DE4309772A1 - Apparatus for the positive transmission of a movement from a first to a second medium - Google Patents

Apparatus for the positive transmission of a movement from a first to a second medium

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DE4309772A1 DE19934309772 DE4309772A DE4309772A1 DE 4309772 A1 DE4309772 A1 DE 4309772A1 DE 19934309772 DE19934309772 DE 19934309772 DE 4309772 A DE4309772 A DE 4309772A DE 4309772 A1 DE4309772 A1 DE 4309772A1
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Abstract

A description is given of an apparatus for the positive transmission of a movement from a first to a second medium (10, 12) separated from the first, which apparatus has, between its input and output sections (14, 16), a metallic bellows seal (18) which, together with a housing (20) of the apparatus, divides or encapsulates in a reliably sealed manner the input section (14) - connected to the first medium (10), for example an atmosphere under standard conditions, from the second medium (12), for example a vacuum, connected to the output section (16), it being possible for controlled rotary or translational movements to be transmitted to the second medium (12). As a result, the input section (14) of the apparatus cannot contaminate the second medium (12) or be attacked by the latter. Moreover, only the output section (16) has to be made from special materials or by special methods which take account of the second medium (12). <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur form­ schlüssigen Übertragung einer Bewegung von einem ersten in ein zweites Medium gemäß dem Patentanspruch 1, insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung, die von einer dem ersten Medium ausgesetzten Antriebseinrichtung eine Bewegung in das zweite Medium überträgt, ohne daß die Antriebseinrichtung mit dem zweiten Medium in Kontakt kommt.The invention relates to a device for form conclusive transmission of a movement from a first one a second medium according to claim 1, in particular The invention relates to a device by a drive device exposed to the first medium transfers a movement into the second medium without the Drive device in contact with the second medium is coming.

Derartige Bewegungsübertragungsvorrichtungen werden bei­ spielsweise bei wäßrigen oder gasförmigen Medien u. a. in der Raumfahrt, Kältetechnik, Reinraumtechnik (z. B. Halb­ leiterindustrie), Nahrungsmittelindustrie, Medizintechnik, Pharmaindustrie, Nukleartechnik und in explosionsgefähr­ deten Bereichen verwendet. Bei diesen Anwendungen tritt generell das Problem auf, gesteuerte Bewegungen in ein von der Normalatmosphäre getrenntes Medium wie beispielsweise ein Vakuum zu übertragen, wobei das abgetrennte Medium sich weder mit der Normalatmosphäre vermischen, noch das Medium durch die Übertragungsvor- bzw. Antriebseinrichtung verun­ reinigt werden darf. Dazu sind die verwendeten Antriebsein­ richtungen vorzugsweise außerhalb des abgetrennten Mediums angeordnet und die Bewegung wird mittels einer Übertra­ gungsvorrichtung durch eine das Medium von der Normal­ atmosphäre trennende Wand in das Medium übertragen.Such motion transmission devices are used in for example with aqueous or gaseous media and. a. in aerospace, refrigeration, clean room technology (e.g. half conductor industry), food industry, medical technology, Pharmaceutical industry, nuclear technology and in explosion risk used areas. In these applications occurs generally the problem of controlled movements in one of medium separated from the normal atmosphere, for example transfer a vacuum, the separated medium itself neither mix with the normal atmosphere, nor the medium polluted by the transmission feeder or drive device may be cleaned. The drives used for this are directions preferably outside of the separated medium arranged and the movement is by means of a transfer supply device through a medium of normal wall separating the atmosphere into the medium.

In den Fig. 7 bis 9 sind beispielhaft bekannte Bewegungs­ übertragungsvorrichtungen dieser Gattung dargestellt.In Figs. 7 to 9 by way of example are known motion transmission devices of this type shown.

Bei dem in Fig. 7 dargestellten Handkurbelantrieb 1 ist eine Antriebswelle 1.1 durch einen Durchbruch 31 in der das Medium 12 von der Normalatmosphäre trennenden Wand 30 hindurchgeführt, um die an der Handkurbel erzeugte Dreh­ bewegung in das Medium 12 zu übertragen. Zur Trennung des Mediums 12 von der Normalatmosphäre 10 ist an die Trennwand 30 ein Flansch 1.2 angeflanscht, durch den sich die An­ triebswelle 1.1 erstreckt. Ferner ist zwischen der Stirn­ fläche des Flansches 1.2 und der Trennwand 30 sowie zwi­ schen der Innenumfangsfläche des Flansches 1.2 und der Antriebswelle 1.1 jeweils eine elastische ringförmige Dichtung 1.3 vorgesehen, die das Medium 12 gegenüber der Normalatmosphäre 10 abdichten soll.In the hand crank drive 1 shown in FIG. 7, a drive shaft 1.1 is passed through an opening 31 in the wall 30 separating the medium 12 from the normal atmosphere in order to transmit the rotary movement generated on the hand crank into the medium 12 . To separate the medium 12 from the normal atmosphere 10 , a flange 1.2 is flanged to the partition 30 through which the drive shaft 1.1 extends. Furthermore, an elastic annular seal 1.3 is provided between the end face of the flange 1.2 and the partition 30 and between the inner circumferential surface of the flange 1.2 and the drive shaft 1.1 , which is intended to seal the medium 12 against the normal atmosphere 10 .

Dieser Stand der Technik weist den Nachteil auf, daß die zwischen der Innenumfangsfläche des Flansches 1.2 und der Antriebswelle 1.1 vorgesehene elastische Ringdichtung 1.3 das Medium 12 von der Normalatmosphäre 10 insbesondere dann nicht vollständig trennen kann, wenn das Medium 12 unter einem anderen Druck als die Normalatmosphäre 10 steht oder unterschiedliche Temperaturen vorherrschen. Diese Proble­ matik tritt noch verstärkt im Betrieb der Übertragungs­ vorrichtung auf, wenn die Dichtung 1.3 durch die Relativbe­ wegung zwischen ihr und der Antriebswelle 1.1 verschleißt und/oder durch hohe oder niedrige Temperaturen versprödet. Ferner kann dieses Prinzip der Bewegungsübertragung nur bei Montage der Bewegungsübertragungsvorrichtung 1 an der Außenseite der Trennwand 30 angewandt werden, was die Anzahl der Freiheitsgrade der zu übertragenden Bewegungen einschränkt.This prior art has the disadvantage that the elastic ring seal 1.3 provided between the inner peripheral surface of the flange 1.2 and the drive shaft 1.1 cannot separate the medium 12 from the normal atmosphere 10 in particular when the medium 12 is under a different pressure than the normal atmosphere 10 stands or different temperatures prevail. This problem occurs even more frequently in the operation of the transmission device if the seal 1.3 wears out due to the relative movement between it and the drive shaft 1.1 and / or becomes brittle due to high or low temperatures. Furthermore, this principle of motion transmission can only be used when mounting the motion transmission device 1 on the outside of the partition wall 30 , which limits the number of degrees of freedom of the movements to be transmitted.

Bei der in Fig. 8 dargestellten bekannten Bewegungsüber­ tragungsvorrichtung handelt es sich um eine Magnetkupplung oder einen Elektromotor 2, der an die Außenseite der das Medium 12 von der Normalatmosphäre 10 trennenden Wand 30 mit einem topfförmigen, einseitig geschlossenen Flansch 2.2 angeflanscht ist. Diese Kupplung weist eine den Durchbruch 31 in der Trennwand 30 durchgreifende Abtriebswelle 2.1 auf, die mit einem in dem Flansch 2.2 angeordneten Rotor 2.4 koaxial verbunden ist. Konzentrisch um den Flansch 2.2 herum ist ein Stator 2.5 vorgesehen, der wahlweise ein Magnetfeld erzeugt, um eine Drehbewegung des Rotors 2.4 durch den Flansch 2.2 hindurch zu bewirken.In the illustrated in Fig. 8 known motion About tragungsvorrichtung is a magnetic coupling or an electric motor 2, which is flanged to the outer side of the medium 12 separated from the normal atmosphere for 10 wall 30 with a cup-shaped, closed at one end flange 2.2. This coupling has an output shaft 2.1 which penetrates the opening 31 in the partition 30 and which is coaxially connected to a rotor 2.4 arranged in the flange 2.2 . A stator 2.5 is provided concentrically around the flange 2.2 and optionally generates a magnetic field in order to bring about a rotary movement of the rotor 2.4 through the flange 2.2 .

Obgleich bei dieser Bewegungsübertragungsvorrichtung 2 das Medium 12 mittels dem geschlossenen Flansch 2.2 und einer zwischen der Stirnfläche des Flansches 2.2 und der Trenn­ wand 30 vorgesehenen elastischen Dichtung 2.3 zuverlässig von der Normalatmosphäre 10 getrennt werden kann, weist dieser Stand der Technik den Nachteil auf, daß bedingt durch die magnetische Erzeugung bzw. Übertragung der Bewegung eine hohe Trägheit bei Bewegungsvorgängen in Kauf genommen werden muß, eine präzise Positionierung der Ab­ triebswelle 2.1 und damit eine exakt gesteuerte Übertragung von Bewegungen nicht möglich und nur ein begrenztes Dreh­ moment übertragbar ist. Ferner ist diese Bewegungsüber­ tragungsvorrichtung 2, wie auch der zuvor gewürdigte Stand der Technik, nur zur Montage an der Außenseite der Trenn­ wand 30 geeignet und weist zudem eine unzureichende Tempe­ raturbeständigkeit auf.Although in this motion transmission device 2, the medium 12 can be reliably separated from the normal atmosphere 10 by means of the closed flange 2.2 and an elastic seal 2.3 provided between the end face of the flange 2.2 and the partition 30 , this prior art has the disadvantage that conditionally due to the magnetic generation or transmission of the movement, a high degree of inertia during movement processes has to be accepted, a precise positioning of the drive shaft 2.1 and thus an exactly controlled transmission of movements is not possible and only a limited torque can be transmitted. Furthermore, this movement transmission device 2 , like the previously recognized prior art, is only suitable for mounting on the outside of the partition 30 and also has an insufficient temperature resistance.

