf Karos
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1993-06-26
Filing date: 1993-07-28
Publication date: 1995-01-12
Anticipated expiration: 2013-07-29
Also published as: DE4325351C2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung und Steuerung der relativen Position und des Durchmessers des Brennfleckes einer Röntgenröhre und zur Ermittlung der Lage der Projektion einer Drehachse eines Drehtisches auf ein Detektorsystem.

Bei der Durchstrahlungsprüfung mit Direktvergrößerungs technik werden Röntgenröhren benötigt, deren Brenn fleckdurchmesser kleiner als 100 µm ist. Ein so kleiner Brennfleckdurchmesser kann dadurch erhalten werden, daß der Elektronenstrahl mittels einer Elektronenoptik auf die Anode fokussiert wird. Als Elektronenoptik werden magnetische und/oder elektrostatische Felder benutzt. Die Defokussierung des Elektronenstrahls bei einer Änderung der Anodenspannung wird durch eine Änderung des Fokussierstroms der Elektronenoptik kompensiert. Bei Autofokussystemen wird der Fokussierstrom der Elek tronenoptik gemäß dem Verlauf einer Kennlinie, die beispielsweise in einem EPROM gespeichert ist, in Ab hängigkeit von der Anodenspannung eingestellt. Bei Röhren ohne Autofokuseinrichtung wird der Fokussier strom manuell eingestellt. Wird eine Drehanode zur Leistungssteigerung benutzt, muß in Abhängigkeit von der Exzentrizität der Anode nachfokussiert werden. Eine Nachfokussierung ist auch bei Strahllageschwankungen einer Synchrotronstrahlungsquelle notwendig.

In der Röntgen-Computer-Tomographie (CT) beeinflussen die Abbildungseigenschaften des radiographischen Systems, also des Detektors und der Quellenapertur, und die Justierung des Probenmanipulators die geometrische Auflösung der rekonstruierten Querschnitte. Bei geome trisch hochauflösenden Röntgen-Computer-Tomographiesy stemen mit Pixelbreiten von w < 50 µm im rekonstruier ten Querschnitt, einer Mikrofokusröntgenröhre als Quel le und Röntgendetektoren mit einem Pitch d größer als die Pixelbreite w muß der Brennfleckdurchmesser fD kleiner als die Pixelbreite w sein. Falls dies nicht der Fall ist, wird die geometrische Auflösung des Tomo gramms nicht durch das Samplingtheorem und die Abbil dungseigenschaften des Detektors, sondern überwiegend durch den Brennfleckdurchmesser fD der Röntgenröhre bestimmt.

Zur Definition sei bemerkt, daß der Pitch der Abstand der Einzeldetektoren ist und auch als Samplingintervall bezeichnet wird und den Betrag d hat. Die Pixelbreite w beträgt d/m, wobei m die mittlere geometrische Ver größerung ist. Bei diesen Systemen wird die Direktver größerungstechnik benutzt, d. h. es wird eine geometri sche Vergrößerung um den Faktor m»1 erreicht.

Eine Bestimmung der Lage der Projektion der Rotations achse auf das Detektorsystem auf mindestens 2/10 der Pixelbreite w ist eine Voraussetzung für die tomogra phische Rekonstruktion eines Querschnittes aus Projektionen. Falls die Projektion der Rotationsachse PD′ auf das Detektorsystem PD nicht genau ermittelt wird, vermindert sich die geometrische Auflösung und es entstehen Artefakte. Siehe hierzu z. B. Fig. 1.

In K. Engelke, Mikrotomographie mit Synchrotronstrah lung zur quantitativen Darstellung des Mineralgehaltes in Knochen, Dissertation, Universität Hamburg 1989, werden solche Artefakte, wie sie bei der Rekonstruktion eines Zylinders in der FAN-BEAM-Geometrie und bei Translations-Rotationsscannen entstehen, beschrieben.

Hochauflösende CT-Systeme mit Mikrofokus Röntgenröhren als Quelle und Detektoren mit einer Detektorapertur d, die größer als die Pixelbreite w im rekonstruierten Querschnitt ist, erfordern für hohe geometrische Auflö sungen einen Brennfleck, dessen Lage auf dem Target und dessen Durchmesser sich über lange Zeit nicht ändern. Dabei kann die Meßzeit je Querschnitt bei kleiner Pi xelbreite bis zu mehreren Stunden betragen. Bei langen Meßzeiten sollte deswegen während der Messung die Posi tion und der Durchmesser des Brennflecks erfaßt und gegebenenfalls korrigiert werden.

