DE4300205A1 - Mounting for substrates in cassette form - Google Patents

Mounting for substrates in cassette form

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Abstract

Substrate mounting in cassette form consists of adapter pieces of uniform outer shape contg. holes for mounting rods, which may be grooved, forming a support for the substrates, which are held in place by upper mounting rods. The assembly fits into a standard holder.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf die Halterung von Proben, z. B. von Substraten, entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, bei deren chemischer bzw. physikalischer Bearbeitung. Anwendungsgebiete sind u. a. Technologien auf den Gebieten der Halbleitermaterialien, Gläser, Polymere, Isolatormaterialien, keramische Materialien sämtlicher Leitermaterialien etc.The invention relates to the holding of samples, e.g. B. of substrates, according to the preamble of Claim 1, in their chemical or physical Editing. Areas of application are u. a. Technologies the fields of semiconductor materials, glasses, polymers, Insulator materials, all ceramic materials Conductor materials etc.

Im Rahmen dieser Technologien sind Prozesse an Proben unterschiedlicher Materialien erforderlich, wie beispielsweise verschiedene Reinigungsprozesse, Oberflächenbehandlungen, etc. Dazu müssen die zu behandelnden Proben in entsprechenden Halterungen befestigt werden. Für die gängigen Probengrößen bzw. Probenformen sind Halterungen in Kassettenform mit äußeren und inneren Führungen handelsüblich, wobei die äußeren Führungen den Bearbeitungsapparaturen und die inneren den Formen und Größen der üblichen Proben angepaßt sind (Katalog der FLUOROWARE INC. US-MN). Einstellbare Versionen überstrei­ chen nur geringe Abmaßtoleranzbereiche und erlauben keine wesentlichen Abweichungen von den Standardmaßen.Processes on samples are part of these technologies different materials required, such as for example different cleaning processes, Surface treatments, etc. To do this, the treated samples attached in appropriate holders become. For the common sample sizes and sample shapes are holders in cassette form with outer and inner Guides commercially available, the outer guides the Machining equipment and the inner forms and Sizes of the usual samples are adjusted (catalog of FLUOROWARE INC. U.S. MN). Spread over adjustable versions Chen only small dimensional tolerance ranges and do not allow significant deviations from the standard dimensions.

Für die Bearbeitung von Proben mit unterschiedlichen Geometrien und Größen - auch Bruchstücken - aus verschiedenen Materialien (Halbleitermaterialien, Gläser, Polymere, etc.) sind solche Halterungen nicht erhältlich.For processing samples with different Geometries and sizes - including fragments various materials (semiconductor materials, glasses, Such brackets are not available.

Es sind andererseits auch, hauptsächlich für Laborversuchs­ zwecke, Halterungen für solche Proben bekannt, die jedoch nur für einzelne oder wenige Proben vorgesehen sind und die nur für eine Anwendung in Laborgerätschaften und nicht in komplexen (voll) automatisierten Apparatesystemen vorgesehen sind.On the other hand, they are also, mainly for laboratory tests purposes, holders for such samples are known, however only intended for single or a few samples and the  only for use in laboratory equipment and not in complex (fully) automated equipment systems are provided.

Es besteht aber das Bedürfnis, auch von Standardmaßen abweichende Proben unter Produktionsbedingungen zu bearbeiten.But there is a need, also of standard dimensions deviating samples under production conditions to edit.

Mit den handelsüblichen Probenhalterungen können weder Materialbruchstücke noch Proben mit ungewöhnlichen Geo­ metrien und Größen in standardisierten - auch automati­ sierten - Prozeßabläufen bearbeitet werden. Entweder müssen derartige Proben separat behandelt werden oder sie werden verworfen. Beides ist kostenaufwendig.With the commercially available sample holders, neither Material fragments still samples with unusual geo metrics and sizes in standardized - also automatic Processed processes are processed. Either have to such samples are treated separately or will be discarded. Both are expensive.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, ausgehend von den han­ delsüblichen Halterungen und unter deren Nutzung, solche Veränderungen vorzusehen, daß Proben mit beliebig abwei­ chender Geometrie eingesetzt werden können.It is the object of the invention, starting from the han usual mounts and using them, such Provide changes that samples with any deviations appropriate geometry can be used.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit den im Kennzeichen des Anspruchs 1 dargelegten Mitteln.This problem is solved with the in the license plate of claim 1.