Schließlich zeigt die Fig. 9 eine weitere bekannte Be­ wegungsübertragungsvorrichtung, bei der eine Antriebs­ einrichtung 3 (Getriebe oder Motor) an die die Medien 10 und 12 trennende Wand 30 angeflanscht ist, deren Abtriebs­ welle 3.1 den Durchbruch 31 in der Trennwand 30 durch­ greift. Auch hier ist eine elastische Dichtung 3.3 zwischen der Stirnfläche eines Flanschabschnitts 3.2 der Antriebs­ einrichtung 3 und der Trennwand 30 vorgesehen, die die Medien 10 und 12 gegeneinander abdichtet.Finally, Fig. 9 shows another known Be motion transmission device in which a drive device 3 (gear or motor) is flanged to the media 10 and 12 separating wall 30 , the output shaft 3.1, the breakthrough 31 in the partition 30 engages through. Here too, an elastic seal 3.3 is provided between the end face of a flange section 3.2 of the drive device 3 and the partition wall 30 , which seals the media 10 and 12 against one another.

Handelt es sich bei der Antriebseinrichtung 3 um ein Ge­ triebe, so muß sich eine Antriebswelle 3.4 aus dem Gehäuse der Antriebseinrichtung 3 heraus in das erste Medium 10 erstrecken, an der die gleichen Abdichtprobleme wie bei dem unter Bezugnahme auf die Fig. 7 beschriebenen Stand der Technik auftreten. If the drive device 3 is a gear, a drive shaft 3.4 must extend out of the housing of the drive device 3 into the first medium 10 , on which the same sealing problems as in the state described with reference to FIG. 7 Technology occur.

Ist als Antriebseinrichtung 3 ein Motor ohne die darge­ stellte Antriebswelle 3.4 vorgesehen, so ergeben sich diese Abdichtprobleme an der Abtriebswelle 3.1, wenn die Motor­ bauteile (nicht dargestellt) mit dem Medium 12 nicht in Kontakt kommen dürfen, um eine Verunreinigung des Mediums 12 durch beispielsweise Ausgasen der Motorbauteile zu vermeiden. Diese Gefahr des Ausgasens der Motorbauteile besteht insbesondere dann, wenn das Medium 12 ein Vakuum ist (z. B. bei Weltraumanwendungen), daß durch Ausgasen von beispielsweise Kohlenwasserstoffen verunreinigt werden kann.Is provided as a drive device 3, an engine without the Darge presented drive shaft 3.4 is provided, these sealing problems arise at the output shaft 3.1, when the engine components (not shown) must not come into contact with the medium 12 to prevent contamination of the medium 12 by, for example, Avoid outgassing the engine components. This risk of outgassing the engine components exists in particular when the medium 12 is a vacuum (for example in space applications) that can be contaminated by outgassing, for example, hydrocarbons.

In diesem Zusammenhang wurde ferner vorgeschlagen, bezüg­ lich der mit dem Vakuum in Kontakt tretenden Bauteile der Antriebseinrichtung besondere Maßnahmen vorzusehen, um ein Ausgasen effektiv zu vermeiden. So können beispielsweise Motorwindungen mit einem Isolierfilm aus Teflon oder Polya­ mid versehen werden, spezifische Schmierstoffe auf Chlor-, Silber-, Gold- oder Graphitbasis eingesetzt werden oder an den Motorbauteilen spezielle elektrolytische oder elektro­ chemische Oberflächenbehandlungen durchgeführt werden. Eine derart aufgebaute bzw. behandelte Antriebseinrichtung kann dann auch vollständig in das Vakuum eingebracht werden, ohne es zu verunreinigen, sie weist aber den Nachteil auf, daß sie oder die Verfahren zu ihrer Herstellung sehr kost­ spielig sind.In this context, it has also been proposed Lich the components of the Drive device to provide special measures to Avoiding outgassing effectively. For example Motor windings with an insulating film made of Teflon or Polya mid, specific lubricants on chlorine, Silver, gold or graphite base can be used or on the engine components special electrolytic or electro chemical surface treatments are carried out. A drive device constructed or treated in this way then also be completely introduced into the vacuum, without contaminating it, but it has the disadvantage of that it or the process for its manufacture is very expensive are playful.

Gegenüber diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Übertragung von Bewegungen zwischen zwei verschiedenen Medien zu schaffen, die insgesamt eine höhere Funktionalität bei zuverlässiger Trennung der Medien aufweist.The invention lies opposite this prior art Task based on a device for the transmission of Creating movements between two different media, the overall higher functionality with more reliable Separation of the media exhibits.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 ange­ gebenen Merkmale gelöst. This object is achieved by the in claim 1 given characteristics solved.  

Erfindungsgemäß weist eine Vorrichtung zur formschlüssigen Übertragung einer Bewegung von einem ersten in ein zweites, vom ersten Medium getrenntes Medium zwischen ihrem An- und Abtriebsabschnitt eine metallische Balgdichtung auf, die zusammen mit einem Gehäuse der Vorrichtung den mit dem ersten Medium verbundenen Antriebsabschnitt gegenüber dem mit dem Abtriebsabschnitt verbundenen zweiten Medium zuver­ lässig dichtend trennt oder verkapselt. Somit müssen nur die mit dem zweiten Medium in Verbindung stehenden Teile des Abtriebsabschnitts der Vorrichtung aus spezifischen Materialien und/oder mit spezifischen Verfahren hergestellt werden, wodurch sich die Herstellung der Vorrichtung insge­ samt vereinfacht und die Vorrichtung kostengünstiger wird.According to the invention, a device for positive locking Transferring a movement from a first to a second, medium separated from the first medium between their arrival and Output section a metallic bellows seal on the together with a housing of the device with the first medium connected drive section opposite the zuver connected to the output section second medium casually sealing separates or encapsulates. So just have to the parts related to the second medium the output section of the device from specific Materials and / or manufactured using specific processes be, whereby the manufacture of the device in total velvet simplified and the device becomes cheaper.

Gemäß vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung nach den Patentansprüchen 2 bis 9 kann die Vorrichtung ohne oder, in einer sehr kompakten Bauweise, mit Motor in das zweite Medium vollständig eingebracht werden, ohne dieses zu verunreinigen oder selbst durch das zweite Medium ange­ griffen zu werden, wodurch die Vorrichtung beliebig im zweiten Medium positionierbar ist und keine Einschränkungen bezüglich der Freiheitsgrade der Vorrichtung bestehen. Insbesondere kann die Vorrichtung von der die Medien tren­ nenden Wand beliebig weit entfernt in dem zweiten Medium eingesetzt werden, wobei die Versorgung bzw. der Antrieb der Vorrichtung vom ersten Medium aus über Versorgungsleitungen und/oder durch ein flexibles Rohr ohne Probleme möglich ist.According to advantageous developments of the invention according to the Claims 2 to 9, the device without or in a very compact design, with motor in the second Medium are completely introduced without this contaminate or even by the second medium to be gripped, making the device arbitrary in second medium can be positioned and no restrictions exist with regard to the degrees of freedom of the device. In particular, the device from which the media can pass wall in the second medium are used, the supply or the drive the device from the first medium Supply lines and / or through a flexible pipe without Problems is possible.

Gemäß den Patentansprüchen 10 bis 14 kann auf vorteilhafte Weise eine im ersten Medium erzeugte Drehbewegung in das zweite Medium übertragen werden, ohne das Undichtigkeiten zwischen den Medien auftreten können. Insbesondere ermög­ licht die in den Patentansprüchen 10 und 11 beschriebene formschlüssige Übertragung der Drehbewegung mittels einer Taumelbewegung ein absolut verschleißfreies Abdichten der Medien gegeneinander, da keine reibenden Relativbewegungen zwischen dichtenden Elementen erzeugt werden. Zudem erlaubt die beschriebene Drehbewegungsübertragung ein exaktes Positionieren der Ausgangswelle im zweiten Medium, wodurch Bewegungen im zweiten Medium präzise gesteuert werden können, wie es beispielsweise für Weltraumanwendungen oder in der Halbleiterindustrie unbedingt erforderlich ist.According to claims 10 to 14 can be advantageous Way a rotary motion generated in the first medium in the second medium can be transferred without the leaks can occur between the media. In particular, made possible light that described in claims 10 and 11 positive transmission of the rotary movement by means of a  Wobble an absolutely wear-free sealing of the Media against each other since there are no rubbing relative movements be generated between sealing elements. Also allowed the described rotary motion transmission is an exact one Positioning the output shaft in the second medium, whereby Movements in the second medium can be precisely controlled can, such as for space applications or is absolutely necessary in the semiconductor industry.

Gemäß den Patentansprüchen 15 bis 18 kann auch eine Bewe­ gung unter Änderung ihrer Richtung, in diesem Fall Um­ setzung einer Rotationsbewegung in eine Translationsbe­ wegung, bei zuverlässiger Trennung der Medien und exakt positionierbar übertragen werden, wodurch sich vielfältige Anwendungsmöglichkeiten für die Vorrichtung ergeben.According to the claims 15 to 18, a Bewe change their direction, in this case Um setting a rotational movement in a translation movement, with reliable separation of the media and exact positionable transfer, which is diverse Possible applications for the device result.

Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der übrigen Unteransprüche.Further advantageous developments of the invention are Subject of the other subclaims.

Die Erfindung wird nachstehend anhand bevorzugter Aus­ führungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.The invention is based on preferred Aus management examples with reference to the drawings explained in more detail.

Fig. 1(A) ist eine Schnittansicht eines ersten Aus­ führungsbeispiels der erfindungsgemäßen Bewegungsüber­ tragungsvorrichtung zur Übertragung einer Drehbewegung, wobei die Vorrichtung an einer die Medien trennenden Wand befestigt ist. Fig. 1 (A) is a sectional view of a first exemplary embodiment of the motion transmission device according to the invention for transmitting a rotary motion, the device being attached to a wall separating the media.