Nach jeder Änderung der Anodenspannung muß die Projek tion der Rotationsachse auf das Detektorsystem PD und der Brennfleckdurchmesser neu ermittelt werden, da die Lage und der Durchmesser des Brennflecks bei einer Änderung der Anodenspannung variiert. Bei Verwendung einer Drehanode zur Leistungssteigerung wandert der Brennfleck in Folge der Exzentrizität der Anode.

Bei Autofokussystemen wird der Fokussierstrom gemäß einer programmierten Kennlinie korrigiert. Dabei findet eine automatische Überprüfung des Brennfleckdurchmes sers und eine Regelung nicht statt. Außerdem wird die Wanderung des Brennfleckes nicht kompensiert. Wird in einem hochauflösendes CT-System eine Röntgenröhre mit dem o.a. Eigenschaften verwendet, so muß die Wanderung des Brennflecks und der Brennfleckdurchmesser erfaßt und gegebenenfalls korrigiert werden, um die Auflösung zu optimieren.

Die Kontrolle der Fokussierung des Brennflecks erfolgte bisher mittels der vergrößerten Projektion eines Git ters auf den Detektor. Die Fokussierung wird dabei manuell so lange verändert, bis das Gitter mit maxima lem Kontrast abgebildet wird. Der Brennfleckdurchmesser wurde bisher durch Abbildung verschiedener Gegenstände bestimmt. Es wurden z. B. ein Doppeldrahttestkörper (D. Schnittger, E. Nundry, Untersuchung der Eignung des Platin-Doppeldrahtsteges als Testkörper für die Durch strahlungsprüfung, Materialprüfung 14, 1992), ein ein zelner Platindraht (E. Nabel, H. Heidt, J. Stade, Com parison of microfocal X-ray units, Brit JNDT 28, 1986) oder eine Lithographie-Maske (J. Baumann, P. Klofac, G. Fritsch, Accurate determination of the focal spotsize of a microfocus X-ray tube, in Nondestructive Characte rization of Material, ed: P. Höller, V. Hauk, C. Ruud, R. Green, Spinger (1989)) verwendet. Eine On-Line- Kontrolle des Brennfleckdurchmessers ist mit diesen Verfahren nicht möglich. Dadurch ergibt sich eine rela tiv schlechte Auflösung der Messungen.

Die Projektion der Rotationsachse auf dem Detektor PD kann bei Translationsrotationsscannern infolge der Symmetrieeigenschaften der Projektionsdaten aus zwei Projektionen, die unter dem Winkel Φ und Φ+π gemessen wurden, mittels Kreuzkorrelation bestimmt werden. Diese Methode ist bei reinen Rotationsscannern infolge des divergenten Strahlenganges nicht anwendbar, da sie zu ungenau ist. PD wird also iterativ ermittelt. Dabei werden mehrere Tomogramme aus Projektionen einer Mes sung rekonstruiert. Bei jeder Rekonstruktion wird der angenommene Projektionspunkt der Rotationsachse auf dem Detektor PD variiert und das Tomogramm wird visuell bewertet. Die Projektion der Rotationsachse auf den Detektor PD wird aus dem Tomogramm mit der höchsten Auflösung für die nachfolgenden Rekonstruktionen be rücksichtigt. Diese Methode ist natürlich zeitaufwendig und zusätzlich ungenau.

Die vorliegende Erfindung hat die Aufgabe, die relative Position und den Durchmesser eines Brennfleckes einer Röntgenröhre zu bestimmen, on-line zu kontrollieren und zu steuern. Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung ist es möglich, schnell, präzise und mit hoher Auflösung z. B. Röntgen-Computer-Tomographie-Messungen durchzufüh ren. Dabei wird eine hohe geometrische Auflösung in den Rekonstruktionen sichergestellt.

Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im Anspruch 1 angegeben.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Ansprüche 2 folgende.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch bei Normal fokusröntgenröhren angewendet werden. Außerdem ist es möglich, die Vorrichtung für die Positionierung und Kontrolle eines Elektronenstrahls von Elektronenstrahl schweißanlagen und von Elektronenmikroskopen einzu setzen.

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungs beispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exempla risch beschrieben, auf die im übrigen bezüglich der Offenbarung aller im Text nicht näher erläuterten er findungsgemäßen Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird. Es zeigen:

Fig. 1 mögliche Projektionsgeometrie der Computer- Tomographie,

Fig. 2 eine Projektionsgeometrie,

Fig. 3 eine Vorrichtung zur Kontrolle des Brennflecks,

Fig. 4 eine Anordnung zur Ermittlung der Lage der Pro jektion der Rotationsachse auf den Detektor.