Allgemeingültige vorteilhafte weitere Ausbildungsmöglich­ keiten sind den Unteransprüchen entnehmbar.Generally valid advantageous further training opportunities can be found in the subclaims.

Die verwendeten Paßstücke und Haltestäbe sind in ihren Einzelteilen untereinander kompatibel und in kommerziell erhältliche Halterungen einsetzbar.The adapters and support rods used are in theirs Individual parts compatible with each other and in commercial available brackets can be used.

So können Proben mit unüblichen Maßen oder Bruchstücke jeden technologischen Prozeß - auch automatisierte - durch­ laufen ohne apparativen oder personellen Mehraufwand. Wichtig ist dies u. a. in der Industrie, beispielsweise der Halbleiterindustrie. This allows samples with unusual dimensions or fragments every technological process - even automated - through run without additional equipment or personnel. This is important. a. in industry, for example the Semiconductor industry.  

Dadurch können teure Verluste durch Materialbruch, bei­ spielsweise von InP, LiNb03, vermieden werden.This can result in expensive losses due to material breakdown by InP, LiNb03, for example.

Die Konstruktion und die Herstellung der Spezialhalterung ist einfach. Das Material für die Spezialhalterung kann je nach Bedarf gewählt werden (PTFE, andere Polymere, Quarz­ glas, Metall, etc.).The design and manufacture of the special bracket is simple. The material for the special bracket can vary can be selected as required (PTFE, other polymers, quartz glass, metal, etc.).

Die Spezialhalterung kann in handelsüblichen Halterungen, z. B. für Prozeßautomaten in der Halbleiterindustrie, ein­ gesetzt werden. Deshalb können auch die Proben mit unge­ wöhnlichen Geometrien und Größen die standardisierten bzw. automatisierten Prozesse durchlaufen.The special holder can be used in standard holders, e.g. B. for process machines in the semiconductor industry be set. Therefore, the samples can also be usual geometries and sizes the standardized or go through automated processes.

Die Wirkungsweise und die näheren Ausbildungsmöglichkeiten sind nachfolgend an Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:The mode of action and the closer training opportunities are explained in more detail below using exemplary embodiments. In the accompanying drawings:

Fig. 1 verschiedene Paßstückausführungen a bis c, Fig. 1, various Paßstückausführungen a to c,

Fig. 2 einen gerillten Haltestab mit Rändelschraube, Fig. 2 is a grooved support rod with thumbscrew

Fig. 3 einen Kassetteneinsatz und Fig. 3 is a cassette insert and

Fig. 4 eine vollständige Probenhalterung. Fig. 4 shows a complete sample holder.

Die in der Fig. 1a bis 1c dargestellten Paßstückausführun­ gen sind für unterschiedliche Haltestabzahlen konzipiert. Die Langlöcher bzw. Schlitze 1 sind für einen oder zwei Haltestäbe, die Löcher 2 für zwei bis vier Grundhaltestäbe in den Paßstücken 3 vorgesehen. Sowohl die Anzahl als auch die Orte der Löcher und Schlitze sind in den ebenen Paß­ stücken leicht dem Bedarf angepaßt herstellbar.The Paßstückausführun gene shown in Figs. 1a to 1c are designed for different holding bar numbers. The elongated holes or slots 1 are provided for one or two holding rods, the holes 2 for two to four basic holding rods in the adapters 3 . Both the number and the locations of the holes and slots in the flat passport pieces can be easily adapted to the requirements.

Die äußere Form der Paßstücke 3 ist in allen Ausführungen der Fig. 1 gleich dargestellt. Sie entspricht zweckmäßig der üblichsten Standardprobenform, die natürlich auch den inneren Führungen der handelsüblichen Halterungen gleicht. Die dargestellte Form ist nur willkürlich ausgewählt. The outer shape of the adapters 3 is shown in the same way in all the embodiments of FIG. 1. It suitably corresponds to the most common standard sample form, which of course also corresponds to the inner guides of the commercially available holders. The form shown is only chosen arbitrarily.