Fig. 1(B) ist eine der Fig. 1(A) im wesentlichen entsprechende Schnittansicht des ersten Ausführungsbei­ spiels, wobei wesentliche Teile der Vorrichtung um 90° gedreht sind. Fig. 1 (B) is a Fig. 1 (A) substantially corresponding sectional view of the first game Ausführungsbei, wherein essential parts of the device are rotated by 90 °.

Fig. 2 ist eine der Fig. 1(A) im wesentlichen ent­ sprechende Schnittansicht des ersten Ausführungsbeispiels, wobei die Vorrichtung vollständig gekapselt in das zweite Medium eingebracht ist. Fig. 2 is one of Fig. 1 (A) substantially speaking sectional view of the first embodiment, wherein the device is completely encapsulated in the second medium.

Fig. 3 ist eine der Fig. 2 im wesentlichen entspre­ chende Schnittansicht des ersten Ausführungsbeispiels, wobei die vollständig in das zweite Medium eingebrachte Vorrichtung über einen flexibles Rohr mit dem ersten Medium verbunden ist. Fig. 3 is one of FIG. 2 substantially corre sponding sectional view of the first embodiment, wherein the device completely inserted into the second medium is connected to the first medium via a flexible tube.

Fig. 4(A) ist eine Schnittansicht eines zweiten Aus­ führungsbeispiel der erfindungsgemäßen Bewegungsübertra­ gungsvorrichtung zur Übertragung einer Drehbewegung, wobei die Vorrichtung an einer die Medien trennenden Wand befe­ stigt ist. Fig. 4 (A) is a sectional view of a second exemplary embodiment of the movement transmission device according to the invention for transmitting a rotary movement, the device being attached to a wall separating the media.

Fig. 4(B) ist eine der Fig. 4(A) im wesentlichen entsprechende Schnittansicht des zweiten Ausführungsbei­ spiels, wobei wesentliche Teile der Vorrichtung um 90° gedreht sind. Fig. 4 (B) is a Fig. 4 (A) substantially corresponding sectional view of the second game Ausführungsbei, wherein essential parts of the device are rotated by 90 °.

Fig. 5 ist eine Schnittansicht eines dritten Ausfüh­ rungsbeispiels der erfindungsgemäßen Bewegungsübertra­ gungsvorrichtung, die an einer die Medien trennenden Wand befestigt ist, wobei eine Drehbewegung in eine Axialbe­ wegung umgesetzt wird. Fig. 5 is a sectional view of a third exemplary embodiment of the movement transmission device according to the invention, which is fastened to a wall separating the media, with a rotary movement being converted into an axial movement.

Fig. 6 ist eine Schnittansicht eines vierten Ausfüh­ rungsbeispiels der erfindungsgemäßen Bewegungsübertra­ gungsvorrichtung, die an einer die Medien trennenden Wand befestigt ist, wobei ebenfalls eine Drehbewegung in eine Axialbewegung umgesetzt wird. Fig. 6 is a sectional view of a fourth exemplary embodiment of the movement transmission device according to the invention, which is attached to a wall separating the media, wherein a rotary movement is also converted into an axial movement.

Fig. 7 bis 9 zeigen bekannte Bewegungsübertragungsvor­ richtungen. FIGS. 7 to 9 show known Bewegungsübertragungsvor directions.

Das in den Fig. 1(A) bis 3 dargestellte erste Ausführungs­ beispiel der erfindungsgemäßen Bewegungsübertragungsvor­ richtung hat eine im wesentlichen zylindrische, metallische Balgdichtung 18, die zusammen mit einem Gehäuse 20 der Bewegungsübertragungsvorrichtung einen mit einem ersten Medium 10 verbundenen Antriebsabschnitt 14 gegenüber einem mit einem Abtriebsabschnitt 16 verbundenen zweiten Medium 12 trennt oder verkapselt, wobei eine Drehbewegung von dem ersten Medium 10 - in das zweite - Medium 12 übertragen wird. Bei dem ersten Medium 10 kann es sich beispielsweise um Normalatmosphäre handeln, während das zweite Medium 12 ein Vakuum ist. Die beiden Medien 10 und 12 können sich neben ihrer chemischen Zusammensetzung aber auch durch ihre Aggregatszustände (z. B. flüssig und gasförmig) oder ihre thermodynamischen Zustandsgrößen wie Druck oder Temperatur unterscheiden.The first embodiment shown in FIGS . 1 (A) to 3 of the movement transmission device according to the invention has a substantially cylindrical, metallic bellows seal 18 which, together with a housing 20 of the movement transmission device, has a drive section 14 connected to a first medium 10 opposite one with a Output section 16 connected second medium 12 separates or encapsulated, wherein a rotational movement from the first medium 10 - is transferred to the second - medium 12 . The first medium 10 can be a normal atmosphere, for example, while the second medium 12 is a vacuum. In addition to their chemical composition, the two media 10 and 12 can also differ in terms of their aggregate states (for example liquid and gaseous) or their thermodynamic state variables such as pressure or temperature.

Das vorzugsweise aus Edelstahl bestehende zylindrische Gehäuse 20 der Bewegungsübertragungsvorrichtung ist topfförmig ausgebildet und weist an seiner ansonsten ge­ schlossenen endseitigen Stirnfläche einen Durchbruch 21 auf. Diese Stirnfläche wird vorzugsweise durch einen Deckel (nicht dargestellt) ausgebildet, der an ein zylindrisches Rohr (nicht dargestellt) zur Bildung des topfförmigen Gehäuses 20 angeschweißt oder -geschraubt ist. An der Innenumfangsfläche des Gehäuses 20 ist konzentrisch zum Gehäuse 20 ein erster Flansch oder Absatz 46 ausgeformt oder angebracht, der in axialer Richtung des Gehäuses 20 im wesentlichen mittig angeordnet ist. An dem offenen Ende des Gehäuses 20 ist ein zweiter Flansch 48 z. B. durch Ver­ schweißen und/oder Verschrauben angebracht, der sich kon­ zentrisch zum Gehäuse 20 in dieses erstreckt. Der erste Flansch 46 dient zur konzentrischen Aufnahme oder Lagerung des Antriebsabschnitts 14, während der zweite Flansch 48 den Abtriebsabschnitt 16 der Bewegungsübertragungsvor­ richtung lagert. Ferner ist an dem ersten Flansch 46 ein eine Drehbewegung erzeugender Motor 22 (z. B. ein Elektro­ motor) konzentrisch zum Gehäuse 20 so angebracht, daß das Gehäuse 20 den Motor 22 vollständig umgibt. Der mit dem Antriebsabschnitt 14 in Wirkverbindung stehende Motor 22 wird von Leitungen 24 (z. B. isolierte Kabel) beispielsweise mit Strom versorgt, wobei an den Leitungen 24 vorgesehene Anschlüsse 25 (z. B. Standardstecker) aus dem Durchbruch 21 des Gehäuses 22 herausgeführt sind.The preferably made of stainless steel cylindrical housing 20 of the motion transmission device is pot-shaped and has an opening 21 on its otherwise closed end face GE. This end face is preferably formed by a cover (not shown) which is welded or screwed to a cylindrical tube (not shown) to form the pot-shaped housing 20 . A first flange or shoulder 46 is formed or attached concentrically to the housing 20 on the inner peripheral surface of the housing 20 and is arranged essentially centrally in the axial direction of the housing 20 . At the open end of the housing 20 is a second flange 48 z. B. welded by Ver and / or screwed, which extends conically to the housing 20 in this. The first flange 46 is used for concentrically receiving or supporting the drive section 14 , while the second flange 48 supports the output section 16 of the direction of motion transmission. Furthermore, on the first flange 46, a motor 22 producing a rotary movement (for example an electric motor) is mounted concentrically to the housing 20 such that the housing 20 completely surrounds the motor 22 . The motor 22 , which is operatively connected to the drive section 14 , is supplied with power, for example, by lines 24 (for example insulated cables), connections 25 provided on the lines 24 (for example standard plugs) leading out of the opening 21 in the housing 22 are.

Gemäß den Fig. 1(A), 2 und 3 weist der mit dem Motor 22 verbundene und ebenfalls vollständig im Gehäuse 20 unterge­ brachte Antriebsabschnitt 14 eine erste Welle 32 auf, die sich vom Motor 22 in Richtung auf das offene Ende des Gehäuses 20 erstreckt und entweder an dem ersten Flansch 46 oder an dem Motor 22 mit Lagern (nicht dargestellt) drehbar und konzentrisch zum Gehäuse 20 gehalten wird. Die erste Welle 32 hat an ihrem vom Motor 22 entfernt liegenden Ende ein Abwinkelung oder Abkröpfung 34, auf deren Außenum­ fangsfläche mittels zweier Lager 39 ein Kopfteil 38 konzen­ trisch zum abgewinkelten Ende 34 gehalten ist, wodurch das abgewinkelte Ende 34 relativ zum Kopfteil 38 drehbar ist.Referring to FIGS. 1 (A), 2 and 3, the connected to the motor 22 and also completely in the housing 20 underweight body mounted drive section 14, a first shaft 32 which extends from the motor 22 toward the open end of the housing 20 and is rotatably supported either on the first flange 46 or on the motor 22 with bearings (not shown) and concentric with the housing 20 . The first shaft 32 has at its end distant from the motor 22 an angled portion or angled portion 34 , on the outer circumferential surface of which by means of two bearings 39 a head part 38 is held conically to the angled end 34 , whereby the angled end 34 is rotatable relative to the head part 38 .