In den folgenden Figuren sind jeweils gleiche oder ent sprechende Teile mit den selben Bezugszeichen bezeich net, so daß auf eine erneute Vorstellung verzichtet wird, und lediglich die Abweichungen der in diesen Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel erläutert werden:

Fig. 1 zeigt eine Projektionsgeometrie der Computerto mographie. Es sind dargestellt der Brennfleck auf einer Röntgenröhre 1 mit einem Brennfleckdurchmesser fD, ein untersuchter Bereich in dessen Mitte die Rotations achse PD′ in y-Richtung zeigt. Der zu untersuchende Bereich wird durch die Pixelbreite w des rekonstruier ten Querschnitts gerastert. Außerdem wird ein Detektor 5 mit einem Samplingintervall d und der Projektion der Rotationsachse PD′ auf den Detektor PD gezeigt.

In Fig. 2 wird eine allgemeine Projektionsgeometrie dargestellt, die den Brennfleck der Röntgenröhre 1 den Fächerstrahl oder Strahlenkegel der Röntgenröhre 2, einen homogenen Draht oder Stab 3, den Projek tionsschatten 4 vom homogenen Stab 3, die Detektor zeile oder den flächigen Röntgendetektor 5 und die Hauptebene 6 zeigt. Wie jede übliche Röntgenröhre erzeugt auch diese einen divergenten Röntgenstrahlen kegel. Der Röntgendetektor 5 kann ein flächiger Rönt gendetektor z. B. ein Bildwandler oder eine Detektor zeile sein.

Die Projektion des homogenen Drahtes oder Stabes wird bei einem zeilenförmigen Röntgendetektor entlang einer Geraden oder bei einem gekrümmten Eingangsschirm eines Röntgenbildwandlers entlang einer Linie im Abstand d digitalisiert. Bei einer Linie ist es notwendig, daß die Projektionswerte auf eine Gerade abgebildet werden und die geometrische Korrektur mittels einer Korrektur funktion erfolgt. Der runde homogene Draht oder Stab 3 steht senkrecht auf der Hauptebene 6, die durch den Brennfleck und der Linie, entlang der die Projek tionswerte digitalisiert werden, begrenzt wird. Dabei wird der Draht auf den Detektor projiziert. Die Trans mission der Röntgenstrahlung durch den Draht oder Stab sollte größer als 5% und kleiner als 90% sein.

Im folgenden soll beschrieben werden, wie die relative Position und der Durchmesser eines Brennflecks einer Röntgenröhre oder Mikrofokusröntgenröhre bestimmt wird.

Ein runder, homogener (dichter) Draht oder Stab 3 mit einem Durchmesser D wird durch einen divergenten Strah lenkegel 2 einer Röntgenröhre auf einen ortsauflösen den ein- oder zweidimensionalen Röntgendetektor 5 abgebildet. Im Prinzip ist auch ein verfahrbarer "null"-dimensionaler Röntgendetektor denkbar. Aller dings hat ein solcher Detektor den Nachteil, daß damit die Meßzeit verlängert wird.

Die Intensitätsverteilung der Röntgenstrahlung wird entlang einer Geraden oder entlang einer Linie an n Stützstellen im Abstand d digitalisiert. Der Stab 3 steht dabei senkrecht auf der Ebene, die durch den Brennfleck und der detektierten Linie begrenzt wird. Der Stab 3 wird um den Faktor m geometrisch ver größert auf den Detektor projiziert. Dabei sollte die geometrische Anordnung so gewählt werden, daß m_*D/d < 20 und 10 < d/fD < 20 ist. Die Intensitätsverteilung I(x) wird entlang der Detektorlinie im Abstand d an n Stützstellen digitalisiert.

Die Intensitätsverteilung I(x) wird mit einer Shadingkorrektur s(x) wie folgt korrigiert:

I-(x) = I(x) _* s(x)

Das Maximum I-_max von I-(x) wird ermittelt und die normierte Intensitätsverteilung I_n(x) wie folgt berich tet:

Nun werden die linke und die rechte Position R1 und R2 der Projektion des Drahtes auf die Projektionslinie ermittelt. Der Intensitätsverlauf der Projektion des Stabes oder Drahtes wird durch ein Polynom 2. Ordnung näherungsweise beschreiben:

I_p = a _* x² + b _* x + c

Die Koeffizienten a, b, c werden so bestimmt, daß das Fehlerquadrat F (a, b, c) minimal wird:

Also genügt das Fehlerquadrat der folgenden Bedingung:

Der Projektionsschwerpunkt PS ergibt sich aus dem Ex tremwert der Parabel

PS = -b/2a

Der Brennfleckdurchmesser ist auch umgekehrt proportio nal zu a. Falls der Brennfleck parallel zur Detektor linie um δx wandert, so wandert der Projektionsschwer punkt um δx_*m. Der Projektionsschwerpunkt kann somit mit einer besseren Auflösung als d/10 bestimmt werden.