Zwischen zwei solche Paßstücke 3, passend für den Einbau in handelsübliche Halterungen, werden die Grundhaltestäbe 4 in die Löcher 2 so montiert, daß sie eine optimale Auflage bilden.Between two such adapters 3 , suitable for installation in commercially available holders, the basic support rods 4 are mounted in the holes 2 so that they form an optimal support.

Der in der Fig. 2 dargestellte Haltestab 4 ist gerillt. Er kann ein nicht sichtbares Innengewinde aufweisen und mit einer üblichen Zylinderkopf- oder Rändelschraube 5 im Paßstück 3 sowohl in den Schlitzen 1 als auch in den Löchern 2 befestigt werden.The holding rod 4 shown in FIG. 2 is grooved. It can have an invisible internal thread and can be fastened with a conventional cylinder head or knurled screw 5 in the adapter 3 both in the slots 1 and in the holes 2 .

Die Grundhaltestäbe 4 können im Endbereich aber auch verjüngt und die Enden mit einem Außengewinde versehen sein. Diese Enden werden in die entsprechenden Löcher 2 der Paßstücke 3 gesteckt und mit Muttern von außen festge­ schraubt. Dies ist in Fig. 3 dargestellt.The basic holding rods 4 can also be tapered in the end area and the ends can be provided with an external thread. These ends are inserted into the corresponding holes 2 of the adapters 3 and screwed with nuts from the outside. This is shown in FIG. 3.

In die Rillen dieser Grundhaltestäbe werden nun die Probenstücke eingesetzt und mit den oberen Haltestäben arretiert. Dafür sind die an den Enden ebenfalls mit einem Außengewinde versehenen Haltestäbe in die vorgesehenen Schlitze i der Paßstücke 3 einzufügen und mit den entspre­ chenden Muttern von außen her zu befestigen. Dieser Aufbau kann, wie Fig. 4 zeigt, in eine handelsübliche Halterung eingesetzt werden.The sample pieces are now inserted into the grooves of these basic holding rods and locked with the upper holding rods. For this purpose, the holding rods, which are also provided with an external thread at the ends, are to be inserted into the slots i provided in the fitting pieces 3 and fastened with the corresponding nuts from the outside. As shown in FIG. 4, this structure can be inserted into a commercially available holder.

Für unterschiedliche Maße der Proben sind die geeigneten Paßstücke 3 aus den verschiedenen in Fig. 1 dargestellten Varianten auszuwählen oder sinngemäße Variationen zu entwickeln.For different dimensions of the samples, the suitable adapters 3 are to be selected from the different variants shown in FIG. 1 or appropriate variations are to be developed.

Claims (3)

1. Probenhalterung in Kassettenform mit äußeren und inneren Führungen, dadurch gekennzeichnet, daß für Proben mit beliebig von den Maßen der inneren Führungen abweichender Geometrie Kassetteneinsätze vorgesehen sind, welche aus wenigstens zwei Paßstücken mit in die inneren Führungen passenden Maßen und aus mindestens drei gerillten Haltestäben bestehen, die zwischen den Paßstücken befestigt sind.1. Sample holder in the form of a cassette with outer and inner guides, characterized in that cassette inserts are provided for samples with any geometry deviating from the dimensions of the inner guides, which consist of at least two fitting pieces with dimensions matching the inner guides and at least three grooved holding rods that are attached between the adapters. 2. Probenhalterung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßstücke für die Befestigung der Haltestäbe mit Löchern bzw. Schlitzen versehen sind und die Haltestabenden Gewinde aufweisen.2. Sample holder according to claim 1, characterized in that that the adapters for attaching the support rods are provided with holes or slots and the Have retaining thread. 3. Probenhalterung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei der Haltestäbe als Grundhaltestäbe mit den Paßstücken in festen Abständen entsprechend den inneren Führungen in den Kassetten verbunden sind, wobei diese Grundhaltestäbe als Probenauflage dienen und daß wenigstens ein Haltestab, in den Paßstücken verschiebbar angeordnet, als Probenarretierung dient.3. sample holder according to claim 1, characterized in that at least two of the support rods as basic support rods with the adapters at fixed intervals according to the inner guides in the cassettes are connected these basic holding rods serve as a sample support and that at least one holding rod, in the adapters slidably arranged, serves as a sample lock.
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