Das Kopfteil 38 ist topfförmig ausgebildet und hat an seinem dem Motor 22 zugewandten offenen Ende einen Flan­ schabschnitt, an dem die metallische Balgdichtung 18 mit einem endseitigen Umfangsabschnitt dichtend angeschweißt ist. Mit dem Umfangsabschnitt ihres gegenüberliegenden Endes ist die Balgdichtung 18 an den ersten Flansch 46 oder den Motor 22 dichtend angeschweißt, so daß das Kopfteil 38 durch die Balgdichtung 18 drehfest gehalten wird. Ferner ist auf der Außenumfangsfläche des Kopfteils 38 ein wei­ teres Lager 40 befestigt, welches mit dem Abtriebsabschnitt 16 in Wirkverbindung steht.The head part 38 is cup-shaped and has at its open end facing the motor 22 a flange section, on which the metallic bellows seal 18 is welded in a sealing manner with an end peripheral section. With the peripheral portion of its opposite end, the bellows seal 18 is welded to the first flange 46 or the motor 22 in a sealing manner, so that the head part 38 is held in a rotationally fixed manner by the bellows seal 18 . Furthermore, a white teres bearing 40 is attached to the outer peripheral surface of the head part 38 , which is in operative connection with the output section 16 .

Der mit dem Kopfteil 38 in Wirkverbindung stehende Ab­ triebsabschnitt 16 der Bewegungsübertragungsvorrichtung besteht aus einer koaxial mit der ersten Welle 32 fluchten­ den zweiten Welle 36, die mit zwei Lagern 37 in dem zweiten Flansch 48 drehbar gehalten ist, wobei die zweite Welle 36 an beiden Seiten des mit einer durchgehenden Bohrung ver­ sehenen zweiten Flansches 48 vorsteht. Das dem Motor 22 zugewandte Ende der zweiten Welle 36 hat einen größeren Durchmesser als der mit den Lagern 37 gelagerte Abschnitt der zweiten Welle 36 und weist in axialer Richtung einen sich in Richtung auf den Motor 22 öffnenden, rechtwin­ keligen Schlitz 42 auf, auf dessen innenliegenden, zur Drehachse der zweiten Welle 36 parallelen Seitenflächen 44 das am Kopfteil 38 angebrachte Lager 40 mit seiner Außen­ umfangsfläche abwälzt.The operatively connected to the head part 38 from the drive section 16 of the motion transmission device consists of a coaxial with the first shaft 32 , the second shaft 36 , which is rotatably held with two bearings 37 in the second flange 48 , the second shaft 36 on both sides of the second flange 48 protrudes with a through bore. The end of the second shaft 36 facing the motor 22 has a larger diameter than the section of the second shaft 36 which is mounted with the bearings 37 and has an axially opening slot 42 in the direction of the motor 22 , at right angles to which is located on the inside , to the axis of rotation of the second shaft 36 parallel side surfaces 44, the bearing 40 attached to the head part 38 rolls with its outer circumferential surface.

Zwischen dem abgewinkelten Ende 34 und dem zum Motor 22 koaxialen Abschnitt der ersten Welle 32 kann zum Axial- und Radialspielausgleich sowie für eine vereinfachte Montage der Vorrichtung eine Feder (nicht dargestellt) vorgesehen sein, die im eingebauten Zustand das kegelförmige ge­ schlossene Ende des Kopfteils 38 an die zur Drehachse der zweiten Welle 36 senkrecht verlaufende Stirnfläche im Schlitz 42 der zweiten Welle 36 preßt.Between the angled end 34 and the portion of the first shaft 32 coaxial to the motor 22, a spring (not shown) can be provided for axial and radial play compensation and for simplified assembly of the device, which in the installed state has the conical ge closed end of the head part 38 presses against the end face perpendicular to the axis of rotation of the second shaft 36 in the slot 42 of the second shaft 36 .

Gemäß den Fig. 1(A) und 1(B) ist die gesamte Bewegungs­ übertragungsvorrichtung mit einem vom Motor 22 entfernt liegenden Flanschabschnitt 28 des zweiten Flansches 48 an einer die beiden Medien 10 und 12 trennenden Wand 30 durch Verschweißung und/oder Verschraubung dichtend befestigt, wobei die vom zweiten Flansch 48 vorstehende zweite Welle 36 einen in der Trennwand 30 ausgeformten Durchbruch 31 durchgreift und in das zweite Medium 12 hereinragt. Somit sind nur die zweite Welle 36, Teilabschnitte des zweiten Flansches 48, die die zweite Welle 36 lagernden Lager 37, Teilabschnitte des Kopfteils 38, das auf dem Kopfteil 38 angebrachte Lager 40, die Außenumfangsfläche der Balg­ dichtung 18 sowie Teilabschnitte der Innenumfangsfläche des Gehäuses 20 mit dem zweiten Medium 12 in Kontakt, während der Rest der Vorrichtung, insbesondere der Motor 22, mit dem ersten Medium 10 in Kontakt steht. Dabei werden die dichtenden Verschweißungen zwischen der Balgdichtung 18 und dem Kopfteil 38, zwischen der Balgdichtung 18 und dem ersten Flansch 46 oder dem Motor 22, zwischen dem ersten Flansch 46 und dem Gehäuse 20 (falls diese Verschweißung notwendig ist, d. h. der erste Flansch 46 nicht einstückig mit dem Gehäuse 20 ausgebildet ist), zwischen dem zweiten Flansch 48 und dem Gehäuse 20 sowie zwischen der Trennwand 30 und dem zweiten Flansch 48 vorzugsweise durch ein Plasmaschweißverfahren unter Argon hergestellt. Ferner sind die mit dem zweiten Medium 12 in Kontakt stehenden Bauteile aus ausgasfesten Werkstoffen wie Edelstahl gefertigt und/oder spezifischen Oberflächenbehandlungsverfahren, wie sie prinzipiell aus dem Stand der Technik bekannt sind, unterzogen worden. Zudem sind die mit dem zweiten Medium 12 in Kontakt stehenden Lager 37 und 40 in geeigneter Weise, beispielsweise durch eine Feststoffschmierung, geschmiert, oder bestehen aus keramischen Materialien und brauchen daher nicht geschmiert zu werden.Referring to FIGS. 1 (A) and 1 (B) is the total motion transmission device with a lying from the engine 22 is removed flange portion 28 of the second flange 48 at a the two mediums 10 and 12 separating wall 30 by welding and / or screwing sealingly attached , wherein the second shaft 36 protruding from the second flange 48 passes through an opening 31 formed in the partition 30 and protrudes into the second medium 12 . Thus, only the second shaft 36 , sections of the second flange 48 , the bearing 37 supporting the second shaft 36 , sections of the head part 38 , the bearing 40 attached to the head part 38 , the outer peripheral surface of the bellows seal 18 and partial sections of the inner peripheral surface of the housing 20 in contact with the second medium 12 , while the rest of the device, in particular the motor 22 , is in contact with the first medium 10 . The sealing welds between the bellows seal 18 and the head part 38 , between the bellows seal 18 and the first flange 46 or the motor 22 , between the first flange 46 and the housing 20 (if this welding is necessary, ie the first flange 46 is not is integrally formed with the housing 20 ), between the second flange 48 and the housing 20 and between the partition 30 and the second flange 48, preferably by a plasma welding process under argon. Furthermore, the components in contact with the second medium 12 are made of gas-resistant materials such as stainless steel and / or have been subjected to specific surface treatment processes, as are known in principle from the prior art. In addition, the bearings 37 and 40 in contact with the second medium 12 are lubricated in a suitable manner, for example by solid lubrication, or consist of ceramic materials and therefore do not need to be lubricated.

Im Betrieb führt eine vom Motor 22 erzeugte Drehbewegung der ersten Welle 32 durch das abgewinkelte Ende 34 zu einer Taumelbewegung des Kopfteils 38, so daß das auf dem Kopf­ teil 38 vorgesehene Lager 40 auf den innenliegenden Seiten­ flächen 44 des Schlitzes 42 abrollt, wodurch eine Drehbe­ wegung der zweiten Welle 36 formschlüssig und im wesent­ lichen spielfrei erzwungen wird.In operation, a rotational movement generated by the motor 22 of the first shaft 32 passes through the angled end 34 to a wobbling movement of the head part 38, so that the part 38 provided on the head support 40 on the inboard side surfaces 44 of the slot 42 rolls, whereby a Drehbe movement of the second shaft 36 is positively and essentially union-free enforced.

Die Fig. 2 und 3 zeigen das in den Fig. 1(A) und 1(B) dargestellte und oben beschriebene erste Ausführungsbei­ spiel in leicht modifizierten Ausführungen, wobei die gesamte Vorrichtung in das zweite Medium 12 eingebracht ist, so daß das Gehäuse 20 vollständig von dem zweiten Medium 12 umgeben ist. Da Aufbau und Funktion der in den Fig. 2 und 3 dargestellten Vorrichtungen im wesentlichen dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel ent­ sprechen, wobei in den Fig. 1(A) bis 3 gleiche bzw. ent­ sprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, sollen im folgenden nur die Unterschiede beschrieben werden. Figs. 2 and 3 show in FIGS. 1 (A) and represented 1 (B) and first Ausführungsbei above-described game in slightly modified versions, the entire device is inserted in the second medium 12, so that the housing 20 is completely surrounded by the second medium 12 . Since the structure and function of the devices shown in FIGS. 2 and 3 essentially correspond to the first exemplary embodiment described above, wherein in FIGS. 1 (A) to 3 the same or corresponding parts are provided with the same reference numerals, the following are intended only the differences are described.

Gemäß Fig. 2 sind an dem geschlossenen Ende des Gehäuses 20 mit den Versorgungsleitungen 24 verbundene Anschlüsse 25.1 herausgeführt (im dargestellten Fall drei Anschlüsse 25.1), die an der Außenseite des Gehäuses mit diesem dichtend verschweißt sind. An die Anschlüsse 25.1 sind Versorgungs­ leitungen 25.2 angeschlossen, die durch das zweite Medium 12 hindurch verlaufen und mit einer an der Trennwand 30 am Durchbruch 31 befestigten Anschlußplatte 25.3 verbunden sind. Über die Anschlußplatte 25.3 kann somit die vollstän­ dig in das zweite Medium 12 eingebrachte Übertragungsvor­ richtung von außen versorgt werden.According to FIG. 2, connections 25.1 connected to the supply lines 24 are led out at the closed end of the housing 20 (three connections 25.1 in the illustrated case), which are welded to the outside of the housing in a sealing manner. At the connections 25.1 supply lines 25.2 are connected, which run through the second medium 12 and are connected to a connection plate 25.3 attached to the partition 30 at the opening 31 . Via the connection plate 25.3 can thus be completely supplied digi in the second medium 12 transfer device from the outside.