Die Vorrichtung zur On-Line-Kontrolle und zur Steuerung von Lage und Größe des Brennflecks einer Röntgenröhre wird im folgenden beschrieben.

Wie in Fig. 3 dargestellt werden zwei runde homogene Stäbe 3, 3′ im äußeren Bereich des Strahlenkegels 2 der Röntgenröhre senkrecht zueinander und senkrecht zur Durchstrahlungsrichtung angeordnet. Zwei Röntgendetek torzeilen 5, 5′ oder ein zweidimensionaler Röntgende tektor 5 werden derart angeordnet, daß das Durch strahlungsbild des jeweils zum Detektor senkrecht ste henden Stabes geometrisch vergrößert auf den Detektor projiziert wird. Die Bestimmung der Lage und der Größe des Brennflecks geschieht wie vorher beschrieben. Es sollte darauf geachtet werden, daß die Stäbe im äußeren Bereich des Strahlenkegels so angebracht sind, daß die Durchstrahlungsprüfung des Objektes 7, die den inne ren Bereich des Strahlenkegels der Röntgenröhre aus nutzt, nicht beeinträchtigt.

Die Intensitätsverteilung der Detektorzeilen oder des zweidimensionalen Detektors werden mittels der Digita lisierungseinheit 8 digitalisiert und die Projek tionsschwerpunkte in X-Richtung und in Y-Richtung wer den wie vorher beschrieben bestimmt. Dieses kann durch ein Steuerprogramm eines Mikrocomputers 9 geschehen. Ändert sich nun die Lage des Projektionsschwerpunktes in X- oder Y-Richtung, so kann die Zentrierung des Elektronenstrahls mittels zweier Zentrierspulen 13, 14 erfolgen. Der Strom durch diese Spulen wird mittels zweier D/A-Wandler 10, 11 über den Mikrocomputer 9 gesteuert, der die Projektionsschwerpunkte in X- und Y- Richtung bestimmt. Eine Änderung der Projektionsschwer punkte in X- oder Y-Richtung wird korrigiert, indem der Strom durch die Zentrierspulen über die D/A-Wandler 10, 11 mittels des Steuerprogramms geändert wird.

Ändert sich der Brennfleckdurchmesser in X- oder Y- Richtung, so ändern sich die Polynom-Parameter a in X- oder Y-Richtung. Geschieht dieses, so wird der Brenn fleckdurchmesser mittels des D/A-Wandlers 12 durch Variation des Stromes der Fokussierspule 19 ge steuert. Das Steuerprogramm regelt über den D/A-Wandler 12 den Fokussierstrom, so daß die Polynomparameter a in X- und Y-Richtung konstant bleiben.

Um z. B. bei der Röntgen-Computer-Tomograpie ein Objekt genau zu vermessen, ist es sinnvoll, daß die Rotations achse des Computer-Tomographie-Systems senkrecht zur Hauptebene steht. Zur Justage sollte der Probenmanipu lator relativ zur Röntgenröhre und zum Detektor lateral (parallel zum Detektor in X-Richtung wie in Fig. 1 dargestellt) um einen bestimmten Betrag positioniert werden können, in dem z. B. der Rotationstisch auf einem Verschiebetisch montiert wird, oder Röhre und Detektor in x-Richtung verschoben werden können.

Für eine genaue Messung und Auswertung ist es notwen dig, die Projektion der Drehachse eines Drehtisches auf einer Detektorzeile zu bestimmen.

Um die Projektion der Drehachse eines Drehtisches zu bestimmen, wird gemäß Fig. 4 ein runder, homogener Stab 3 senkrecht stehend auf dem Drehtisch 16 in Position S1′ befestigt, so daß die Projektion des Sta bes nach einer Drehung des Drehtisches um 180° eben falls auf den Detektor 5 erfolgt. Der Stab wird in der Stellung S1′ des Drehtisches geometrisch um den Faktor m1 vergrößert und auf den Detektor in den Punkt PS1 projiziert. Der Projektionsschwerpunkt des Punktes PS1 wird, wie vorhergehend beschrieben, ermittelt. Das gleiche geschieht mit der Ermittlung des Projektions schwerpunktes für andere Stellungen des Stabes, z. B. S2′.