Die, wie im vorliegenden Fall, vollständige Verkapselung der Vorrichtung wird vorzugsweise unter Helium-Berieselung durchgeführt, wobei ein Teil des Heliums als erstes Medium 10 im Gehäuse 20 eingeschweißt wird, wodurch eventuelle Undichtigkeiten der Vorrichtung mit Hilfe eines Helium­ detektors erkannt werden können.The complete encapsulation of the device, as in the present case, is preferably carried out with helium sprinkling, part of the helium being welded into the housing 20 as the first medium 10 , as a result of which any leaks in the device can be detected with the aid of a helium detector.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die vollständig in das zweite Medium 12 eingebrachte Vorrich­ tung über ein flexibles Rohr oder Schlauch 26 aus bei­ spielsweise Edelstahl mit dem außerhalb der Trennwand 30 vorhandenen ersten Medium 10 verbunden. Das eine Ende des flexiblen Rohrs 26 durchgreift den Durchbruch 21 im anson­ sten geschlossenen Ende des Gehäuses 20 und ist mit dem Gehäuse 20 von außen dichtend verschweißt, während das zweite Ende des flexiblen Rohrs 26 den Durchbruch 31 in der Trennwand 30 durchgreift und mit der Trennwand 30 auf der Seite des ersten Mediums 10 dichtend verschweißt ist. Auch diese Verschweißungen werden vorzugsweise durch ein Plasma­ schweißverfahren unter Argon hergestellt. Durch das fle­ xible Rohr 26 sind Versorgungsleitungen 24 vom ersten Medium 10 außerhalb der Trennwand 30 in das Gehäuse 20 der Vorrichtung geführt, wobei es sich bei diesen Leitungen 24 um Stromleitungen, Eingangs- und Ausgangsleitungen für Gase oder Flüssigkeiten für beispielsweise die Kühlung des Motors 22, Fühlerleitungen, Lichtwellenleiter, Steuer­ leitungen etc. handeln kann. Ferner kann eine flexible Welle (nicht dargestellt) zum Antreiben des Antriebsab­ schnitts 14 durch das flexible Rohr 26 hindurchgeführt werden, wodurch die Antriebseinrichtung außerhalb des Gehäuses 20 und der Trennwand 30 im ersten Medium 10 ange­ ordnet werden kann.In the embodiment shown in FIG. 3, the device fully introduced into the second medium 12 is connected via a flexible pipe or hose 26 made of, for example, stainless steel to the first medium 10 present outside the partition 30 . One end of the flexible tube 26 passes through the opening 21 in the otherwise closed end of the housing 20 and is welded to the housing 20 from the outside, while the second end of the flexible tube 26 extends through the opening 31 in the partition 30 and with the partition 30 is sealingly welded on the side of the first medium 10 . These welds are also preferably produced by a plasma welding process under argon. Through the flexible tube 26 , supply lines 24 are guided from the first medium 10 outside the partition 30 into the housing 20 of the device, these lines 24 being power lines, input and output lines for gases or liquids for cooling the motor 22, for example , Sensor lines, optical fibers, control lines etc. can act. Furthermore, a flexible shaft (not shown) for driving the Antriebsab section 14 can be passed through the flexible tube 26 , whereby the drive device outside the housing 20 and the partition 30 in the first medium 10 can be arranged.

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Bewegungsübertragungsvorrichtung gemäß Fig. 4(A) und 4(B) entspricht das Prinzip der Drehbewegungsübertragung dem des ersten Ausführungsbeispiels, wobei lediglich eine mit einem Schlitz 142 versehene zweite Welle 136 von dem Motor 22 angetrieben wird und eine ein abgewinkeltes Ende 134 auf­ weisende erste Welle 132 als Abtriebswelle dient. Das zweite Ausführungsbeispiel soll deshalb im folgenden bezüg­ lich der sich vom ersten Ausführungsbeispiel unterschei­ denden technischen Merkmale nur in der gebotenen Kürze beschrieben werden, wobei gleiche bzw. entsprechende Teile mit gleichen Bezugszahlen versehen sind.In the second embodiment of the movement transmission device according to the invention shown in FIG. 4 (A) and 4 (B) corresponds to the principle of the rotation transmitting that of the first embodiment, wherein only one provided with a slot 142 second shaft 136 is driven by the motor 22 and an angled End 134 facing first shaft 132 serves as an output shaft. The second exemplary embodiment is therefore to be described in the following with reference to the technical features which differ from the first exemplary embodiment, only in the required brevity, the same or corresponding parts being provided with the same reference numbers.

Gemäß Fig. 4(A) und 4(B) ist an dem offenen Ende des Gehäuses 20 ein erster Flansch 146 z. B. durch Verschweißen und/oder Verschrauben angebracht, der sich konzentrisch zum Gehäuse 20 in dieses erstreckt. Ferner ist an der Innenum­ fangsfläche des Gehäuses 20 konzentrisch zum Gehäuse 20 ein zweiter Flansch oder Absatz 148 ausgeformt, der in axialer Richtung des Gehäuses 20 im wesentlichen mittig angeordnet ist. Der erste Flansch 146 dient zur konzentrischen Aufnahme oder Lagerung des Abtriebsabschnitts 16, während der zweite Flansch 148 den Antriebsabschnitt 14 der Bewegungsübertragungsvorrichtung lagert. An dem zweiten Flansch 148 ist zudem der Motor 22 angebracht.According to Fig. 4 (A) and 4 (B) of the housing 20 is a first flange z 146 at the open end. B. attached by welding and / or screwing, which extends concentrically to the housing 20 in this. Furthermore, a second flange or shoulder 148 is formed concentrically with the housing 20 on the inner circumferential surface of the housing 20 and is arranged essentially centrally in the axial direction of the housing 20 . The first flange 146 serves to concentrically receive or support the output section 16 , while the second flange 148 supports the drive section 14 of the motion transmission device. The motor 22 is also attached to the second flange 148 .

Der Abtriebsabschnitt 16 des zweiten Ausführungsbeispiels der Vorrichtung weist eine erste Welle 132 auf, die mit zwei Lagern 133 in dem ersten Flansch 146 drehbar gehalten ist, wobei die erste Welle 132 an beiden Seiten des mit einer durchgehenden Bohrung versehenen ersten Flansches 146 vorsteht. Die erste Welle 132 hat an ihrem dem Motor 22 zugewandten Ende ein Abwinkelung 134, auf deren Außenum­ fangsfläche ein dem Kopfteil 38 des ersten Ausführungsbei­ spiels der Vorrichtung entsprechendes Kopfteil 138 mittels zweier Lager 139 konzentrisch zum abgewinkelten Ende 134 gehalten ist.The output section 16 of the second exemplary embodiment of the device has a first shaft 132 which is rotatably held in the first flange 146 by two bearings 133 , the first shaft 132 projecting on both sides of the first flange 146 provided with a through bore. The first shaft 132 has at its end facing the motor 22 a bend 134 , on the outer circumferential surface of which a head part 38 of the first embodiment of the device corresponding head part 138 is held concentrically to the angled end 134 by means of two bearings 139 .

Das Kopfteil 138 ist an seinem Flanschabschnitt auf der dem Motor 22 abgewandten Seite mit einem endseitigen Umfangs­ abschnitt der metallischen Balgdichtung 18 dichtend ver­ schweißt, während die Balgdichtung 18 an dem Umfangsab­ schnitt ihres gegenüberliegenden Endes mit dem ersten Flansch 146 verschweißt ist, wobei das Kopfteil 138 durch die Balgdichtung 18 drehfest gehalten wird und das Kopfteil 138 sowie die Balgdichtung 18 radial von dem Gehäuse 20 umschlossen sind. Auf der Außenumfangsfläche des Kopfteils 138 ist ferner ein weiteres Lager 140 befestigt, welches mit dem Antriebsabschnitt 14 in Wirkverbindung steht.The head part 138 is at its flange portion on the side facing away from the motor 22 with an end peripheral portion of the metallic bellows seal 18 sealingly welded, while the bellows seal 18 at the peripheral portion of its opposite end is welded to the first flange 146 , the head part 138 is held in a rotationally fixed manner by the bellows seal 18 and the head part 138 and the bellows seal 18 are radially enclosed by the housing 20 . On the outer circumferential surface of the head part 138 , a further bearing 140 is also fastened, which is in operative connection with the drive section 14 .

Der Antriebsabschnitt 14 besteht aus einer koaxial mit der ersten Welle 132 fluchtenden zweiten Welle 136, die sich vom Motor 22 in Richtung auf das offene Ende des Gehäuses 20 erstreckt und entweder an dem zweiten Flansch 148 oder an dem Motor 22 mit Lagern (nicht dargestellt) drehbar und konzentrisch zum Gehäuse 20 gehalten ist. Das vom Motor 22 abgewandte Ende der zweiten Welle 136 hat in axialer Rich­ tung einen rechtwinkeligen Schlitz 142, auf dessen innen­ liegenden, zur Drehachse der zweiten Welle 136 parallelen Seitenflächen 144 das am Kopfteil 138 angebrachte Lager 140 mit seinem äußeren Lagerring abwälzt.The drive section 14 consists of a second shaft 136 coaxially aligned with the first shaft 132 , which extends from the motor 22 towards the open end of the housing 20 and either on the second flange 148 or on the motor 22 with bearings (not shown) is rotatable and concentric with the housing 20 . The end of the second shaft 136 facing away from the motor 22 has a right-angled slot 142 in the axial direction, on the inside of which, on the inner side faces 144 parallel to the axis of rotation of the second shaft 136, the bearing 140 attached to the head part 138 rolls with its outer bearing ring.

Bezüglich der Montage bzw. Anordnung der Bewegungsübertra­ gungsvorrichtung wird an dieser Stelle auf die Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen, d. h., die Vor­ richtung kann entweder an der Trennwand 30 angeflanscht oder, wie in den Fig. 2 und 3 dargestellt, vollständig in das zweite Medium 12 eingebracht werden, wobei nur die erste Welle 132, Teilabschnitte des ersten Flansches 146, die die erste Welle 132 lagernden Lager 133, Teilabschnitte des Kopfteils 138, die das Kopfteil 138 auf dem abgewin­ kelten Ende 134 lagernden Lager 139 sowie die Innenumfangs­ fläche der Balgdichtung 18 mit dem zweiten Medium 12 in Kontakt sind, während der Rest der Vorrichtung mit dem ersten Medium 10 in Kontakt steht. Bezüglich der werkstoff- bzw. herstellungstechnischen Maßnahmen an den mit den zweiten Medium 12 in Kontakt stehenden Teile sowie der Maßnahmen zur Abdichtung der Medien 10 und 12 gegeneinander wird ebenfalls auf die Ausführungen zum ersten Ausfüh­ rungsbeispiel verwiesen.Regarding the assembly or arrangement of the motion transmission device, reference is made at this point to the explanations for the first exemplary embodiment, ie the device can either be flanged to the partition wall 30 or, as shown in FIGS. 2 and 3, completely in the second medium 12 are introduced, with only the first shaft 132 , sections of the first flange 146 , the first shaft 132 bearing 133 , sections of the head part 138 , the head part 138 on the angled end 134 bearing 139 and the inner circumferential surface of the bellows seal 18 are in contact with the second medium 12 while the rest of the device is in contact with the first medium 10 . With regard to the material or manufacturing measures on the parts in contact with the second medium 12 and the measures for sealing the media 10 and 12 against one another, reference is also made to the explanations for the first exemplary embodiment.

In den Fig. 5 und 6 sind ein drittes und viertes Ausfüh­ rungsbeispiel der erfindungsgemäßen Bewegungsübertragungs­ vorrichtung dargestellt, die sich von den vorstehend be­ schriebenen Ausführungsbeispielen im wesentlichen dadurch unterscheiden, daß eine antriebsseitige Drehbewegung mit beispielsweise einem Spindelantrieb 252, 254 in eine Axial­ bewegung auf der Abtriebsseite umgewandelt wird. Bezüglich der Montage bzw. Anordnung der gesamten Vorrichtung, der werkstoff- bzw. herstellungstechnischen Maßnahmen an den mit den zweiten Medium 12 in Kontakt stehenden Teilen sowie der Maßnahmen zur Abdichtung der Medien 10 und 12 gegenein­ ander (z. B. spezifische Verschweißungen) wird auf die Beschreibung zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen. Ferner sind gleiche bzw. entsprechende Teile oder Ab­ schnitte wieder mit gleichen Bezugszahlen versehen.In FIGS. 5 and 6 are a third and fourth exporting the movement transmission according to the invention approximately example device illustrated, which differ from the above-be signed embodiments essentially by the fact that a drive-side rotary movement, for example, a spindle drive 252, 254 move in an axially on the Output side is converted. Regarding the assembly or arrangement of the entire device, the material or manufacturing measures on the parts in contact with the second medium 12 and the measures for sealing the media 10 and 12 against one another (for example specific welds) is given referred to the description of the first embodiment. Furthermore, the same or corresponding parts or sections are again provided with the same reference numbers.

Bei dem in Fig. 5 dargestellten dritten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel besteht der Antriebsabschnitt 14 aus einer Antriebswelle 250, die entweder am Motor 22 oder an einem konzentrisch zum Gehäuse 20 ausgeformten bzw. ange­ brachten, axial im wesentlichen mittig zum Gehäuse 20 liegenden ersten Flansch oder Absatz 246 gelagert ist. Die Antriebswelle ist auf ihrem Außenumfang mit einer Spindel 252 versehen, die mit dem Abtriebsabschnitt 16 wirkver­ bunden ist.In the third exemplary embodiment according to the invention shown in FIG. 5, the drive section 14 consists of a drive shaft 250 , which is either formed on the motor 22 or on a concentric to the housing 20 or brought, axially substantially central to the housing 20 , the first flange or shoulder 246 is stored. The drive shaft is provided on its outer circumference with a spindle 252 which is connected to the output section 16 in a manner.

Der Abtriebsabschnitt 16 hat ein ringförmiges Kopfteil 256, das in axialer Richtung eine Mehrzahl von Bohrungen 257 aufweist, durch welche sich Führungsstangen 260 erstrecken, um das Kopfteil 256 in axialer Richtung des Gehäuses 20 zu führen und das vom Motor 22 erzeugte Drehmoment abzu­ stützen. Die einen Enden der Führungsstangen 260 sind entweder an dem ersten Flansch 246 oder dem Motor 22 be­ festigt oder eingespannt, wobei auf den Führungsstangen 260 Zug- oder Druckfedern 261 vorgesehen sein können, die sich unter Vorspannung zwischen dem Flansch 246 bzw. dem Motor 22 und der dem Motor 22 zugewandten Stirnseite des Kopf­ teils 256 erstrecken, um ein Axialspiel des Spindelantriebs 252, 254 auszugleichen und/oder bei unterschiedlichen Drücken der Medien 10, 12 der auf die Stirnfläche des Kopfteils 256 wirkenden Druckkraft entgegenzuwirken. Die Führungsstangen 260 sind im dargestellten Fall als Kragarme ausgebildet, können jedoch auch beidseitig, beispielsweise am Motor 22 oder ersten Flansch 246 und an einem an dem offenen Ende des Gehäuses 20 vorgesehenen zweiten Flansch 248 befestigt sein, der wie die vorstehend beschriebenen Flansche 48 und 146 geformt und an dem Gehäuse 20 bzw. der Trennwand 30 befestigt ist.The output section 16 has an annular head part 256 , which has a plurality of bores 257 in the axial direction, through which guide rods 260 extend in order to guide the head part 256 in the axial direction of the housing 20 and to support the torque generated by the motor 22 . One ends of the guide rods 260 are either fastened or clamped to the first flange 246 or the motor 22 , whereby tension or compression springs 261 can be provided on the guide rods 260 , which are under prestress between the flange 246 and the motor 22 and the end facing the motor 22 of the head part 256 to compensate for an axial play of the spindle drive 252 , 254 and / or to counteract the pressure force acting on the end face of the head part 256 at different pressures of the media 10 , 12 . The guide rods 260 are designed as cantilever arms in the case shown, but can also be fastened on both sides, for example to the motor 22 or the first flange 246 and to a second flange 248 provided on the open end of the housing 20, which flange, like the flanges 48 and 146 described above shaped and attached to the housing 20 or the partition 30 .

Weiterhin ist an der radial innenliegenden Umfangsfläche des ringförmigen Kopfteils 256 eine topfförmige Hülse 258 befestigt, die eine durchgehende Bohrung des zweiten Flan­ sches 248 durchgreift. Das dem Motor 22 abgewandte ge­ schlossene Ende der Hülse 258 ragt somit zur Übertragung der Axialbewegung aus dem Gehäuse 20 und dem Flansch 248 in das zweite Medium 12 hinein. An der Innenumfangsfläche des mit dem Kopfteil 256 verbundenen Abschnitts der Hülse 258 ist eine mit der Spindel 252 in Wirkverbindung stehende Spindelmutter 254 vorgesehen, die bei beispielsweise einem Kugelumlauf-Spindeltrieb mit einem Kugelumlaufkanal (nicht dargestellt) versehen ist. Schließlich ist die Balgdichtung 18 am Außenumfang ihres einen Endes mit der vom Motor 22 abgewandten Stirnfläche des Kopfteils 256 dichtend ver­ schweißt, während die Balgdichtung 18 am Außenumfang ihres anderen Endes mit einer dem Motor 22 zugewandten Stirn­ fläche des zweiten Flansches 248 dichtend verschweißt ist, wobei die Balgdichtung 18 einen Teil der Hülse 258 radial umgibt.Furthermore, a cup-shaped sleeve 258 is attached to the radially inner circumferential surface of the annular head portion 256 , which extends through a through hole of the second flange 248 cal. The remote from the motor 22 ge closed end of the sleeve 258 thus protrudes to transmit the axial movement from the housing 20 and the flange 248 into the second medium 12 . Provided on the inner circumferential surface of the section of the sleeve 258 connected to the head part 256 is a spindle nut 254 which is operatively connected to the spindle 252 and which, for example in the case of a ball screw drive, is provided with a ball screw channel (not shown). Finally, the bellows seal 18 on the outer circumference of its one end is welded to the end face of the head part 256 facing away from the motor 22 in a sealing manner, while the bellows seal 18 on the outer periphery of its other end is welded to a face of the second flange 248 facing the motor 22 , whereby the bellows seal 18 radially surrounds part of the sleeve 258 .

Im Betrieb wird die vom Motor 22 erzeugte Drehbewegung über die Wirkverbindung zwischen der Spindel 252 und der Spindelmutter 254 in eine geführte Axialbewegung des dreh­ festen Kopfteils 256 und damit der in das zweite Medium vorstehenden Hülse 258 umgesetzt, wobei die Balgdichtung 18 entsprechend der axialen Verschiebung des Kopfteils 256 zusammengedrückt oder auseinandergezogen wird. Die Balg­ dichtung 18 wird daher vorzugsweise so eingebaut, daß eine mittlere Verschiebeposition des Kopfteils 256 der Einbau­ länge der kraftfreien Balgdichtung 18 entspricht.In operation, the rotary movement generated by the motor 22 is converted via the operative connection between the spindle 252 and the spindle nut 254 into a guided axial movement of the rotationally fixed head part 256 and thus the sleeve 258 projecting into the second medium, the bellows seal 18 corresponding to the axial displacement of the Head part 256 is compressed or pulled apart. The bellows seal 18 is therefore preferably installed so that an average displacement position of the head part 256 corresponds to the installation length of the force-free bellows seal 18 .