Um die geometrischen Vergrößerungen m1 und m2 des Sta bes in der Drehtischposition Φ und Φ+π zu ermitteln, wird der Draht in den Drehtischpositionen Φ und Φ+π jeweils um den Betrag δX′ in X-Richtung verschoben. Dadurch verändert sich die Position des Projektions punktes PS1 bzw. PS2 um m1_*δX′ bzw. m2_*δX′. Dann wird der Projektionsschwerpunkt PS1 des Drahtes in Position S1′ in der Drehtischposition Φ und nach Drehen des Drehtisches um 180° der Projektionsschwerpunkt PS2 des Drahtes bestimmt.

Nun ergibt sich der Projektionsschwerpunkt der Drehach se auf den Detektor PD aus

PD = (PS1/m1 + PS2/m2) (m1 + m2)/4

Sofern sich die Anodenspannung ändert und damit auch die Fokussierung des Brennflecks, wird der Projektions schwerpunkt der Drehachse wie oben beschrieben ermit telt und anschließend die Projektionsdaten des zu un tersuchenden Objektes digitalisiert und die Rekonstruk tionen mit dem ermittelten Projektionsschwerpunkt der Drehachse als Projektion der Rotationsachse auf den Detektor bestimmt.

Claims

1. Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Position und des Durchmessers eines Brennflecks einer Röntgen röhre, gekennzeichnet durch mindestens einen Gegenstand, der durch mindestens ein Strahlenbündel auf mindestens einen Röntgendetektor projiziert wird, einer Digitali sierung der Intensitätsverteilung I(x) der Projektion und einer Berechnung der relativen Position und des Durchmessers des Brennflecks mittels Least Square Fit.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Korrektur der Intensi tätsverteilung I(x) durch eine Shadingfunktion s(x) geschieht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Röntgenröhre eine Mikrofokus-Röntgenröhre ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Röntgendetektor ein flächiger Röntgendetektor (z. B. ein Bildwandler) oder mindestens eine Detektorzeile ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Gegenstand ein runder, homogener Draht oder Stab benutzt wird, der senkrecht auf der Hauptebene stehen kann, die durch den Brenn fleck und der Linie, entlang der die Projektionswerte digitalisiert werden, begrenzt wird.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Transmission der Rönt genstrahlung durch den Draht oder Stab größer als 5 sind und kleiner als 90% ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Digitalisierung der Projektion entlang einer Geraden oder entlang einer gekrümmten Linie stattfindet.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur On-Line-Kontrolle von Lage und Größe des Brennfleckes zwei runde, homogene Drähte oder Stäbe benutzt werden, die senkrecht zuein ander und senkrecht zur Durchstrahlungsrichtung ange ordnet sind und daß mindestens ein Röntgendetektor derart angeordnet ist, daß das Durchstrahlungsbild des jeweils zum Detektor senkrecht stehenden Drahtes oder Stabes geometrisch vergrößert auf den Detektor proji ziert wird und daß die ermittelten Werte für die rela tive Position und für den Durchmesser des Brennfleckes dazu benutzt werden, mindestens eine Zentrierspule und mindestens eine Fokussierspule zu steuern.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Zentrier spulen zur Variation der relativen Brennfleckenlage benutzt werden.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Projektionsschwerpunkt der Projektion der Drehachse eines Drehtisches auf einer Detektorzeile sich mit PD = (PS1/m1 + PS2/m2) (m1 + m2)/4bestimmt, wobei PD die Projektion der Drehachse, PS1 und PS2 die Projektionsschwerpunkte des Drahtes in den Positionen S1′ und S2′ und m1 und m2 die ge ometrische Vergrößerung in den Positionen F1′ und F2′ sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Position F2′ durch Drehen des Drehtisches um 180° aus der Position F1′ erreicht wird.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Probenmanipulator rela tiv zur Röntgenröhre und zum Detektor lateral um einen bestimmten Betrag positioniert werden kann.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die laterale Bewegung durch einen Verschiebetisch geschieht, auf dem der Drehtisch montiert ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die geometrische Vergröße rung m durch Verschiebung des Drehtisches lateral um einen bestimmten Betrag ermittelt wird.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse des zu untersuchenden Systems senkrecht auf der Hauptebene steht.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung für die Röntgen-Computer-Tomographie verwendet wird.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung für die Positionierung und Kontrolle eines Elektronenstrahls von Elektronenstrahlschweißanlagen und/oder von Elek tronenmikroskopien eingesetzt wird.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Röntgenquelle eine Synchrotronstrahlungsquelle benutzt wird.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet als Röntgenquelle ein Betatron benutzt wird.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß als Röntgenquelle ein Linearbeschleuniger benutzt wird.