Bei dem in Fig. 5 dargestellten Ausführungsbeispiel sind nur die Hülse 258, Teilabschnitte des zweiten Flansches 248, Teilabschnitte des Kopfteils 256 sowie die Innenum­ fangsfläche der Balgdichtung 18 dem zweiten Medium 12 ausgesetzt und müssen daher aus den vorstehend angespro­ chenen Materialen gefertigt bzw. mit den beschriebenen Verfahren behandelt werden.In the embodiment shown in FIG. 5, only the sleeve 258 , sections of the second flange 248 , sections of the head part 256 and the inner circumferential surface of the bellows seal 18 are exposed to the second medium 12 and must therefore be made from the materials mentioned above or with the described procedures are treated.

In Fig. 6 ist ein viertes Ausführungsbeispiel der erfin­ dungsgemäßen Bewegungsübertragungsvorrichtung dargestellt, bei dem, wie unter Bezugnahme auf die Fig. 5 beschrieben (gleiche bzw. entsprechende Teile haben gleiche Bezugs­ zahlen), eine Drehbewegung des Motors 22 in eine Axialbe­ wegung des Kopfteils 256 und damit der Hülse 258 umgesetzt wird. Auf eine detaillierte Beschreibung des vierten Aus­ führungsbeispiels kann an dieser Stelle verzichtet werden, da sich das vierte Ausführungsbeispiel vom dritten Ausfüh­ rungsbeispiel lediglich dadurch unterscheidet, daß das Kopfteil 256 axial führende Führungsstangen 360 an der dem Motor 22 zugewandten Stirnfläche des zweiten Flansches 248 befestigt sind, und daß sich die Balgdichtung 18 zwischen dem Motor 22 oder dem ersten Flansch 246 und dem Kopfteil 256 erstreckt, wobei sie endseitig an ihren Außenumfangs­ abschnitten mit der entsprechenden Stirnfläche des Motors 22 oder des ersten Flansches 246 und des Kopfteils 256 dichtend verschweißt ist. Auch hier können zum Spiel- bzw. Druckausgleich Federn 361 vorgesehen sein, die die Führungsstangen 360 radial umgeben und sich zwischen der dem Motor 22 zugewandten Seite des zweiten Flansches 248 und der vom Motor 22 abgewandten Seite des Kopfteils 256 erstrecken.In Fig. 6, a fourth embodiment of the inventive motion transmission device is shown, in which, as described with reference to FIG. 5 (same or corresponding parts have the same reference numbers), a rotary movement of the motor 22 in an Axialbe movement of the head part 256th and thus the sleeve 258 is implemented. A detailed description of the fourth exemplary embodiment can be omitted here, since the fourth exemplary embodiment differs from the third exemplary embodiment only in that the head part 256 axially leading guide rods 360 are fastened to the end face of the second flange 248 facing the motor 22 , and that the bellows seal 18 extends between the motor 22 or the first flange 246 and the head part 256 , wherein the end portions of its outer circumference is welded in a sealing manner to the corresponding end face of the motor 22 or the first flange 246 and the head part 256 . Here, too, springs 361 can be provided to compensate for play or pressure, which radially surround the guide rods 360 and extend between the side of the second flange 248 facing the motor 22 and the side of the head part 256 facing away from the motor 22 .

Bei dem vierten Ausführungsbeispiel sind somit neben der Hülse 258, den Teilabschnitten des zweiten Flansches 248 sowie den Teilabschnitten des Kopfteils 256 die Führungs­ stangen 360, die Federn 361 (falls vorhanden) und die Außenumfangsfläche der Balgdichtung 18 dem zweiten Medium 12 ausgesetzt und aus diesem Grund aus den vorstehend angesprochenen Materialen gefertigt bzw. mit den beschrie­ benen Verfahren behandelt.In the fourth exemplary embodiment, in addition to the sleeve 258 , the sections of the second flange 248 and the sections of the head part 256, the guide rods 360 , the springs 361 (if present) and the outer peripheral surface of the bellows seal 18 are exposed to the second medium 12 and for this reason made from the materials mentioned above or treated with the methods described.

Es bleibt anzumerken, daß bei entsprechender radial form­ stabiler Ausführung der Balgdichtung 18 diese die Funktion der axialen Führung des Kopfteils 256 sowie die Funktion einer Drehmomentstütze übernehmen kann, so daß auf die Führungsstangen 260 bzw. 360 verzichtet werden kann, wodurch Gewicht eingespart wird.It should be noted that with a corresponding radially stable design of the bellows seal 18, this can take over the function of the axial guidance of the head part 256 and the function of a torque arm, so that the guide rods 260 or 360 can be dispensed with, thereby saving weight.

Ferner kann die Balgdichtung 18 mit einer geeigneten Federcharakteristik versehen sein, wodurch sie das Axial­ spiel des Spindeltriebs 252, 254 oder das Radial- und Axialspiel des Kopfteils 38, 138 des unter Bezugnahme auf die Fig. 1(A) bis 4(B) beschriebenen Drehbewegungsüber­ tragungsmechanismus ausgleichen kann.Furthermore, the bellows seal 18 can be provided with a suitable spring characteristic, whereby it describes the axial play of the spindle drive 252 , 254 or the radial and axial play of the head part 38 , 138 of the with reference to FIGS . 1 (A) to 4 (B) Rotational motion transmission mechanism can compensate.

Letztendlich ist es möglich, die erfindungsgemäße Trennung und Verkapselung auf weitere Bewegungsübertragungsmecha­ nismen, z. B. die kinematische Umkehr der beschriebenen Bewegungsübertragungsmechanismen, anzuwenden. Mit dem Spindelantrieb 252, 254 kann dann beispielsweise bei geeig­ neter Wahl der Steigung der Spindelpaarung eine im ersten Medium 10 erzeugte Axialbewegung der Hülse 258 in eine Drehbewegung der Welle 250 im zweiten Medium 12 umgesetzt werden.Ultimately, it is possible to use the separation and encapsulation according to the invention on further movement transmission mechanisms, for. B. to apply the kinematic reversal of the movement transmission mechanisms described. With the spindle drive 252 , 254 , an axial movement of the sleeve 258 generated in the first medium 10 can then be converted into a rotary movement of the shaft 250 in the second medium 12 , for example with a suitable choice of the pitch of the spindle pairing.

Es wird eine Vorrichtung zur formschlüssigen Übertragung einer Bewegung von einem ersten in ein zweites, vom ersten Medium getrenntes Medium 10, 12 beschrieben, die zwischen ihrem An- und Abtriebsabschnitt 14, 16 eine metallische Balgdichtung 18 aufweist, die zusammen mit einem Gehäuse 20 der Vorrichtung den mit dem ersten Medium 10, beispiels­ weise Normalatmosphäre, verbundenen Antriebsabschnitt 14 gegenüber dem mit dem Abtriebsabschnitt 16 verbundenen zweiten Medium 12, beispielsweise Vakuum, zuverlässig dichtend trennt oder verkapselt, wobei gesteuerte Rota­ tions- oder Translationsbewegungen in das zweite Medium 12 übertragen werden können. Im Ergebnis kann der Antriebsab­ schnitt 14 der Vorrichtung nicht das zweite Medium 12 verunreinigen oder von diesem angegriffen werden. Ferner muß nur der Abtriebsabschnitt 16 aus speziellen Materialien bzw. mit speziellen Verfahren hergestellt werden, die auf das zweite Medium 12 abgestimmt sind.A device for the positive transmission of a movement from a first to a second medium 10 , 12 separated from the first medium is described, which has a metallic bellows seal 18 between its input and output sections 14 , 16 , which together with a housing 20 of the device the drive section 14 connected to the first medium 10 , for example normal atmosphere, reliably seals or encapsulates relative to the second medium 12 , for example vacuum, connected to the driven section 16 , wherein controlled rotation or translation movements can be transmitted into the second medium 12 . As a result, the drive section 14 of the device cannot contaminate or be attacked by the second medium 12 . Furthermore, only the output section 16 has to be produced from special materials or with special processes which are matched to the second medium 12 .

Claims (19)

1. Vorrichtung zur formschlüssigen Übertragung einer Be­ wegung von einem ersten in ein zweites Medium (10, 12), die zwischen ihrem An- und Abtriebsabschnitt (14, 16) eine metallische Balgdichtung (18) aufweist, welche zusammen mit einem Gehäuse (20) den mit dem ersten Medium (10) verbun­ denen Antriebsabschnitt (14) gegenüber dem mit dem Ab­ triebsabschnitt (16) verbundenen zweiten Medium (12) trennt oder verkapselt.1. Device for the positive transmission of a movement from a first into a second medium ( 10 , 12 ), which has a metallic bellows seal ( 18 ) between its drive and driven section ( 14 , 16 ), which together with a housing ( 20 ) the verbun with the first medium ( 10 ) which drive section ( 14 ) with respect to the drive section ( 16 ) connected from the second medium ( 12 ) separates or encapsulates. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen mit dem Antriebsabschnitt (14) wirkverbundenen Motor (22), der zusammen mit dem Antriebsabschnitt (14) gegenüber dem zweiten Medium (12) getrennt oder gekapselt ist.2. Device according to claim 1, characterized by an operatively connected to the drive section (14) motor (22) which is separated or encapsulated together with the drive portion (14) opposite to the second medium (12). 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (22) in dem Gehäuse (20) angeordnet und an diesem befestigt ist.3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the motor ( 22 ) in the housing ( 20 ) is arranged and attached to this. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Versorgungsleitungen (24) aus dem verkapselten Gehäuse (20) dichtend herausgeführt sind, um die vollständig in das zweite Medium (12) eingebrachte Vorrichtung von außen zu versorgen. 4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that supply lines ( 24 ) are sealingly led out of the encapsulated housing ( 20 ) in order to supply the device completely introduced into the second medium ( 12 ) from the outside. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein flexibles Rohr (26) an das Gehäuse (20) dichtend angeschlossen ist, durch das der verkapselte Bereich der vollständig in das zweite Medium (12) eingebrachten Vorrichtung mit dem ersten Medium (10) verbunden ist.5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a flexible tube ( 26 ) is sealingly connected to the housing ( 20 ) through which the encapsulated area of the device completely introduced into the second medium ( 12 ) with the first medium ( 10 ) is connected. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsabschnitt (14) über eine durch das flexible Rohr (26) hindurchgeführte flexible Welle mit einem außer­ halb des zweiten Mediums (12) angeordneten Motor wirkver­ bunden ist.6. The device according to claim 5, characterized in that the drive section ( 14 ) is via a through the flexible tube ( 26 ) guided flexible shaft with an outside of the second medium ( 12 ) arranged motor VERVER connected. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Gehäuse (20) ein Flanschab­ schnitt (28) ausgebildet ist, der die Befestigung der Vorrichtung an einer die Medien (10, 12) voneinander tren­ nenden Wand (30) ermöglicht.7. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that a flange section ( 28 ) is formed on the housing ( 20 ), the fastening of the device to one of the media ( 10 , 12 ) separating wall ( 30 ) enables. 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Medium (10) Luft oder ein Luft-Helium-Gemisch ist, während das zweite Medium (12) ein Vakuum ist.8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first medium ( 10 ) is air or an air-helium mixture, while the second medium ( 12 ) is a vacuum. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem zweiten Medium (12) in Kontakt tretenden Oberflächen der Vorrichtung aus aus­ gasfesten Werkstoffen wie beispielsweise Edelstahl be­ stehen.9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that with the second medium ( 12 ) coming into contact surfaces of the device made of gas-resistant materials such as stainless steel be. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine erste Welle (32; 132) mit einem abgewinkelten Ende (34; 134), das von der Balgdichtung (18) radial umgeben ist und mit einer zur ersten Welle (32; 132) axial fluchtenden zweiten Welle (36; 136) in Wirkverbindung steht, um eine Drehbewegung zu übertragen, wobei die erste oder die zweite Welle (32; 132, 36; 136) dem Antriebs­ abschnitt (14) zugeordnet ist.10. Device according to one of the preceding claims, characterized by a first shaft ( 32 ; 132 ) with an angled end ( 34 ; 134 ) which is radially surrounded by the bellows seal ( 18 ) and with a to the first shaft ( 32 ; 132 ) axially aligned second shaft ( 36 ; 136 ) is operatively connected to transmit a rotary movement, wherein the first or the second shaft ( 32 ; 132 , 36 ; 136 ) is assigned to the drive section ( 14 ). 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das abgewinkelte Ende (34; 134) der ersten Welle (32; 132) in einem drehfesten Kopfteil (38; 138) drehbar ge­ lagert ist, auf dessen Außenumfangsfläche ein Lager (40; 140) vorgesehen ist, welches auf radial innen liegenden Seitenflächen (44; 144) eines axialen Schlitzes (42; 142) in der zweiten Welle (36; 136) abwälzt, so daß bei Drehung der Antriebswelle die Drehbewegung durch eine Taumelbewe­ gung des Kopfteils (38; 138) übertragen wird.11. The device according to claim 10, characterized in that the angled end ( 34 ; 134 ) of the first shaft ( 32 ; 132 ) in a rotationally fixed head part ( 38 ; 138 ) is rotatably supported GE, on the outer peripheral surface of a bearing ( 40 ; 140 ) is provided, which rolls on radially inner side surfaces ( 44 ; 144 ) of an axial slot ( 42 ; 142 ) in the second shaft ( 36 ; 136 ), so that when the drive shaft rotates the rotary movement by a wobble movement of the head part ( 38 ; 138 ) is transmitted. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Welle (32) als Antriebswelle in einem mit dem Gehäuse (20) verbundenen ersten Flansch (46) oder in dem Motor (22), und die zweite Welle (36) in einem zweiten Flansch (48) gelagert ist, wobei die Balgdichtung (18) das Kopfteil (38) mit dem ersten Flansch (46) drehfest verbin­ det, zumindest der aus Kopfteil (38) und abgewinkelten Ende (34) bestehende Abschnitt von dem Gehäuse (20) radial umgeben ist und der zweite Flansch (48) mit dem Gehäuse (20) fest verbunden ist.12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the first shaft ( 32 ) as a drive shaft in a housing ( 20 ) connected to the first flange ( 46 ) or in the motor ( 22 ), and the second shaft ( 36 ) in one second flange ( 48 ) is mounted, the bellows seal ( 18 ) connecting the head part ( 38 ) to the first flange ( 46 ) in a rotationally fixed manner, at least the section of the housing ( 20 ) consisting of the head part ( 38 ) and angled end ( 34 ) ) is radially surrounded and the second flange ( 48 ) is fixedly connected to the housing ( 20 ). 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Flansch (46) an der Innenumfangsfläche des Gehäuses (20) in axialer Richtung im wesentlichen mittig angebracht ist, während der zweite Flansch (48) an einem Ende des Gehäuses (20) angeordnet ist.13. The apparatus according to claim 12, characterized in that the first flange ( 46 ) on the inner peripheral surface of the housing ( 20 ) in the axial direction is attached substantially centrally, while the second flange ( 48 ) is arranged at one end of the housing ( 20 ) is. 14. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Welle (132) als Abtriebswelle in einem ersten Flansch (146) gelagert ist, der an einem Ende des Gehäuses (20) angebracht ist, während die zweite Welle (136) an einem im Gehäuse (20) in axialer Richtung im wesentlichen mittig angebrachten zweiten Flansch (148) oder an dem Motor (22) gelagert ist, wobei zumindest der aus Kopfteil (138) und abgewinkelten Ende (134) bestehende Abschnitt von dem Gehäuse (20) radial umgeben ist und die Balgdichtung (18) das Kopfteil (138) mit dem ersten Flansch (146) drehfest verbindet.14. The apparatus according to claim 11, characterized in that the first shaft ( 132 ) is mounted as an output shaft in a first flange ( 146 ) which is attached to one end of the housing ( 20 ), while the second shaft ( 136 ) on one in the housing ( 20 ) in the axial direction substantially centrally attached second flange ( 148 ) or on the motor ( 22 ), at least the section consisting of the head part ( 138 ) and angled end ( 134 ) of the housing ( 20 ) radially is surrounded and the bellows seal ( 18 ) connects the head part ( 138 ) to the first flange ( 146 ) in a rotationally fixed manner. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekenn­ zeichnet durch eine Antriebswelle (250), deren mit einer Spindel (252) versehenes und teilweise von der Balgdichtung (18) radial umgebenes Ende mit einer Spindelmutter (254) eines drehfesten Kopfteils (256) in Wirkverbindung steht, um eine Drehbewegung der Spindel (252) in eine Transla­ tionsbewegung des Kopfteils (256) umzuwandeln.15. The device according to any one of claims 1 to 9, characterized by a drive shaft ( 250 ), the one with a spindle ( 252 ) and partially surrounded by the bellows seal ( 18 ) radially surrounded end with a spindle nut ( 254 ) of a rotationally fixed head part ( 256 ) is operatively connected to convert a rotary movement of the spindle ( 252 ) into a translational movement of the head part ( 256 ). 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (250) an einem im Gehäuse (20) axial im wesentlichen mittig angeordneten ersten Flansch (246) oder dem Motor (22) gelagert ist, wobei zumindest der aus Kopfteil (256) und Spindel (252) bestehende Abschnitt von dem Gehäuse (20) radial umgeben ist und eine an das Kopf­ teil (256) angebrachte geschlossene Hülse (258) einen an einem Ende des Gehäuses (20) angebrachten zweiten Flansch (248) durchgreift, um aus dem Gehäuse (20) herauszuragen.16. The apparatus according to claim 15, characterized in that the drive shaft ( 250 ) is mounted on a first flange ( 246 ) or the motor ( 22 ) arranged axially substantially centrally in the housing ( 20 ), at least the head part ( 256 ) and spindle ( 252 ) existing portion is radially surrounded by the housing ( 20 ) and a closed sleeve ( 258 ) attached to the head part ( 256 ) engages through a second flange ( 248 ) attached to one end of the housing ( 20 ) in order to protrude from the housing ( 20 ). 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopfteil (256) an einer mit dem ersten Flansch (246) oder dem Motor (22) verbundenen Führung (260) axial und drehfest geführt ist, wobei die Balgdichtung (18) das Kopfteil (256) mit dem zweiten Flansch (248) verbindet.17. The apparatus according to claim 16, characterized in that the head part ( 256 ) on a with the first flange ( 246 ) or the motor ( 22 ) connected guide ( 260 ) is guided axially and non-rotatably, the bellows seal ( 18 ) the head part ( 256 ) connects to the second flange ( 248 ). 18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopfteil (256) an einer mit dem zweiten Flansch (248) verbundenen Führung (360) axial und drehfest geführt ist, wobei die Balgdichtung (18) das Kopfteil (256) mit dem ersten Flansch (246) oder dem Motor (22) verbindet. 18. The apparatus according to claim 16, characterized in that the head part ( 256 ) on a with the second flange ( 248 ) connected guide ( 360 ) is guided axially and non-rotatably, the bellows seal ( 18 ) the head part ( 256 ) with the first Flange ( 246 ) or the motor ( 22 ) connects. 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14 und 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Flansch (46, 48; 146, 148; 246, 248) mit dem Gehäuse (20) und die Balgdichtung (18) mit dem Kopfteil (38; 138; 256) und dem ersten Flansch (46; 146; 246) oder dem zweiten Flansch (48; 148; 248) verschweißt sind.19. Device according to one of claims 12 to 14 and 16 to 18, characterized in that the first and the second flange ( 46 , 48 ; 146 , 148 ; 246 , 248 ) with the housing ( 20 ) and the bellows seal ( 18 ) are welded to the head part ( 38 ; 138 ; 256 ) and the first flange ( 46 ; 146 ; 246 ) or the second flange ( 48 ; 148 ; 248 ).
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